JPH09321099A - ウェハプローバ - Google Patents
ウェハプローバInfo
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- JPH09321099A JPH09321099A JP8137161A JP13716196A JPH09321099A JP H09321099 A JPH09321099 A JP H09321099A JP 8137161 A JP8137161 A JP 8137161A JP 13716196 A JP13716196 A JP 13716196A JP H09321099 A JPH09321099 A JP H09321099A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハプローバを用いたウェハ測定において、
ウェハステージの水平角度をより簡単でかつ安定した補
正機構を提供する。 【解決手段】プローバ上面板７の中心部にプローブカー
ド交換用の円形口を設け、この円形口に嵌めこまれた円
板６ａと、さらにこの円板６ａよりも大きな円板６ｂの
周辺部上面が円板６ａの周辺部下面に接して配設され、
この円板６ａ上面の少なくとも３個所に球面状の軸受用
凹部４を設け、これらの凹部４の開口部に対応する位置
のプローバ上面板７にネジ穴が設けられ、これらネジ穴
の中心と凹部の開口部中心との間にはヘッドステージ６
をプローバ上面板７から懸装するバネ９がそれぞれ配設
され、ネジ穴に螺合しバネ９を貫通しかつ先端が常時軸
受凹部４の内面に接する調節ネジ３を有してなり、これ
ら調節ネジ３をそれぞれ回転上下動させることによりヘ
ッドステージ６が水平なるように角度を調整する。
ウェハステージの水平角度をより簡単でかつ安定した補
正機構を提供する。 【解決手段】プローバ上面板７の中心部にプローブカー
ド交換用の円形口を設け、この円形口に嵌めこまれた円
板６ａと、さらにこの円板６ａよりも大きな円板６ｂの
周辺部上面が円板６ａの周辺部下面に接して配設され、
この円板６ａ上面の少なくとも３個所に球面状の軸受用
凹部４を設け、これらの凹部４の開口部に対応する位置
のプローバ上面板７にネジ穴が設けられ、これらネジ穴
の中心と凹部の開口部中心との間にはヘッドステージ６
をプローバ上面板７から懸装するバネ９がそれぞれ配設
され、ネジ穴に螺合しバネ９を貫通しかつ先端が常時軸
受凹部４の内面に接する調節ネジ３を有してなり、これ
ら調節ネジ３をそれぞれ回転上下動させることによりヘ
ッドステージ６が水平なるように角度を調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェハプローバに係
わり、特に、ウェハステージの水平調節機構をプローバ
上面部に備えるウェハプローバに関する。
わり、特に、ウェハステージの水平調節機構をプローバ
上面部に備えるウェハプローバに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の従来のウェハプローバの主要部
の概略構造を示した図２を参照すると、プローバ上面部
７に接して配設されてプローブカードの設定部となるヘ
ッドステージ６に接続リング１１が取り付けられる。こ
の接続リング１１の下面にはプローブカード５が取り付
けられ、接続リング１１の上面にはテストヘッド１２が
接続されることによって、プローブカード５は接続リン
グ１１を介してテストヘッド１２に接続される。プロー
ブカード５の下面にはプローブ探針８が配設されてお
り、プローブカード５の下に位置するウェハステージ１
上のウェハ２とは、ウェハステージ１が上昇することに
よりウェハ２表面の電極とプローブカード５下面のプロ
ーブ探針８が接触し、ウェハ２はプローブ探針８とプロ
ーブカード５と接続リングとを介してテストヘッド１２
に電気的に接続される。
の概略構造を示した図２を参照すると、プローバ上面部
７に接して配設されてプローブカードの設定部となるヘ
ッドステージ６に接続リング１１が取り付けられる。こ
の接続リング１１の下面にはプローブカード５が取り付
けられ、接続リング１１の上面にはテストヘッド１２が
接続されることによって、プローブカード５は接続リン
グ１１を介してテストヘッド１２に接続される。プロー
ブカード５の下面にはプローブ探針８が配設されてお
り、プローブカード５の下に位置するウェハステージ１
上のウェハ２とは、ウェハステージ１が上昇することに
よりウェハ２表面の電極とプローブカード５下面のプロ
ーブ探針８が接触し、ウェハ２はプローブ探針８とプロ
ーブカード５と接続リングとを介してテストヘッド１２
に電気的に接続される。
【０００３】ウェハ２の表面には半導体集積回路ダイが
多数形成されており、これらのダイ１個には通常数十〜
