JPH0935590A - 真空バルブ及び真空バルブ用接点材料の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接点片表面の生成物、付着物を除去、低減し
て表面汚染の少ない接点片とし、信頼性及び生産性を高
めることを目的とする。 【解決手段】 接点素材の温度が７０℃を超えないよう
に制御しながら所定形状の接点片に加工する第１の工程
と、接点片を圧力が８×１０^-5〜５×１０^-7Torrの範囲
の真空雰囲気中、温度が８００〜１０５０℃、処理時間
が５分以上の各条件で高温加熱処理を行う第２の工程
と、接点片を圧力が５×１０^-5Torr以下の真空中におい
て１０５０℃を超えない温度でロウ付けし気密封着接合
する第３の工程とを有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高信頼性が得られ
る真空バルブ及び真空バルブ用接点材料の製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】真空中でのアーク拡散性を利用して高真
空中で電流遮断を行わせる真空バルブは、その接点が、
対向する固定、可動の２つで構成されている。真空遮断
器には、大電流遮断性能、耐電圧性能、耐溶着性能の基
本的３要件の他に、接触抵抗性能、耐消耗性能、電流裁
断性能、再点弧特性さらにはロウ付け特性等も重要な要
件となっている。しかしながら、これらの要件の中には
相反するものがある関係上、単一の金属種の接点材料に
よって総ての要件を満足させることは不可能である。こ
のため実用されている多くの接点材料においては、不足
する性能を相互に補えるような２種以上の元素を組み合
わせることによって、例えば大電流用、高耐圧用などの
ように特定の用途に合った接点材料の選択採用が行わ
れ、それなりに優れた特性を持つ真空バルブが開発され
ている。しかし、さらに強まる要求を十分満足できる真
空バルブは未だ得られていないのが実情である。

【０００３】例えば、大電流遮断性を目的とした接点と
して、Ｃｒを７０ｖｏｌ％含有したＣｕ−Ｃｒ合金が知
られている（特公昭４５−３５１０１号公報）。この合
金は、Ｃｒ自体がＣｕと略同等の蒸気圧特性を保持しか
つ強力なガスのゲッタ作用を示す等の効果で高電圧大電
流遮断性能を実現している。即ちＣｕ−Ｃｒ合金は、高
耐圧性能と大容量遮断性能とを両立させ得る接点として
多用されている。

【０００４】焼結法により製造したＣｒ−Ｃｕ合金で
は、ＣｕとＣｒ粉を混合したものを圧縮加圧成型しこれ
を高温で焼結する粉末冶金法によって接点素材としてい
る。そのため、圧縮加圧時に不純物の混入や酸素含有量
の増加、吸着の問題がある。この後、Ｃｕ−Ｃｒ合金を
所定形状の接点片として加工する。この工程までに接点
片の表面は活性度の高いＣｒが選択的に雰囲気の影響を
受け（耐弧性成分としてＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，
Ｔａ，Ｃｒ，Ｙを含有する接点材料の共通的な課題）、
主として酸化物を生成していることが多い。即ち、この
ような表面状態を持ったままの接点片が次の工程（接点
片と導電軸／電極等との銀ロウ付け工程）に供されてい
ることが判った。接点素材を製造（焼結工程など）する
とき、接点素材から接点片へ加工時などに表面汚染を受
けるチャンスが多い。そこで原材料の選択、雰囲気の管
理等の対策を実施しているが必ずしも完全な技術とはな
っていない。

【０００５】従来より、接点材料の製造においては、熱
処理に先立ち、原料粉体を混合した後、成型プレス機械
によって所定形状に圧粉成型した成型体を、焼結、熱処
理に供することが行われている。しかし成型プレス機械
によって粉体を圧縮するため、成型体内部にガスの残存
が避けられず熱処理時（焼結時）に、焼結体を変色、酸
化させる不具合が見られる場合がある。また上記成型体
の焼結において、熱処理中の成型体を収納する容器が原
因して焼結体を変色、酸化させる不具合が見られる場合
がある。これらは何れも成型時のガスの閉じ込め、焼結
時の雰囲気、容器から放出されるガスの影響などが原因
と考えられ、完全に管理することは困難な問題とされて
いる。

【０００６】そこで、真空バルブを組み立てる実際のプ
ロセスには、真空封着後に可動、固定の接点間に例えば
１ｋＡ以上の大電流を印加する電流エージング、又は例
えば１０ｋＶ以上の高電圧等を印加する電圧エージング
によって、接点表面の生成物、付着物を分解、飛散さ
せ、表面クリーニングを行ってから製品としている例も
あるが、製造経費の問題と信頼性の点、安全性の点に問
題が残っている。

【０００７】以上のように、接点素材及び接点片を健全
化する技術、電流エージング、電圧エージング等の電気
的に表面クリーニングをする技術の何れもがまだ完全な
技術とはなっていないのが現状である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明者が、健全な真
空バルブ用接点製造技術を得ることを目的に、Ｃｕ−Ｃ
ｒを代表例として、接点片として加工した状態の後の表
面（真空バルブに組み立てられる直前）を調べたとこ
ろ、すでにその表面の微小部分にはＣｒ酸化物、Ｃｕ酸
化物、水滴の他に油脂類、粉塵類、加工屑類などの存在
が確認された。しかもこれらの付着量、付着比率、種類
は各接点片でまちまちの状態であることも判った。この
まちまちの状態は、真空バルブとしての諸特性のばらつ
きの管理において、厄介な問題となっている。例えば再
点弧特性、耐電圧特性、接触抵抗特性、温度上昇特性、
さらにはロウ付け特性などに重要な影響を及ぼすにも拘
らず、接点加工工程もしくはその前までの工程を十分管
理しても好ましい状態を得るには至らなかった。そのた
め真空バルブとして組み立てた後に、前述の電気的に表
面クリーニングを行うエージング技術が提案され一部実
用化されている。しかし、この方法では接点面の全面に
これら大電流、又は高電圧を印加することは理論的に不
可能であって、確率的にどうしてもＣｒ酸化物等の除去
が十分には行われていないミクロ面積部分が残存し、上
記の各特性の安全性等の信頼性の観点で問題があるのみ
ならず処理が繁雑で生産性、経済性にも問題があった。

【０００９】そこで本発明は、接点片加工等の工程にお
ける接点片表面の生成物、付着物を除去、低減して表面
汚染の少ない接点片とすることができ、真空バルブの組
み立て後に、電気的なエージングを不要として信頼性及
び生産性の高い真空バルブ及び真空バルブ用接点材料の
製造方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の真空バルブの製造方法は、Ｔｉ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つ
を１〜７５ｗｔ％含有した耐弧性成分と、残部がＣｕ，
Ａｇの少なくとも１つからなる導電性成分とで構成され
た接点素材に対し、加工中の当該接点素材の温度が７０
℃を超えないように制御しながら所定形状の接点片に加
工する第１の工程と、前記接点片を圧力が８×１０^-5〜
５×１０^-7Torrの範囲の真空雰囲気中、温度が８００〜
１０５０℃、処理時間が５分以上の各条件で高温加熱処
理を行う第２の工程と、該第２の工程の後、前記接点片
を圧力が５×１０^-5Torr以下の真空中において１０５０
℃を超えない温度でロウ付けし気密封着接合する第３の
工程とを有することを要旨とする。

