JPH09323253A - 高圧ガス容器の内面研磨方法及び装置 - Google Patents
高圧ガス容器の内面研磨方法及び装置Info
- Publication number
- JPH09323253A JPH09323253A JP14315996A JP14315996A JPH09323253A JP H09323253 A JPH09323253 A JP H09323253A JP 14315996 A JP14315996 A JP 14315996A JP 14315996 A JP14315996 A JP 14315996A JP H09323253 A JPH09323253 A JP H09323253A
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- Japan
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- polishing
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 研磨力を増強することができ、かつ作業性も
よい高圧ガス容器の内面研磨方法及び装置を提供するこ
と。 【解決手段】 空の高圧ガス容器1の中に研磨材5と研
磨補助液6を装入して栓をした後、該容器の中心軸線X
より所定距離偏心した偏心軸線Yを回転軸線として容器
1を偏心回転させ、容器内での研磨材5の動きが一部、
容器の回転方向とは逆方向に加速的な動きとなるように
することを特徴とする。
よい高圧ガス容器の内面研磨方法及び装置を提供するこ
と。 【解決手段】 空の高圧ガス容器1の中に研磨材5と研
磨補助液6を装入して栓をした後、該容器の中心軸線X
より所定距離偏心した偏心軸線Yを回転軸線として容器
1を偏心回転させ、容器内での研磨材5の動きが一部、
容器の回転方向とは逆方向に加速的な動きとなるように
することを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、高圧ガス容器の
内面研磨方法及び装置に関するものである。
内面研磨方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】高圧ガスを収納する容器には近年、鋼製
シームレス容器が使用されるのが一般的である。この鋼
製シームレス容器は材質として合金鋼、ステンレス等が
主に使われ、内容積が5ないし100リットル程度で、そ
の一端部あるいは両端部にガスの装入、排出のためのバ
ルブ等が取り付けられている。図5はその一例であり、
1が容器、2がその一端部である頭部3の口部に取り付
けられたバルブ保護用キャップであり、また4が容器1
の底部を示す。
シームレス容器が使用されるのが一般的である。この鋼
製シームレス容器は材質として合金鋼、ステンレス等が
主に使われ、内容積が5ないし100リットル程度で、そ
の一端部あるいは両端部にガスの装入、排出のためのバ
ルブ等が取り付けられている。図5はその一例であり、
1が容器、2がその一端部である頭部3の口部に取り付
けられたバルブ保護用キャップであり、また4が容器1
の底部を示す。
【0003】ところで、半導体産業等に使用される高圧
ガスは益々超純度が要求されている。ガスの純度があが
ればあがるほどそれを収納する容器1の内面の表面粗度
が課題となってくる。表面粗度が悪ければ、その窪みに
塵や水が捕捉されてガスの純度を下げる原因となる。そ
こで、現在種々の方法で容器1の内面を研磨し、ガス純
度に見合った表面粗度に調整している。
ガスは益々超純度が要求されている。ガスの純度があが
ればあがるほどそれを収納する容器1の内面の表面粗度
が課題となってくる。表面粗度が悪ければ、その窪みに
塵や水が捕捉されてガスの純度を下げる原因となる。そ
こで、現在種々の方法で容器1の内面を研磨し、ガス純
度に見合った表面粗度に調整している。
【0004】このような容器1の内面の研磨方法とし
て、従来から知られているのは図6に示す自転式と図7
に示す自転公転式である。自転式は容器1の中心軸線を
回転軸線として容器を回転させ、容器内に装入した研磨
材5と容器内面の接触面で研磨するものであるが、この
方式の場合は所要の面粗度を得るためには研磨力が弱
く、そのため研磨に長時間を要するという問題がある。
また自転公転式は複数本取り付けた容器1を公転と自転
をさせ、研磨材5に遠心力を付け、かつ自転により研磨
材5と容器内面の接触面で研磨するものであるが、この
方式の場合は自転式のような問題はないが、容器1の研
磨装置への取り付け取外しの作業性が著しく悪く、作業
