JPH0933373A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 差圧測定部に入力する基準側の域圧から高周
波成分を効果的に除去する。 【解決手段】 基準域２に一端を開口させた基準側導圧
路ｒｉを介して基準域２の域圧Ｐｉを入力する基準圧入
力部ａと、対比域１に一端を開口させた対比側導圧路ｒ
ｓを介して対比域１の域圧Ｐｓを入力する対比圧入力部
ｂと、これら入力部ａ，ｂに入力される両域圧Ｐｉ，Ｐ
ｓの差ΔＰを測定する差圧測定部ｃとを備える差圧測定
装置において、基準側導圧路ｒｉに、その路長方向の一
部箇所において導圧路断面積を縮小する絞り部Ｘと、こ
の絞り部Ｘよりも基準圧入力部ａの側に位置して絞り部
Ｘにおける導圧路断面積よりも大きな導圧路断面積を有
する緩衝用容積部Ｙとを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基準域に一端を開
口させた基準側導圧路を介して前記基準域の域圧を入力
する基準圧入力部と、対比域に一端を開口させた対比側
導圧路を介して前記対比域の域圧を入力する対比圧入力
部と、これら入力部に入力される両域圧の差を測定する
差圧測定部とを備える差圧測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の差圧測定装置において、
基準域２の域圧Ｐｉを基準圧入力部ａに導く基準側導圧
路ｒｉは、図８に示すように、比較的大口径（例えば、
呼び径５０Ａ）で基準域２に対する開口端から閉塞他端
までの全長にわたって一様な径の主導圧配管１４’を、
基準域２から差圧測定部ｃを備える測定装置本体１０の
設置箇所近傍にまで延設（例えば４０ｍにもわたって延
設）し、そして、この主導圧配管１４’と測定装置本体
１０における基準圧入力部ａとの間の残りの短尺部分を
小口径の接続管１５（例えば口径８ｍｍのチューブ等）
により接続する構成を採っていた。なお、図中１は対比
域、ｂは対比圧入力部、１３は対比側導圧路ｒｓを形成
するチューブ等の小口径配管である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来構
造では、基準とする基準域２の域圧Ｐｉそのものが外風
圧などの影響を受けて図２（イ）に示す如く外乱的な高
周波成分を含む周波数特性で変動する場合、この域圧変
動が上記の主導圧配管１４’内を各周波成分ともにそれ
ほど大きく減衰することなく伝播して端末の小口径接続
管１５を介し基準圧入力部ａに入力されるため、差圧測
定部ｃにより測定される基準域２と対比域１との域圧差
ΔＰにも、上記の外乱的高周波成分が原因となった高周
波変動成分が現れ、この為、基準域２の域圧Ｐｉを基準
とする差圧測定により対比域１の域圧変動動向を監視す
ることにおいて、対比域１の微妙な域圧変動を精度良く
正確に把握することが難しくなる問題があった。

【０００４】殊に、測定差圧ΔＰに基づき各清浄域（＝
各対比域１）に対する給気風量や排気風量を自動調整す
ることで、各清浄域と一般域（＝基準域２）との域圧差
ΔＰ、及び、清浄域どうしの域圧差を各々の所定目標値
に保って各清浄域の清浄度を維持する、いわゆる差圧制
御実施のクリーンルーム設備では、風量調整に対する応
答として、また、清浄域における外乱要素（例えば局部
給排気装置の発停や作業者の出入りによるドアの開閉）
の影響で、各清浄域の域圧Ｐｓがどのように変動したか
を測定差圧ΔＰに基づき精度良く監視することが清浄度
の保全管理において重要となるため、上記問題の解消が
特に強くに望まれていた。

【０００５】以上の実情に対し、本発明の主たる課題
は、外風圧などの影響により基準域において外乱的な高
周波成分を含む域圧変動が生じたとしても、この高周波
成分が測定差圧の高周波変動成分として現れることを効
果的に抑制でき、基準域の域圧変動のうち差圧測定での
基準に足る安定的な低周波成分のみが測定差圧に反映さ
れるようにする点にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

〔請求項１記載の発明について〕請求項１に係る発明は
差圧測定装置に係り、その特徴は、基準域に一端を開口
させた基準側導圧路を介して前記基準域の域圧を入力す
る基準圧入力部と、対比域に一端を開口させた対比側導
圧路を介して前記対比域の域圧を入力する対比圧入力部
と、これら入力部に入力される両域圧の差を測定する差
圧測定部とを備える構成において、前記基準側導圧路
に、その路長方向の一部箇所において導圧路断面積を縮
小する絞り部と、この絞り部よりも前記基準圧入力部の
側に位置して前記絞り部における導圧路断面積よりも大
きな導圧路断面積を有する緩衝用容積部とを設けたこと
にある。

【０００７】すなわち、請求項１に係る発明では（図１
参照）、基準域２の域圧Ｐｉが高周波成分を含む周波数
特性で変動したとしても、基準側導圧路ｒｉに導入され
る基準域２の域圧変動に対して、基準側導圧路ｒｉに設
けた絞り部Ｘと緩衝用容積部Ｙとの協働作用で緩衝効果
が生じるため、基準側導圧路ｒｉに導入される基準域２
の域圧変動のうち、高周波成分については効果的な減衰
効果が現れ、一方、低周波成分については大きく減衰す
ることなく基準側導圧路ｒｉ中を伝播する。そして、絞
り部Ｘにおける縮小導圧路断面積を小さく設定するほ
ど、また、緩衝用容積部Ｙの容積を大きく設定するほ
ど、高周波成分に対する減衰効果を高くすることができ
る。

【０００８】つまり、定性的に言えば、基準域２におけ
る域圧Ｐｉの変化に伴い、基準域２側から絞り部Ｘを介
して緩衝用容積部Ｙに導圧流体が流入、ないし、緩衝用
容積部Ｙから導圧流体が絞り部Ｘを介して基準域２側に
流出し、これら導圧流体の流出入により緩衝用容積部Ｙ
の内部圧が基準域２の域圧変化に応じて変化するが、導
圧路断面積を縮小した絞り部Ｘでの通過抵抗により基準
域２の域圧変化に抗して上記導圧流体の流出入が制限さ
れて、緩衝用容積部Ｙの容積に対する単位時間当たり流
出入量の比率が絞り部Ｘのない場合に比べ小さくなるこ
とから、緩衝用容積部Ｙにおける内部圧（及び、それ以
降の基準側導圧路ｒｉにおける内部圧）の変化速度が基
準域２における域圧Ｐｉの変化速度に比べて小さくなり
（すなわち、上記の緩衝効果を生じ）、そして、このよ
うに基準域２の域圧変化に対して緩衝用容積部Ｙにおけ
る内部圧の変化が遅れることから、基準側導圧路ｒｉに
導入された基準域２の域圧変動のうち高周波成分につい
ては、その早い変化に応答しきれない伝播特性となって
大きな減衰効果が現れる。

【０００９】ちなみに、Ｐｉ：基準域の域圧、Ｐｒ：緩
衝用容積部の内部圧、Ｐｏ：大気圧、Ｖｒ：緩衝用容積
部の容積、Ｋｏ：抵抗係数等の含む絞り部の係数値とす
れば、緩衝用容積部における内部圧Ｐｒの時間変化率は
次式（数１）で示され、

【００１０】

【数１】ｄＰｒ／ｄｔ＝Ｐｏ（｜Ｐｉ−Ｐｒ｜）^1/2 Ｓ
／ＶｒＫｏ 但し、Ｐｉ−Ｐｒ≧０のとき、Ｓ＝１ Ｐｉ−Ｐｒ＜０のとき、Ｓ＝−１

【００１１】この式から、本装置が電気回路におけるロ
ーパス型ＲＣ回路と等価の一次遅れ系であって、緩衝用
容積部の容積Ｖｒがローパス型ＲＣ回路におけるコンデ
ンサ容量Ｃに対応し、絞り部の係数値を含むＫｏ／Ｐｏ
がローパス型ＲＣ回路における抵抗値Ｒに対応するこ
と、並びに、絞り部における縮小導圧路断面積を小さく
設定する程（すなわち、上記Ｋｏを大きく設定する
程）、また、緩衝用容積部の容積Ｖｒを大きく設定する
程、緩衝効果が大きなものとなって高周波成分に対する
減衰効果が高くなることがわかる。

【００１２】〔請求項２記載の発明について〕請求項２
に係る発明の特徴は、請求項１に係る発明において、前
記絞り部と前記基準圧入力部とに連通させたタンクを前
記緩衝用容積部としてあることにある。

【００１３】すなわち、請求項２に係る発明では（同図
１参照）、基準側導圧路ｒｉの形成において、前記絞り
部Ｘと基準圧入力部ａとに連通させたタンク１８を設け
ることで、このタンク１８を前記の緩衝用容積部Ｙとし
て機能させ、そして、タンク容積により緩衝用容積部Ｙ
の容積を大きく確保することで高周波成分に対する所要
の高減衰効果を得る。

【００１４】〔請求項３記載の発明について〕請求項３
に係る発明の特徴は、請求項２に係る発明において、前
記緩衝用容積部としての前記タンクを複数設けたことに
ある。

【００１５】すなわち、請求項３に係る発明では（図７
参照）、一つのタンクの大きさを種々選定して緩衝用容
積部Ｙの必要容積を得るに代え、タンク１８の設置数の
選定により緩衝用容積部Ｙの必要容積を確保することで
高周波成分に対する所要の高減衰効果を得る。

【００１６】〔請求項４記載の発明について〕請求項４
に係る発明の特徴は、請求項３に係る発明において、複
数の前記タンクのうち、代表のタンクを前記基準側導圧
路の形成配管に介装し、他のタンクは連通管を介して前
記代表のタンクに連通させてあることにある。

【００１７】すなわち、請求項４に係る発明では（同図
７参照）、複数のタンク１８を設けるにあたり、これら
複数タンクの全てに基準側導圧路の形成配管を分岐接続
して複数タンクを並列配置で基準側導圧路の形成配管に
介装する形態、あるいは、これら複数タンクの全てを直
列配置で基準側導圧路の形成配管に介装する形態に代
え、これらタンク１８のうち、代表のタンク１８Ａのみ
を基準側導圧路ｒｉの形成配管に介装し、他のタンク１
８Ｂについては、この代表タンク１８Ａに対し直接に連
通管１９を用いて接続する、あるいは、代表タンク１８
Ａに接続したタンク１８Ｂに対しさらに連通管１９を用
いて接続するといった形態で、代表のタンク１８Ａに連
通させ、これにより、これら複数タンク１８の全体を緩
衝用容積部Ｙとして機能させる。

【００１８】〔請求項５記載の発明について〕請求項５
に係る発明の特徴は、請求項１、２、３又は４に係る発
明において、前記基準側導圧路のうち前記絞り部よりも
前記基準圧入力部の側の部分を形成する配管を前記緩衝
用容積部としてあることにある。

【００１９】すなわち、請求項５に係る発明では（図１
参照）、基準側導圧路ｒｉのうち前記の絞り部Ｘよりも
基準圧入力部ａの側の部分を形成する配管１４につい
て、絞り部Ｘにおける縮小導圧路断面積よりも大きな導
圧路断面積となる適当な配管口径を選定することで、こ
の部分の配管１４そのものを前記の緩衝用容積部Ｙとし
て機能させ、適当な口径選定と、この配管１４の施設長
さにより緩衝用容積部Ｙの必要容積を大きく確保するこ
とで、高周波成分に対する所要の高減衰効果を得る。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１はクリーンルーム施設を示
し、１は建屋内における清浄域（対比域）、２は建屋内
における一般域（基準域）であり、各清浄域１には給気
ファン３により給気風路４及び高性能フィルタ５を介し
て清浄空気ＳＡが供給され、また、各清浄域１からは域
内空気が排気風路６を介して排気ファン７により排出さ
れる。

【００２１】各清浄域１に対する分岐給気風路４ａに
は、前記高性能フィルタ５とともに定風量装置８を介装
し、また、各清浄域１に対する分岐排気風路６ａには域
圧調整用の風量調整ダンパ９を介装してあり、定風量装
置８により各清浄域１への給気風量を一定に保った状態
で、風量調整ダンパ９により各清浄域１からの排気風量
を微調整することで、各清浄域１の給排気量収支を調整
して各清浄域１の域圧Ｐｓを調整する。

【００２２】各清浄域１に対しては、基準側導圧路ｒｉ
により導かれる一般域２の域圧Ｐｉと対比側導圧路ｒｓ
により導かれる対応清浄域１の域圧Ｐｓとの差ΔＰを測
定する差圧測定計１０、及び、この差圧測定１０の測定
差圧ΔＰ（＝Ｐｓ−Ｐｉ）に基づいて、各清浄域１の域
圧Ｐｓが一般域２の域圧Ｐｉよりも各清浄域１ごとに設
定された所定値ΔＰｍだけ高い状態を維持するように前
記風量調整ダンパ９を操作する域圧制御器１１を設けて
あり、これにより、一般域２から各清浄域１への汚染空
気侵入、及び、要求清浄度の低い清浄域１から要求清浄
度の高い清浄域１への汚染空気侵入を防止して、高性能
フィルタ５を介しての清浄空気供給との協働で各清浄域
１の要求清浄度を維持する。

【００２３】また、１２は各差圧測定計１０による測定
差圧ΔＰの経時変化を記録する記録計であり、清浄度の
保全管理として、この記録結果により、一般域２の域圧
Ｐｉを基準とした各清浄域１の域圧変動動向を監視す
る。

【００２４】各差圧測定計１０は、一般域２の域圧Ｐｉ
を入力する基準圧入力部ａ、清浄域１の域圧Ｐｓを入力
する対比圧入力部ｂ、並びに、これら入力部ａ，ｂに入
力される両域圧Ｐｉ，Ｐｓの差ΔＰを測定して、その測
定差圧ΔＰに対応する差圧信号を前記域圧制御器１１や
記録計１２に対し出力する差圧測定部ｃを装置本体に備
え、清浄域１の域圧Ｐｓを対比圧入力部ｂに導く前記の
対比側導圧路ｒｓは、一端を対比圧入力部ｂに接続し他
端を清浄域１に開口させた小口径導圧管１３（例えば口
径８ｍｍ程度のチューブ等）により形成してある。

【００２５】一方、基準とする一般域２の域圧Ｐｉを基
準圧入力部ａに導く前記の基準側導圧路ｒｉについて
は、比較的大口径（例えば呼び径３２Ａ〜６５Ａ程度）
で全長にわたって一様な径の基準圧配管１４を一般域２
から各差圧測定計１０の設置箇所近傍にまでわたらせて
施設し、この基準圧配管１４と各差圧測定計１０におけ
る基準圧入力部ａとの間の残りの短尺部分を小口径の接
続管１５（例えば口径８ｍｍのチューブ等）により接続
してある。なお、基準圧配管１４の差圧測定計１０側の
端部は閉塞端としてある。

【００２６】また、一般域２には、オリフィス１６（例
えば、オリフィス孔が２φ）を介装した中口径（例えば
呼び径２０Ａ）の付設管１７によりタンク内部を一般域
２に開放させたタンク１８を設置し、このタンク１８に
上記基準圧配管１４の一般域側端部を接続してある。

【００２７】つまり、上記の付設管１７、タンク１８、
基準圧配管１４、接続管１５により基準側導圧路ｒｉを
形成するが、この基準側導圧路ｒｉにおいて、付設管１
７に介装したオリフィス１６は、路長方向の一部箇所で
導圧路断面積を縮小する絞り部Ｘを構成し、また、タン
ク１８及び比較的大口径の基準圧配管１４は、上記の絞
り部Ｘよりも基準圧入力部ａの側に位置して絞り部Ｘに
おける導圧路断面積よりも大きな導圧路断面積を有する
緩衝用容積部Ｙを構成する。

【００２８】そして、基準側導圧路ｒｉに上記の如き絞
り部Ｘ及び緩衝用容積部Ｙを設けることにより、基準側
導圧路ｒｉに導入される一般域２の域圧変動に対し緩衝
効果を生じさせ、これにより、基準側導圧路ｒｉに導入
される図２（イ）に示す如き一般域２の域圧変動のう
ち、外風圧等の影響で生じる高周波成分については効果
的に減衰させて、この高周波成分に原因する高周波変動
成分が差圧測定計１０の測定差圧に現れることを防止
し、一般域２の域圧変動のうち差圧測定での基準に足り
る図２（ロ）に示す如き安定的な低周波成分のみが基準
圧入力部ａに入力されて測定差圧ΔＰに反映されるよう
にしてある。

【００２９】ちなみに、図３の（イ）〜（ハ）は、オリ
フィス孔が３φのオリフィス１６を用いてタンク１８及
び基準圧配管１４の実験条件を変えた場合に得られる減
衰特性を示し、図３（イ）〜（ハ）夫々での実験条件は
次の通りである。

【００３０】 図３（イ）：タンクなし、基準圧配管 32A×40m 図３（ロ）：タンクなし、基準圧配管 65A×40m 図３（ハ）：タンク 425× 425×1200mm、基準圧配管 3
2A×40m

【００３１】また、図４はタンク１８及び基準圧配管１
４についての各実験条件（〜）においてオリフィス
孔の孔径を２φ〜６φにわたって変更した場合の減衰効
果の変化を示し、縦軸値には、前記図３で示した如き減
衰曲線についての周波数０．０６Ｈｚ〜０．５Ｈｚまで
の区間の積分値（すなわち、減衰効果の強さの逆数）を
採ってある。なお、積分の対象とする減衰曲線は、基準
圧配管１４がある場合については基準圧配管前部の減衰
曲線を用い、基準圧配管１４がない場合についてはタン
ク１８内の減衰曲線を用いている。

【００３２】図４におけるタンク１８及び基準圧配管１
４の各実験条件（〜）は次の通りである。 ：タンク(425× 425×1200mm) １個、基準圧配管なし ：タンク(425× 425×1200mm) ２個、基準圧配管なし ：タンク(425× 425×1200mm) ３個、基準圧配管なし ：タンクなし、基準圧配管 32A×40m ：タンクなし、基準圧配管 50A×40m ：タンクなし、基準圧配管 65A×40m ：タンク(425× 425×1200mm) １個、基準圧配管 32A
×40m ：タンク(425× 425×1200mm) １個、基準圧配管 50A
×40m ：タンク(425× 425×1200mm) １個、基準圧配管 65A
×40m

【００３３】〔別の発明実施形態〕・前述の実験条件で
も示したが、図５に示す如くタンク１８を省略して、比
較的大口径の基準圧配管１４のみにより緩衝用容積部Ｙ
を形成してもよく、また逆に、図６に示す如く基準圧配
管１４を省略して、タンク１８のみにより緩衝用容積部
Ｙを形成してもよい。

【００３４】・緩衝用容積部Ｙとしてのタンク１８を複
数設ける場合、図７に示す如く、複数タンク１８のうち
の代表のタンク１８Ａを基準側導圧路ｒｉの形成配管に
介装し、他のタンク１８Ｂは連通管１９（例えば４０Ａ
のホース）を介して代表のタンク１８Ａに連通させる構
成を採ってもよい。また場合によっては、複数タンク１
８の全てに基準側導圧路ｒｉの形成配管を分岐接続して
複数タンク１８を並列配置で基準側導圧路ｒｉの形成配
管に介装する形態、あるいは、これら複数タンク１８の
全てを直列配置で基準側導圧路ｒｉの形成配管に介装す
る形態を採ってもよい。

【００３５】・前述の実施形態の如くオリフィス１６に
より絞り部Ｘを形成するに代え、ベンチュリーやノズ
ル、あるいは、小径チューブや弁などにより絞り部Ｘを
形成してもよい。

【００３６】・絞り部Ｘにおける導圧路断面積をどの程
度のものとし、また、緩衝用容積部Ｙにおける導圧路断
面積を絞り部Ｘにおける縮小導圧路断面積よりもどの程
度に大きいものとして、緩衝用容積部Ｙの容積をどの程
度の容積とするかについては、必要減衰効果などに応じ
て適宜決定すればよい。

【００３７】・前述の実施形態では、クリーンルーム施
設における清浄域１を対比域とし、一般域２を基準域と
する場合を示したが、基準域及び対比域は夫々、どのよ
うな目的の域であってもよい。

【００３８】・基準圧入力部ａから入力される域圧Ｐｉ
と対比圧入力部ｂから入力される域圧Ｐｓとの差ΔＰを
測定する差圧測定部ｃには、種々の差圧測定形式のもの
を採用できる。

【００３９】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするため符号を記すが、該記入により本発明は添
付図面の構成に限定されるものではない。

【００４０】

【発明の効果】

・請求項１に係る発明によれば、基準域において高周波
成分を含む域圧変動が生じたとしても、基準側導圧路に
導入される基準域の域圧変動のうち高周波成分のみを効
果的に減衰させ得ることから、この高周波成分が測定差
圧の高周波変動成分として現れることを効果的に抑止で
きて、基準域の域圧変動のうち差圧測定での基準に足る
安定的な低周波成分のみを測定差圧に反映させることが
でき、これにより、基準域の域圧を基準とする差圧測定
により対比域の域圧変動動向を監視することにおいて、
対比域の微妙な域圧変動を、先述の従来装置に比べ基準
域での域圧変動における高周波成分の影響の少ない状態
で常に精度良く正確に把握することが可能となる。

【００４１】そして、先述の如き差圧制御実施のクリー
ンルーム設備では、清浄域（＝対比域）の域圧が、風量
調整に対する応答として、また、清浄域における外乱要
素の影響で、どのように変動したかを測定差圧に基づき
精度良く正確に監視できることで、清浄度の保全管理を
一層高度に実施し得る。

【００４２】・請求項２に係る発明によれば、本来的に
容積確保に用いるものであって単純構造で必要設置スペ
ースに対する容積確保率が大きなタンクを用いて緩衝用
容積部を構成するから、装置全体の必要設置スペースを
小さくしながら、緩衝用容積部の容積を大きく確保して
高周波成分に対する高い減衰効果を得ることができ、特
に、基準圧入力部を備える測定装置本体と基準域との離
間距離が小さい場合における緩衝用容積部の容積確保が
容易となる。

【００４３】・請求項３に係る発明によれば、タンク設
置数の選定により緩衝用容積部の必要容積を確保するか
ら、緩衝用容積部の必要容積が設置ケースにより異なる
ことに対し、その必要容積に応じた容積のタンクを設置
ケースごとに製作するに比べ、一種ないし少数種のタン
クを複数個準備しておくだけで種々の設置ケースに容易
に対応できる。

【００４４】・請求項４に係る発明によれば、基準側導
圧路の形成配管に介装する代表タンク以外のタンクにつ
いては、導圧路形成配管の組み換えを必要とすることな
く、追加設置したり取り外したりすることができるか
ら、タンク設置数の選定により緩衝用容積部の必要容積
を得る形態での装置設置や装置改造を容易に行える。

【００４５】・請求項５に係る発明によれば、基準側導
圧路の形成配管そのものを利用して緩衝用容積部を構成
するから、装置全体の製作・設置施工を容易にしなが
ら、緩衝用容積部の必要容積を確保して高周波成分に対
する高い減衰効果を得ることができ、特に、基準圧入力
部を備える測定装置本体と基準域との離間距離が大きく
て導圧路形成配管の施設長さが大きくなる場合における
緩衝用容積部の容積確保が容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンルーム施設に適用した場合の装置構成
図

【図２】圧力変動を示すグラフであり、（イ）は高周波
成分が減衰する以前の圧力変動を示し、（ロ）は高周波
成分が減衰により除去されたのちの圧力変動を示す。

【図３】実験結果の減衰特性を示すグラフ

【図４】実験結果の減衰効果を示すグラフ

【図５】別実施形態を示す概略の装置構成図

【図６】他の別実施形態を示す概略の装置構成図

【図７】他の別実施形態を示すタンクの接続構造部

【図８】従来の装置構成を示す図

【符号の説明】

２ 基準域 ｒｉ 基準側導圧路 Ｐｉ 基準域の域圧 ａ 基準圧入力部 １ 対比域 ｒｓ 対比側導圧路 Ｐｓ 対比域の域圧 ｂ 対比圧入力部 ΔＰ 域圧差（差圧） ｃ 差圧測定部 Ｘ 絞り部 Ｙ 緩衝用容積部 １８ タンク １８Ａ 代表のタンク １８Ｂ 他のタンク １９ 連通管 １４ 配管

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準域（２）に一端を開口させた基準側
   導圧路（ｒｉ）を介して前記基準域（２）の域圧（Ｐ
   ｉ）を入力する基準圧入力部（ａ）と、対比域（１）に
   一端を開口させた対比側導圧路（ｒｓ）を介して前記対
   比域（１）の域圧（Ｐｓ）を入力する対比圧入力部
   （ｂ）と、これら入力部（ａ），（ｂ）に入力される両
   域圧（Ｐｉ），（Ｐｓ）の差（ΔＰ）を測定する差圧測
   定部（ｃ）とを備える差圧測定装置であって、 前記基準側導圧路（ｒｉ）に、その路長方向の一部箇所
   において導圧路断面積を縮小する絞り部（Ｘ）と、この
   絞り部（Ｘ）よりも前記基準圧入力部（ａ）の側に位置
   して前記絞り部（Ｘ）における導圧路断面積よりも大き
   な導圧路断面積を有する緩衝用容積部（Ｙ）とを設けた
   差圧測定装置。
2. 【請求項２】 前記絞り部（Ｘ）と前記基準圧入力部
   （ａ）とに連通させたタンク（１８）を前記緩衝用容積
   部（Ｙ）としてある請求項１記載の差圧測定装置。
3. 【請求項３】 前記緩衝用容積部（Ｙ）としての前記タ
   ンク（１８）を複数設けた請求項２記載の差圧測定装
   置。
4. 【請求項４】 複数の前記タンク（１８）のうち、代表
   のタンク（１８Ａ）を前記基準側導圧路（ｒｉ）の形成
   配管に介装し、他のタンク（１８Ｂ）は連通管（１９）
   を介して前記代表のタンク（１８Ａ）に連通させてある
   請求項３記載の差圧測定装置。
5. 【請求項５】 前記基準側導圧路（ｒｉ）のうち前記絞
   り部（Ｘ）よりも前記基準圧入力部（ａ）の側の部分を
   形成する配管（１４）を前記緩衝用容積部（Ｙ）として
   ある請求項１、２、３又は４記載の差圧測定装置。