【００１１】本発明者らは、大電流印加工程もしくは高
電圧印加工程など電気的方法によらない安定した接点片
の製造のために、接点表面の検討、真空バルブ特性とを
対比し研究した結果、本発明を完成するに至った。即
ち、最新の開閉装置プラントや開閉システムでも、その
性能がたった１つの接点材料、接点部品の品質によって
ばらつきが出たり、機能が発揮されないケースが存在す
る場合がある。本発明者が真空バルブ製造の各工程を検
討したところ、上記の開閉装置プラントや開閉システム
の電気的（又は機械的、化学的）性能のばらつきは、真
空バルブ組み立て直前（真空排気完了直前までの雰囲気
状態）の、接点片の表面状態と相関している傾向にある
ことが判明した。特に、接点片を所定条件に制御するこ
とにより、上記した開閉装置プラントや開閉システムの
性能のばらつきを低減化できることを見出だした。即
ち、繁雑かつ高価で信頼性の低い電気的処理に代って、
安定した諸特性を持つ真空バルブを製造するためには、
真空バルブ組み立て直前の接点片表面の処理が不可欠で
あることを示唆している。

【００１２】前記したように、被熱処理金属粉末（接点
材料原料粉末）を、所定形状に圧粉成型した場合の成型
時のガスの閉じ込め或いは焼結時の雰囲気が原因となっ
て、焼結後の焼結体に被膜生成などの不具合が見られ
る。このような状態の接点素材を真空バルブ用接点材料
として使用したときは耐電圧特性、遮断特性に悪影響を
与える。また、被熱処理金属粉末が焼結処理によって、
熱処理用容器から受ける影響で、健全な接点素材を製造
することができず、このような状態の接点素材を真空バ
ルブ用接点材料として使用したときは耐電圧特性、遮断
特性に悪影響を与える。

【００１３】請求項１記載の発明は、上記した不具合状
態にある接点片の表面を電気的でなく熱的に健全化しよ
うとするものであり、上記構成とすることにより、仮に
加工後の接点片に被膜等の不具合があっても、第１〜第
３の工程を組み合わせ処理することで、接点片の被膜等
の欠陥部分を除去し無害化することが可能となる。第１
の工程で、加工中の接点素材の温度が７０℃を超えない
ように制御しながら加工し接点片とする理由は、実験に
よって確認決定した数値であって、この数値を超えた加
工によって製作した接点片では、後続する第２の工程、
第３の工程を所定条件範囲内としても、十分な耐電圧特
性、電流遮断特性が得られない傾向を示したためであ
る。第２の工程の高温加熱処理の各条件を、圧力が８×
１０^-5〜５×１０^-7Torrの範囲の真空雰囲気中、温度が
８００〜１０５０℃、処理時間が５分以上とした理由
は、接点片被加工面への表面吸着ガスが十分に除去され
低い再点弧発生頻度を示すと共に極めて好ましい静耐電
圧特性、遮断特性を示したためである。真空度を例えば
８×１０^-4Torrとした場合には、著しい再点弧が発生し
たのみならず静耐電圧特性、遮断特性とも低い値を示す
と共にその値に著しいばらつきが見られた。また処理温
度を例えば６５０℃とした場合には、静耐電圧特性、遮
断特性が十分とならない。第３の工程で、ロウ付け、気
密封着接合時の条件を圧力が５×１０^-5Torr以下の真空
中において１０５０℃を超えない温度とした理由は、上
記と同様に、低い再点弧発生頻度を示すと共に極めて好
ましい静耐電圧特性、遮断特性を示したためである。Ｔ
ｉ，Ｃｒなど耐弧性成分の酸化被膜は一般に還元が困難
であり、また熱的に分解させるにも大きなエネルギを要
するため、従来では本発明のような熱的手段によりクリ
ーニングは検討されていない。そこで従来では大きなエ
ネルギ印加が可能な大電流エージング、高電圧エージン
グのみが行われている。しかしこの場合大きなエネルギ
印加のため、導電性成分の必要以上の選択蒸発損失、接
点片表面の荒れなどが起こり、再点弧現象の発生、耐電
圧特性の低下を招いていた。本発明は、このような低下
等を十分に抑えることが可能である。

【００１４】請求項２記載の真空バルブの製造方法は、
上記請求項１記載の真空バルブの製造方法において、前
記第２の工程の雰囲気は、前記真空雰囲気に代えて、水
素又は一酸化炭素で代表される還元性雰囲気としてなる
ことを要旨とする。

【００１５】第２の工程の高温加熱処理時の雰囲気は、
真空に限ることなく、水素又は一酸化炭素であっても再
点弧特性、静耐電圧特性、遮断特性に対して真空雰囲気
中処理と同等の効果を得ることが可能である。

【００１６】請求項３記載の真空バルブの製造方法は、
上記請求項１又は２記載の真空バルブの製造方法におい
て、前記第１の工程と第２の工程との間に、真空、アル
ゴン、ヘリウム又は窒素で代表される非酸化性雰囲気に
保管する第１の保管工程を有することを要旨とする。

【００１７】第１の工程、第２の工程及び第３の工程を
それぞれ所用条件範囲に管理することに加えて、第１の
工程と第２の工程との間の保管雰囲気を、真空、アルゴ
ン、ヘリウム又は窒素で代表される非酸化性雰囲気とす
ることにより、真空バルブの諸特性の向上と安定化が確
実に達成される。

【００１８】請求項４記載の真空バルブの製造方法は、
上記請求項１又は２記載の真空バルブの製造方法におい
て、前記第２の工程と第３の工程との間に、真空、アル
ゴン、ヘリウム又は窒素で代表される非酸化性雰囲気に
保管する第２の保管工程を有することを要旨とする。

【００１９】第１の工程、第２の工程及び第３の工程を
それぞれ所用条件範囲に管理し、第１の工程と第２の工
程との間の第１の保管工程の実施に加えて、第２の工程
と第３の工程との間の保管雰囲気を、真空、アルゴン、
ヘリウム又は窒素で代表される非酸化性雰囲気とするこ
とにより、真空バルブの諸特性の向上と安定化がより確
実に達成される。

【００２０】請求項５記載の真空バルブの製造方法は、
上記請求項１，２，３又は４記載の真空バルブの製造方
法において、前記第２の工程の前に、前記接点片と通電
軸又は／及び電極とは予め接続一体化してあることを要
旨とする。

【００２１】第２の工程の前に、真空バルブの製造にお
いて必須の構成である接点片と通電軸又は／及び電極と
を予め接続一体化しても、問題なく再点弧発生数、静耐
電圧特性、遮断特性の向上と安定化が達成される。

【００２２】請求項６記載の真空バルブの製造方法は、
上記請求項１，２，３，４又は５記載の真空バルブの製
造方法において、前記Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有し
た耐弧性成分に代えて、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，
Ｔａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つとＷ，Ｍｏの少なくと
も１つとを合わせて１〜７５％含有した耐弧性成分とし
てなることを要旨とする。

【００２３】耐弧性成分にＷ，Ｍｏの少なくとも１つを
含有させることにより、特に耐電圧特性の維持向上に有
効となる。

【００２４】請求項７記載の真空バルブの製造方法は、
上記請求項１，２，３，４又は５記載の真空バルブの製
造方法において、前記Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有し
た耐弧性成分に代えて、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，
Ｔａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つとＦｅ，Ｃｏの少なく
とも１つとを合わせて１〜７５％含有した耐弧性成分と
してなることを要旨とする。