に時間がかかるのに加え、研磨装置に遠心力に耐えるだ
けの堅固な構造が要求されるという問題がある。図6,
7で6は研磨補助液で、研磨に際して研磨材5とともに
容器内に装入される。
て、従来から知られているのは図6に示す自転式と図7
に示す自転公転式である。自転式は容器1の中心軸線を
回転軸線として容器を回転させ、容器内に装入した研磨
材5と容器内面の接触面で研磨するものであるが、この
方式の場合は所要の面粗度を得るためには研磨力が弱
く、そのため研磨に長時間を要するという問題がある。
また自転公転式は複数本取り付けた容器1を公転と自転
をさせ、研磨材5に遠心力を付け、かつ自転により研磨
材5と容器内面の接触面で研磨するものであるが、この
方式の場合は自転式のような問題はないが、容器1の研
磨装置への取り付け取外しの作業性が著しく悪く、作業
に時間がかかるのに加え、研磨装置に遠心力に耐えるだ
けの堅固な構造が要求されるという問題がある。図6,
7で6は研磨補助液で、研磨に際して研磨材5とともに
容器内に装入される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そこでこの発明は、前
記のような従来の問題点を解決し、研磨力を増強するこ
とができ、かつ研磨の作業性もよい高圧ガス容器の内面
研磨方法及び装置を提供することを目的とする。
記のような従来の問題点を解決し、研磨力を増強するこ
とができ、かつ研磨の作業性もよい高圧ガス容器の内面
研磨方法及び装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、空の高圧ガス容器の中に研磨材
と研磨補助液を装入した後、該容器の中心軸線より所定
距離偏心した偏心軸線を回転軸線として容器を偏心回転
させ、容器内での研磨材の動きが一部、容器の回転方向
とは逆方向に加速的な動きとなるようにすることを特徴
とする。
め、請求項1の発明は、空の高圧ガス容器の中に研磨材
と研磨補助液を装入した後、該容器の中心軸線より所定
距離偏心した偏心軸線を回転軸線として容器を偏心回転
させ、容器内での研磨材の動きが一部、容器の回転方向
とは逆方向に加速的な動きとなるようにすることを特徴
とする。
【0007】請求項2の発明は、容器回転用の駆動モー
タを具え、このモータの回転軸に研磨する容器をその中
心軸線が該回転軸の中心軸線と偏心した位置となるよう
に着脱可能に収納する前端開口の収納筒体をほぼ水平に
取り付け、この収納筒体の前端開口部に収納した容器を
チャッキングするチャッキング部材を設けている。
タを具え、このモータの回転軸に研磨する容器をその中
心軸線が該回転軸の中心軸線と偏心した位置となるよう
に着脱可能に収納する前端開口の収納筒体をほぼ水平に
取り付け、この収納筒体の前端開口部に収納した容器を
チャッキングするチャッキング部材を設けている。
【0008】
【発明の実施の形態】図1(A)はこの発明の一実施形態
の容器偏心回転方式を示す概略図であり、同(B)は該容
器内の研磨材等の動きを示す概略図である。この発明に
よる研磨方法はタンブリング研磨であり、粗研磨工程と
仕上げ工程の2工程からなっている。このタンプリング
研磨について具体的に説明すると、まず所定の粗仕上げ
用研磨材7と研磨補助液8を適量混合して空の容器1内
にその口部から装入する。粗仕上げ用研磨材7は溶融酸
化アルミニウム品、アルミナ焼結品等の材質からなり、
形も三角形、四角形、菱形、粒状等、種々のものからな
っている。
の容器偏心回転方式を示す概略図であり、同(B)は該容
器内の研磨材等の動きを示す概略図である。この発明に
よる研磨方法はタンブリング研磨であり、粗研磨工程と
仕上げ工程の2工程からなっている。このタンプリング
研磨について具体的に説明すると、まず所定の粗仕上げ
用研磨材7と研磨補助液8を適量混合して空の容器1内
にその口部から装入する。粗仕上げ用研磨材7は溶融酸
化アルミニウム品、アルミナ焼結品等の材質からなり、
形も三角形、四角形、菱形、粒状等、種々のものからな
っている。
【0009】前記のように研磨材7と研磨補助液8を装
入した後、容器1を横にして該容器の中心軸線Xより所
定距離偏心した偏心軸線Yを回転軸線として容器1を偏
心回転させる。この偏心距離(偏心量)Lは容器1の中
心軸線Xからの距離として求められる図1(A)に示す通
りであって、容器1の半径よりは小さくなっている。こ
の図1(A)における各回転位置の状態が図2(A)〜(D)
に示されている。これらの図、就中図2(C)及び図1
(B)からわかるように、前記の偏心回転により、容器1
内での研磨材7の動きが、従来の落下ベクトルB1のほ
かに容器1の偏心回転により加わる容器速度ベクトルB