数百の信号入出力用の電極が形成されているので、これ
らの電極配置に対応するようにプローブ探針８もプロー
ブカード５に配設されている。ステージ１を上昇させる
ことによってこれらの電極とプローブ探針８が同時に接
触し、テストヘッド１２から供給されるテスト信号によ
って半導体集積回路ダイに形成された回路が動作し、そ
の動作結果の信号をプローブ探針８によってテストヘッ
ド１２に取り出し電気的特性試験が行なわれる。
多数形成されており、これらのダイ１個には通常数十〜
数百の信号入出力用の電極が形成されているので、これ
らの電極配置に対応するようにプローブ探針８もプロー
ブカード５に配設されている。ステージ１を上昇させる
ことによってこれらの電極とプローブ探針８が同時に接
触し、テストヘッド１２から供給されるテスト信号によ
って半導体集積回路ダイに形成された回路が動作し、そ
の動作結果の信号をプローブ探針８によってテストヘッ
ド１２に取り出し電気的特性試験が行なわれる。
【０００４】上述したウェハプローバによるウェハ測定
においては、半導体集積回路ダイを１個づつ順次に測定
をしてゆくので、ヘッドステージ６の水平度はプローブ
探針８の針圧によって吸収することが出来た。
においては、半導体集積回路ダイを１個づつ順次に測定
をしてゆくので、ヘッドステージ６の水平度はプローブ
探針８の針圧によって吸収することが出来た。
【０００５】しかしながら、近年、ウェハプローバによ
るウェハ測定は並列測定化が進んでいるため、ヘッドス
テージ６の水平度をプローブ探針８の針圧のみによって
吸収することが困難になってきた。
るウェハ測定は並列測定化が進んでいるため、ヘッドス
テージ６の水平度をプローブ探針８の針圧のみによって
吸収することが困難になってきた。
【０００６】ここでいう並列測定とは、同時に複数の半
導体集積回路ダイを測定することであり、この並列測定
化の進展によってプローブ探針８の配列エリアが拡大す
るほど、上述したヘッドステージ６の水平度の傾きによ
る高さずれは、従来の半導体集積回路ダイ１個測定のと
きの数μｍから、並列測定時には数十μｍとなり、プロ
ーブ探針８の針圧によって吸収することが出来る状態で
はなくなってきた。
導体集積回路ダイを測定することであり、この並列測定
化の進展によってプローブ探針８の配列エリアが拡大す
るほど、上述したヘッドステージ６の水平度の傾きによ
る高さずれは、従来の半導体集積回路ダイ１個測定のと
きの数μｍから、並列測定時には数十μｍとなり、プロ
ーブ探針８の針圧によって吸収することが出来る状態で
はなくなってきた。
【０００７】このヘッドステージ６の水平度の傾きによ
る高さずれを修正する方法の１例が特開平５−１４４８
９２号公報に記載されている。
る高さずれを修正する方法の１例が特開平５−１４４８
９２号公報に記載されている。
【０００８】同公報記載のウェハプローバは、その主要
部の構成図を示した図３を参照すると、この図はアーム
１３を３本以上用いて水平角度を調整する場合の図であ
り、ウェハ２を搭載するステージ１の下部に、シリンダ
ーまたはモーターなどで上下方向に移動するアーム１３
を支持台１５に等間隔に３本以上取り付けてある。プロ
ーブカード５が水平でないとき、３本以上のアーム１３
が上下に動作することにより、プローブカード５と平行
になるように自由に角度を調整することが出来るという
もので、このときステージ１の中心と支持台１５の間に
ステージ支持台１４が配設されているので、このステー
ジ支持台１４により角度調整の中心位置は一定である。
部の構成図を示した図３を参照すると、この図はアーム
１３を３本以上用いて水平角度を調整する場合の図であ
り、ウェハ２を搭載するステージ１の下部に、シリンダ
ーまたはモーターなどで上下方向に移動するアーム１３
を支持台１５に等間隔に３本以上取り付けてある。プロ
ーブカード５が水平でないとき、３本以上のアーム１３
が上下に動作することにより、プローブカード５と平行
になるように自由に角度を調整することが出来るという
もので、このときステージ１の中心と支持台１５の間に
ステージ支持台１４が配設されているので、このステー
ジ支持台１４により角度調整の中心位置は一定である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のウェハプローバは、プローブ探針８の配列エリアが小
さければ、プローブ探針８は全体が斜めに取り付けられ
ているので、この傾斜と針圧との関係で生じる弾性を利
用して水平度の傾きを吸収することが出来た。
のウェハプローバは、プローブ探針８の配列エリアが小
さければ、プローブ探針８は全体が斜めに取り付けられ
ているので、この傾斜と針圧との関係で生じる弾性を利
用して水平度の傾きを吸収することが出来た。
【００１０】しかし、並列測定化が一般的に行なわれる
