JPH09326463A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置

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JPH09326463A
JPH09326463A JP8114586A JP11458696A JPH09326463A JP H09326463 A JPH09326463 A JP H09326463A JP 8114586 A JP8114586 A JP 8114586A JP 11458696 A JP11458696 A JP 11458696A JP H09326463 A JPH09326463 A JP H09326463A
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semiconductor element
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lead
chip support
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Nobuhito Oouchi
伸仁 大内
Etsuo Yamada
悦夫 山田
Yasushi Shiraishi
靖 白石
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クラックの発生を抑えて、かつ薄型化が可能
な樹脂封止型半導体装置を提供する。 【解決手段】 半導体素子1の表面にチップサポート1
0及びリード3が延在されている樹脂封止型半導体装置
であって、リード3を半導体素子1のポリイミドウエハ
コート9に当接させてチップサポート10と半導体素子
1の間を絶縁テープで接着し、リード3とポリイミドウ
エハコート9との間は固定せずに接続した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止型半導体
装置の構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体素子や金線等を外部からの応力や
湿気、汚染から保護するのに、樹脂材で被覆してなる樹
脂封止型の半導体装置がある。
【0003】図7は従来における樹脂封止型半導体装置
の一例を示す概略断面図である。この樹脂封止型半導体
装置は、半導体素子51の表面に絶縁テープ52を介し
てリード53を接着するとともに、リード53の上面に
施された金線メッキ54と半導体素子51上の金球55
とを金線56で接続し、さらにその外側が樹脂材57で
封止された構造になっている。
【0004】ところで、この種の樹脂封止型半導体装置
は、ペレット(チップ)の大型化に伴い、パッケージ側
端58と半導体素子51との間の寸法が一段と狭くなる
傾向にある。これは、半導体素子51が大きくなってい
るのに、これを収納するパッケージのサイズが規格化さ
れているため、大きくできないことに起因する。そこ
で、今日では、図7に示したように半導体素子51の表
面に絶縁テープ52でリード53を接着させたLOC
(Lead On Chip)構造とした半導体装置が用いられるよ
うになって来ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
装置の大きな課題として、基板実装時の熱によって、例
えば図8に示すように、樹脂材57にクラック59が生
じて機能を損ねることがある。原因は、空気中に保管さ
れたときに水分が吸収されて湿気ったところに、基板実
装時の熱で水分が蒸気化され、その力でクラックに至る
と考えられる。特に、絶縁テープ52は水分を吸収し易
く、絶縁テープ52の箇所からのクラックの発生が多
い。また、他の課題としては、半導体装置の薄型化に対
しては絶縁テープ52があるため、余り適さない。
【0006】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的はクラックの発生を抑えて、かつ薄
型化が可能な樹脂封止型半導体装置を提供することにあ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、次の技術手段を講じたことを特徴とする。
すなわち、半導体素子の表面にチップサポート及びリー
ドが延在されている樹脂封止型半導体装置において、前
記リードを前記半導体素子の回路形成面に当接させて前
記チップサポートと前記半導体素子の間を絶縁テープで
接着して、前記リードと前記回路形成面との間は固定せ
ずに接続してなる構成とした。
【0008】この構成では、リードと回路形成面は接し
ているのみで特に固定するための材料がないのでリード
と半導体素子を含めた厚みは薄くできる。これにより、
全体の薄型化が可能になる。また、半導体素子を固定す
るのは、チップサポートに接着されている絶縁テープの
みであるため、従来装置の構造(図7及び図8参照)が
半導体と各リードの間に絶縁テープを配設していたのに
比べて、テープ面積は極めて少なくなる。これにより、
絶縁テープに起因するクラックの発生を抑えて品質を向
上させることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】図1及び図2は本発明の第1の形
態例としての樹脂封止型半導体装置を示すもので、図1
はその装置の縦断側面図、図2は図1とは異なる部分で
断面してその装置の要部構造を示す縦断側面図である。
また、図3は本発明に係る樹脂封止型半導体装置の配置
例を製造途中の状態で示す図である。
【0010】そこで、図3に示す製造途中の状態図と共
に図1及び図2の樹脂封止型半導体装置の構造を説明す
ると、半導体素子1は回路形成面の上にポリイミドウエ
ハコート9が設けられている。この半導体素子1は、リ
ード3とチップサポート10とが形成されている厚みが
約0.125ミリのリードフレーム12に搭載される。
このとき、チップサポート10と半導体素子1との間に
は約0.15ミリの厚みを有した絶縁テープ2が介装さ
れ、この絶縁テープ2でチップサポート10とポリイミ
ドウエハコート9との間が接着固定される。これに対し
て、リード3とポリイミドウエハコート9との間は接し
た状態におかれるが、特に固定はされない。図3はこの
ようにしてリードフレーム12に半導体素子1が配置さ
れている状態を示している。
【0011】次に、リード3の上面に施されている金線
メッキ(不図示)と半導体素子1上の金球5とを金線6