2と逆向き速度ベクトルB3の影響を受けて、一部、容器
1の回転方向とは逆方向に加速的な動きとなる(矢印9
参照)。これにより研磨材7の動きの方向性が活発にな
り、特に研磨材7のコーナ部の容器1の内面に対する接
触機会が多くなり、容器1の内面に対する摩擦研磨力が
増長する。この研磨力の増長は容器1の胴部はもとよ
り、側面側となる頭部3や底部4の内面においても効果
が大きく、胴部と同じ粗度効果が得られる。しかも、研
磨面積の拡大ももたらされる。
入した後、容器1を横にして該容器の中心軸線Xより所
定距離偏心した偏心軸線Yを回転軸線として容器1を偏
心回転させる。この偏心距離(偏心量)Lは容器1の中
心軸線Xからの距離として求められる図1(A)に示す通
りであって、容器1の半径よりは小さくなっている。こ
の図1(A)における各回転位置の状態が図2(A)〜(D)
に示されている。これらの図、就中図2(C)及び図1
(B)からわかるように、前記の偏心回転により、容器1
内での研磨材7の動きが、従来の落下ベクトルB1のほ
かに容器1の偏心回転により加わる容器速度ベクトルB
2と逆向き速度ベクトルB3の影響を受けて、一部、容器
1の回転方向とは逆方向に加速的な動きとなる(矢印9
参照)。これにより研磨材7の動きの方向性が活発にな
り、特に研磨材7のコーナ部の容器1の内面に対する接
触機会が多くなり、容器1の内面に対する摩擦研磨力が
増長する。この研磨力の増長は容器1の胴部はもとよ
り、側面側となる頭部3や底部4の内面においても効果
が大きく、胴部と同じ粗度効果が得られる。しかも、研
磨面積の拡大ももたらされる。
【0010】粗仕上げ研磨が終了したら、容器1内から
内容物を排出し、次の仕上げ用の研磨材と研磨補助材を
装入し(ともに図示せず)、同様に研磨する。そして研
磨後は内容物を排出し、容器内面の洗浄、及び乾燥工程
を経て製品となる。
内容物を排出し、次の仕上げ用の研磨材と研磨補助材を
装入し(ともに図示せず)、同様に研磨する。そして研
磨後は内容物を排出し、容器内面の洗浄、及び乾燥工程
を経て製品となる。
【0011】図3は前記容器偏心回転方式の研磨を実現
する研磨装置の縦断正面図、図4はその一部省略した平
面図である。この研磨装置には基台10の上に容器回転用
の駆動モータ11が複数並列して設置されている。各モー
タ11の前方には中空箱型の支持部材13が設置され、該支
持部材内には前端開口の収納筒体15が前端側をベアリン
グ14で支持され、かつ後端取付部16をモータ11の回転軸
17とカップリング18を介して連結されて水平向きに回転
可能に収容されている。収納筒体15の中心軸線が(これ
は容器1の中心軸線Xでもある)モータ11の回転軸17の
中心軸線(これは前記偏心軸線Yでもある)と偏心した
位置となるように収納筒体15はその構造が形成されてい
る。収納筒体15の前端開口部にはチャッキング部材20が
設けられていて、収納筒体15に着脱可能に収納される容
器1をチャッキング可能なようになっている。図4で22
はセンターガイド用安全柵である。
する研磨装置の縦断正面図、図4はその一部省略した平
面図である。この研磨装置には基台10の上に容器回転用
の駆動モータ11が複数並列して設置されている。各モー
タ11の前方には中空箱型の支持部材13が設置され、該支
持部材内には前端開口の収納筒体15が前端側をベアリン
グ14で支持され、かつ後端取付部16をモータ11の回転軸
17とカップリング18を介して連結されて水平向きに回転
可能に収容されている。収納筒体15の中心軸線が(これ
は容器1の中心軸線Xでもある)モータ11の回転軸17の
中心軸線(これは前記偏心軸線Yでもある)と偏心した
位置となるように収納筒体15はその構造が形成されてい
る。収納筒体15の前端開口部にはチャッキング部材20が
設けられていて、収納筒体15に着脱可能に収納される容
器1をチャッキング可能なようになっている。図4で22
はセンターガイド用安全柵である。
【0012】前記のような研磨装置においては容器1は
その後端部側から収納筒体15内に装入され、装入された
後にチャッキング部材20によりそのほぼ中間胴部がチャ
ッキングされる。これにより容器1は前記のように偏心
した位置でしっかりと保持されることとなるので、その
後のモータ11の駆動により偏心回転が可能となる。すな
わち、この偏心回転により、前記のように容器1内での
研磨材7の動きが一部、容器1の回転方向とは逆方向に
加速的な動きとなり、摩擦研磨力が増長するとともに、
研磨面積の拡大ももたらされることとなる。この研磨装
置の場合には前記のように研磨すべき容器1をその後端
