JPH09329783A - 空間光変調素子 - Google Patents
空間光変調素子Info
- Publication number
- JPH09329783A JPH09329783A JP8147021A JP14702196A JPH09329783A JP H09329783 A JPH09329783 A JP H09329783A JP 8147021 A JP8147021 A JP 8147021A JP 14702196 A JP14702196 A JP 14702196A JP H09329783 A JPH09329783 A JP H09329783A
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- JP
- Japan
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- liquid crystal
- layer
- thickness
- transparent substrate
- light
- Prior art date
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- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光書き込み型の空間光変調素子を用いて投影
される画像において、コントラスト比や解像度の低下が
防止され、液晶分子の配向不良による欠陥の発生が防止
された、表示品質に優れた空間光変調素子を提供する。 【解決手段】 空間光変調素子の液晶層の厚さを制御す
るスペーサを表示部に分布させず表示部周辺に局在さ
せ、且つ、読み出し光側の透明基板の厚さを、基板のた
わみによる液晶層の厚さムラを抑制できる程度に十分厚
くした。
される画像において、コントラスト比や解像度の低下が
防止され、液晶分子の配向不良による欠陥の発生が防止
された、表示品質に優れた空間光変調素子を提供する。 【解決手段】 空間光変調素子の液晶層の厚さを制御す
るスペーサを表示部に分布させず表示部周辺に局在さ
せ、且つ、読み出し光側の透明基板の厚さを、基板のた
わみによる液晶層の厚さムラを抑制できる程度に十分厚
くした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、情報を含む書き込
み光を感光体層に入射させ、書き込み光の強度分布に対
応する電界を液晶層に印加し、これにより液晶層に入射
した読み出し光を変調して出射させる光書き込み型の空
間光変調素子（Spatial Light Modulator：以下、ＳＬ
Ｍと略称する）に関する。
み光を感光体層に入射させ、書き込み光の強度分布に対
応する電界を液晶層に印加し、これにより液晶層に入射
した読み出し光を変調して出射させる光書き込み型の空
間光変調素子（Spatial Light Modulator：以下、ＳＬ
Ｍと略称する）に関する。
【０００２】
【従来の技術】光書き込み型のＳＬＭは、インコヒー
レント光とコヒーレント光の相互変換、データの並列
処理や画像の直接演算処理、光強度増幅機能を利用し
たビデオプロジェクタの表示等への応用が可能である。
レント光とコヒーレント光の相互変換、データの並列
処理や画像の直接演算処理、光強度増幅機能を利用し
たビデオプロジェクタの表示等への応用が可能である。
【０００３】光書き込み型のＳＬＭは、一般に、透明電
極層が形成された透明基板２枚の間に、感光体層、遮光
層、ミラー層及び電気光学効果層の４層を有する。感光
体層は、光が入射しないときには抵抗率が高く、光が入
射すると抵抗率が大幅に低下する性質をもち、例えばＣ
ｄＳや非晶質水素化シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）のような
材料で構成される。ミラー層は、書き込み光と読み出し
光を空間的に分離する役割をし、その光アイソレーショ
ンの程度がＳＬＭの信号増幅率を決定する。ミラー層と
しては、例えばＳｉＯ2 膜とＴｉＯ2 膜とを交互に積層
した誘電体の多層膜が用いられる。遮光層は、感光体層
とミラー層との間に設けられ、書き込み光と読み出し光
のアイソレーションを高める役割をし、例えばＳｉＯ2
−Ｃｕのサーメット膜が用いられる。電気光学効果層
は、印加電界に応じて屈折率、散乱、旋光性などの光学
特性を変える性質をもち、電気光学結晶や液晶などが用
いられる。
極層が形成された透明基板２枚の間に、感光体層、遮光
層、ミラー層及び電気光学効果層の４層を有する。感光
体層は、光が入射しないときには抵抗率が高く、光が入
射すると抵抗率が大幅に低下する性質をもち、例えばＣ
ｄＳや非晶質水素化シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）のような
材料で構成される。ミラー層は、書き込み光と読み出し
光を空間的に分離する役割をし、その光アイソレーショ
ンの程度がＳＬＭの信号増幅率を決定する。ミラー層と
しては、例えばＳｉＯ2 膜とＴｉＯ2 膜とを交互に積層
した誘電体の多層膜が用いられる。遮光層は、感光体層
とミラー層との間に設けられ、書き込み光と読み出し光
のアイソレーションを高める役割をし、例えばＳｉＯ2
−Ｃｕのサーメット膜が用いられる。電気光学効果層
は、印加電界に応じて屈折率、散乱、旋光性などの光学
特性を変える性質をもち、電気光学結晶や液晶などが用
いられる。
【０００４】これら４層を２枚の透明基板の間に保持す
るために、通常は接着剤が用いられる。接着剤は、ＳＬ
Ｍの表示部全面にわたって均一な機能を付与するため
に、それぞれの層を安定的に保つ役割と、各層を外界か
ら遮断してこれらの性能劣化を防ぐ役割がある。特に、
電気光学効果層として流体である液晶層を用いる場合
は、該液晶層を均一な層厚に保持するために、しばしば
スペーサが用いられている。スペーサの材質は、レジ
ン、ガラス等であり、その形状は、球あるいは円柱で、
直径は数μmから数十μm 程度である。
るために、通常は接着剤が用いられる。接着剤は、ＳＬ
Ｍの表示部全面にわたって均一な機能を付与するため
に、それぞれの層を安定的に保つ役割と、各層を外界か
ら遮断してこれらの性能劣化を防ぐ役割がある。特に、
電気光学効果層として流体である液晶層を用いる場合
は、該液晶層を均一な層厚に保持するために、しばしば
スペーサが用いられている。スペーサの材質は、レジ
ン、ガラス等であり、その形状は、球あるいは円柱で、
直径は数μmから数十μm 程度である。
【０００５】通常の液晶表示セルを作製するには、制御
したい液晶層厚と同じ直径のスペーサを選び、これを基
板の片面に一定密度で均一に分布させ、基板同士を重ね
合わせて接着剤にて貼り合わせる。そして、２枚の基板
の間隙に液晶を注入し、その注入口を接着剤で封止す
る。これらの貼り合わせ用、注入口封止用の接着剤とし
ては、エポキシ系接着剤が多用されている。
したい液晶層厚と同じ直径のスペーサを選び、これを基
板の片面に一定密度で均一に分布させ、基板同士を重ね
合わせて接着剤にて貼り合わせる。そして、２枚の基板
の間隙に液晶を注入し、その注入口を接着剤で封止す
る。これらの貼り合わせ用、注入口封止用の接着剤とし
ては、エポキシ系接着剤が多用されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】液晶層を均一の厚さに
保持するためのスペーサを基板上に分布させる方法とし
ては、スペーサの粒子を揮発性の高い溶媒中に分散させ
てこれを噴霧する方法や、スペーサを帯電させておき、
同電位のスペーサ同士を反発させるとともにスペーサに
対して電位差をもつ基板上に吸着させる方法などがあ
る。
保持するためのスペーサを基板上に分布させる方法とし
ては、スペーサの粒子を揮発性の高い溶媒中に分散させ
てこれを噴霧する方法や、スペーサを帯電させておき、
同電位のスペーサ同士を反発させるとともにスペーサに
対して電位差をもつ基板上に吸着させる方法などがあ
る。
【０００７】しかし、液晶の表示部にスペーサ同士が数
個集まり凝集することがある。又、溶媒とともにスペー
サを噴霧する場合は、基板表面の液晶表示部にスペーサ
以外の残留物が残ることがある。これらは液晶表示部に
おいて不均一な欠陥となって表示品質を低下させたり、
スペーサ周囲の液晶分子が異常配向する原因にもなる。
特に、ＳＬＭを用いた投射型ディスプレイの場合、液晶
表示部を拡大投射するので、スペーサの像が投影画像の
ドット抜けとなり、画像のコントラスト比低下、解像度
低下の原因になる。これはＲＧＢ各色に対応したＳＬＭ
による画像をスクリーン上で重ねてカラー像にする場合
に顕著となる。
個集まり凝集することがある。又、溶媒とともにスペー
サを噴霧する場合は、基板表面の液晶表示部にスペーサ
以外の残留物が残ることがある。これらは液晶表示部に
おいて不均一な欠陥となって表示品質を低下させたり、
スペーサ周囲の液晶分子が異常配向する原因にもなる。
特に、ＳＬＭを用いた投射型ディスプレイの場合、液晶
表示部を拡大投射するので、スペーサの像が投影画像の
ドット抜けとなり、画像のコントラスト比低下、解像度
低下の原因になる。これはＲＧＢ各色に対応したＳＬＭ
による画像をスクリーン上で重ねてカラー像にする場合
に顕著となる。
【０００８】本発明の目的は、このような画像欠陥の発
生を防止し、且つＳＬＭの液晶層の厚さを表示部全体に
わたって均一とし、表示品質の良好なＳＬＭを提供する
ことである。
生を防止し、且つＳＬＭの液晶層の厚さを表示部全体に
わたって均一とし、表示品質の良好なＳＬＭを提供する
ことである。
【０００９】
【課題を解決する為の手段】本発明者は、スペーサある
いはスペーサ以外の残留物に起因する画像欠陥を生じな
くするためにはスペーサを表示部周囲にのみ分布させ、
又、液晶層の厚さを表示部全体にわたって均一に保つた
めには基板のたわみを最小限に維持すれば良いと考え、
本発明を成すに到った。
いはスペーサ以外の残留物に起因する画像欠陥を生じな
くするためにはスペーサを表示部周囲にのみ分布させ、
又、液晶層の厚さを表示部全体にわたって均一に保つた
めには基板のたわみを最小限に維持すれば良いと考え、
本発明を成すに到った。
【００１０】即ち、本発明は、少なくとも書き込み光に
対して透明な、第１透明電極層が形成された第１透明基
板と、少なくとも読み出し光に対して透明な、第２透明
電極層が形成された第２透明基板と、該第１及び第２透
明電極層の間に挟持された感光体層、遮光層、ミラー層
及び電気光学効果層たる液晶層を備え、前記感光体層に
書き込み光を入射させ、該書き込み光による前記感光体
層の特性変化に応じて、前記液晶層に入射する読み出し
光を変調してその変調光を出射する、光書き込み型空間
光変調素子において、前記液晶層の厚さを一定に保持す
るスペーサが表示部に存在しないように配置されるとと
もに、厚さｈ、辺の長さａ×ｂの四角形の平板である前
記第２透明基板の厚さｈが、 数式：ｈ3 ≧｛１２ｐ（１−ν2 ）｝／｛π4 ｗＥ（１
／ａ2 ＋１／ｂ2 ）2 ｝ を満足する値をもつ空間光変調素子である。
対して透明な、第１透明電極層が形成された第１透明基
板と、少なくとも読み出し光に対して透明な、第２透明
電極層が形成された第２透明基板と、該第１及び第２透
明電極層の間に挟持された感光体層、遮光層、ミラー層
及び電気光学効果層たる液晶層を備え、前記感光体層に
書き込み光を入射させ、該書き込み光による前記感光体
層の特性変化に応じて、前記液晶層に入射する読み出し
光を変調してその変調光を出射する、光書き込み型空間
光変調素子において、前記液晶層の厚さを一定に保持す
るスペーサが表示部に存在しないように配置されるとと
もに、厚さｈ、辺の長さａ×ｂの四角形の平板である前
記第２透明基板の厚さｈが、 数式：ｈ3 ≧｛１２ｐ（１−ν2 ）｝／｛π4 ｗＥ（１
／ａ2 ＋１／ｂ2 ）2 ｝ を満足する値をもつ空間光変調素子である。
【００１１】ここで、前記第２透明基板に外部荷重ｐが
加えられた際の第２透明基板の中心部の変位量はｗであ
り、前記第２透明基板のポワソン比、ヤング率は各々
ν、Ｅである。
加えられた際の第２透明基板の中心部の変位量はｗであ
り、前記第２透明基板のポワソン比、ヤング率は各々
ν、Ｅである。
【００１２】
【発明の実施の形態】ＳＬＭの液晶層の表示部の周囲は
接着剤によって封止がなされる。本発明では、液晶層の
厚さを均一に保持するためのスペーサの粒子を、未硬化
の接着剤中に予め均一に分散混入させ、これをスクリー
ン印刷あるいはディスペンサなどの方法によって液晶を
挟み込む面の両方又は一方の周辺部に塗布する。液晶を
挟み込む面同士を重ね合わせて適当な圧力で押しつけた
まま加熱処理あるいは紫外線照射によって接着剤を硬化
させる。そして、スペーサ径に相当する厚さの空隙が得
られ、この空隙に液晶を充填する。
接着剤によって封止がなされる。本発明では、液晶層の
厚さを均一に保持するためのスペーサの粒子を、未硬化
の接着剤中に予め均一に分散混入させ、これをスクリー
ン印刷あるいはディスペンサなどの方法によって液晶を
挟み込む面の両方又は一方の周辺部に塗布する。液晶を
挟み込む面同士を重ね合わせて適当な圧力で押しつけた
まま加熱処理あるいは紫外線照射によって接着剤を硬化
させる。そして、スペーサ径に相当する厚さの空隙が得
られ、この空隙に液晶を充填する。
【００１３】スペーサとしては、シリカガラスやレジン
など、液晶セル用として市販されているものを使用でき
る。ＳＬＭに用いる透明基板は、スパッタリングやＣＶ
Ｄなどの方法で機能性膜を多層成膜するため、強度、耐
久性の点からガラス基板が用いられる。機能性膜を多層
積層する第１透明基板は、膜応力によりたわみが生じる
ので、例えば、面積48×34mmの透明基板では厚さを８mm
と厚くしている。他方、第２透明基板は、第１透明基板
のように多くの膜を積層するわけではないが、自重ある
いは外部応力が加わってもたわみを生じないようにする
必要がある。たわみを生じると液晶層の厚さが不均一に
なるからである。従って、液晶層の厚さを均一に保持し
得る厚さを算出することが重要である。
など、液晶セル用として市販されているものを使用でき
る。ＳＬＭに用いる透明基板は、スパッタリングやＣＶ
Ｄなどの方法で機能性膜を多層成膜するため、強度、耐
久性の点からガラス基板が用いられる。機能性膜を多層
積層する第１透明基板は、膜応力によりたわみが生じる
ので、例えば、面積48×34mmの透明基板では厚さを８mm
と厚くしている。他方、第２透明基板は、第１透明基板
のように多くの膜を積層するわけではないが、自重ある
いは外部応力が加わってもたわみを生じないようにする
必要がある。たわみを生じると液晶層の厚さが不均一に
なるからである。従って、液晶層の厚さを均一に保持し
得る厚さを算出することが重要である。
【００１４】そこで、第２透明基板の厚さの算出法を次
に示す。図２は、長さａ、幅ｂ、厚さｈの長方形板が周
辺で単純支持され、これに数式１で示される一般的な分
布荷重によって、たわみが生じたことを示す概念図であ
る。この長方形板のｘ−ｙ面上、任意の点のたわみ量
ｗ′は、数式２によって表される。式中、Ｄは曲げ剛性
を示し、数式３で表される。ここで、Ｅはヤング率、ν
はポワソン比である。
に示す。図２は、長さａ、幅ｂ、厚さｈの長方形板が周
辺で単純支持され、これに数式１で示される一般的な分
布荷重によって、たわみが生じたことを示す概念図であ
る。この長方形板のｘ−ｙ面上、任意の点のたわみ量
ｗ′は、数式２によって表される。式中、Ｄは曲げ剛性
を示し、数式３で表される。ここで、Ｅはヤング率、ν
はポワソン比である。
【００１５】
【数１】
【００１６】
【数２】
【００１７】
【数３】
【００１８】今、図２における長方形板の中央でのたわ
み量ｗは、数式２に、ｘ＝ａ／２、ｙ＝ｂ／２を代入
し、又、数式３を代入することにより、数式４で表され
る。すなわち、長方形板の最大たわみ量は、板の中央で
のたわみ量ｗであり、これは板の厚さｈの３乗に反比例
する。数式４を書き換えると、数式５が得られる。数式
５における板の厚さｈは限界値であるから、長方形板が
分布荷重ｐを受けたときに、長方形板の中央でのたわみ
量ｗを所定の許容範囲に入れるためには、ｈを限界値以
上とすればよい。
み量ｗは、数式２に、ｘ＝ａ／２、ｙ＝ｂ／２を代入
し、又、数式３を代入することにより、数式４で表され
る。すなわち、長方形板の最大たわみ量は、板の中央で
のたわみ量ｗであり、これは板の厚さｈの３乗に反比例
する。数式４を書き換えると、数式５が得られる。数式
５における板の厚さｈは限界値であるから、長方形板が
分布荷重ｐを受けたときに、長方形板の中央でのたわみ
量ｗを所定の許容範囲に入れるためには、ｈを限界値以
上とすればよい。
【００１９】
【数４】
【００２０】
【数５】
【００２１】
【実施例】図１は、本発明の実施例に係るＳＬＭを説明
するための概略断面図である。以下、本実施例によりＳ
ＬＭの作製法を説明する。第１の透明基板１はガラス基
板であり、その片側の面に透明電極層１ａが形成され
る。透明電極層１ａは、高周波スパッタリング法により
形成された厚さ 0.1μm のＩＴＯ（インジウム・スズの
酸化物）の薄膜である。一方、第２の透明基板２も同様
に、厚さ 0.1μm のＩＴＯ薄膜たる透明電極層２ａが形
成される。
するための概略断面図である。以下、本実施例によりＳ
ＬＭの作製法を説明する。第１の透明基板１はガラス基
板であり、その片側の面に透明電極層１ａが形成され
る。透明電極層１ａは、高周波スパッタリング法により
形成された厚さ 0.1μm のＩＴＯ（インジウム・スズの
酸化物）の薄膜である。一方、第２の透明基板２も同様
に、厚さ 0.1μm のＩＴＯ薄膜たる透明電極層２ａが形
成される。
【００２２】先ず、第２透明基板２の厚さｈを算出す
る。第２透明基板２の材質はガラスであり、辺の長さａ
＝48mm、ｂ＝34mm、ポワソン比ν＝0.210 、ヤング率Ｅ
＝8220kgf/mm2 である。第２透明基板２にかかる分布荷
重ｐを100gf/100mm2としたときに、液晶層６の変調の均
一性を得るためには、第２透明基板２の中央でのたわみ
量ｗを、ＳＬＭの読み出し光の波長の１／２である 300
×10-6mm以内とすればよい。上記数値を数式５に代入す
ることによって、ｈ＝3.2mm が導き出される。従って、
第２透明基板２の厚さを3.2mm 以上とすれば、液晶層の
変調の均一性が保たれる。
る。第２透明基板２の材質はガラスであり、辺の長さａ
＝48mm、ｂ＝34mm、ポワソン比ν＝0.210 、ヤング率Ｅ
＝8220kgf/mm2 である。第２透明基板２にかかる分布荷
重ｐを100gf/100mm2としたときに、液晶層６の変調の均
一性を得るためには、第２透明基板２の中央でのたわみ
量ｗを、ＳＬＭの読み出し光の波長の１／２である 300
×10-6mm以内とすればよい。上記数値を数式５に代入す
ることによって、ｈ＝3.2mm が導き出される。従って、
第２透明基板２の厚さを3.2mm 以上とすれば、液晶層の
変調の均一性が保たれる。
【００２３】透明電極層１ａ上には感光体層３が形成さ
れる。感光体層３は、プラズマＣＶＤ法により形成され
た厚さ20μm の非晶質水素化シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）
である。感光体層としては、この他に非晶質水素化炭化
珪素（ａ−ＳｉＣ：Ｈ）、非晶質水素化窒化珪素（ａ−
ＳｉＮ：Ｈ）、非晶質水素化酸化珪素（ａ−ＳｉＯ：
Ｈ）等も用いることができる。
れる。感光体層３は、プラズマＣＶＤ法により形成され
た厚さ20μm の非晶質水素化シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）
である。感光体層としては、この他に非晶質水素化炭化
珪素（ａ−ＳｉＣ：Ｈ）、非晶質水素化窒化珪素（ａ−
ＳｉＮ：Ｈ）、非晶質水素化酸化珪素（ａ−ＳｉＯ：
Ｈ）等も用いることができる。
【００２４】感光体層３上には遮光層４が形成される。
遮光層４は、高周波スパッタリング法により形成された
厚さ 2.5μm のＳｉＯ2 −Ｃｕのサーメット膜である。
遮光層４上には誘電体ミラー層５が形成される。誘電体
ミラー層５は、電子ビーム蒸着法によりＳｉＯ2 膜とＴ
ｉＯ2 膜とを交互に１／４波長分の厚さで合計１３層積
層したもので、全膜厚が約１μm の多層膜であり、その
光学的反射率は９９％以上である。
遮光層４は、高周波スパッタリング法により形成された
厚さ 2.5μm のＳｉＯ2 −Ｃｕのサーメット膜である。
遮光層４上には誘電体ミラー層５が形成される。誘電体
ミラー層５は、電子ビーム蒸着法によりＳｉＯ2 膜とＴ
ｉＯ2 膜とを交互に１／４波長分の厚さで合計１３層積
層したもので、全膜厚が約１μm の多層膜であり、その
光学的反射率は９９％以上である。
【００２５】液晶配向層６ａ及び６ｂは、液晶層６を挟
むように設けられる。液晶配向層６ａは誘電体ミラー層
５の上に、液晶配向層６ｂは透明電極層２ａの上に、い
ずれもポリイミド溶液がスピンコート法で塗布された後
に 150〜 180℃で１時間焼成することにより成膜され
る。液晶配向層６ａ及び６ｂの層厚は焼成後で60nm程度
になるようにスピンコート回転数が制御される。次に、
液晶配向層６ａ，６ｂの表面にはラビング処理が施され
る。ラビング処理条件は、ラビング布や液晶の種類に応
じて、ラビングドラムの回転数、基板に接する圧力等を
変えることによって選択される。ラビング方向は、注入
された液晶の配列方向になり、ＳＬＭを組み上げた際、
透明基板１及び２のラビング方向が互いに４５°の角度
を成すようにラビング処理されている。
むように設けられる。液晶配向層６ａは誘電体ミラー層
５の上に、液晶配向層６ｂは透明電極層２ａの上に、い
ずれもポリイミド溶液がスピンコート法で塗布された後
に 150〜 180℃で１時間焼成することにより成膜され
る。液晶配向層６ａ及び６ｂの層厚は焼成後で60nm程度
になるようにスピンコート回転数が制御される。次に、
液晶配向層６ａ，６ｂの表面にはラビング処理が施され
る。ラビング処理条件は、ラビング布や液晶の種類に応
じて、ラビングドラムの回転数、基板に接する圧力等を
変えることによって選択される。ラビング方向は、注入
された液晶の配列方向になり、ＳＬＭを組み上げた際、
透明基板１及び２のラビング方向が互いに４５°の角度
を成すようにラビング処理されている。
【００２６】各々の液晶配向層表面にラビング処理が施
された後、透明電極層２ａ及び液晶配向層６ｂの上に、
表示部を取り囲むように、スペーサ６ｃが混入された熱
硬化性エポキシ系接着剤７が、液晶注入口のみを残して
スクリーン印刷法により塗布される。熱硬化性エポキシ
系接着剤７にスペーサ６ｃが混入される量は、 300〜40
0個/mm2となるように調整される。又、スペーサは、用
いる液晶に合わせて最適な直径のものを選ぶことができ
る。
された後、透明電極層２ａ及び液晶配向層６ｂの上に、
表示部を取り囲むように、スペーサ６ｃが混入された熱
硬化性エポキシ系接着剤７が、液晶注入口のみを残して
スクリーン印刷法により塗布される。熱硬化性エポキシ
系接着剤７にスペーサ６ｃが混入される量は、 300〜40
0個/mm2となるように調整される。又、スペーサは、用
いる液晶に合わせて最適な直径のものを選ぶことができ
る。
【００２７】各層が形成された透明基板１と、各層が形
成され且つスペーサ混入の接着剤が塗布された透明基板
２とが、液晶配向層６ａと６ｂとが対向するように貼り
合わされる。そして、透明基板同士は適当な圧力で押さ
えつけられつつオーブン中に投じられ、80〜 100℃で90
分間の熱処理によりエポキシ系接着剤７が硬化する。接
着剤硬化後に、ＳＬＭは、真空ベルジャー内に液晶溜ま
りとともにセットされ、真空ベルジャー内の排気に伴い
液晶セル内も低圧となる。液晶セルの液晶注入口が液晶
溜まりに触れると、液晶がセル内に毛細管現象によって
充填され、液晶層６が形成される。
成され且つスペーサ混入の接着剤が塗布された透明基板
２とが、液晶配向層６ａと６ｂとが対向するように貼り
合わされる。そして、透明基板同士は適当な圧力で押さ
えつけられつつオーブン中に投じられ、80〜 100℃で90
分間の熱処理によりエポキシ系接着剤７が硬化する。接
着剤硬化後に、ＳＬＭは、真空ベルジャー内に液晶溜ま
りとともにセットされ、真空ベルジャー内の排気に伴い
液晶セル内も低圧となる。液晶セルの液晶注入口が液晶
溜まりに触れると、液晶がセル内に毛細管現象によって
充填され、液晶層６が形成される。
【００２８】液晶充填後、真空ベルジャー内からＳＬＭ
が取り出され、液晶注入口が紫外線硬化型接着剤で封止
される。封止用接着剤は、液晶を損なうことのない為に
は、加熱硬化型よりも紫外線硬化型の方が望ましい。封
止用接着剤が十分に固化した後、ＳＬＭは、オーブンに
入れられて液晶のクリアリング温度以上に加熱されアニ
ール処理が施され、ＳＬＭが完成する。
が取り出され、液晶注入口が紫外線硬化型接着剤で封止
される。封止用接着剤は、液晶を損なうことのない為に
は、加熱硬化型よりも紫外線硬化型の方が望ましい。封
止用接着剤が十分に固化した後、ＳＬＭは、オーブンに
入れられて液晶のクリアリング温度以上に加熱されアニ
ール処理が施され、ＳＬＭが完成する。
【００２９】尚、本発明のＳＬＭで用いられる液晶とし
ては、ＴＮ液晶、ＳＴＮ液晶、ＰＤＬＣ（高分子分散型
液晶）などがある。
ては、ＴＮ液晶、ＳＴＮ液晶、ＰＤＬＣ（高分子分散型
液晶）などがある。
【００３０】
【発明の効果】以上のとおり、本発明のＳＬＭは、液晶
層の厚さを制御するスペーサを表示部に分布させず表示
部周辺に局在させ、且つ透明基板の厚さを十分に厚くし
た。これによって、本発明のＳＬＭを用いて投影される
画像においては、表示部上でのスペーサの凝集に起因す
るコントラスト比の低下、解像度の低下及び液晶分子の
配向不良による欠陥などを回避でき、良好な表示品質を
得ることができた。
層の厚さを制御するスペーサを表示部に分布させず表示
部周辺に局在させ、且つ透明基板の厚さを十分に厚くし
た。これによって、本発明のＳＬＭを用いて投影される
画像においては、表示部上でのスペーサの凝集に起因す
るコントラスト比の低下、解像度の低下及び液晶分子の
配向不良による欠陥などを回避でき、良好な表示品質を
得ることができた。
【００３１】又、基板のたわみによる液晶層の厚さムラ
が抑制されたことにより、液晶層を表示部全体にわたっ
て均一に変調させることができ、良好な表示品質を得る
ことができた。
が抑制されたことにより、液晶層を表示部全体にわたっ
て均一に変調させることができ、良好な表示品質を得る
ことができた。
【図１】本発明の実施例に係るＳＬＭ（空間光変調素
子）の完成状態を示す概略断面図である。
子）の完成状態を示す概略断面図である。
【図２】周辺を単純支持された長方形板が分布荷重を受
けてたわんだ状態を示す概念図である。
けてたわんだ状態を示す概念図である。
１、２・・・・・透明基板 １ａ、２ａ・・・透明電極層 ３・・・・・・・感光体層 ４・・・・・・・遮光層 ５・・・・・・・誘電体ミラー層 ６・・・・・・・液晶層 ６ａ、６ｂ・・・液晶配向層 ６ｃ・・・・・・スペーサ ７・・・・・・・エポキシ系接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/135 Ｇ０２Ｆ 1/135
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも書き込み光に対して透明な、
第１透明電極層が形成された第１透明基板と、少なくと
も読み出し光に対して透明な、第２透明電極層が形成さ
れた第２透明基板と、該第１及び第２透明電極層の間に
挟持された感光体層、遮光層、ミラー層及び電気光学効
果層たる液晶層を備え、前記感光体層に書き込み光を入
射させ、該書き込み光による前記感光体層の特性変化に
応じて、前記液晶層に入射する読み出し光を変調してそ
の変調光を出射する、光書き込み型空間光変調素子にお
いて、 前記液晶層の厚さを一定に保持するスペーサが表示部に
存在しないように配置されるとともに、 前記第２透明基板は厚さｈ及び辺の長さａ×ｂの四角形
の平板であり、前記第２透明基板に外部荷重ｐが加えら
れた際の第２透明基板の中心部の変位量をｗとし、前記
第２透明基板のポワソン比、ヤング率を各々ν、Ｅとし
たときに、 前記第２透明基板の厚さｈが、 数式：ｈ3 ≧｛12ｐ（１−ν2 ）｝／｛π4 ｗＥ（１／
ａ2＋１／ｂ2 ）2 ｝ を満足する値をもつことを特徴とする空間光変調素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8147021A JPH09329783A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 空間光変調素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8147021A JPH09329783A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 空間光変調素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09329783A true JPH09329783A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15420761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8147021A Pending JPH09329783A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 空間光変調素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09329783A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2337131A (en) * | 1998-05-08 | 1999-11-10 | Sharp Kk | Liquid crystal display element with reduced deformation |
| JP2010229032A (ja) * | 2010-07-09 | 2010-10-14 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 液晶ディスプレイ用ガラス基板及び液晶ディスプレイ |
| WO2018062140A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガラスパネルユニット、ガラス窓およびガラスパネルユニットの製造方法 |
-
1996
- 1996-06-10 JP JP8147021A patent/JPH09329783A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2337131A (en) * | 1998-05-08 | 1999-11-10 | Sharp Kk | Liquid crystal display element with reduced deformation |
| GB2337131B (en) * | 1998-05-08 | 2003-01-29 | Sharp Kk | Liquid crystal display element and manufacturing method thereof |
| JP2010229032A (ja) * | 2010-07-09 | 2010-10-14 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 液晶ディスプレイ用ガラス基板及び液晶ディスプレイ |
| WO2018062140A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガラスパネルユニット、ガラス窓およびガラスパネルユニットの製造方法 |
| JPWO2018062140A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2019-07-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガラスパネルユニット、ガラス窓およびガラスパネルユニットの製造方法 |
| US11117831B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-09-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Glass panel unit, glass window, and method for manufacturing glass panel unit |
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