で接続し、さらにその外側が樹脂材7で封止されるとと
もに、リードフレーム12より切り離すと図1及び図2
に示す樹脂封止型半導体装置が完成される。また、この
樹脂封止型半導体装置におけるチップサポート10は、
半導体素子1の端部外側で絶縁テープ2の略厚み分(約
0.15ミリ)だけ曲げ加工(図2中に符号11で示す
部分)されている。
【0012】したがって、第1の形態例としての樹脂封
止型半導体装置の構造では、リード3と回路形成面であ
るポリイミドウエハコート9は接しているのみで特に固
定するための材料がないのでリード3と半導体素子1を
含めた厚みは薄くできる。これにより、全体の薄型化が
可能になる。また、半導体素子1を固定するのは、チッ
プサポート10に接着されている絶縁テープ2のみであ
るため、従来装置の構造(図7及び図8参照)が半導体
と各リードの間に絶縁テープを配設していたのに比べ
て、テープ面積は極めて少なくなる。これにより、絶縁
テープ2の水分吸収が減り、基板実装時に生じる熱によ
るクラックの発生を抑えることができ、品質を向上させ
ることができる。
【0013】図4及び図5は本発明の第2の形態例とし
ての樹脂封止型半導体装置を示すもので、図4はその装
置の縦断側面図、図5は図4とは異なる部分で断面して
その装置の要部構造を示す縦断側面図である。また、図
6は本発明に係る樹脂封止型半導体装置の配置例を製造
途中の状態で示す図である。なお、図4乃至図6におい
て図1乃至図3と同一符号を付したものは図1乃至図3
と同一のものを示している。
【0014】そこで、図6に示す製造途中の状態図と共
に図4及び図5の樹脂封止型半導体装置の構造を説明す
ると、図4乃至図6において、半導体素子1は回路形成
面の上にポリイミドウエハコート9が設けられている。
この半導体素子1は、リード3とチップサポート10と
が形成されているリードフレーム12に搭載される。こ
のとき、リード3とポリイミドウエハコート9との間は
固定はされずに、単に接した状態におかれる。これに対
して、チップサポート10は、ポリイミドウエハコート
9と略面一で、かつ先端が半導体素子1の端側部分との
間に所定の隙間S(図5参照)を保って突き出されて非
接触の状態で配置され、さらにポリイミドウエハコート
9の上面とチップサポート10の上面とにまたがって絶
縁テープ2が貼り付けられ、この絶縁テープ2でポリイ
ミドウエハコート9とチップサポート10の間が接着さ
れて固定される。図6はこのようにしてリードフレーム
12に半導体素子1が配置されている状態を示してい
る。
【0015】次に、リード3の上面に施されている金線
メッキ(不図示)と半導体素子1上の金球5とを金線6
で接続し、さらにその外側が樹脂材7で封止されるとと
もに、リードフレーム12より切り離すと図4及び図5
に示す樹脂封止型半導体装置が完成される。また、この
樹脂封止型半導体装置におけるリード3は、半導体素子
1の端部外側で下方(半導体素子1側)に曲げ加工(図
4中に符号21で示す部分)されている。
【0016】したがって、第2の形態例としての樹脂封
止型半導体装置の構造では、リード3と回路形成面であ
るポリイミドウエハコート9は接しているのみで特に固
定するための材料がないのでリード3と半導体素子1を
含めた厚みは薄くできる。これにより、全体の薄型化が
可能になる。また、半導体素子1を固定するのは、ポリ
イミドウエハコート9とチップサポート10とにまたが
って接着されている絶縁テープ2のみであるため、従来
装置の構造(図7及び図8参照)が半導体と各リードの
間に絶縁テープを配設していたのに比べて、テープ面積
は極めて少なくなる。これにより、絶縁テープ2の水分
吸収が減り、基板実装時に生じる熱によるクラックの発
生を抑え、品質を向上させることができる。
【0017】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の樹脂封止
型半導体装置によれば、全体の薄型化が可能になるとと
もに、接着用の絶縁テープに起因するクラックの発生を
抑えて品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の形態例として示す樹脂封止型半
導体装置の縦断側面図である。
【図2】図1とは異なる部分で断面して同上装置を示す
要部縦断側面図である。
【図3】第1の形態例に係る同上装置の配置例を製造途
中の状態で示す図である。
【図4】本発明の第2の形態例として示す樹脂封止型半
導体装置の縦断側面図である。
【図5】図4とは異なる部分で断面して同上装置を示す
要部縦断側面図である。
【図6】第2の形態例に係る同上装置の配置例を製造途
中の状態で示す図である。
【図7】従来装置の一例を示す断面図である。
【図8】従来装置の問題点を説明するための断面図であ
る。
【符号の説明】
1 半導体素子 2 絶縁テープ 3 リード 7 封止用樹脂材 9 ポリイミドウエハコート 10 チップサポート 11,21 曲げ加工

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子の表面にチップサポート及び
    リードが延在されている樹脂封止型半導体装置におい
    て、 前記リードを前記半導体素子の回路形成面に当接させて
    前記チップサポートと前記半導体素子の間を絶縁テープ
    で接着して、前記リードと前記回路形成面との間は固定
    せずに接続してなることを特徴とする樹脂封止型半導体
    装置。
  2. 【請求項2】 前記回路形成面上で前記リードとの間に
    前記絶縁テープを挟んで前記リードと前記チップサポー
    トを接着するとともに、 前記半導体素子の端部外側で前記チップサポートが前記
    絶縁テープの略厚み分だけ前記半導体素子側に曲げ加工
    されている請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記回路形成面の外側で前記回路形成面
    と略面一状にして前記チップサポートを配置し、前記回
    路形成面と前記チップサポートにまたがって前記絶縁テ
    ープを貼り付けて前記回路形成面と前記チップサポート
    とを接着するとともに、 前記半導体素子の端部外側で前記リードが前記半導体素
    子側に曲げ加工されている請求項1に記載の樹脂封止型
    半導体装置。
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