JPH0932954A - 流体制御器 - Google Patents

流体制御器

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JPH0932954A
JPH0932954A JP7182350A JP18235095A JPH0932954A JP H0932954 A JPH0932954 A JP H0932954A JP 7182350 A JP7182350 A JP 7182350A JP 18235095 A JP18235095 A JP 18235095A JP H0932954 A JPH0932954 A JP H0932954A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 作動部が故障したさいの交換が速くかつ簡単
にできる流体制御器を提供する。 【解決手段】 流体制御器2 は、下向きに開口した流入
路42および流出路43が形成された制御器本体6 と、制御
器本体6 の上方にこれと一体的に設けられて流出路43を
開閉する作動部7 と、制御器本体6 の下方に設けられた
連結部11とよりなる。連結部11には、入口管用継手部材
1 の流入路40と制御器本体6 の流入路42とを連通する流
入路41および制御器本体6 の流出路43に連通しかつ左向
きに開口した流出路44が形成されている。制御器本体6
はねじ17により連結部11に固定されており、作動部7 を
弁制御器本体6 と共に連結部11から取り外すことができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、弁、マスフローコン
トローラ、プレッシャーレギュレータなどの流体制御器
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、流体制御器として、横向きに開口
した流入路および流出路を有する制御器本体と、これに
一体的に設けられて流路開閉、流れ方向変換、流量調整
または圧力調整を行う作動部とよりなるものが知られて
いた。そして、各種の流体制御器を組み合わせて流体制
御装置を構成するさいには、流体制御器の本体同士を連
結していた（特開平５−１７２２６５号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】流体制御器は、作動部
が故障して交換が必要となることがあるが、上記従来の
流体制御器では、一旦、流体制御器の本体同士を連結し
て流体制御装置を作ってしまうと、１つの流体制御器を
取り外すためには、装置全体を分解しなければならず、
交換に時間がかかりかつ面倒であり、装置の保守を行う
上で不便であった。
【０００４】この発明の目的は、作動部が故障したさい
の交換が速くかつ簡単にできる流体制御器を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明による流体制御
器は、下向きに開口した流入路および流出路を有し作動
部が一体的に設けられた制御器本体と、制御器本体の流
入路および流出路にそれぞれ連通する上向きに開口した
流入路および流出路を有する連結部とを備え、連結部が
制御器本体に着脱自在に取り付けられているものであ
る。
【０００６】この明細書において、上下は、図１の上下
をいうものとするが、この上下は、便宜的なものであ
り、上下が逆になったり、横になったりすることもあ
る。
【０００７】連結部の上向きに開口した流入路および流
出路の他端が、横向きに開口していることが好ましい。
【０００８】制御器本体と連結部との間に、シール部が
設けられており、シール部は、制御器本体の流入路の下
向き開口縁部と連結部の流入路の上向き開口縁部との突
き合わせ部分に設けられた第１ガスケットと、制御器本
体の流出路の下向き開口縁部と連結部の流出路の上向き
開口縁部との突き合わせ部分に設けられた第２ガスケッ
トと、第１および第２ガスケットを保持しかつ制御器本
体および連結部のいずれか一方に取り付けられたリテー
ナとよりなることが好ましい。
【０００９】
【作用】請求項１の発明の流体制御器によると、作動部
が故障したさいには、作動部を制御器本体と共に連結部
から取り外すことができる。
【００１０】請求項２の発明の流体制御器によると、連
結部と流入側の部材および流出側の部材とをそれぞれ連
結した後、制御器本体を流路の方向に対して直角方向に
取り外すことができる。
【００１１】請求項３の発明の流体制御器によると、リ
テーナにより２つのガスケットを正確に位置決めするこ
とができる。
【００１２】
【実施例】この発明の実施例を、以下図面を参照して説
明する。以下の説明において、上下・左右は、図１の上
下・左右をいうものとする。
【００１３】図１は、半導体製造装置に設けられる流体
制御装置の流体流入側部分を示しており、入口管用継手
部材(1) の左側（下流側）に、第１開閉弁(2) および第
２開閉弁(4) が設けられている。
【００１４】第１開閉弁(2) は、下向きに開口した流入
路(42)および流出路(43)が形成された弁本体(6) と、弁
本体(6) の上方にこれと一体的に設けられて流出路(43)
を開閉する作動部(7) と、弁本体(6) の下方に設けられ
た連結部(11)とよりなる。連結部(11)には、入口管用継
手部材(1) の流入路(40)と弁本体(6) の流入路(42)とを
連通する流入路(41)、弁本体(6) の流出路(43)に連通し
かつ左向きに開口した流出路(44)および流出路(44)から
分岐し圧力検出センサ取付部(3) が設けられた分岐流路
(45)が形成されている。弁本体(6) は、円筒部(14)およ
びこれの上端部に設けられた方形フランジ部(15)よりな
り、円筒部(14)が、連結部(11)に設けられた上向き凹所
(16)に嵌め込まれており、フランジ部(15)四隅の上方よ
りフランジ部(15)を貫通したねじ(17)により、連結部(1
1)に固定されている。したがって、第１開閉弁(2) の作
動部(7) が故障したさいには、この作動部(7) を弁本体
(6) と共に連結部(11)から取り外すことができる。
【００１５】第２開閉弁(4) は、圧力検出センサ取付部
が無い点を除いて第１開閉弁(4) と同様の構成であり、
下向きに開口した流入路(47)および流出路(48)が形成さ
れた弁本体(8) と、弁本体(8) の上方にこれと一体的に
設けられて流出路(48)を開閉する作動部(9) と、弁本体
(8) の下方に設けられた連結部(12)とよりなる。連結部
(12)には、第１開閉弁(2) の連結部(11)の流出路(44)と
第２開閉弁(4) の弁本体(8) の流入路(47)とを連通する
流入路(46)および第２開閉弁(4) の弁本体(8)の流出路
(48)に連通しかつ左向きに開口した流出路(49)が形成さ
れている。弁本体(8) は、円筒部(18)およびこれの上端
部に設けられた方形フランジ部(19)よりなり、円筒部(1
8)が、連結部(12)に設けられた上向き凹所(20)に嵌め込
まれており、フランジ部(19)の上方よりフランジ部(19)
を貫通したねじ(21)により、連結部(12)に固定されてい
る。したがって、第２開閉弁(4) の作動部(9) が故障し
たさいには、この作動部(9) を弁本体(8) と共に連結部
(12)から取り外すことができる。
【００１６】第１開閉弁(2) の連結部(11)と第２開閉弁
(4) の連結部(12)とは、第１開閉弁(2) の連結部(11)の
右方より第２開閉弁(4) の連結部(11)を貫通したねじ(2
2)により連結されている。装置全体を分解するさいに
は、このねじ(22)が取り外される。連結部(11)と連結部
(12)との間には、シール部(27)が設けられている。この
シール部(27)は、１つの流路(44)(46)同士を連通させる
さいに設けられるもので、公知のものを使用することが
できる。なお、両連結部(11)(12)はそれぞれ別の部材と
されているが、これらは一体であってもよく、このさい
にはシール部(27)は不要となる。
【００１７】第１開閉弁(2) の弁本体(6) の円筒部(14)
と連結部(11)の上向き凹所(16)との間にも、シール部(2
6)が設けられている。このシール部(26)は、それぞれ２
つの流路同士を連通させるさい、すなわち弁本体(6) お
よび連結部(11)の流入路(41)(42)同士を連通させるとと
もに、同流出路(43)(44)同士も連通させるさいに設けら
れるもので、このようなシール部(26)は、従来は知られ
ていないものである。
【００１８】このシール部(26)は、図２に示すように、
弁本体(6) の流入路(42)の下向き開口縁部と連結部(11)
の流入路(41)の上向き開口縁部との突き合わせ部分に設
けられた第１円環状ガスケット(28)と、弁本体(6) の流
出路(43)の下向き開口縁部と連結部(11)の流出路(44)の
上向き開口縁部との突き合わせ部分に設けられた第２円
環状ガスケット(29)と、両ガスケット(28)(29)を保持し
かつ弁本体(6) に取り付けられたリテーナ(30)と、リテ
ーナ位置決め用スプリングピン(31)とよりなる。各流入
路(41)(42)および各流出路(43)(44)には座ぐり(32)が設
けられており、両ガスケット(28)(29)の納まりをよくす
るとともに、両ガスケット(28)(29)に接する面がスムー
ズにされている。なお、この座ぐり(32)は、両ガスケッ
ト(28)(29)に接する面を研磨することにより省略するこ
ともできる。
【００１９】リテーナ(30)は、ステンレス鋼板で一体的
に形成されたもので、図３および図４に詳しく示すよう
に、円環部(33)と、円環部(33)から上方にのびておりリ
テーナ(30)を弁本体(6) に取り付けるための複数の本体
保持爪(34)と、円環部(33)から径方向内方にのびており
複数のガスケットを保持するための複数のガスケット保
持爪(35)(36)とよりなる。本体保持爪(34)は、４つ等間
隔に設けられており、それぞれ若干内方に屈曲させられ
ていて、弁本体(6) の円筒部(14)の下端に形成された小
径部(14a) をその弾性力で保持している。ガスケット保
持爪(35)(36)には、等間隔に設けられかつ中心近くまで
のびる４つの大きい爪(35)と、大きい爪(35)の間に位置
するように設けられた４つの小さい爪(36)との２種類が
あり、それぞれ若干の弾性を有している。そして、４つ
の大きい爪(35)の先端同士により、第２ガスケット(29)
が保持され、さらに、隣り合う２つの大きい爪(35)の側
面とこれらの大きい爪(35)の間にある小さい爪(36)の先
端とにより、第１ガスケット(28)が保持されている。上
記実施例では、流入路(41)(42)および流出路(43)(44)は
それぞれ１つずつであるので、第１および第２ガスケッ
ト(28)(29)もそれぞれ１つずつであるが、２つの大きい
爪(35)の側面とこれらの大きい爪(35)の間にある小さい
爪(36)の先端とにより、第２ガスケット(29)を取り囲ん
で計４つのガスケットを保持することが可能で、このリ
テーナ(30)によると、流出路または流入路が４つであっ
ても対応することができる。リテーナ(30)のガスケット
保持爪(35)(36)の数は、それぞれ４つに限られるもので
はなく、保持すべきガスケット(28)(29)の数に応じて変
更するようにしてもよい。
【００２０】図５に示すように、第１ガスケット(28)の
外周および第２ガスケット(29)の外周には、リテーナ(3
0)のガスケット保持爪(35)(36)に嵌まり合う環状溝(37)
が形成されており、これにより、ガスケット(28)(29)は
リテーナ(30)に確実に保持されて、正確に位置決めされ
る。したがって、弁本体(6) の着脱を繰り返しても、弁
本体(6) および連結部(11)に対してガスケット(28)(29)
がずれることがなく、弁本体(6) と連結部(11)との突き
合わせ部分のシール性が確保される。
【００２１】なお、第２開閉弁(4) の弁本体(8) の円筒
部(18)と同連結部(12)の上向き凹所(20)との間にも、同
じシール部(26)が設けられている。
【００２２】なお、図１には、流体制御装置の流体流入
側部分だけを示したが、この下流側には、図示した開閉
弁(2)(4)と同様の弁のほかに、流体の流量を制御するマ
スフローコントローラ、流体の圧力を制御するプレッシ
ャーレギュレータおよび流れ方向を変換する弁等の流体
制御器を適宜配置することが可能であり、これらの流体
制御器についても、制御器本体下方に連結部を配して、
制御器本体をこれに上方からねじで取り付け、隣り合う
連結部同士を側方からねじで連結することにより、流体
制御器の作動部が故障したさいには、この作動部を制御
器本体と共に連結部から取り外すことが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１の発明の流体制御器によると、
作動部が故障したさいには、作動部を制御器本体と共に
連結部から取り外すことができるので、作動部の交換が
速くかつ簡単にでき、装置の保守性が向上する。
【００２４】請求項２の発明の流体制御器によると、連
結部と流入側の部材および流出側の部材とをそれぞれ連
結した後、制御器本体を流路の方向に対して直角方向に
取り外すことができるので、１つの流体制御器を交換す
るのに装置全体を分解するというような手間を掛けなく
てよい。
【００２５】請求項３の発明の流体制御器によると、リ
テーナにより２つのガスケットを正確に位置決めするこ
とができるので、制御器本体と連結部との着脱を繰り返
しても、制御器本体と連結部との突き合わせ部分のシー
ル性が確保される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体制御器を示す縦断面図であ
る。
【図２】シール部の拡大縦断面図である。
【図３】リテーナおよびガスケットの拡大平面図であ
る。
【図４】リテーナの拡大斜視図である。
【図５】ガスケットの一部を切欠いた拡大斜視図であ
る。
【符号の説明】
(2)(4) 開閉弁（流体制御器） (6)(8) 弁本体 (7)(9) 作動部 (11)(12) 連結部 (26) シール部 (28) 第１ガスケット (29) 第２ガスケット (30) リテーナ (41)(46) 連結部流入路 (42)(47) 弁本体流入路 (43)(48) 弁本体流出路 (44)(49) 連結部流出路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 下向きに開口した流入路および流出路を
    有し作動部が一体的に設けられた制御器本体と、制御器
    本体の流入路および流出路にそれぞれ連通する上向きに
    開口した流入路および流出路を有する連結部とを備え、
    連結部が制御器本体に着脱自在に取り付けられている流
    体制御器。
  2. 【請求項２】 連結部の上向きに開口した流入路および
    流出路の他端が、横向きに開口している請求項１の流体
    制御器。
  3. 【請求項３】 制御器本体と連結部との間に、シール部
    が設けられており、シール部は、制御器本体の流入路の
    下向き開口縁部と連結部の流入路の上向き開口縁部との
    突き合わせ部分に設けられた第１ガスケットと、制御器
    本体の流出路の下向き開口縁部と連結部の流出路の上向
    き開口縁部との突き合わせ部分に設けられた第２ガスケ
    ットと、第１および第２ガスケットを保持しかつ制御器
    本体および連結部のいずれか一方に取り付けられたリテ
    ーナとよりなる請求項１または２の流体制御器。
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DE69621192T DE69621192T2 (de) 1995-07-19 1996-07-16 Durchflussregler
US08/682,366 US5771919A (en) 1995-07-19 1996-07-17 Fluid controller
IL11889196A IL118891A (en) 1995-07-19 1996-07-18 Fluid controller
TW085108733A TW405018B (en) 1995-07-19 1996-07-18 Fluid control device
CA002181527A CA2181527A1 (en) 1995-07-19 1996-07-18 Fluid controller

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TW (1) TW405018B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100380036C (zh) * 1998-05-18 2008-04-09 斯瓦戈洛克公司 积木式表面安装的汇流管组合件
WO2020085300A1 (ja) * 2018-10-26 2020-04-30 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
CN112955685A (zh) * 2018-10-26 2021-06-11 株式会社富士金 阀装置和气体供给系统

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5810031A (en) * 1996-02-21 1998-09-22 Aeroquip Corporation Ultra high purity gas distribution component with integral valved coupling and methods for its use
JP3650859B2 (ja) * 1996-06-25 2005-05-25 忠弘 大見 遮断開放器およびこれを備えた流体制御装置
US5992463A (en) 1996-10-30 1999-11-30 Unit Instruments, Inc. Gas panel
US6293310B1 (en) 1996-10-30 2001-09-25 Unit Instruments, Inc. Gas panel
US6394138B1 (en) 1996-10-30 2002-05-28 Unit Instruments, Inc. Manifold system of removable components for distribution of fluids
JP4378553B2 (ja) * 1997-10-13 2009-12-09 忠弘 大見 流体制御装置
US6644353B1 (en) * 1998-03-05 2003-11-11 Swagelok Company Modular surface mount manifold
US6629546B2 (en) 1998-03-05 2003-10-07 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
EP1571381B1 (en) * 1998-03-05 2009-12-02 The Swagelok Company Modular surface mount manifold
US6502601B2 (en) 1998-03-05 2003-01-07 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
US7036528B2 (en) 1998-05-18 2006-05-02 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
EP1471296B1 (en) * 1998-05-18 2006-11-02 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
CA2332550C (en) * 1998-05-18 2008-01-08 The Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
US6729353B2 (en) * 1999-09-01 2004-05-04 Asml Us, Inc. Modular fluid delivery apparatus
JP4487135B2 (ja) * 2001-03-05 2010-06-23 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置
WO2002093053A1 (en) 2001-05-16 2002-11-21 Unit Instruments, Inc. Fluid flow system
US7258139B2 (en) 2002-11-26 2007-08-21 Swagelok Company Modular surface mount fluid system
JP2004340199A (ja) * 2003-05-14 2004-12-02 Fujikin Inc 加熱装置付き流体制御装置
NL1025631C2 (nl) * 2004-03-03 2005-09-08 Berkin Bv Afdichtingsamenstel.
US7048008B2 (en) 2004-04-13 2006-05-23 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
US7299825B2 (en) 2005-06-02 2007-11-27 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
US7320339B2 (en) 2005-06-02 2008-01-22 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
JP2007046697A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Fujikin Inc 継手付き流体制御器
US20080302426A1 (en) * 2007-06-06 2008-12-11 Greg Patrick Mulligan System and method of securing removable components for distribution of fluids
US8307854B1 (en) 2009-05-14 2012-11-13 Vistadeltek, Inc. Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks
CN102804335B (zh) 2009-06-10 2015-10-21 威斯塔德尔特有限责任公司 极限流速和/或高温流体递送基体
JP5802532B2 (ja) * 2011-12-05 2015-10-28 株式会社フジキン ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット
US9869409B2 (en) * 2013-01-15 2018-01-16 Vistadeltek, Llc Gasket retainer for surface mount fluid component
KR101775257B1 (ko) * 2013-03-08 2017-09-05 가부시키가이샤 후지킨 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
US11091837B2 (en) * 2016-10-24 2021-08-17 Fujikin Incorporated Fluid control system and product manufacturing method using fluid control system
US10983538B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller
JP2024146175A (ja) * 2023-03-31 2024-10-15 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置及び基板処理装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1851940A (en) * 1929-11-13 1932-03-29 Orr H Williams Closure for conduits and the like
CH453908A (de) * 1967-12-29 1968-03-31 Hydrel Ag Instrumententafel mit auswechselbaren Ventilen für hydraulische oder pneumatische Steuerungen
GB1404992A (en) * 1971-05-12 1975-09-03 Process Systems Fluidic control system
DE3003377C2 (de) * 1980-01-31 1983-10-06 Gewerkschaft Eisenhuette Westfalia, 4670 Luenen Steckkupplung für Schlauchleitungsbündel
US4650227B1 (en) * 1982-08-23 2000-11-28 Cajon Co Fluid coupling
US4515184A (en) * 1983-07-18 1985-05-07 Abex Corporation Modular directional valve
JPS6060370A (ja) * 1983-08-27 1985-04-06 ツア−ンラトフアブリク　フリ−トリツヒシヤフエン　アクチエンゲゼルシヤフト パツキング装置
US4695034A (en) * 1984-11-27 1987-09-22 Stec Inc. Fluid control device
US4687020A (en) * 1985-05-17 1987-08-18 Doyle James H Fluid mass flow controller
US4796896A (en) * 1988-02-16 1989-01-10 General Motors Corporation Multi-stage elastomeric seal with retainer
JP2731080B2 (ja) * 1991-05-31 1998-03-25 株式会社本山製作所 ガス制御装置
US5236227B1 (en) * 1991-11-12 1996-12-03 Opti Com Manufacturing Network Assembly for connecting multi-duct conduits having tapered alignment walls
AT397724B (de) * 1992-11-12 1994-06-27 Avl Verbrennungskraft Messtech Dichtungselement
US5354101A (en) * 1993-09-13 1994-10-11 General Motors Corporation Sealing washer block connection
JP3311493B2 (ja) * 1994-06-01 2002-08-05 株式会社不二工機 レシーバドライヤ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100380036C (zh) * 1998-05-18 2008-04-09 斯瓦戈洛克公司 积木式表面安装的汇流管组合件
WO2020085300A1 (ja) * 2018-10-26 2020-04-30 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
CN112955685A (zh) * 2018-10-26 2021-06-11 株式会社富士金 阀装置和气体供给系统
JPWO2020085300A1 (ja) * 2018-10-26 2021-09-24 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム

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