JPH09323318A - ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置 - Google Patents
ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置Info
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- JPH09323318A JPH09323318A JP14565396A JP14565396A JPH09323318A JP H09323318 A JPH09323318 A JP H09323318A JP 14565396 A JP14565396 A JP 14565396A JP 14565396 A JP14565396 A JP 14565396A JP H09323318 A JPH09323318 A JP H09323318A
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】実機と略同じ条件で溝形状を測定することによ
り、正確な溝の磨耗量を得る。 【解決手段】溝形状測定装置１０の先端子２６を、ワイ
ヤの直径と等しい球体又は円柱体に形成する。そして、
この先端子２６を溝付ローラ３２の溝３３に押し付ける
と共に、駆動部１８によって溝付ローラ３２の軸線方向
に走行させて溝形状を測定する。先端子２６の押付力
は、溝付ローラ３２の溝に対するワイヤの押付力と略同
一に設定する。
り、正確な溝の磨耗量を得る。 【解決手段】溝形状測定装置１０の先端子２６を、ワイ
ヤの直径と等しい球体又は円柱体に形成する。そして、
この先端子２６を溝付ローラ３２の溝３３に押し付ける
と共に、駆動部１８によって溝付ローラ３２の軸線方向
に走行させて溝形状を測定する。先端子２６の押付力
は、溝付ローラ３２の溝に対するワイヤの押付力と略同
一に設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円柱状の半導体イ
ンゴット、セラミック、ガラス等の被加工物を走行する
ワイヤで薄板状のウェーハに切断するワイヤソー用溝付
ローラの溝形状測定方法及び装置に関する。
ンゴット、セラミック、ガラス等の被加工物を走行する
ワイヤで薄板状のウェーハに切断するワイヤソー用溝付
ローラの溝形状測定方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ロー
ラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリ
ールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工
液を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥
粒のラッピング作用によって前記被加工物を多数のウェ
ーハに切断する。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ロー
ラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリ
ールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工
液を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥
粒のラッピング作用によって前記被加工物を多数のウェ
ーハに切断する。
【０００３】ところで、溝付ローラの溝が磨耗していく
と、切断されるウェーハの精度に悪影響を与える。即
ち、前記溝の傾斜面が磨耗した場合には、ワイヤが溝付
ローラの軸線方向に移動して、結果的にウェーハの厚さ
が不均一となる。また、溝が径方向に磨耗して隣接する
溝との溝径が大きく変化するとワイヤが蛇行してしま
い、結果的にウェーハの平坦度が悪化するという現象が
生じる。
と、切断されるウェーハの精度に悪影響を与える。即
ち、前記溝の傾斜面が磨耗した場合には、ワイヤが溝付
ローラの軸線方向に移動して、結果的にウェーハの厚さ
が不均一となる。また、溝が径方向に磨耗して隣接する
溝との溝径が大きく変化するとワイヤが蛇行してしま
い、結果的にウェーハの平坦度が悪化するという現象が
生じる。
【０００４】そこで、従来から形状測定機を用いて溝付
ローラの溝形状を測定し、その結果が許容値を外れた時
に溝付ローラの寿命と判断して溝付ローラを新品のもの