側から収納筒体15内に装入してチャッキング部材20によ
りチャッキングするだけで研磨可能な状態にできるの
で、従来の自転公転式のように容器の取り付けに時間が
かかることがない。自転式並みの取り付け作業時間で摩
擦研磨力の増長と研磨面積の拡大を図ることが十分可能
である。
その後端部側から収納筒体15内に装入され、装入された
後にチャッキング部材20によりそのほぼ中間胴部がチャ
ッキングされる。これにより容器1は前記のように偏心
した位置でしっかりと保持されることとなるので、その
後のモータ11の駆動により偏心回転が可能となる。すな
わち、この偏心回転により、前記のように容器1内での
研磨材7の動きが一部、容器1の回転方向とは逆方向に
加速的な動きとなり、摩擦研磨力が増長するとともに、
研磨面積の拡大ももたらされることとなる。この研磨装
置の場合には前記のように研磨すべき容器1をその後端
側から収納筒体15内に装入してチャッキング部材20によ
りチャッキングするだけで研磨可能な状態にできるの
で、従来の自転公転式のように容器の取り付けに時間が
かかることがない。自転式並みの取り付け作業時間で摩
擦研磨力の増長と研磨面積の拡大を図ることが十分可能
である。
【0013】この実施の形態で示した研磨装置は好まし
い一例を示したにすぎず、同様な作用効果が期待できる
ものであれば、ほかの構造のものを用いてもよい。ま
た、実施の形態では研磨装置を複数示したが、これは1
個でもよく、あるいは複数でも数十台程度を並列して設
置してもよい。この発明の実施の形態として最も望まし
いのは研磨装置を数十台並列して設置し、該装置に対す
る容器の取り付けから回転をすべて自動制御により行う
ことである。
い一例を示したにすぎず、同様な作用効果が期待できる
ものであれば、ほかの構造のものを用いてもよい。ま
た、実施の形態では研磨装置を複数示したが、これは1
個でもよく、あるいは複数でも数十台程度を並列して設
置してもよい。この発明の実施の形態として最も望まし
いのは研磨装置を数十台並列して設置し、該装置に対す
る容器の取り付けから回転をすべて自動制御により行う
ことである。
【0014】
【発明の効果】この発明は前記のようであって、空の高
圧ガス容器の中に研磨材と研磨補助液を装入して栓をし
た後、該容器の中心軸線より所定距離偏心した偏心軸線
を回転軸線として容器を偏心回転させ、容器内での研磨
材の動きが一部、容器の回転方向とは逆方向に加速的な
動きとなるようにするので、従来の自転式よりも研磨力
を増強することができ、かつ作業性もよい。またこの発
明の研磨装置によれば容器の保持がチャッキング部材に
よりワンタッチで行うことができ、容器の取り付けがき
わめて容易であるとともに、研磨装置を多数並列して設
置しそれらを自動制御して運転することも可能であると
いう優れた効果がある。
圧ガス容器の中に研磨材と研磨補助液を装入して栓をし
た後、該容器の中心軸線より所定距離偏心した偏心軸線
を回転軸線として容器を偏心回転させ、容器内での研磨
材の動きが一部、容器の回転方向とは逆方向に加速的な
動きとなるようにするので、従来の自転式よりも研磨力
を増強することができ、かつ作業性もよい。またこの発
明の研磨装置によれば容器の保持がチャッキング部材に
よりワンタッチで行うことができ、容器の取り付けがき
わめて容易であるとともに、研磨装置を多数並列して設
置しそれらを自動制御して運転することも可能であると
いう優れた効果がある。
【図1】(A)はこの発明の一実施形態の容器偏心回転方
式を示す概略図であり、同(B)は該容器内の研磨材の動
き等を示す概略図である。
式を示す概略図であり、同(B)は該容器内の研磨材の動
き等を示す概略図である。
【図2】(A)〜(D)は図1(A)における容器の各回転位
置A,B,C,Dの状態を示す概略図である。
置A,B,C,Dの状態を示す概略図である。
【図3】容器偏心回転方式の研磨を実現する研磨装置の
縦断正面図である。
縦断正面図である。
【図4】同上の一部省略した平面図である。
【図5】従来から一般的な高圧ガス容器の一部省略した
縦断正面図である。
縦断正面図である。
【図6】従来の自転式の研磨方式を示す概略図である。
【図7】従来の自転公転式の研磨方式を示す概略図であ
る。
る。
1 容器 2 キャップ 7 粗仕上げ用研磨材 8 研磨補助液 10 基台 11 駆動モータ 14 ベアリング 13 支持部材 15 収納筒体 16 後端取付部 17 回転軸 18 カップリング 20 チャッキング部材 X 容器の中心軸線 Y 偏心軸線 L 偏心距離(偏心量)
Claims (2)
- 【請求項1】 空の高圧ガス容器の中に研磨材と研磨補
助液を装入した後、該容器の中心軸線より所定距離偏心