【００２５】耐弧性成分にＦｅ，Ｃｏの少なくとも１つ
を含有させることにより、上記と同様に、特に耐電圧特
性の維持向上に有効となる。

【００２６】請求項８記載の真空バルブの製造方法は、
上記請求項１乃至７の何れかに記載の真空バルブの製造
方法において、前記第１の工程において、加工中の接点
素材の温度が７０℃を超えないように制御する手段は、
前記加工中の接点素材に対してフオレン、アルゴン、ヘ
リウム、窒素で代表される不活性ガスを吹き付けること
であることを要旨とする。

【００２７】第１の工程における冷却手段は、具体的に
は、フレオン、アルゴン、ヘリウム、窒素で代表される
不活性ガスを吹き付けることで実現される。

【００２８】請求項９記載の真空バルブ用接点材料の製
造方法は、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐弧性成
分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくとも１つからなる導電
性成分とで構成された接点素材に対し、該接点素材の加
工面の温度が所定温度を超えないように冷媒を作用させ
ながら所定形状の接点片に加工することを要旨とする。

【００２９】本発明は、安定した真空バルブを製造する
ためには真空バルブ組み立て直前の接点片表面の処理が
不可欠であることを見出だしたことに基づいてなされて
いる。加工中の接点素材の加工面の温度が所定温度を超
えないようにする理由は、接触抵抗特性、温度上昇特
性、ロウ付け特性の安定化に対して極めて好ましいため
である。

【００３０】請求項１０記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法は、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃ
ｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐弧
性成分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくとも１つからなる
導電性成分とで構成された接点素材に対し、加工中の当
該接点素材の温度が７０℃を超えないように制御しなが
ら所定形状の接点片に加工することを要旨とする。

【００３１】加工中の接点素材の温度を具体的に７０℃
を超えないように制御しながら加工し、接点片とする理
由は、実験によって確認決定した数値であって、この数
値を超えた加工によって製作した接点片では、接触抵抗
特性、温度上昇特性、ロウ付け特性の安定化に対して好
ましくないためである。

【００３２】請求項１１記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法は、上記請求項９又は１０記載の真空バルブ用
接点材料の製造方法において、加工中の前記接点素材の
加工面又は当該接点素材の温度が前記の所定温度又は７
０℃を超えないように制御する手段は、前記加工中の接
点素材に対してアルゴン、ヘリウム、フレオン、窒素、
水素で代表される不活性ガス又は液体を吹き付けること
であることを要旨とする。

【００３３】加工中の接点素材の温度が７０℃を超えな
いように制御する手段は、具体的にはアルゴン、ヘリウ
ム、フレオン、窒素、水素で代表される不活性ガスを接
点素材の表面に吹き付けることによって実現される。こ
れらの液化ガス状態のものを吹き付けてもよい。

【００３４】請求項１２記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法は、上記請求項９又は１０記載の真空バルブ用
接点材料の製造方法において、加工中の前記接点素材の
加工面又は当該接点素材の温度が前記の所定温度又は７
０℃を超えないように制御する手段は、アルゴン、ヘリ
ウム、フレオン、窒素で代表されるガスボンベ、減圧
弁、流量計、ガス移送管、膨張室を含んで構成された冷
却媒体発生装置から放射される冷媒を前記加工中の接点
素材に対して吹き付けることであることを要旨とする。

【００３５】加工中の接点素材の温度が所定温度を超え
ないように制御する手段は、さらに具体的には上記のよ
うな冷却媒体発生装置を用いることで所定温度に確実か
つ容易に制御することが可能となる。

【００３６】請求項１３記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法は、上記請求項９又は１０記載の真空バルブ用
接点材料の製造方法において、加工中の前記接点素材の
加工面又は当該接点素材の温度が前記の所定温度又は７
０℃を超えないように制御する手段は、６ｃｃ／ｓｅｃ
以上の量の冷媒を前記加工中の接点素材に対して吹き付
けることであることを要旨とする。

【００３７】前記冷却媒体発生装置等から加工中の接点
素材に対して吹き付けられる冷媒量は、具体的には６ｃ
ｃ／ｓｅｃ以上とすることにより接点素材の温度が所定
温度を超えないように制御することが可能となる。

【００３８】請求項１４記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法は、上記請求項９乃至１３の何れかに記載の真
空バルブ用接点材料の製造方法において、前記接点素材
を所定形状の接点片に加工した後に、真空、アルゴン、
ヘリウム、フレオン、窒素で代表される非酸化性雰囲気
に保管することを要旨とする。

【００３９】接点素材を接点片に加工する際の温度等を
所用条件に管理することに加えて、加工後の保管雰囲気
を、真空、アルゴン、ヘリウム又は窒素で代表される非
酸化性雰囲気とすることにより、接触抵抗特性、温度上
昇特性、ロウ付け特性の安定化がより確実に達成され
る。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を比較
例と対比させながら詳細に説明する。本発明の製造方法
技術の主旨は、接点素材から極力清浄な状態の接点片を
得ることと、この状態を汚染せずに気密封着工程に移し
真空バルブとすることにある。したがって、対象とする
接点素材の耐弧成分性質は、金属の種類をＣｒに限定す
る必要はなく、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｙ
を含有する接点材料に対しても有効である。ここでは、
まずＣｒを耐弧成分材質の代表金属として選定し、具体
的に説明する。

【００４１】まず、真空バルブの製造方法の実施の形態
から説明する。本発明者が真空バルブについて遮断経過
と再点弧発生状況との関係を調査したところ、遮断直後
の再点弧発生は少なく遮断経過後半に増加するタイプ
と、逆に遮断直後に再点弧発生が多く後半に少ないタイ
プとに大別されることが判った。実製品では、遮断回数
の経過には関係なく、再点弧発生を少なくする必要があ
る。本実施の形態では特に再点弧発生状況、耐電圧特
性、遮断特性に及ぼす接点の製作工程、真空バルブの組
み立て工程との相関性を明確化するために以下の実験を
行った。

【００４２】従来、切削油を被加工材と加工工具間に供
給しながら加工する技術が行われているが、この方法の
場合、被加工面にごく僅かに残存する油があり、残存し
た油そのものもしくはロウ付け時の加熱時に油の存在が
原因となって酸化被膜、硫化被膜の生成を助長する一因
となるなど、清浄加工面を得る上で障害となり接点の接
触抵抗特性、再点弧現象の発生、耐電圧特性の低下に重
大な影響を与えている場合があり好ましくない。

【００４３】これに対して本実施例では、上述した油の
ように被加工面に残存する可能性が全く無く、また例え
残存したとしても、油よりはるかに蒸発性が高いため、
次の工程（第２の工程）で完全に揮発する。さらに、本
実施例で表面温度上昇抑制手段としている吹き付け冷却
材は何れも不活性な状態であるため被膜生成などは起こ
らない利点を有している。

【００４４】実施例１〜３、比較例１ 約８０μｍ〜１０５μｍの平均粒子直径を有するＣｒ粉
を用意し、固相焼結法によってＣｕＣｒ（５０％）合金
素材を得た（実施例１〜３、比較例１）。一般に真空バ
ルブ用接点片は、その合金素材（被加工材）を旋盤、研
削盤、研磨盤等を単独もしくは組み合わせて使用する機
械的な加工法によって所定形状に加工する。本実施例に
おいても接点片（直径４２ｍｍ、厚さ３ｍｍ）を上記と
同様な機械的切削加工法によって作成した。また本実施
例では、加工中の被加工面の表面温度を高感度赤外温度
計で非接触的に測定すると共に、加工中の被加工面の表
面温度が上昇しないように、被加工材と加工工具（加工
バイト）との相対加工速度の制御、加工中の被加工材全
体もしくは被加工面を所定冷却手段によって冷却した。
この所定冷却手段は具体的には、被加工面に対して液体
窒素を５ｃｍ／ｓｅｃ以上の速度で吹き付けた。また必
要により加工装置に取り付けた被加工材全体に液体窒素
を５ｃｍ／ｓｅｃ以上の速度で吹き付けた。なお、加工
直前まで冷却材（例えば液体窒素など）中に浸漬した被
加工材を加工に供するときは一層の効果が得られる。