と交換するようにしている。図５は、溝付ローラ１の測
定状態を示す要部断面図である。同図によれば、形状測
定機の触針先端子２は先鋭状に形成され、これを溝付ロ
ーラ１の溝３に当接させると共に、溝付ローラの軸線方
向（図中矢印で示す方向）に走行させて溝３の形状を測
定する。図６は、その測定結果を示す出力データであ
り、このデータに基づいて隣接する溝３、３…同士のピ
ッチ（Ｐ）、及び溝径のバラツキ（α）を算出し溝３、
３…の磨耗量を計測している。
ローラの溝形状を測定し、その結果が許容値を外れた時
に溝付ローラの寿命と判断して溝付ローラを新品のもの
と交換するようにしている。図５は、溝付ローラ１の測
定状態を示す要部断面図である。同図によれば、形状測
定機の触針先端子２は先鋭状に形成され、これを溝付ロ
ーラ１の溝３に当接させると共に、溝付ローラの軸線方
向（図中矢印で示す方向）に走行させて溝３の形状を測
定する。図６は、その測定結果を示す出力データであ
り、このデータに基づいて隣接する溝３、３…同士のピ
ッチ（Ｐ）、及び溝径のバラツキ（α）を算出し溝３、
３…の磨耗量を計測している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
形状測定装置は、ワイヤが巻き掛けられていない状態で
の溝自体の形状を測定するものなので、負荷がかかった
状態の溝形状を測定することができない。従って、従来
装置では、ワイヤが巻き掛かった状態での溝３の磨耗量
（変化量）を正確に計測できないという欠点がある。
形状測定装置は、ワイヤが巻き掛けられていない状態で
の溝自体の形状を測定するものなので、負荷がかかった
状態の溝形状を測定することができない。従って、従来
装置では、ワイヤが巻き掛かった状態での溝３の磨耗量
（変化量）を正確に計測できないという欠点がある。
【０００６】例えば、図６に示すように、溝３の両壁３
Ａ、３Ｂの傾斜角度θ１、θ２に差があると、実際には
この溝３に巻き掛けられるワイヤの位置が図６上で左右
方向にずれているにもかかわらず、先端子２は溝３の深
部を測定し、この深部でＰを算出するので測定誤差が出
る。このような不具合は、溝３にワイヤが巻き掛けられ
た実機上で測定すれば解消できるが、実機上では形状測
定機を配置するスペースがなく、そのスペースを確保し
ようとするとワイヤソー全体が大型になるという欠点が
生じる。
Ａ、３Ｂの傾斜角度θ１、θ２に差があると、実際には
この溝３に巻き掛けられるワイヤの位置が図６上で左右
方向にずれているにもかかわらず、先端子２は溝３の深
部を測定し、この深部でＰを算出するので測定誤差が出
る。このような不具合は、溝３にワイヤが巻き掛けられ
た実機上で測定すれば解消できるが、実機上では形状測
定機を配置するスペースがなく、そのスペースを確保し
ようとするとワイヤソー全体が大型になるという欠点が
生じる。
【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、実機と略同じ条件で溝形状を測定することがで
きるワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置
を提供することを目的とする。
もので、実機と略同じ条件で溝形状を測定することがで
きるワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、一方のワイヤリールから繰り出されたワイ
ヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形
成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイ
ヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て
ることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断す
るワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法に於いて、
形状測定装置の触針先端子を前記ワイヤの直径と等しい
球体又は円柱体に形成し、該球体又は円柱体を前記溝付
ローラの溝に押し付けると共に溝付ローラの軸線方向に
走行させて溝付ローラの溝形状を測定することを特徴と
している。
するために、一方のワイヤリールから繰り出されたワイ
ヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形
成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイ
ヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て
ることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断す
るワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法に於いて、
形状測定装置の触針先端子を前記ワイヤの直径と等しい
球体又は円柱体に形成し、該球体又は円柱体を前記溝付
ローラの溝に押し付けると共に溝付ローラの軸線方向に
走行させて溝付ローラの溝形状を測定することを特徴と
している。
【０００９】本発明によれば、溝形状測定装置の触針先
端子を、ワイヤの直径と等しい球体又は円柱体に形成
し、この触針先端子を押圧手段によって溝付ローラの溝
に押し付けたのち、駆動手段によって溝付ローラの軸線
方向に走行させて溝形状を測定する。このように本発明
は、触針先端子の形状をワイヤの直径と等しい球体又は
円柱体としたので、先鋭状の触針先端子で測定する従来
の測定方法と比較して、実機と略同じ条件で溝形状を測
定できる。従って、本発明によれば、溝付ローラの溝の
磨耗量を正確に計測できる。
端子を、ワイヤの直径と等しい球体又は円柱体に形成
し、この触針先端子を押圧手段によって溝付ローラの溝
に押し付けたのち、駆動手段によって溝付ローラの軸線
方向に走行させて溝形状を測定する。このように本発明
は、触針先端子の形状をワイヤの直径と等しい球体又は
円柱体としたので、先鋭状の触針先端子で測定する従来
の測定方法と比較して、実機と略同じ条件で溝形状を測
定できる。従って、本発明によれば、溝付ローラの溝の
磨耗量を正確に計測できる。
【００１０】また、本発明は、押圧手段による触針先端
子の押付力を、溝付ローラの溝に対するワイヤの押付力
と略同一に設定したので、更に実機に近い状態で溝形状
を測定できる。
子の押付力を、溝付ローラの溝に対するワイヤの押付力
と略同一に設定したので、更に実機に近い状態で溝形状
を測定できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置の
好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明
の実施の形態に係る溝形状測定装置によって、溝付ロー
ラの溝形状が測定されている状態を示す正面図である。
るワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置の
好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明
の実施の形態に係る溝形状測定装置によって、溝付ロー
ラの溝形状が測定されている状態を示す正面図である。
【００１２】同図に示す溝形状測定装置１０は台車１２
上に設置されており、使用途中の溝付ローラを測定する
際にはワイヤソーの近傍に移動され、新品の溝付ローラ
を測定する際には搬入倉庫等に移動されて、その場所で
測定を行うことが可能となっている。前記溝形状測定装
置１０は、台車１２上に固定される測定台ベース１４を
有し、この測定台ベース１４上にコラム１６が鉛直方向
に立設されている。コラム１６には、駆動部１８が図示
しない直動ベアリングを介して昇降移動可能に設けら
れ、この駆動部１８を昇降移動させる電動モータ２０が
コラム１６の上部に設置されている。前記駆動部１８の
下部には、検出器２２が取り付けられる。駆動部１８
は、検出器２２を水平方向に往復移動させるもので、そ
の移動速度は、台車１２内のコントローラ１９によって
制御されている。検出器２２の側部には、逆Ｌ字状の触
針２４が延設され、触針２４は基部を支点に上下に揺動
自在に設けられる。この触針２４の移動が検出器２２で
検出されると、検出器２２は触針２４の移動量に基づい
た電気信号をコントーラ１９に出力する。そして、コン
トローラ１９は前記電気信号に基づいて測定データを作
成し、これを図示しないディスプレイ、又はプリンタに
出力して表示させる。また、前記検出器２２は、先端子
２６の測定圧（押圧力）を設定することもできる。符号
２８は傾斜装置であり、傾斜装置２８のハンドル３０を
操作すれば、検出器２２と駆動部１８とが所定の傾きに
設定される。
上に設置されており、使用途中の溝付ローラを測定する
際にはワイヤソーの近傍に移動され、新品の溝付ローラ
を測定する際には搬入倉庫等に移動されて、その場所で
測定を行うことが可能となっている。前記溝形状測定装
置１０は、台車１２上に固定される測定台ベース１４を
有し、この測定台ベース１４上にコラム１６が鉛直方向
に立設されている。コラム１６には、駆動部１８が図示
しない直動ベアリングを介して昇降移動可能に設けら
れ、この駆動部１８を昇降移動させる電動モータ２０が
コラム１６の上部に設置されている。前記駆動部１８の
下部には、検出器２２が取り付けられる。駆動部１８
は、検出器２２を水平方向に往復移動させるもので、そ
の移動速度は、台車１２内のコントローラ１９によって
制御されている。検出器２２の側部には、逆Ｌ字状の触
針２４が延設され、触針２４は基部を支点に上下に揺動
自在に設けられる。この触針２４の移動が検出器２２で
検出されると、検出器２２は触針２４の移動量に基づい
た電気信号をコントーラ１９に出力する。そして、コン
トローラ１９は前記電気信号に基づいて測定データを作
成し、これを図示しないディスプレイ、又はプリンタに
出力して表示させる。また、前記検出器２２は、先端子
２６の測定圧（押圧力）を設定することもできる。符号
２８は傾斜装置であり、傾斜装置２８のハンドル３０を
操作すれば、検出器２２と駆動部１８とが所定の傾きに
設定される。
【００１３】前記触針２４の先端部には図１、図２に示
す球状の先端子２６が固着されている。前記先端子２６
は、実機のワイヤソーで使用されるワイヤの直径と等し
く形成されている。ところで、測定対象の溝付ローラ３
２は、前記台車１２上に設置されたＸ−Ｙテーブル３４
上に支持される。Ｘ−Ｙテーブル３４は、Ｘ方向に配設
された一対のガイドレール３６、３６とＹ方向に配設さ
れた一対のガイドレール３８（一方側は図示せず）を有
している。前記ガイドレール３６、３６は台車１２上に
平行に固定され、これに前記ガイドレール３８が形成さ
れたテーブル４０がＸ方向に移動自在に載置されてい
る。前記ガイドレール３８には、支持台４２がＹ方向に
移動自在に載置される。前記溝付ローラ３２は、前記支
持台４２の両側に立設された支持アーム４４、４４上に
その軸受部３２Ａ、３２Ａが載置されて支持されてい
る。
す球状の先端子２６が固着されている。前記先端子２６
は、実機のワイヤソーで使用されるワイヤの直径と等し
く形成されている。ところで、測定対象の溝付ローラ３
２は、前記台車１２上に設置されたＸ−Ｙテーブル３４
上に支持される。Ｘ−Ｙテーブル３４は、Ｘ方向に配設
された一対のガイドレール３６、３６とＹ方向に配設さ
れた一対のガイドレール３８（一方側は図示せず）を有
している。前記ガイドレール３６、３６は台車１２上に
平行に固定され、これに前記ガイドレール３８が形成さ
れたテーブル４０がＸ方向に移動自在に載置されてい
る。前記ガイドレール３８には、支持台４２がＹ方向に
移動自在に載置される。前記溝付ローラ３２は、前記支
持台４２の両側に立設された支持アーム４４、４４上に
その軸受部３２Ａ、３２Ａが載置されて支持されてい
る。
【００１４】次に、前記の如く構成された溝形状測定装
置１０による測定方法について説明する。先ず、Ｘ−Ｙ
テーブル３４を駆動して支持台４２を溝形状測定装置１
０から離れた位置に移動させ、この位置で溝付ローラ３
２を支持台４２上に支持させる。そして、Ｘ−Ｙテーブ
ル３４を駆動して前記溝付ローラ３２を溝形状測定装置
１０に近づけると共に、支持台４２をＹ方向に移動させ
て、所望の測定部分を前記触針２４の下方に位置させ
る。
置１０による測定方法について説明する。先ず、Ｘ−Ｙ
テーブル３４を駆動して支持台４２を溝形状測定装置１
０から離れた位置に移動させ、この位置で溝付ローラ３
２を支持台４２上に支持させる。そして、Ｘ−Ｙテーブ
ル３４を駆動して前記溝付ローラ３２を溝形状測定装置
１０に近づけると共に、支持台４２をＹ方向に移動させ
て、所望の測定部分を前記触針２４の下方に位置させ
る。
【００１５】次に、溝形状測定装置１０の駆動部１８を
コラム１６に沿って下降移動させて先端子２６の高さを
溝付ローラ３２の位置に合わせる。そして、駆動部１８
を駆動して検出器２２を測定開始位置に移動させたの
ち、触針２４を下降移動させて溝付ローラ３２の溝３３
に当接させると共に先端子２６による測定圧Ｆを設定す
る。この測定圧Ｆは、溝付ローラ３２の溝３３に対する
ワイヤの押付力、即ち実機の押付力と同一に設定する。
以上で測定準備が完了する。
コラム１６に沿って下降移動させて先端子２６の高さを
溝付ローラ３２の位置に合わせる。そして、駆動部１８
を駆動して検出器２２を測定開始位置に移動させたの
ち、触針２４を下降移動させて溝付ローラ３２の溝３３