した偏心軸線を回転軸線として容器を偏心回転させ、容
器内での研磨材の動きが一部、容器の回転方向とは逆方
向に加速的な動きとなるようにすることを特徴とする高
圧ガス容器の内面研磨方法。 - 【請求項2】 容器回転用の駆動モータを具え、このモ
ータの回転軸に研磨する容器をその中心軸線が該回転軸
の中心軸線と偏心した位置となるように着脱可能に収納
する前端開口の収納筒体をほぼ水平に取り付け、この収
納筒体の前端開口部に収納した容器をチャッキングする
チャッキング部材を設けたことを特徴とする高圧ガス容
器の内面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14315996A JPH09323253A (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 高圧ガス容器の内面研磨方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14315996A JPH09323253A (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 高圧ガス容器の内面研磨方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09323253A true JPH09323253A (ja) | 1997-12-16 |
Family
ID=15332299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14315996A Withdrawn JPH09323253A (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 高圧ガス容器の内面研磨方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09323253A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004270917A (ja) * | 2002-08-05 | 2004-09-30 | Mitsui Chemicals Inc | ハロゲン系ガス充填容器およびこれに充填されたガス並びに充填容器の処理方法 |
| JP2009233781A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Technical Research & Development Institute Ministry Of Defence | 金属製ガス容器内壁サビ取り用球体の取出し工具及び方法 |
| CN113146380A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-07-23 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 | 一种不锈钢罐内壁研磨装置 |
-
1996
- 1996-06-05 JP JP14315996A patent/JPH09323253A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004270917A (ja) * | 2002-08-05 | 2004-09-30 | Mitsui Chemicals Inc | ハロゲン系ガス充填容器およびこれに充填されたガス並びに充填容器の処理方法 |
| JP2009233781A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Technical Research & Development Institute Ministry Of Defence | 金属製ガス容器内壁サビ取り用球体の取出し工具及び方法 |
| CN113146380A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-07-23 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 | 一种不锈钢罐内壁研磨装置 |
| CN113146380B (zh) * | 2021-04-19 | 2023-09-01 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 | 一种不锈钢罐内壁研磨装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |