JPH09321101A - ケーブルクランプ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のクランプ機構９の場合には、クランプ
９３で所定本数のケーブル６を保持するようにしてある
ため、ケーブル本数が増減するとケーブル６の束を保持
することができず、柔軟性、汎用性がない。そのため、
ケーブル６の使用本数が変動すればその都度異なったク
ランプ９３を使用しなくてはならず、コスト高になる。 【解決手段】 本ケーブルクランプ機構１０は、例えば
プローブ装置の回転軸７からテストヘッド３のケーブル
引き出し部に向けて延設されたクランプ用アーム１１
と、このアーム１１に固定された第１、第２クランプ１
２、１３とを有し、且つ、第１、第２クランプ１２、１
３は、ケーブル束６に即した枚数のケーブルブラケット
１９と、これらのケーブルブラケット１９を互いに連結
して一体化する連結部材２０と、この連結部材２０によ
り一体化したケーブルブラケット１９で囲んだケーブル
束６を締結する締結部材２１とを有すること特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ケーブルクランプ機
構、例えば半導体ウエハ等の被検査体の電気的特性検査
を行うテストヘッド等の被旋回体とテスタ等の固定体と
を接続する複数のケーブルを束ねて保持するケーブルク
ランプ機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば従来から、半導体製造工程で半導
体ウエハ上に多数のＩＣチップが形成されると、検査工
程で例えばプローブ装置等の検査装置を用いて各ＩＣチ
ップが所期の電気的特性を有しているか否かを検査し、
不良品があれば、それにマーキングを施し、後工程でそ
の不良品を除去するようにしている。このプローブ装置
は、例えば図５に示すように、カセット内に収納された
半導体ウエハを１枚ずつ搬送するローダ部１と、このロ
ーダ部１との間で半導体ウエハを授受してその電気的特
性検査を行うプローバ部２と、このプローバ部２のヘッ
ドプレートに装着されたプローブカードを介してテスタ
（図示せず）と半導体ウエハとの間で検査信号を中継す
るテストヘッド３とを備え、プローブカードのプローブ
針と半導体ウエハ上のＩＣチップの電極パッドとを電気
的に接触させて半導体ウエハの電気的特性検査を行うよ
うに構成されている。また、図５に示すプローブ装置
は、１台のローダ部１の左右に２台のプローバ部２が配
置され、中央のローダ部１を２台のプローバ部２で共用
するように構成されている。

【０００３】また、各プローバ部２の左側または右側に
は旋回駆動機構４が隣接し、この旋回駆動機構４を介し
てテストヘッド３が装置本体２とサイドデスク５との間
で旋回させるようにしてある。つまり、テストヘッド３
は、旋回駆動機構４の上端部に正面側から背面側に向け
て架設された回転軸７に旋回アーム８を介して固定さ
れ、旋回駆動機構４を介して回転軸７を中心に同図の矢
印で示すように旋回するようにしてある。

【０００４】ところで、上記テストヘッド３とテスタと
は図６に示すようにケーブル６を介して接続されてい
る。このケーブル６の束は、ＩＣチップの高集積化に伴
ってケーブル６の使用本数が多くなってケーブル束が太
くなると共に重量化する。しかも、このケーブル６の束
は、テストヘッド３の旋回に追随して移動するため、そ
の始末が難しい。そして、テストヘッド６の旋回時に、
ケーブル６は捻れたり、擦れたりするため、テストヘッ
ド３の旋回動作の繰り返しによりケーブル６を構成する
導線が損傷する虞があり、また、ケーブル６の束の保持
形態によってはケーブル６の束がテストヘッド３等と干
渉し、テストヘッド３の旋回動作を妨害する虞がある。
そのため、本出願人は、特開平２−７２６４５号公報に
おいてケーブルがテストヘッドの旋回動作を妨害するこ
となくテストヘッドに円滑に追随し、ケーブルが捻れ等
により損傷する虞のないクランプ機構を備えた検査装置
を提案した。

【０００５】上記公報において提案したものと同種のク
ランプ機構を例えば図６〜図８を参照しながら説明す
る。上記ケーブルクランプ機構９は、例えば図６〜図８
に示すように、複数本のケーブル６を束ねて保持するよ
うに構成されている。ケーブルクランプ機構９は、図
７、図８に示すように、回転軸７からテストヘッド３の
ケーブル６の引き出し部まで延設されたアーム９１と、
このアーム９１の先端部及び中間部にブラケット９２を
介して固定されたクランプ９３とを備えている。そし
て、アーム９１の先端部のクランプ９３でテストヘッド
３から回転軸７と同方向へ引き出されたケーブル６の束
を保持し、アーム９１の中間部のクランプ９３で９０°
曲げられたケーブル６の束を保持するようにしてある。
また、クランプ９３は、図８に示すように、半割構造の
コ字状体９３Ａ、９３Ｂと、コ字状体９３Ａ、９３Ｂを
両端部で締結するネジ等の締結部材９３Ｃと、ケーブル
６を保持する際に用いられるウレタンシート等からなる
クッションプレート９３Ｄとを有している。

【０００６】従って、テストヘッド３が旋回駆動機構４
を介して回転軸７を中心に旋回すると、ケーブル６はテ
ストヘッド３からの引き出し部とそのやや下方がクラン
プ９３で保持された状態でアーム９１を介してテストヘ
ッド３と同一方向へ旋回するため、テストヘッド３はケ
ーブル６に干渉されることなく円滑に旋回し、しかもケ
ーブル６が２箇所のクランプ９３により一定の状態で保
持されているため、ケーブル６に捻れ等が生じることが
なく、テストヘッド３が繰り返し旋回してもケーブル６
が損傷する虞がない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クランプ機構９の場合には、ケーブル６の束を保持する
クランプ９３が例えば図６及び図８に示すようにコ字状
体９３Ａ、９３Ｂ（円弧状等の場合もある）から形成さ
れ、このクランプ９３で設定された所定本数のケーブル
６を保持するようにしてあるため、ケーブル本数が増加
するとこのクランプ９３ではケーブル束を保持できず、
ケーブル本数が減少するとケーブル束を保持できても空
間ができて各ケーブル６の束を一定の状態で保持するこ
とができず、テストヘッド３の旋回時にケーブル６がク
ランプ９３内で移動して捻れなどを生じ、それ故にクラ
ンプ９３の使用に柔軟性、汎用性がない。そのため、ケ
ーブル６の使用本数が変動すればその都度異なったクラ
ンプ９３を使用しなくてはならず、コスト高になるとい
う課題があった。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、ケーブルの使用本数に関係なく種々の太さ
のケーブル束に対して共通使用することができ、もって
格段のコストダウンを図ることができ、しかもケーブル
束を確実に固定、保持することができ、ケーブルの損傷
を防止することができるケーブルクランプ機構を提供す
ることを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のケーブルクランプ機構は、旋回アームを介して回転軸
を中心にして旋回する被旋回体と固定体とを接続する複
数本のケーブルを束ねて保持する少なくとも１個のクラ
ンプを有するケーブルクランプ機構において、上記クラ
ンプは、上記ケーブルの束に即した枚数のクランプ素片
と、これらのクランプ素片を互いに連結して一体化する
連結部材と、この連結部材により一体化したクランプ素
片で囲んだケーブルの束を締結する締結部材とを有する
こと特徴とするものである。

【００１０】また、本発明の請求項２に記載のケーブル
クランプ機構は、旋回アームを介して回転軸を中心にし
て旋回する検査装置のテストヘッドとテスタとを接続
し、上記検査装置による被検査体の検査信号路となる複
数本のケーブルを束ねて保持するケーブルクランプ機構
において、上記ケーブルクランプ機構は、上記回転軸か
ら上記テスタに向けて延設されたクランプ用アームと、
このアームに固定されたクランプとを有し、且つ、上記
クランプは、上記ケーブルの束に即した枚数のクランプ
素片と、これらのクランプ素片を互いに連結して一体化
する連結部材と、この連結部材により一体化したクラン
プ素片で囲んだケーブルの束を締結する締結部材とを有
すること特徴とするものである。

【００１１】

【実施例】以下、図１〜図５に示す実施形態に基づいて
本発明を説明する。尚、プローブ装置について図５〜図
８と同一符号を用いて説明する。本実施形態のケーブル
クランプ機構１０は、検査装置例えばプローブ装置に適
用したものである。このケーブルクランプ機構１０は、
図１、図２に示すように、旋回駆動機構４の回転軸１１
からテストヘッド３背面側のケーブル引き出し部に向け
て延設されたクランプ用アーム（以下、単に「アーム」
称す。）１１と、このアーム１１に固定された２箇所の
第１、第２クランプ１２、１３とを有し、テストヘッド
３から引き出されたケーブル６の束（以下、「ケーブル
束６」とも称する。）を２箇所の第１、第２クランプ１
２、１３で保持するようにしてある。そして、第１、第
２クランプ１２、１３はいずれも同一構成部材により構
成されている。

【００１２】上記アーム１１は、図１、図２に示すよう
に、回転軸７の背面側の端部に連結部材１４を介して連
結され、テストヘッド３がプローバ部２に位置する状態
では回転軸７からテストヘッド３のケーブル６の引き出
し部まで斜め上方へ延び、回転軸７に対して直角になっ
ている。そして、このアーム１１の先端には第１ベース
プレート１５を介して第１クランプ１２が固定され、ま
た、その略中間位置に第２ベースプレート１６を介して
第２クランプ１３が固定されている。そのため、テスト
ヘッド３から引き出されたケーブル束６は第１、第２ク
ランプ１２、１３を介して常に一定の状態で保持されて
いる。また、第１ベースプレート１５は、図２に示すよ
うに、ブラケット１７を介してアーム１１先端に水平に
連結、固定され、この第１ベースプレート１５上に第１
クランプ１２が後述のように固定されている。また、第
２ベースプレート１６は、図１に示すように、ブラケッ
ト１８を介してアーム１１に平行に連結、固定され、こ
の第２ベースプレート１６に第２クランプ１３第１クラ
ンプ１２と同様にして固定されている。

【００１３】従って、テストヘッド３の旋回動作に伴っ
てケーブル束６が旋回移動してもケーブルルクランプ機
構１０の第１、第２クランプ１２、１３により保持され
たケーブル束６は一定の状態を保持するため、各クラン
プ１２、１３内で移動して捻れたりすることがなく、ま
た、テストヘッド３の旋回動作を妨害することなくテス
トヘッド３が円滑に旋回するようにしてある。

【００１４】また、上記第１、第２クランプ１２、１３
は、上述のように同一構成を有するため、第１クランプ
１２を例に挙げてクランプの構造について更に詳述す
る。第１クランプ機構１２は、図１〜図３に示すよう
に、ケーブル束６の太さに即した枚数のクランプ素片
（以下、「ケーブルブラケット」と称する。）１９と、
これらのケーブルブラケット１９を互いに連結して一体
化する、スクリューネジ２０Ａとナット２０Ｂからなる
連結部材２０と、この連結部材２０により一体化したケ
ーブルブラケット１９で囲んだケーブル束６を締結す
る、ネジ部材２１Ａとナット２１Ｂからなる締結部材２
１とを有している。図３の（ａ）に示す第１クランプ１
２は１２枚のケーブルブラケット１９を連結して構成さ
れ、同図の（ｂ）に示す第１クランプ１２は６枚のケー
ブルブラケット１９を連結して構成されている。また、
第１、第２クランプ１２、１３とケーブル束６との間に
はウレタンシート等からなるクッションプレート２２が
介装され、第１、第２クランプ１２、１３でケーブル束
６を締結する際にクッションプレート２２を介してケー
ブル束６を弾力的に締め付けることができるようにして
ある。

【００１５】上記ケーブルブラケット１９は、図４の
（ａ）、（ｂ）に示すように、略細長形状のプレートと
して形成されていると共に長手方向中程から先端側が湾
曲形成されている。従って、ケーブルブラケット１９を
必要枚数連結すると図１、図２に示すように先端側がラ
ッパ形状に広がり、保持したケーブル束６を各図で示す
ように９０°曲げる際にケーブルブラケット１９が曲げ
方向に弾力的に変形してケーブル束６に無理な力が掛か
ってケーブル６を傷つけないようにしてある。また、同
図（ｃ）に示すようにケーブルブラケット１９の基端部
の一方の側端にはプレートを円筒状に加工した第１連結
部１９Ａが１箇所に形成され、その他方の側端には同様
に加工した第２連結部１９Ｂ（同図（ｃ）参照）が相手
方の第１連結部１９Ａを挟むように２箇所に形成され
（同図（ａ）参照）、ケーブルブラケット１９同士を連
結部材２０によりヒンジ結合するようにしてある。ま
た、連結部材２０によって一体化した第１クランプ１９
の両端には図４の（ｄ）で示す連結用プレート１９Ｃが
ヒンジ結合している。各連結用プレート１９Ａには締結
部材２１のネジ部材２１Ａが貫通する２個の孔１９Ｄが
形成され、これらの孔１９Ｄにネジ部材２１Ａを通し、
ナット２１Ｂを介して第１クランプ１２を締め付けるよ
うにしてある。

【００１６】また、図３に戻って第１クランプ１２の第
１ベースプレート１５への固定方法について説明する。
第１ベースプレート１５には図３の（ａ）、（ｂ）に示
すようにケーブルブラケット１９同士を連結するヒンジ
結合部が嵌入する２個の長孔１５Ａが互いに平行して形
成され、第１クランプ１２を固定する際に最下端のケー
ブルブラケット１９の両側のヒンジ結合部がそれぞれに
対応する長孔１５Ａ内に嵌入すると共にケーブルブラケ
ット１９が第１ベースプレート１５に接触して安定する
ようにしてある。また、最下端のケーブルブラケット１
９の左右のケーブルブラケット１９にはそれぞれネジ部
材等からなる固定用治具２３Ａが連結され、各固定用治
具２３Ａの自由端が第１ベースプレート１５に形成され
た孔１５Ｂに貫通し、貫通した固定用治具２３Ａをナッ
ト２３Ｂにより締め付けることにより第１クランプ１２
を第１ベースプレート１５に固定するようにしてある。

【００１７】次に、本実施形態のケーブルクランプ機構
１０を用いてテストヘッド３とテスタ間のケーブル束６
を保持する作業について説明する。尚、この段階ではテ
ストヘッド３は例えばサイドテーブル５上で支持されて
いる。まず、ケーブル束６の太さに合わせてケーブルブ
ラケット１９の使用枚数を決定する。使用枚数が決まっ
たら、連結部材２０を用いてケーブルブラケット１９を
順次連結する。この際、第１クランプ１２中心のケーブ
ルブラケット（第１ベースプレート１５と接触するケー
ブルブラケット）１９の左右には固定用治具２３Ａが取
り付けられたケーブルブラケット１９を連結する。次い
で、図４に示すケーブルブラケット１９を使用枚数だけ
順次連結し、最後にその両端に連結用プレート１９Ｃを
連結して第１クランプ１２を組み上げる。同様にして第
２クランプ１３を組み上げる。

【００１８】その後、第１、第２クランプ１２、１３を
アーム１１の第１、第２ベースプレート１５、１６に固
定する。それには、第１クランプ１２の固定用治具２３
Ａを第１ベースプレート１５の孔１５Ｂに通すと共に中
心のケーブルブラケット１９のヒンジ結合部を第１ベー
スプレート１５の長孔１５Ａに嵌入した後、固定用治具
２３Ａをナット２３Ｂで締め付けて第１クランプ１２を
第１ベースプレート１５に固定する。同様にして第２ク
ランプ１３を第２ベースプレート１６に固定する。次い
で、テストヘッド３から引き出されたケーブル束６にク
ッションプレート２２を巻き付け、この部分を第１クラ
ンプ１２に載せた後、第１クランプ１２でケーブル束６
を卷き、その両端の連結用プレート１９Ｃを締結部材２
１のネジ部材２１Ａを２個の孔１９Ｄに通し、各ネジ部
材２１Ａにナット２１Ｂを螺合して第１クランプ１２で
ケーブル束６を締め付けてケーブル束６を第２ベースプ
レート１６の垂直面で保持する。この操作と同様にして
第２クランプ１３でケーブル束６を締め付けてケーブル
束６を保持する。以上の作業によりケーブル束６の保持
が完了する。

【００１９】次に、半導体ウエハの検査を行う場合に
は、旋回駆動機構４を駆動させてテストヘッド３を回転
軸７を中心にサイドテーブル５から１８０°旋回させて
プローブ部２に載置し、テストヘッド３とプローブカー
ドとを電気的に接触させる。この旋回動作に際し、回転
軸７に連結されたアーム１１がテストヘッド３と同一方
向へ同時に旋回するため、ケーブル束６は第１、第２ク
ランプ１２、１３を介して一定の状態を保持したままテ
ストヘッド３に追随して旋回し、テストヘッド３の旋回
動作を妨害することはない。また、この旋回中、ケーブ
ル束６は一定の状態を保持して旋回してケーブル６が第
１、第２クランプ１２、１３内で移動する虞がないた
め、ケーブル６が捻れたりしないため、テストヘッド３
が旋回動作を何回繰り返しても導線が切断するなどして
損傷する虞がない。

【００２０】また、検査仕様の変更によりケーブル６の
仕様本数が減少して例えば図３の（ａ）に示す第１、第
２クランプ１２、１３（ケーブルブラケット１９が１２
枚使用されている）で保持する太さのケーブル束６から
同図の（ｂ）に示す第１、第２クランプ１２、１３（ケ
ーブルブラケット１９が６枚使用されている）で保持す
る太さのケーブル束６に変更する場合でも同図の（ａ）
に示す第１、第２クランプ１２、１３を使用することが
できる。この場合には、同図の（ａ）に示す第１、第２
クランプ１２、１３のケーブルブラケット１９を６枚取
り外すことによって同図の（ｂ）で示す第１、第２クラ
ンプ１２、１３として用いることができる。また、クッ
ションプレート２２は多重に巻き付けることでそのまま
使用することができる。尚、アーム１１及び第１、第２
ベースプレート１５、１６はケーブル束６の太さに関係
なくそのまま使用することができる。