【００４５】真空バルブの組み立てにおける接点片の製
作条件（第１の工程）の効果を明確にするための実験と
して、第２の工程（高温加熱処理）、第３の工程（気密
封着接合）及び第１〜第２の工程間の保管雰囲気（アル
ゴン雰囲気）、第２〜第３の各工程間の保管雰囲気（ア
ルゴン）よりなる各工程条件を一定として、第１の工程
の吹き付け速度などを調整しながら被加工面の表面温度
を１５〜７０℃（実施例１〜３）、９０℃（比較例１）
に調節しながら接点片を製作した。

【００４６】このようにして製作した接触面を持つ接点
片について、後述する測定条件で再点弧特性、静耐電圧
特性、遮断特性の評価をし、表１に評価条件、表２にそ
の結果を示した。加工中の被加工面表面温度を１５〜３
０℃（実施例１〜２）として製作して得た接点片を搭載
した真空バルブは、所定評価条件内において、再点弧発
生がほぼゼロであった。さらに表面温度を１５℃（実施
例１）とした時の静耐電圧特性は、比較対象とする標準
接点片の静耐電圧値より約１０〜２０％向上する良好な
特性を示した。加工中の被加工面表面温度を７０℃（実
施例３）としても再点弧発生頻度は５％以下であって、
静耐電圧特性、遮断特性も比較対象とする標準接点片
（実施例２）と比較してほぼ同等（９０％以内）で合格
の範囲内の性能を示した。これに対して加工中の被加工
面表面温度を９０℃（比較例１）として製作して得た接
点片を搭載した真空バルブでは、再点弧が多発したのみ
ならず静耐電圧特性、遮断特性とも低い値を示すと共に
その値に著しいばらつきが見られた。これらの実験から
真空バルブの組み立てにおける接点片の製作条件（第１
の工程）として、加工中の被加工面の表面温度を７０℃
以下に制御する必要があることが判明した（実施例１〜
３）。

【００４７】被加工面をＸ線微少回折装置、Ｘ線微少マ
イクロアナライザ、オージェ分析装置にて生成被膜の形
態、量、分布状態などを調査したが、表面温度が１５及
び３０℃（実施例１〜３）の接点片においては生成物の
存在は認められず、表面温度が７０℃（実施例３）の接
点片においては、ごく局部的に酸素量の増加している領
域を観測したが、次の第２の工程で消滅し、真空バルブ
に組み立てた後の再点弧特性への影響は軽微であった。
これに対して表面温度を９０℃（比較例１）として製作
した接点片の場合、その表面には酸化Ｃｕ、酸化Ｃｒの
生成が見られていた。次の第２の工程で一部の酸化Ｃｕ
は消滅したが、なお局所的に残存が見られると共に酸化
Ｃｒは除去されていなかった。

【００４８】なお、参考として被加工面に油を吹き付け
て加工した接点片の表面を同様に調査したところ硫黄、
酸素、水分などが多量に付着していた。この場合真空バ
ルブを組み立てて再点弧発生確率を同様に調査したが、
著しい発生頻度（５％以上）を示した。

【００４９】実施例４〜７ 前記の実施例１〜３、比較例１では、被加工面の表面温
度を所定温度に調節する冷却手段として、被加工面に対
して液体窒素を５ｃｍ／ｓｅｃ以上の速度で吹き付けな
がら接点片を製作した場合を示した。本実施例では被加
工面の表面温度を所定温度に調節する冷却手段として、
液体窒素に限ることなく水素、（実施例４）、窒素（実
施例５）、アルゴン（実施例６）、ヘリウム（実施例
７）の吹き付けで製作した接点片を搭載した真空バルブ
であっても、再点弧特性、静耐電圧特性、遮断特性に対
して前記液体窒素吹き付けと同等の効果が得られた（実
施例４〜７）。前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したが、各
接点片においては生成物の存在は認められなかった。

【００５０】実施例８〜１０、比較例２ 前記実施例１〜７、比較例１では、第１の工程と第２の
工程との間の接点片を保管しておく雰囲気をアルゴンと
した場合を示した。本実施例では保管しておく雰囲気は
アルゴンに限ることなく、真空（実施例８）、ヘリウム
（実施例９）、窒素（実施例１０）であっても再点弧特
性、静耐電圧特性、遮断特性に対して前記アルゴン雰囲
気中保管と同等の効果が得られた（実施例４〜７）。こ
れに対して第１の工程と第２の工程との間の接点片を保
管しておく雰囲気を空気中として製作して得た接点片を
搭載した真空バルブでは、再点弧が多発したのみならず
静耐電圧特性、遮断特性とも低い値を示すと共にその値
に著しいばらつきが見られ、遮断回数の経過初期の再点
弧発生数及び静耐電圧特性にばらつきが見られた（比較
例２）。これらの実験から真空バルブの組み立てにおけ
る接点片の製作条件として、第１の工程と第２の工程と
の間の接点片の保管雰囲気を空気中を避け、真空、ヘリ
ウム、窒素（実施例８〜１０）、アルゴン（前記実施例
１〜７）とする必要があることが判明した。

【００５１】前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したとこ
ろ、実施例８〜１０の各接点片においては生成物の存在
は認められなかったが、比較例２における各接点片表面
には、高い酸素濃度分布を示す領域が局所的に存在し、
ごく薄い酸化Ｃｕ被膜が認められている。

【００５２】実施例１１〜１３、比較例３〜４ 前記実施例１〜１０、比較例１〜２では、第１の工程及
びその後の保管雰囲気の効果を確認した。即ち第１の工
程での接点片製作時の加工中の被加工面の表面温度を所
定温度に調節する冷却手段として、水素、窒素、アルゴ
ン、ヘリウムなどを吹き付けて製作した接点片を搭載し
た真空バルブが、再点弧特性、静耐電圧特性、遮断特性
に対して好ましいことを示した。さらに第１の工程の後
の接点片保管雰囲気を真空、ヘリウム、窒素、アルゴン
とすることで、好ましい特性を発揮することを明らかに
した。

【００５３】しかし健全な真空バルブの製造では、これ
らの管理では十分ではなく第２の工程の高温加熱処理時
の雰囲気管理も重要であった。即ち、前記第１の工程で
の加工中の接点素材表面温度を３０℃、加工中の被加工
面の表面温度上昇の抑制手段として、被加工面に液体窒
素を吹き付ける場合について、第２の工程における高温
加熱処理の雰囲気として、真空を選択した場合の真空度
の差異の各特性に及ぼす影響について、加熱保温温度を
９５０℃、加熱保持時間を３０分で一定として調査し
た。

【００５４】その結果、真空度を５×１０^-7Torr、８×
１０^-6Torrとした場合（実施例１１〜１２）では、表面
吸着ガスも十分除去され低い再点弧発生頻度を示すと共
に極めて好ましい静耐電圧特性、遮断特性を示した。さ
らに真空度を８×１０^-5Torrとした場合（実施例１３）
でも各特性を十分に発揮する好ましい範囲内であった。
これに対して第２の工程における高温加熱処理の雰囲気
として、真空を選択した場合の真空度を８×１０^-4Torr
とした場合（比較例３）には、著しい再点弧が発生した
のみならず静耐電圧特性、遮断特性とも低い値を示すと
共にその値に著しいばらつきが見られた。なお８×１０
^-3Torrとした場合（比較例４）では、各特性ともさらに
低下した。また、比較例３〜４においては遮断回数の後
期の再点弧発生数及び静耐電圧特性にばらつきが見られ
た。この傾向は比較例３よりも特に比較例４において顕
著であった。

【００５５】以上のごとく、第１の工程とその後の保管
雰囲気が例え適性条件範囲であっても、第２の工程にお
ける高温加熱処理の雰囲気の質が、真空バルブ全体の電
気的特性に重大な影響を及ぼしている。即ち各工程をス
ルーして最適化が図られている必要性がある。したがっ
てこれらの結果から、第２の工程での高温加熱処理時の
雰囲気として真空を選択した場合の真空度は、８×１０
^-5Torrより高真空とする必要がある（実施例１１〜１
３）。

【００５６】前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したとこ
ろ、実施例１１〜１３の各接点片においては、生成物の
存在は認められなかったが、比較例３〜４における各接
点片表面には、高い酸素濃度分布を示す領域が全面に存
在し、ごく厚い酸化Ｃｕ被膜、酸化Ｃｒ被膜が認められ
かつ酸化Ｃｕ被膜の一部及び特に酸化Ｃｒ被膜は、この
後の第３の工程（気密封着接合）でも除去できず最後ま
で強固な被膜として残存した。

【００５７】実施例１４〜１５ 前記実施例１１〜１３、比較例３〜４では、第１の工程
及びその後の保管雰囲気条件を一定として、第２の工程
の高温加熱処理時の雰囲気として真空を選択した場合の
効果を確認した。第２の工程の高温加熱処理時の雰囲気
は真空に限ることなく、水素（実施例１４）、一酸化炭
素（実施例１５）であっても再点弧特性、静耐電圧特
性、遮断特性に対して前記真空雰囲気中処理と同等の効
果が得られた（実施例１４〜１５）。

【００５８】これらの実験及び前記実施例１４〜１５か
ら、真空バルブの組み立てにおける接点片の製作条件と
して、第２の工程の高温加熱処理時の雰囲気は、真空、
水素、一酸化炭素などの非酸化性雰囲気の選択が重要で
あり、真空の場合には所定以上の真空度とする必要があ
る。

【００５９】前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したとこ
ろ、実施例１４〜１５の各接点片においては、生成物の
存在は認められなかった。

【００６０】実施例１６〜１７、比較例５ 第２の工程における高温加熱処理時の処理温度を前記実
施例１〜１０、比較例１〜２では９５０℃に一定とし、
前記実施例１１〜１５、比較例３〜４では１０００℃に
一定とした場合について示した（処理時間は３０分に一
定）。本実施例では第２の工程における高温加熱処理時
の処理温度はこれらの温度に限ることなく、８００℃
（実施例１６）、１０５０℃（実施例１７）であっても
再点弧特性、静耐電圧特性、遮断特性に対して前記アル
ゴン雰囲気中保管と同等の効果が得られた（実施例１６
〜１７）。特に、処理温度を１０５０℃（実施例１７）
に選択した場合には、各特性の一層の安定化が見られ
た。これに対して、前記処理温度を６５０℃（比較例
５）として製作して得た接点片を搭載した真空バルブで
は、再点弧の発生状況は発生ランク「Ｂ」の範囲であっ
たが、静耐電圧特性、遮断特性が十分でなかった。

【００６１】前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したとこ
ろ、実施例１６〜１７の各接点片においては、生成物の
存在は認められなかったが、比較例５における接点片表
面には、高い酸素濃度分布を示す領域が一部に存在し
た。酸化Ｃｕ被膜、酸化Ｃｒ被膜が認められた。

【００６２】実施例１８、比較例６ 前記実施例１〜１７、比較例１〜５では、第２の工程に
おける高温加熱処理時の処理時間を全て３０分とした場
合を示した。本実施例ではこの処理時間は３０分に限る
ことなく、５分（実施例１８）であっても再点弧発生頻
度が５％以下であって、静耐電圧特性、遮断特性も比較
対象とする標準接点片（実施例２）と比較してほぼ同等
（９０％以内）で合格の範囲内の性能を示した。これに
対して高温加熱処理時の処理時間を１分として製作して
得た接点片（比較例６）を搭載した真空バルブでは、再
点弧が多発したのみならず静耐電圧特性、遮断特性とも
低い値を示すと共にその値に著しいばらつきも見られ
た。これらの実験から真空バルブの組み立てにおける第
２の工程の高温加熱処理時の処理時間は、１分以上（た
だし高温加熱処理温度を８００℃以上）とする必要があ
ることが判明した（実施例１８）。

【００６３】実施例１９〜２１、比較例７ 前記実施例８〜１０において、第１の工程と第２の工程
との間の接点片を保管しておく雰囲気の重要性について
示したが、第２の工程と第３の工程との間の保管雰囲気
も同様にその管理が重要であることが判った。即ち、前
記実施例１〜１８、比較例１〜６では、第２の工程と第
３の工程との間の接点片を保管しておく雰囲気をアルゴ
ンとした場合を示したが、本実施例では保管しておく雰
囲気はアルゴンに限ることなく、真空（実施例１９）、
ヘリウム（実施例２０）、窒素（実施例２１）であって
も再点弧特性、静耐電圧特性、遮断特性に対して前記ア
ルゴン雰囲気中保管と同等の効果が得られた。これに対
して第２の工程と第３の工程との間の接点片を保管して
おく雰囲気を空気中として製作して得た接点片（比較例
７）を搭載した真空バルブでは、再点弧が多発したのみ
ならず静耐電圧特性、遮断特性とも低い値を示すと共に
その値に著しいばらつきが見られた。比較例３〜４では
遮断回数の後期の再点弧発生頻度の増加傾向や静耐電圧
特性のばらつきの発生傾向が見られているが、比較例７
は、むしろ遮断回数の初期に多く発生する傾向にあり、
後期では減少の傾向にあった。

【００６４】前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したとこ
ろ、実施例１９〜２１の各接点片においては、生成物の
存在は認められなかったが、比較例７における接点片表
面には、酸素濃度分布を示す領域が局所的に存在し、ご
く薄い酸化Ｃｕ被膜が認められている。

【００６５】実施例２２、比較例８〜９ 本発明技術を確立させるに際し、第３の工程の条件管理
も前記第１の工程と第２の工程と同様に重要であること
が判った。即ち、前記実施例１〜２１、比較例１〜７で
は、第３の工程の気密封着接合時の雰囲気を真空とし、
その真空度を５×１０^-6Torrに一定とした例を示した
が、本実施例での真空度は、これに限ることなく８×１
０^-5Torrとしても、再点弧発生頻度が５％以下であっ
て、静耐電圧特性、遮断特性も比較対象とする標準接点
片（実施例２）と比較してほぼ同等（９０％以内）で合
格の範囲内の性能を示した。これに対して第３の工程の
気密封着接合時の真空度を８×１０^-4Torrとして製作し
て得た接点片を搭載した真空バルブでは、再点弧の発生
状況は発生ランク「Ｃ」の範囲となり、静耐電圧特性、
遮断特性も十分ではなかった（比較例８）。真空度を８
×１０^-3Torrとしたときには各特性は一層の低下を示し
た（比較例９）。

【００６６】なお、第３の工程の気密封着接合時の温度
が１０５０℃（実施例２３）であっても、また７８０℃
（実施例２４〜２６）であっても、気密封着接合時の真
空度を８×１０^-5Torrより高真空とするとき良好な諸特
性を示した（実施例２３〜２６）。また前記実施例１〜
２３、比較例１〜９の第３の工程において使用した気密
封着接合用の接合材料は、全て７２％ＡｇＣｕの例を示
したが、本実施例においては、これに限ることなく対応
が可能である（実施例２４〜２６）。

【００６７】次に、実施例２７〜４７及び比較例１０〜
１１について、その評価条件を表３に、その結果を表４
に示す。

【００６８】実施例２７〜３１、比較例１０〜１１ 上記した実施例１〜２６、比較例１〜９では、何れもＣ
ｕ５０％Ｃｒ合金について示したものであるが、本実施
例における再点弧特性及び静耐電圧特性、遮断特性の向
上効果は、前記限定条件を満たすことにおいて、Ｃｕ１
％Ｃｒ〜Ｃｕ７５％Ｃｒ接点でも同様の効果が得られて
いる（実施例２７〜３１）。しかし、Ｃｕ０．１％Ｃｒ
接点（比較例１０）の場合には、遮断回数の経過初期の
再点弧発生が見られる傾向にあったものが、再点弧発生
のレベルは「Ｂ」ランクであったが、遮断テストの実施
中に溶着現象を呈し、静耐電圧特性、遮断特性に低下が
見られ、本実施例の対象外となる。またＣｕ９０％Ｃｒ
接点（比較例１１）の場合には、再点弧発生頻度は、遮
断回数経過のむしろ後半に見られたが、再点弧発生の総
数は少なく再点弧発生レベルは「Ｂ」ランクであった
が、遮断性能の著しい低下現象が見られ本実施例の対象
外となる。

【００６９】実施例３２〜４７ 上記した実施例１〜２６、比較例１〜９では、何れも耐
弧性成分として、Ｃｒを選択した例について述べたが本
実施例においては耐弧性成分をＣｒ１種類に限定する必
要はなく、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｗ，Ｍｏから選んだ７５％以下
の第２の耐弧性成分が存在した接点に対しても有益で、
特に耐電圧特性の維持向上に好ましい。さらに実施例１
〜３７、比較例１〜１１では、ＣｕＣｒもしくはＣｒ含
有の接点に対する効果について示したが、本実施例にお
いては耐弧性成分を１種類に限定する必要はなく、Ｔ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｙ，Ｗ，Ｍｏよりな
る耐弧性成分を含有する接点に対しても有益である（実
施例３８〜４６）。接点素材中の導電性成分は、Ｃｕの
みでなくＣｕＡｇであっても有益である（実施例４
７）。

【００７０】以上に述べた各実施例、各比較例から明ら
かなように、真空バルブの組み立てにおける接点片の製
作条件は、第１の工程、第２の工程、第３の工程の総て
が所定条件範囲にバランスをとって維持させることが重
要である。しかし真空バルブの諸特性の向上と安定化の
ためには、前記のポイントとなる第１の工程、第２の工
程、第３の工程の管理のみでなく、本実施例の真空バル
ブの組み立てにおける接点片の製作条件として、第１の
工程と第２の工程、第２の工程と第３の工程との各間の
接点片の保管雰囲気を同時に実施することも重要であ
る。即ち、比較例２、比較例７で示したように、その保
管雰囲気を特に空気中としたときには、遮断回数の経過
初期の再点弧発生及び静耐電圧特性にばらつきが見られ
る傾向にあった。遮断回数が後期の場合は極めて減少し
ている特徴を示している。従って真空バルブの組み立て
において、前記第１の工程、第２の工程、第３の工程を
管理するのみでなく再点弧発生の抑制、低減化に対し
て、各工程間の保管雰囲気の管理も加えた工程の総合的
管理の重要性を示唆している。本実施例条件で示した所
定条件に、各工程を総合的管理したときには、遮断回数
の経過の初期、後期に関係なく安定した再点弧発生数、
静耐電圧特性、遮断特性を示している。

【００７１】変形例 本実施例の適応は、接点片と通電軸、接点片と電極を第
２の工程の前に予め公知技術によって、接続一体化して
おいても問題なく安定した再点弧発生数、静耐電圧特
性、遮断特性を示している。

【００７２】評価方法及び条件 上記で説明した再点弧発生数、静耐電圧特性及び遮断特
性に関する評価は次のようにして行った。

【００７３】（ａ）再点弧特性；直径４２ｍｍ、厚さ３
ｍｍの円盤状接点片とし、これを着脱型真空バルブに装
着し、１２ｋＶ×５００Ａを２０００回遮断したときの
再点弧発生を自動測定した。なお表１〜４の数値は、２
台の遮断器（真空バルブとして６本、したがって遮断数
は１２０００回）のデータばらつき幅で評価した。

【００７４】（ｂ）静耐電圧特性；鏡面研磨仕上げをし
たＮｉ針電極を陽極として、同様に鏡面研磨仕上げをし
た各接点を陰極とし、両電極間のギャップを０．５ｍｍ
とし、１０^-6ｍｍＨｇの真空度にいて、電圧を徐々に上
昇させスパークを発生した時の電圧値を測定し静耐電圧
値とした。なお表１〜４の数値は、実施例２の接点の測
定値の平均値を１．０とした時の相対値で、かつばらつ
き幅を示した。

【００７５】（ｃ）遮断特性；接点表面をベーキング、
電圧エージング等により清浄化し一定の状態とした後、
６ｋＶ−３１．４ｋＡ遮断時の、実施例２の接点の遮断
性能を１００とした時の相対値で示した。なお遮断試験
は遮断限界近傍の電流値では、１ｋＡずつ電流を増加す
る方法で行い、遮断不能となった時の電流値を前記（実
施例２）接点の遮断限界電流値に対する倍率を遮断倍率
として算出した。なお表１〜４の数値は、かつばらつき
幅を示してある。

【００７６】次に、真空バルブ用接点材料の製造方法の
実施の形態を比較例と対比させながら詳細に説明する。
本発明の製造方法技術の主旨は、接点素材から極力清浄
な状態の接点片を得ることにある。したがって、対象と
する接点素材の耐弧成分性質は、金属の種類をＣｒに限
定する必要はなく、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｙを含有する接点材料に対しても有効である。ここ
では、前記と同様に、まずＣｒを耐弧成分材質の代表金
属として選定し、具体的に説明する。

【００７７】本発明者がＣｕＣｒ接点片を搭載した真空
バルブについて、開閉初期（真空バルブとして組み立て
た直後の新品）と通電開閉後期の接触抵抗特性、温度上
昇特性を比較調査したところ、接触抵抗特性、温度上昇
特性は組み立てた直後は良好であるが開閉後期に劣化す
るタイプと、逆に組み立てた直後は不良であるが開閉後
期に向上するタイプ、組み立てた直後、開閉後期に関係
なく高い（不良）タイプ、組み立ての直後、開閉後期に
関係なく低い（良好）タイプなどさまざまな形態を示し
ていることが判った。しかもこの形態が接点片の表面状
態と関連性があることも判明した。実製品では、開閉回
数の経過には関係なく、接触抵抗、温度上昇を低くかつ
安定化させる必要がある。本実施の形態では特に接触抵
抗特性、温度上昇特性、ロウ付け特性に及ぼす接点片の
加工工程、真空バルブ接点の銀ロウ付け工程との相関性
を明確化するために以下の実験を行った。