に当接させると共に先端子２６による測定圧Ｆを設定す
る。この測定圧Ｆは、溝付ローラ３２の溝３３に対する
ワイヤの押付力、即ち実機の押付力と同一に設定する。
以上で測定準備が完了する。
【００１６】次いで、検出器２２を水平方向に移動させ
て溝３３の形状測定を開始する。図２は、溝付ローラ３
２の測定状態を示す要部断面図である。同図に示すよう
に、溝形状測定装置１０の先端子２６を溝付ローラ３２
の軸線方向（図中矢印で示す方向）に走行させて溝３３
の形状を測定する。図３は、その測定結果を示す出力デ
ータであり、このデータに基づいて隣接する溝３３、３
３…同士のピッチ（Ｐ）、及び溝径のバラツキ（α）を
算出し溝３３、３３…の磨耗量を計測する。
て溝３３の形状測定を開始する。図２は、溝付ローラ３
２の測定状態を示す要部断面図である。同図に示すよう
に、溝形状測定装置１０の先端子２６を溝付ローラ３２
の軸線方向（図中矢印で示す方向）に走行させて溝３３
の形状を測定する。図３は、その測定結果を示す出力デ
ータであり、このデータに基づいて隣接する溝３３、３
３…同士のピッチ（Ｐ）、及び溝径のバラツキ（α）を
算出し溝３３、３３…の磨耗量を計測する。
【００１７】前記測定結果において、本実施の形態で
は、前記先端子２６をワイヤの直径と等しく形成してい
るので、溝３３の両壁３３Ａ、３３Ｂの傾斜角度θ１、
θ２に差があっても、この溝３３に巻き掛けられるワイ
ヤの位置を先端子２６の位置で測定できる。従って、本
実施の形態によれば、先鋭状の触針先端子で測定する従
来の測定方法と比較して、実機と略同じ条件で前記ピッ
チＰと溝径のバラツキαを測定できるので、溝付ローラ
３２の溝３３の磨耗量を正確に計測できる。
は、前記先端子２６をワイヤの直径と等しく形成してい
るので、溝３３の両壁３３Ａ、３３Ｂの傾斜角度θ１、
θ２に差があっても、この溝３３に巻き掛けられるワイ
ヤの位置を先端子２６の位置で測定できる。従って、本
実施の形態によれば、先鋭状の触針先端子で測定する従
来の測定方法と比較して、実機と略同じ条件で前記ピッ
チＰと溝径のバラツキαを測定できるので、溝付ローラ
３２の溝３３の磨耗量を正確に計測できる。
【００１８】また、本実施の形態では、先端子２６の測
定力を、溝付ローラ３２の溝３３に対するワイヤの押付
力と略同一に設定している。従って、溝付ローラ３２が
ワイヤの押付力で弾性変形する弾性体の場合に特に有効
であり、この場合には更に実機に近い状態で溝形状を測
定できる。尚、前記先端子２６は球体なので溝３３の深
部には到達せず、溝３３の実際の形状を測定することは
できないが、必要な情報はピッチＰと溝径のバラツキα
なので、磨耗量を計測するにあたり支障は全くない。
定力を、溝付ローラ３２の溝３３に対するワイヤの押付
力と略同一に設定している。従って、溝付ローラ３２が
ワイヤの押付力で弾性変形する弾性体の場合に特に有効
であり、この場合には更に実機に近い状態で溝形状を測
定できる。尚、前記先端子２６は球体なので溝３３の深
部には到達せず、溝３３の実際の形状を測定することは
できないが、必要な情報はピッチＰと溝径のバラツキα
なので、磨耗量を計測するにあたり支障は全くない。
【００１９】一方、本溝形状測定装置１０を使用するこ
とで、溝付ローラ３２の寿命及び保守点検（再生加工）
の時期を判断することもできる。その判断方法は、先
ず、新品の溝付ローラ３２の溝形状を測定し、前記ピッ
チＰ1 と溝径のバラツキα1 の初期データを保存する。
次に、この溝付ローラ３２を実機に搭載し、被加工物を
ｎ本（例えば１０本）切断した後のＰ2 、α2 の中間デ
ータを保存する。そして、初期データＰ1 、α1 から中
間データＰ2 、α2を減算し、ｎ本目における変化量
（磨耗量）を求める。この変化量に基づいて、被加工物
１本当たりの変化量を求め、何本目に保守点検が必要と
なるか、及び何本目に寿命となるかを予測する。即ち、
保守点検時期の規定値、及び寿命の規定値を予め設定し
ておき、これらの規定値を超えると予測される本数目の
被加工物を切断終了した時に、保守点検を行い又は新品
のものと交換する。
とで、溝付ローラ３２の寿命及び保守点検（再生加工）
の時期を判断することもできる。その判断方法は、先
ず、新品の溝付ローラ３２の溝形状を測定し、前記ピッ
チＰ1 と溝径のバラツキα1 の初期データを保存する。
次に、この溝付ローラ３２を実機に搭載し、被加工物を
ｎ本（例えば１０本）切断した後のＰ2 、α2 の中間デ
ータを保存する。そして、初期データＰ1 、α1 から中
間データＰ2 、α2を減算し、ｎ本目における変化量
（磨耗量）を求める。この変化量に基づいて、被加工物
１本当たりの変化量を求め、何本目に保守点検が必要と
なるか、及び何本目に寿命となるかを予測する。即ち、
保守点検時期の規定値、及び寿命の規定値を予め設定し
ておき、これらの規定値を超えると予測される本数目の
被加工物を切断終了した時に、保守点検を行い又は新品
のものと交換する。
【００２０】これにより、溝付ローラ３２の寿命及び保
守点検の時期を効率良く判断することができる。尚、前
記中間データは１回に限らず、ｎ本毎に複数回取得する
ようにすれば、切断本数に対する溝の形状変化の統計値
を得ることができる。従って、この統計値から変化量の
異常の有無を判定できるので、例えば、変化量が異常の
場合には、ワイヤソーに異常が生じたと判断しワイヤソ
ーの異常診断を行う。これにより、ワイヤソーの故障及
び切断ウェーハの精度低下を未然に防止することができ
る。
守点検の時期を効率良く判断することができる。尚、前
記中間データは１回に限らず、ｎ本毎に複数回取得する
ようにすれば、切断本数に対する溝の形状変化の統計値
を得ることができる。従って、この統計値から変化量の
異常の有無を判定できるので、例えば、変化量が異常の
場合には、ワイヤソーに異常が生じたと判断しワイヤソ
ーの異常診断を行う。これにより、ワイヤソーの故障及
び切断ウェーハの精度低下を未然に防止することができ
る。
【００２１】また、本実施の形態では先端子２６を球体
としたが、これに限られるものではなく、図４に示すよ
うに先端子４６をワイヤの直径と等しい円柱体に形成し
ても良い。
としたが、これに限られるものではなく、図４に示すよ
うに先端子４６をワイヤの直径と等しい円柱体に形成し
ても良い。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置によれば、
ワイヤの直径と等しい球体又は円柱体に触針先端子を形
成したので、実機と略同じ条件で溝形状を測定すること
ができる。従って、本発明は、溝付ローラの溝の磨耗量
を正確に計測することができる。
ソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置によれば、
ワイヤの直径と等しい球体又は円柱体に触針先端子を形
成したので、実機と略同じ条件で溝形状を測定すること
ができる。従って、本発明は、溝付ローラの溝の磨耗量
を正確に計測することができる。
【００２３】また、本発明によれば、触針先端子の押付
力を、溝付ローラの溝に対するワイヤの押付力と略同一
に設定したので、更に実機に近い状態で溝形状を測定す
ることができる。
力を、溝付ローラの溝に対するワイヤの押付力と略同一
に設定したので、更に実機に近い状態で溝形状を測定す
ることができる。
【図１】本発明の溝形状測定装置による溝付ローラの溝
形状測定状態を示す正面図
形状測定状態を示す正面図
【図２】溝形状測定状態を示す要部拡大断面図
【図３】溝形状測定結果の出力データを示す説明図
【図４】触針先端子の第２の実施の形態を示す斜視図
【図５】従来の溝形状測定状態を示す要部拡大断面図
【図６】従来の溝形状測定結果の出力データを示す説明
図
図
１０…溝形状測定装置 １２…台車 １８…駆動部 １９…コントローラ ２２…検出器 ２４…触針 ２６、４６…先端子 ３２…溝付ローラ
Claims (4)
- 【請求項１】一方のワイヤリールから繰り出されたワイ
ヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形
成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイ
ヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て
ることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断す
るワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法に於いて、 形状測定装置の触針先端子を前記ワイヤの直径と等しい
球体又は円柱体に形成し、該球体又は円柱体を前記溝付
ローラの溝に押し付けると共に溝付ローラの軸線方向に
走行させて溝付ローラの溝形状を測定することを特徴と
するワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法。 - 【請求項２】前記球体又は円柱体の押付力は、前記溝付
ローラの溝に対する前記ワイヤの押付力と略同一に設定
されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤソー
用溝付ローラの溝形状測定方法。 - 【請求項３】一方のワイヤリールから繰り出されたワイ
ヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形
成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイ
ヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て
ることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断す
るワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定装置に於いて、 前記ワイヤの直径と等しい球体又は円柱体に形成された
触針先端子と、該触針先端子を前記溝付ローラの溝に押
し付ける押圧手段と、該触針先端子を溝付ローラの軸線
方向に走行させる駆動手段と、を有することを特徴とす
るワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定装置。 - 【請求項４】前記押圧手段による前記触針先端子の押付
力は、前記溝付ローラの溝に対する前記ワイヤの押付力
と略同一に設定されていることを特徴とする請求項３記
載のワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14565396A JPH09323318A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14565396A JPH09323318A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09323318A true JPH09323318A (ja) | 1997-12-16 |
Family
ID=15389996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14565396A Pending JPH09323318A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09323318A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104097269A (zh) * | 2013-09-30 | 2014-10-15 | 凡登（江苏）新型材料有限公司 | 一种定制槽型的多线切割用导轮及其制备方法 |
| CN113375615A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-09-10 | 南京泰普森自动化设备有限公司 | 弧形槽测量系统及其测量装置 |
| CN114396905A (zh) * | 2022-01-10 | 2022-04-26 | 上海航天设备制造总厂有限公司 | 用于测量精密阀门壳体内腔细深孔环槽尺寸的测量工具 |
| JP2023534119A (ja) * | 2020-06-10 | 2023-08-08 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト | 一連の切断動作中にワイヤソーによってワークピースから複数のスライスを切断するための方法 |
-
1996
- 1996-06-07 JP JP14565396A patent/JPH09323318A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104097269A (zh) * | 2013-09-30 | 2014-10-15 | 凡登（江苏）新型材料有限公司 | 一种定制槽型的多线切割用导轮及其制备方法 |
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| CN113375615B (zh) * | 2021-08-11 | 2021-11-30 | 南京泰普森自动化设备有限公司 | 弧形槽测量系统及其测量装置 |
| CN114396905A (zh) * | 2022-01-10 | 2022-04-26 | 上海航天设备制造总厂有限公司 | 用于测量精密阀门壳体内腔细深孔环槽尺寸的测量工具 |
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