【００２１】以上説明したように本実施形態によれば、
第１、第２クランプ１２、１３が、ケーブル束６に即し
た枚数のケーブルブラケット１９と、これらのケーブル
ブラケット１９を互いに連結して一体化する連結部材２
０と、この連結部材２０により一体化したケーブルブラ
ケット１９で囲んだケーブル束６を締結する締結部材２
１とを有し、ケーブルブラケット１９の使用枚数を適宜
変更することで種々の太さのケーブル束６を確実に保持
することができるため、ケーブル６の使用本数に制限さ
れることなく種々の太さのケーブル束６に対して第１、
第２クランプ１２、１３を共通使用することができ、し
かもケーブル束６をしっかり固定して保持することがで
き、ひいてはケーブル束６の太さ毎に異なったクランプ
を用意する必要がなく、格段のコストダウンを図ること
ができる。

【００２２】尚、上記実施形態ではプローブ装置に適用
したケーブルクランプ機構１０について説明したが、本
発明のケーブルクランプ機構は上記実施形態に何等制限
されるものではなく、テストヘッドのように旋回する被
旋回体とテスタのように固定された固定体とを接続する
ケーブルに広く適用することができる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１に
記載の発明によれば、ケーブルの使用本数に関係なく種
々の太さのケーブル束に対して共通使用することがで
き、格段のコストダウンを図ることができ、しかもケー
ブル束を確実に固定、保持することができ、ケーブルの
損傷を防止することができるケーブルクランプ機構を提
供することができる。

【００２４】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、検査装置のテストヘッドから引き出されたケーブ
ルの使用本数に関係なく種々の太さのケーブル束に対し
て共通使用することができ、もって格段のコストダウン
を図ることができ、しかもケーブル束を確実に固定、保
持することができ、ケーブルの損傷を防止することがで
きるケーブルクランプ機構を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のケーブルクランプ機構の一実施形態を
適用したプローブ装置の要部を示す平面図である。

【図２】図１に示すプローブ装置の背面側の要部を示す
正面図である。

【図３】（ａ）、（ｂ）は図１、図２に示すケーブルク
ランプ機構に用いられるクランプを示す正面図で、
（ａ）のクランプは（ｂ）のクランプよりも使用本数の
多いケーブルを保持する場合を示す図である。

【図４】図１に示すケーブルクランプ機構のクランプを
構成するケーブルガイドブラケットを示す図で、（ａ）
は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。

【図５】プローブ装置の一例を示す正面図である。

【図６】図５に示すプローブ装置のケーブルを破断した
背面側の要部を示す正面図である。

【図７】従来のケーブルクランプ機構を適用したプロー
ブ装置の要部を示す平面図である。

【図８】図７に示すプローブ装置の背面側の要部を示す
正面図である。

【符号の説明】

３ テストヘッド（被旋回体） ６ ケーブルまたはケーブル束 ７ 回転軸 ８ 旋回アーム １０ ケーブルクランプ機構 １１ クランプ用アーム １２ 第１クランプ １３ 第２クランプ １９ ケーブルブラケット（クランプ素片） ２０ 連結部材 ２１ 締結部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 旋回アームを介して回転軸を中心にして
   旋回する被旋回体と固定体とを接続する複数本のケーブ
   ルを束ねて保持する少なくとも１個のクランプを有する
   ケーブルクランプ機構において、上記クランプは、上記
   ケーブルの束に即した枚数のクランプ素片と、これらの
   クランプ素片を互いに連結して一体化する連結部材と、
   この連結部材により一体化したクランプ素片で囲んだケ
   ーブルの束を締結する締結部材とを有すること特徴とす
   るケーブルクランプ機構。
2. 【請求項２】 旋回アームを介して回転軸を中心にして
   旋回する検査装置のテストヘッドとテスタとを接続し、
   上記検査装置による被検査体の検査信号路となる複数本
   のケーブルを束ねて保持するケーブルクランプ機構にお
   いて、上記ケーブルクランプ機構は、上記回転軸から上
   記テストヘッドのケーブル引き出し部に向けて延設され
   たクランプ用アームと、このアームに固定された少なく
   とも１個のクランプとを有し、且つ、上記クランプは、
   上記ケーブルの束に即した枚数のクランプ素片と、これ
   らのクランプ素片を互いに連結して一体化する連結部材
   と、この連結部材により一体化したクランプ素片で囲ん
   だケーブルの束を締結する締結部材とを有すること特徴
   とするケーブルクランプ機構。