【００７８】従来、切削油を被加工材と加工工具間に供
給しながら加工する技術が行われているが、この方法の
場合、切削条件が全く制御されていないこと、また加工
面にごく僅かに油が残存することがあり、残存した油そ
のものもしくはロウ付け時の加熱時に油の存在が原因と
なって酸化被膜、硫化被膜の生成を助長する一因となる
など、清浄加工面を得る上で障害となり接点の接触抵抗
特性、温度上昇特性、ロウ付け特性の低下に重大な影響
を与えている場合があり好ましくなかった。

【００７９】これに対して本実施例では、表面温度の上
昇を抑制する施策を講じた。即ち、上記した油のように
被加工面に残存する可能性が全く無く、また例え残存し
たとしても、油よりはるかに蒸発性が高いため、完全に
揮発除去が容易な冷却材を加工面に吹き付けた。しかも
使用している吹き付け冷却材は何れも不活性な状態であ
るため被膜生成などは起こらない。さらに切削条件を合
理的に制御したことである。

【００８０】実施例５１〜５３、比較例５１ 約８０μｍ〜１０５μｍの平均粒子直径を有するＣｒ粉
を用意し、固相焼結法によってＣｕＣｒ（５０％）合金
素材を得た（実施例５１〜５３、比較例５１）。一般に
真空バルブ用接点片は、その合金素材（被加工材）を旋
盤、研削盤、研磨盤等を単独もしくは組み合わせて使用
する機械的な加工法によって接点片形状に加工する。本
実施例においても接点片（直径４２ｍｍ、厚さ３ｍｍ）
を上記と同様な機械的切削加工法によって作成した。ま
た本実施例では、加工中の被加工面の表面温度を高感度
赤外温度計で非接触的に測定すると共に、加工中の被加
工面の表面温度が上昇しないように、被加工材と加工工
具（加工バイト）との相対加工速度の制御、加工中の被
加工材全体もしくは被加工面を所定冷却手段によって冷
却した。この所定冷却手段は具体的には、被加工面に対
して液体窒素を５ｃｍ／ｓｅｃ以上の速度で吹き付け
た。また必要により加工装置に取り付けた被加工材全体
に液体窒素を５ｃｍ／ｓｅｃ以上の速度で吹き付けた。
なお、加工直前まで冷却材（例えば液体窒素など）中に
浸漬した被加工材を加工に供するときは一層の効果が得
られる。被加工面に対する液体窒素の吹き付け速度が１
ｃｍ／ｓｅｃ以下の速度では十分な冷却効果が得られず
本実施例効果が得られない。

【００８１】接点片の製作条件の効果を明確にするため
の実験として、加工後の保管雰囲気（アルゴン）を一定
として、吹き付け速度などを調整しながら加工中の被加
工面の表面温度を１５〜７０℃（実施例５１〜５３）、
９０℃（比較例５１）に調節しながら接点片を製作し
た。

【００８２】このようにして製作した接触面を持つ接点
片について、後述する測定条件で接触抵抗特性、温度上
昇特性、ロウ付け特性の評価をし、表５にその評価条件
及び、結果を示した。

【００８３】曲率半径５Ｒの純銅製の針状電極と平板上
の各接点片とを接触加重１０ｋｇで対向させ、直流１０
Ａを通電した時の両者間の電位降下から、接触抵抗を求
めたところ、加工中の被加工面表面温度を１５〜３０℃
（実施例５１〜５２）として製作して得た接点片の接触
抵抗特性は２０〜５０μΩ以下を示し好ましい範囲であ
った。さらに加工中の被加工面表面温度を７０℃（実施
例５３）として製作して得た接点片の接触抵抗特性も３
０〜６０μΩ以下を示し好ましい範囲であった。一方、
加工中の被加工面表面温度を９０℃（比較例５１）とし
て製作して得た接点片の接触抵抗特性は３０〜５５０μ
Ωを示し、極めて高い値と共に大きなばらつきを示し好
ましくない。

【００８４】これらの各接点片を真空バルブに組み込ん
だ後、バルブ端子部の温度を前記加工中の被加工面の表
面温度を測定したと同じ高感度赤外温度計を用いて非接
触的に測定した測定値から室温を差し引いた後の数値を
もって温度上昇特性とした。このような条件で加工中の
接点素材の温度を１５℃以内に調整しながら得た接点片
（実施例５１）に対して、温度上昇値を求めたところ０
〜３℃の値を示し極めて好ましい温度上昇特性を示し
た。加工中の接点素材の温度を３０〜７０℃以内に調整
しながら得た接点片（実施例５２〜５３）に対して、同
様に温度上昇値を求めたところ、６℃以内の値を示し好
ましい温度上昇特性を示した。一方９０℃（比較例５
１）として製作して得た接点片の温度上昇値を求めたと
ころ、３〜１５℃を示し極めて高い値と共に大きなばら
つきを示し好ましくないことが判った。

【００８５】以上のように、加工中の接点素材の温度を
７０℃以内（実施例５１〜５３）に制御しながら得た接
点片は、接触抵抗特性、温度上昇特性とも良好な状態で
あったが、９０℃（比較例５１）で得た接点片は好まし
くない特性であった。

【００８６】各接点片について７２％ＡｇＣｕロウ材を
用いて、真空中で８００℃×１０分で接合した場合の接
合強さを比較した。なおここでは、実施例５２の接合強
さを１．０とした時の相対値をもって銀ロウ付け特性と
した。表５から判るように、加工中の接点素材の温度を
１５〜７０℃以内に調整しながら得た接点片（実施例５
１〜５３）に対して、接合強さを比較したところ、標準
材とした実施例５２と大差なく良好であった。これに対
して加工中の被加工面表面温度を９０℃として得た接点
片（比較例５１）では、標準材とした実施例５２と比較
して０．７５〜０．９（最大２５％の低下）と低下し、
ばらつきも見られ好ましくなかった。銀ロウ付け特性の
観点からも、前記接触抵抗特性、温度上昇特性と同様に
接点片の製作条件として、加工中の被加工面の表面温度
を７０℃以内に調整しながら接点片を得ることが好まし
いことが判った。

【００８７】被加工面をＸ線微少回折装置、Ｘ線微少マ
イクロアナライザ、オージェ分析装置にて生成被膜の形
態、量、分布状態などを調査したが、表面温度が１５及
び３０℃（実施例５１〜５２）の接点片においては生成
物の存在は認められず、表面温度が７０℃（実施例５
３）の接点片においては、ごく局部的に酸素量の増加し
ている領域を観測したが、接触抵抗特性、温度上昇特
性、銀ロウ付け特性への影響は軽微であった。これに対
して表面温度を９０℃（比較例５１）として製作した接
点片の場合、その表面には酸化Ｃｕ、酸化Ｃｒの生成が
見られていた。

【００８８】なお、参考として被加工面に油を吹き付け
て加工した接点片の表面を同様に調査したところ硫黄、
酸素、水分などが多量に付着していた。この場合油を吹
き付けず本実施例方法により加工した接点片表面と比較
したところ、保管中に接点片表面に硫化銀で代表される
変色現象が現れ、その部分は接触抵抗特性が高い傾向に
あると共に銀ロウ付け特性にもばらつきが見られた。

【００８９】また、本実施例５１〜５３では液体窒素、
減圧弁、流量計、ガス移送管、膨張室などからなる冷却
媒体発生装置から放射する冷媒を加工中の接点素材に対
して吹き付けながら加工する。被加工面に対して吹き付
ける液体窒素は、６ｃｃ／ｓｅｃ以上の量を吹き付ける
のが好ましい。また必要により加工装置に取り付けた被
加工材全体にも６ｃｃ／ｓｅｃ以上の量を吹き付けた。
なお、加工直前まで冷却材（例えば液体窒素など）中に
浸漬し事前に冷却しておいた被加工材を加工に供すると
きには一層の効果が得られる。なお被加工面に対する液
体窒素の吹き付け速度が６ｃｃ／ｓｅｃ以下の量では保
護効果が低下した。