ようになってきたので、プローブ探針８の配列エリアが
拡大するほど、ヘッドステージ６の水平度の傾きによる
高さずれは、従来の半導体集積回路ダイ１個測定のとき
の数μｍから、並列測定時には数十μｍとなり、プロー
ブ探針８の弾性を利用して水平度の傾きを吸収すること
が出来なくなってきた。
ようになってきたので、プローブ探針８の配列エリアが
拡大するほど、ヘッドステージ６の水平度の傾きによる
高さずれは、従来の半導体集積回路ダイ１個測定のとき
の数μｍから、並列測定時には数十μｍとなり、プロー
ブ探針８の弾性を利用して水平度の傾きを吸収すること
が出来なくなってきた。
【００１１】そのため、高さずれを修正する方法とし
て、プローブカード５の取り付けを繰り返し実施するこ
とや、図３で説明したようにウェハ２を搭載したステー
ジ１を支持するアーム１３を上下動させて行なってい
た。
て、プローブカード５の取り付けを繰り返し実施するこ
とや、図３で説明したようにウェハ２を搭載したステー
ジ１を支持するアーム１３を上下動させて行なってい
た。
【００１２】しかしながら、前者の方法の場合は、水平
度調整をするためには、プローブカード５を付け直しす
る必要があり、そのたびにテストヘッド１２およびヘッ
ドステージ６の開閉をするので、多大な工数が必要であ
った。
度調整をするためには、プローブカード５を付け直しす
る必要があり、そのたびにテストヘッド１２およびヘッ
ドステージ６の開閉をするので、多大な工数が必要であ
った。
【００１３】後者の場合は、高速でかつ広範囲に動くウ
ェハステージ１に搭載するモータ等の駆動系は、それ自
身の駆動系とは別に水平度の調整用駆動系をさらに備え
る必要があり、機構上からも、また精度の安定正を確保
する上で、コスト高にななるのは避けられない。
ェハステージ１に搭載するモータ等の駆動系は、それ自
身の駆動系とは別に水平度の調整用駆動系をさらに備え
る必要があり、機構上からも、また精度の安定正を確保
する上で、コスト高にななるのは避けられない。
【００１４】本発明の目的は、上述した欠点に鑑みなさ
れたものであり、ウェハプローバを用いたウェハ測定に
おいて、ウェハステージの平行度を、より簡素でかつ安
定した補正機構を提供することにある。
れたものであり、ウェハプローバを用いたウェハ測定に
おいて、ウェハステージの平行度を、より簡素でかつ安
定した補正機構を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハプローバ
の特徴は、半導体ウェハ上に形成された半導体集積回路
ダイの電気的特性を試験するために、プローブカードに
配設されたプローブ探針を前記ダイの電極に自動的に接
触させてテスタとの信号の入出力部となるウェハプロー
バにおいて、前記プローブカードの載置部となるヘッド
ステージが前記プローブカードを装着した状態で前記プ
ローブ探針が前記ダイの電極にそれぞれ接触するように
前記ヘッドステージの水平角度を調整する水平調整手段
と前記調整後の水平位置を保持する保持手段とを併せて
有することにある。
の特徴は、半導体ウェハ上に形成された半導体集積回路
ダイの電気的特性を試験するために、プローブカードに
配設されたプローブ探針を前記ダイの電極に自動的に接
触させてテスタとの信号の入出力部となるウェハプロー
バにおいて、前記プローブカードの載置部となるヘッド
ステージが前記プローブカードを装着した状態で前記プ
ローブ探針が前記ダイの電極にそれぞれ接触するように
前記ヘッドステージの水平角度を調整する水平調整手段
と前記調整後の水平位置を保持する保持手段とを併せて
有することにある。
【００１６】また、前記水平調整手段は、前記ヘッドス
テージが載置されるプローバ上面板の中心部にプローブ
カード交換用の円形口を開口し、この円形口に嵌めこま
れた円板でかつ中央部にプローブカードを裁置できる開
口部をもつドーナツ状の第１の円板と、この円板の開口
部よりもさらに大きな開口部をもつ第２の円板の開口周
辺部上面が前記第１の円板の開口周辺部下面に重ねて接
するように配設され、この第２の円板上面の少なくとも
３個所に内部が球面状の軸受用凹部を設け、これらの凹
部の開口部に対応する位置の前記プローバ上面板にそれ
ぞれネジ穴が設けられ、これらネジ穴の中心と前記凹部
の開口部中心との間にはこれら第１および第２の円板か
らなる前記ヘッドステージを前記プローバ上面板から懸
装するバネがそれぞれ配設され、複数の前記ネジ穴にそ
れぞれ螺合し前記バネを貫通しかつ先端が常時前記軸受
用凹部の内面に接する上下調整用ネジを有してなり、こ
れら上下調整用ネジをそれぞれ回転上下動させることに
より前記ヘッドステージが水平になるように角度調整す
ることができる。
テージが載置されるプローバ上面板の中心部にプローブ
カード交換用の円形口を開口し、この円形口に嵌めこま
れた円板でかつ中央部にプローブカードを裁置できる開
口部をもつドーナツ状の第１の円板と、この円板の開口
部よりもさらに大きな開口部をもつ第２の円板の開口周
辺部上面が前記第１の円板の開口周辺部下面に重ねて接
するように配設され、この第２の円板上面の少なくとも
３個所に内部が球面状の軸受用凹部を設け、これらの凹
部の開口部に対応する位置の前記プローバ上面板にそれ
ぞれネジ穴が設けられ、これらネジ穴の中心と前記凹部
の開口部中心との間にはこれら第１および第２の円板か
らなる前記ヘッドステージを前記プローバ上面板から懸
装するバネがそれぞれ配設され、複数の前記ネジ穴にそ
れぞれ螺合し前記バネを貫通しかつ先端が常時前記軸受
用凹部の内面に接する上下調整用ネジを有してなり、こ
れら上下調整用ネジをそれぞれ回転上下動させることに
より前記ヘッドステージが水平になるように角度調整す
ることができる。
【００１７】さらに、前記バネが、前記懸装と前記螺合
とを兼用することができる。
とを兼用することができる。
【００１８】さらにまた、前記保持手段は、複数の前記
上下調整用ネジにそれぞれ近接して前記プローバ上面板
を貫通し前記ヘッドステージに接する複数のロックネジ
を設けてなり、調整開始時にはこれらのロックネジをそ
れぞれ逆回転させて上方に引き上げておき、複数の前記
上下調整用ネジによって前記プローバ上面板に対する前
記ヘッドステージの水平角度を調整した後、複数の前記
ロックネジをそれぞれ回転させて調整した前記ヘッドス
テージの表面に接するまで下げることにより、測定開始
時に前記ヘッドステージが上下移動しないように固定す
ることができる。
上下調整用ネジにそれぞれ近接して前記プローバ上面板
を貫通し前記ヘッドステージに接する複数のロックネジ
を設けてなり、調整開始時にはこれらのロックネジをそ
れぞれ逆回転させて上方に引き上げておき、複数の前記
上下調整用ネジによって前記プローバ上面板に対する前
記ヘッドステージの水平角度を調整した後、複数の前記
ロックネジをそれぞれ回転させて調整した前記ヘッドス
テージの表面に接するまで下げることにより、測定開始
時に前記ヘッドステージが上下移動しないように固定す
ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明のウェハプローバは、プロ
ーブカードを取り付けたヘッドプレートに、プローブカ
ードを取り付けたヘッドステージの水平角度を調整する
ための調整ネジ機構を備えるので、この調整ネジ機構を
調整することによりを調整することにより、特別に専用
の駆動系を用いることなくウェハとプローブカードの水
平度の調整が用意に出来るものである。
ーブカードを取り付けたヘッドプレートに、プローブカ
ードを取り付けたヘッドステージの水平角度を調整する
ための調整ネジ機構を備えるので、この調整ネジ機構を
調整することによりを調整することにより、特別に専用
の駆動系を用いることなくウェハとプローブカードの水
平度の調整が用意に出来るものである。
【００２０】まず、本発明の第１の実施の形態について
図面を参照しながら説明する。図１（ａ）は本発明のウ
ェハプローバの一実施の形態を示す主要部の斜視図であ
り、図１（ｂ）はウェハステージとヘッドステージが互
に水平状態にあるときの断面図であり、図１（ｃ）はウ
ェハステージとヘッドステージが互に傾斜状態にあると
きの断面図である。図１（ａ）を参照すると、プローブ
カード５の設定部となるヘッドステージ６がプローブカ
ード５を装着したときにその水平度を調整する水平調整
手段と調整後の位置を保持する保持手段とを併せて有す
る。
図面を参照しながら説明する。図１（ａ）は本発明のウ
ェハプローバの一実施の形態を示す主要部の斜視図であ
り、図１（ｂ）はウェハステージとヘッドステージが互
に水平状態にあるときの断面図であり、図１（ｃ）はウ
ェハステージとヘッドステージが互に傾斜状態にあると
きの断面図である。図１（ａ）を参照すると、プローブ
カード５の設定部となるヘッドステージ６がプローブカ
ード５を装着したときにその水平度を調整する水平調整
手段と調整後の位置を保持する保持手段とを併せて有す
る。
【００２１】水平調整手段は、プローバ上面板７の中心
部にプローブカード交換用の円形口を設け、この円形口
に嵌めこまれたドーナツ状の円板でかつ中央部にプロー
ブカード５を裁置できる開口部をもつ円板６ａと、この
円板６ａの開口部よりもさらに大きな開口部をもつ円板
６ｂの開口周辺部上面が円板６ａの開口周辺部下面に接
して配設され、この円板６ａ上面の少なくとも３個所に
内部が球面状の軸受用凹部４を設け、これらの凹部４の
開口部に対応する位置のプローバ上面板７にネジ穴が設
けられ、これらネジ穴の中心と凹部４の開口部中心との
間にはこれら円板６ａおよび６ｂからなるヘッドステー
ジ６をプローバ上面板７から懸装するバネ９がそれぞれ
配設され、ネジ穴に螺合しバネ９を貫通しかつ先端が常
時軸受凹部４の内面に接する調節ネジ３を有してなり、
これら調節ネジ３をそれぞれ回転上下動させることによ
りヘッドステージ６が水平なるように位置調整する構造
からなる。
部にプローブカード交換用の円形口を設け、この円形口
に嵌めこまれたドーナツ状の円板でかつ中央部にプロー
ブカード５を裁置できる開口部をもつ円板６ａと、この
円板６ａの開口部よりもさらに大きな開口部をもつ円板
６ｂの開口周辺部上面が円板６ａの開口周辺部下面に接
して配設され、この円板６ａ上面の少なくとも３個所に
内部が球面状の軸受用凹部４を設け、これらの凹部４の
開口部に対応する位置のプローバ上面板７にネジ穴が設
けられ、これらネジ穴の中心と凹部４の開口部中心との
間にはこれら円板６ａおよび６ｂからなるヘッドステー
ジ６をプローバ上面板７から懸装するバネ９がそれぞれ
配設され、ネジ穴に螺合しバネ９を貫通しかつ先端が常
時軸受凹部４の内面に接する調節ネジ３を有してなり、
これら調節ネジ３をそれぞれ回転上下動させることによ
りヘッドステージ６が水平なるように位置調整する構造
からなる。
【００２２】保持手段は、複数の上下調整用ネジ３にそ
れぞれ近接してプローバ上面板７を貫通しヘッドステー
ジ６に接する複数のロックネジを設けてなり、調整開始
時にはこれらのロックネジ１０をそれぞれ逆回転させて
上方に引き上げておき、複数の上下調整用ネジ３によっ
てプローバ上面板７に対するヘッドステージ６の水平角
度を調整する。この調整後、複数のロックネジ１０をそ
れぞれ回転させて調整したヘッドステージ６の表面に接
するまで下げることにより、測定開始時にヘッドステー
ジが上下移動しないように固定する構造からなる。
れぞれ近接してプローバ上面板７を貫通しヘッドステー
ジ６に接する複数のロックネジを設けてなり、調整開始
時にはこれらのロックネジ１０をそれぞれ逆回転させて
上方に引き上げておき、複数の上下調整用ネジ３によっ
てプローバ上面板７に対するヘッドステージ６の水平角
度を調整する。この調整後、複数のロックネジ１０をそ
れぞれ回転させて調整したヘッドステージ６の表面に接
するまで下げることにより、測定開始時にヘッドステー
ジが上下移動しないように固定する構造からなる。
【００２３】図１（ｂ）を併せて参照すると、プローブ
カード５の下に位置するウェハステージ１上のウェハ２
とは、ウェハステージ１が上昇することによりウェハ２
に形成された半導体集積回路ダイの表面の電極とプロー
ブカード５下面のプローブ探針８が接触し、ウェハ２は
プローブ探針８を介してプローブカード５に電気的に接
続される。
カード５の下に位置するウェハステージ１上のウェハ２
とは、ウェハステージ１が上昇することによりウェハ２
に形成された半導体集積回路ダイの表面の電極とプロー
ブカード５下面のプローブ探針８が接触し、ウェハ２は
プローブ探針８を介してプローブカード５に電気的に接
続される。
【００２４】上述した構造からなるウェハプローバは、
上下調整用ネジ３を適宜調節してウェハステージ１上の
ウェハ２とプローブカード５とが互に水平になるよう
に、自由に角度の調整が出来る。
上下調整用ネジ３を適宜調節してウェハステージ１上の
ウェハ２とプローブカード５とが互に水平になるよう
に、自由に角度の調整が出来る。
【００２５】このとき、バネ９の反発力により上下調節
用ネジ７のバックラッシュが防止されると同時にプロー
バ上面板７がヘッドステージ６を懸架することになり、
上下調整用ネジ３を回転させることにより、プローバ上
面板７とヘッドステージ６の距離を微調整する。
用ネジ７のバックラッシュが防止されると同時にプロー
バ上面板７がヘッドステージ６を懸架することになり、
上下調整用ネジ３を回転させることにより、プローバ上
面板７とヘッドステージ６の距離を微調整する。
【００２６】ここで図１（ｃ）を参照すると、上下調節
用ネジ３はプローバ上面板７に対し垂直に上下動をする
ので、左側のネジ３を下方向に長くなるように回転させ
ると、左側におけるプローバ上面板７とヘッドステージ
６との距離は開き、右側のネジはそのままであるからヘ
ッドステージ６はプローバ上面板７に対してある傾斜角
度をもつことになり、垂直なネジ３とヘッドステージ６
上の凹部４とは、凹部４が単にヘッドステージ６の上面
に対して垂直な凹部であれば、傾斜角度に応じてネジ３
と凹部４との摩擦が大きくなるにしたがい、スムーズに
角度調節が出来なくなる。
用ネジ３はプローバ上面板７に対し垂直に上下動をする
ので、左側のネジ３を下方向に長くなるように回転させ
ると、左側におけるプローバ上面板７とヘッドステージ
６との距離は開き、右側のネジはそのままであるからヘ
ッドステージ６はプローバ上面板７に対してある傾斜角
度をもつことになり、垂直なネジ３とヘッドステージ６
上の凹部４とは、凹部４が単にヘッドステージ６の上面
に対して垂直な凹部であれば、傾斜角度に応じてネジ３
と凹部４との摩擦が大きくなるにしたがい、スムーズに
角度調節が出来なくなる。
【００２７】しかし、本実施の形態においては、凹部４
は内部が球面状の軸受になっているので、ネジ３の上下
動によりヘッドステージ６の傾斜角度が大きくなって
も、その球状の内面によってネジ３と凹部４との摩擦が
吸収されるため、スムーズに角度調節が出来る。
は内部が球面状の軸受になっているので、ネジ３の上下
動によりヘッドステージ６の傾斜角度が大きくなって
も、その球状の内面によってネジ３と凹部４との摩擦が
吸収されるため、スムーズに角度調節が出来る。
【００２８】さらに、この実施の形態では上下調整用ネ
ジ３に近接してプローバ上面板７を貫通しヘッドステー
ジ６まで達するロックネジ１０を設けてあり、調整開始
時には上下調整用ネジ３の調整に支障のないようにこの
ロックネジ１０を逆回転させて上方に引き上げておき、
上下調整用ネジ３によってプローバ上面板７に対するヘ
ッドステージ６の水平角度を調整した後、ロックネジ１
０を回転させて調整されたヘッドステージ６の表面に接
するまで下げることにより、測定開始御の振動等によっ
てヘッドステージ６が上下移動しないように固定する。
ジ３に近接してプローバ上面板７を貫通しヘッドステー
ジ６まで達するロックネジ１０を設けてあり、調整開始
時には上下調整用ネジ３の調整に支障のないようにこの
ロックネジ１０を逆回転させて上方に引き上げておき、
上下調整用ネジ３によってプローバ上面板７に対するヘ
ッドステージ６の水平角度を調整した後、ロックネジ１
０を回転させて調整されたヘッドステージ６の表面に接
するまで下げることにより、測定開始御の振動等によっ
てヘッドステージ６が上下移動しないように固定する。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のウェハプ
ローバは、プローブカードの設定部となるヘッドステー
ジがプローブカードを装着したときにその水平度を調整
する水平調整手段と調整後の位置を保持する保持手段と
を併せて有し、水平調整手段は、プローバ上面板の中心
部にプローブカード交換用の円形口を設け、この円形口
に嵌めこまれた円板でかつ中央部にプローブカードを裁
置できる開口部をもつドーナツ状の第１の円板と、この
円板の開口部よりもさらに大きな開口部をもつ第２の円
板の開口周辺部上面が第１の円板の開口周辺部下面に重
ねて接するように配設され、この第２の円板上面の少な
くとも３個所に球面状の軸受用凹部を設け、これらの凹
部の開口部に対応する位置のプローバ上面板にネジ穴が
設けられ、これらネジ穴の中心と凹部の開口部中心との
間にはこれら第１および第２の円板からなるヘッドステ
ージをプローバ上面板から懸装するバネがそれぞれ配設
され、ネジ穴に螺合しバネを貫通しかつ先端が常時軸受
凹部内面に接する上下調整用ネジを有してなり、これら
調整用ネジをそれぞれ回転上下動させることによりヘッ
ドステージが水平なるように位置調整するとともに、保
持手段は、上下調整用ネジに近接してプローバ上面板を
貫通しヘッドステージまで達するロックネジを設け、調
整開始時には上下調整用ネジの調整に支障のないように
このロックネジを逆回転させて上方に引き上げておき、
上下調整用ネジによってプローバ上面板に対するヘッド
ステージの水平角度を調整した後、ロックネジを回転さ
せて調整されたヘッドステージの表面に接するまで下げ
ることにより、測定開始御の振動等によってヘッドステ
ージが上下移動しないように固定する構造を備えるの
で、ウェハとプローブカードの水平角度の調整が容易に
なり、さらにウェハステージで水平角度を調整する場合
に特別な駆動系が不要になった。したがって、ウェハ測
定時の工数削減に寄与することができる。
ローバは、プローブカードの設定部となるヘッドステー
ジがプローブカードを装着したときにその水平度を調整
する水平調整手段と調整後の位置を保持する保持手段と
を併せて有し、水平調整手段は、プローバ上面板の中心
部にプローブカード交換用の円形口を設け、この円形口
に嵌めこまれた円板でかつ中央部にプローブカードを裁
置できる開口部をもつドーナツ状の第１の円板と、この
円板の開口部よりもさらに大きな開口部をもつ第２の円
板の開口周辺部上面が第１の円板の開口周辺部下面に重
ねて接するように配設され、この第２の円板上面の少な
くとも３個所に球面状の軸受用凹部を設け、これらの凹
部の開口部に対応する位置のプローバ上面板にネジ穴が
設けられ、これらネジ穴の中心と凹部の開口部中心との
間にはこれら第１および第２の円板からなるヘッドステ
ージをプローバ上面板から懸装するバネがそれぞれ配設
され、ネジ穴に螺合しバネを貫通しかつ先端が常時軸受
凹部内面に接する上下調整用ネジを有してなり、これら
調整用ネジをそれぞれ回転上下動させることによりヘッ
ドステージが水平なるように位置調整するとともに、保
持手段は、上下調整用ネジに近接してプローバ上面板を
貫通しヘッドステージまで達するロックネジを設け、調
整開始時には上下調整用ネジの調整に支障のないように
このロックネジを逆回転させて上方に引き上げておき、
上下調整用ネジによってプローバ上面板に対するヘッド
ステージの水平角度を調整した後、ロックネジを回転さ
せて調整されたヘッドステージの表面に接するまで下げ
ることにより、測定開始御の振動等によってヘッドステ
ージが上下移動しないように固定する構造を備えるの
で、ウェハとプローブカードの水平角度の調整が容易に
なり、さらにウェハステージで水平角度を調整する場合
に特別な駆動系が不要になった。したがって、ウェハ測
定時の工数削減に寄与することができる。
【図１】（ａ）本発明の一実施の形態の主要部を示す斜
視図である。 （ｂ）ウェハステージとヘッドステージが互に水平状態
にあるときの断面図である。 （ｃ）ウェハステージとヘッドステージが互に傾斜状態
にあるときの断面図である。
視図である。 （ｂ）ウェハステージとヘッドステージが互に水平状態
にあるときの断面図である。 （ｃ）ウェハステージとヘッドステージが互に傾斜状態
にあるときの断面図である。
【図２】従来のウェハプローバの主要部を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】従来の他のウェハプローバのステージ部図であ
る。
る。
【符号の説明】 １ フェハステージ ２ ウェハ ３ 上下調整用ネジ ４ 球面状の軸受用凹部 ５ プローブカード ６ ヘッドステージ ７ プローバ上面板 ８ プローブ探針 ９ バネ １０ ロックネジ １１ 接続リング １２ テストヘッド １３ アーム １４ ステージ支持台 １５ 支持台
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体ウェハ上に形成された半導体集積
回路ダイの電気的特性を試験するために、プローブカー
ドに配設されたプローブ探針を前記ダイの電極に自動的
に接触させてテスタとの信号の入出力部となるウェハプ
ローバにおいて、前記プローブカードの載置部となるヘ
ッドステージが前記プローブカードを装着した状態で前
記プローブ探針が前記ダイの電極にそれぞれ接触するよ
うに前記ヘッドステージの水平角度を調整する水平調整
手段と前記調整後の水平位置を保持する保持手段とを併
せて有することを特徴とするウェハプローバ。 - 【請求項２】 前記水平調整手段は、前記ヘッドステー
ジが載置されるプローバ上面板の中心部にプローブカー
ド交換用の円形口を開口し、この円形口に嵌めこまれた
円板でかつ中央部にプローブカードを裁置できる開口部
をもつドーナツ状の第１の円板と、この円板の開口部よ
りもさらに大きな開口部をもつ第２の円板の開口周辺部
上面が前記第１の円板の開口周辺部下面に重ねて接する
ように配設され、この第２の円板上面の少なくとも３個
所に内部が球面状の軸受用凹部を設け、これらの凹部の
開口部に対応する位置の前記プローバ上面板にそれぞれ
ネジ穴が設けられ、これらネジ穴の中心と前記凹部の開
口部中心との間にはこれら第１および第２の円板からな
る前記ヘッドステージを前記プローバ上面板から懸装す
るバネがそれぞれ配設され、複数の前記ネジ穴にそれぞ
れ螺合し前記バネを貫通しかつ先端が常時前記軸受用凹
部の内面に接する上下調整用ネジを有してなり、これら
上下調整用ネジをそれぞれ回転上下動させることにより
前記ヘッドステージが水平になるように角度調整する請
求項１記載のウェハプローバ。 - 【請求項３】 前記バネが、前記懸装と前記螺合とを兼
用する請求項２記載のウェハプローバ。 - 【請求項４】 前記保持手段は、複数の前記上下調整用
ネジにそれぞれ近接して前記プローバ上面板を貫通し前
記ヘッドステージに接する複数のロックネジを設けてな
り、調整開始時にはこれらのロックネジをそれぞれ逆回
転させて上方に引き上げておき、複数の前記上下調整用
ネジによって前記プローバ上面板に対する前記ヘッドス
テージの水平角度を調整した後、複数の前記ロックネジ
をそれぞれ回転させて調整した前記ヘッドステージの表
面に接するまで下げることにより、測定開始時に前記ヘ
ッドステージが上下移動しないように固定する請求項１
記載のウェハプローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8137161A JP2834076B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | ウェハプローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8137161A JP2834076B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | ウェハプローバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09321099A true JPH09321099A (ja) | 1997-12-12 |
| JP2834076B2 JP2834076B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=15192253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8137161A Expired - Lifetime JP2834076B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | ウェハプローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2834076B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002022767A (ja) * | 2000-05-31 | 2002-01-23 | Advantest Corp | プローブコンタクトシステムの平面調整機構 |
| JP2009121868A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃハンドラ |
| JP2010505131A (ja) * | 2006-09-29 | 2010-02-18 | フォームファクター， インコーポレイテッド | 間接型平坦化の方法及び装置 |
| US8063652B2 (en) | 2005-11-11 | 2011-11-22 | Tokyo Electron Ltd. | Probing apparatus and method for adjusting probing apparatus |
| CN115910879A (zh) * | 2022-09-28 | 2023-04-04 | 上海稷以科技有限公司 | 一种微调顶针装置 |
| CN118326375A (zh) * | 2024-04-30 | 2024-07-12 | 上海衍梓智能科技有限公司 | 一种反应腔基座平面度调整装置及调整方法 |
| CN120779217A (zh) * | 2025-09-04 | 2025-10-14 | 成都云绎智创科技有限公司 | 探针针座及晶圆测试设备 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04273458A (ja) * | 1991-02-28 | 1992-09-29 | Ando Electric Co Ltd | 測定ヘッドとプローブカードの水平出し機構 |
-
1996
- 1996-05-30 JP JP8137161A patent/JP2834076B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04273458A (ja) * | 1991-02-28 | 1992-09-29 | Ando Electric Co Ltd | 測定ヘッドとプローブカードの水平出し機構 |
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| US8063652B2 (en) | 2005-11-11 | 2011-11-22 | Tokyo Electron Ltd. | Probing apparatus and method for adjusting probing apparatus |
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| CN115910879A (zh) * | 2022-09-28 | 2023-04-04 | 上海稷以科技有限公司 | 一种微调顶针装置 |
| CN118326375A (zh) * | 2024-04-30 | 2024-07-12 | 上海衍梓智能科技有限公司 | 一种反应腔基座平面度调整装置及调整方法 |
| CN120779217A (zh) * | 2025-09-04 | 2025-10-14 | 成都云绎智创科技有限公司 | 探针针座及晶圆测试设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2834076B2 (ja) | 1998-12-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980825 |