【００９０】なお、冷却媒体発生装置から放射する冷媒
の状態は、本実施例５１〜５３では液体の状態にある窒
素（液体窒素）を示したが、気体状態となっていても、
また両者が混在した状態で接点素材に対して吹き付けら
れても問題なく前記効果が発揮される。

【００９１】実施例５４〜５８ 前記の実施例５１〜５３、比較例５１では、被加工面の
表面温度を所定温度に調節する冷却手段として、被加工
面に対して液体窒素を６ｃｃ／ｓｅｃ以上の量を吹き付
けながら接点片を製作した場合を示した。本実施例では
被加工面の表面温度を所定温度に調節する冷却手段とし
て、液体窒素に限ることなく水素（実施例５４）、窒素
（実施例５５）、アルゴン（実施例５６）、ヘリウム
（実施例５７）、フレオン（実施例５８）の吹き付けで
製作した接点片であっても、接触抵抗特性においては５
０μΩ以下、温度上昇特性においても５℃以下、銀ロウ
付け特性においても十分な接合強度を示し、前記液体窒
素吹き付けと同等の効果が得られた（実施例５４〜５
８）。前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装置、Ｘ線
微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置にて生成被
膜の形態、量、分布状態などを調査したが、各接点片に
おいては生成物の存在は認められなかった。

【００９２】実施例５９〜６２、比較例５２ 前記実施例５１〜５８、比較例５１では、加工終了後の
接点片を保管しておく雰囲気をアルゴンとした場合を示
した。本実施例では保管しておく雰囲気はアルゴンに限
ることなく、真空（実施例５９）、ヘリウム（実施例６
０）、窒素（実施例６１）、フレオン（実施例６２）で
あっても、接触抵抗特性においては５０μΩ以下、温度
上昇特性においても５℃以下、銀ロウ付け特性において
も標準としている実施例５２と同等の接合強度（相対
値）を示し、前記アルゴン雰囲気中保管と同等の効果が
得られた（実施例５４〜５８）。これに対して加工終了
後の接点片を保管しておく雰囲気を空気中（比較例５
２）とした場合には、接触抵抗値が１１０μΩを示すな
ど高く、かつばらつき幅も大きく接触抵抗特性劣化が見
られたのみならず、銀ロウ付け特性においても標準とし
ている実施例５２と比較して接合強さの低下が見られ
た。

【００９３】これらの実験から接点片の製作条件とし
て、製作終了後の接点片の保管雰囲気は、空気中を避
け、アルゴン（前記実施例５１〜５８）、真空、ヘリウ
ム、窒素、フレオン（実施例５９〜６２）とする必要が
あることが判明した。

【００９４】前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したとこ
ろ、実施例５９〜６２の各接点片においては生成物の存
在は認められなかったが、比較例５２における各接点片
表面には、高い酸素濃度分布を示す領域が局所的に存在
し、ごく薄い酸化Ｃｕ被膜が認められている。

【００９５】実施例６３〜６７、比較例５３〜５４ 前記実施例５１〜６２、比較例５１〜５２では、接点片
加工時の被加工面の表面温度を制御する冷却条件及びそ
の後の保管雰囲気条件を確認した。即ち接点片製作時の
加工中の被加工面の表面温度を所定温度に調節する冷却
手段として、水素、窒素、アルゴン、ヘリウム、フレオ
ンなどを吹き付けて製作した接点片が、接触抵抗特性、
温度上昇特性、銀ロウ付け特性に対して好ましいことを
示した。さらに接点加工後の接点片保管雰囲気を真空、
ヘリウム、窒素、アルゴン、フレオンとすることで、好
ましい特性を発揮することを明らかにした。

【００９６】上記した実施例５１〜６２、比較例５１〜
５２では、何れもＣｕ５０％Ｃｒ合金について示したも
のであるが、本実施例による接触抵抗特性、温度上昇特
性、銀ロウ付け特性の向上効果は、前記限定条件を満た
すことにおいて、Ｃｕ１％Ｃｒ〜Ｃｕ７５％Ｃｒ接点で
も同様の効果が得られている（実施例６３〜６７）。し
かし、Ｃｕ０．１％Ｃｒ接点（比較例５３）の場合に
は、接触加重１０ｋｇ、投入電流２０ｋＡでの遮断テス
ト実施中に溶着現象を呈す傾向にあるので本実施例の対
象外となる（比較例５３）。またＣｕ９０％Ｃｒ接点
（比較例５４）の場合には、接触抵抗特性で６５〜１２
０μΩに達し、温度上昇特性においても３５℃に達する
など許容範囲外の高い値を示したのみでなく、銀ロウ付
け特性においては著しい接合不良現象が見られ本実施例
の対象外とした（比較例５４）。

【００９７】前記と同様に被加工面をＸ線微少回折装
置、Ｘ線微少マイクロアナライザ、オージェ分析装置に
て生成被膜の形態、量、分布状態などを調査したとこ
ろ、比較例５４における接点片表面には、Ｃｒの部分で
高い酸素濃度分布を示す領域が局所的に存在し、ごく薄
い酸化Ｃｕ被膜も認められている。これにより本実施例
は、Ｃｕ量を１〜７５ｗｔ％の範囲とした合金を対象と
すべきである。

【００９８】実施例６８〜８１ 上記した実施例５１〜６７、比較例５１〜５４では、何
れも耐弧性成分として、Ｃｒを選択した例について述べ
たが本実施例においては耐弧性成分をＣｒ１種類に限定
する必要はなく、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｗ，Ｍｏから選んだ７５
％以下の第２の耐弧性成分が存在した接点片の製造に対
しても利用できる。実施例５１〜６７、比較例５１〜５
４では、ＣｒもしくはＣｒ含有の接点に対する効果につ
いて示したが、本実施例においては耐弧性成分を１種類
に限定する必要はなく、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，
Ｔａ，Ｙ，Ｗ，Ｍｏよりなる耐弧性成分を含有する接点
に対しても有益である（実施例７４〜８１）。接点素材
中の導電性成分は、ＣｕのみでなくＣｕＡｇであっても
有益である（実施例８１）。

【００９９】以上に述べた各実施例、各比較例から明ら
かなように、接点片の諸特性の向上と安定化のために
は、接点片の製作条件及び加工後の接点片の保管雰囲気
を所定条件範囲にバランスをとって維持させることが重
要である。

【０１００】評価方法及び条件 上記で説明した接触抵抗特性、温度上昇特性、銀ロウ付
け特性に関する評価は次のようにして行った。

【０１０１】（ａ）接触抵抗特性；曲率半径５Ｒの純銅
製の針状電極と平板状の各接点片とを接触加重１０ｋｇ
で対向させ、直流１０Ａを通電したときの両者間の電位
降下から接触抵抗を求めた。

【０１０２】（ｂ）温度上昇特性；各接点片を真空バル
ブに組み込んだ後、バルブ端子の温度を高感度赤外温度
計を用いて表面温度を非接触的に測定した測定値から室
温を差し引いた後の数値をもって温度上昇特性とした。
加工中の接点片表面温度の測定も同じ高感度赤外温度計
を用いて同様な方法で測定した。

【０１０３】（ｃ）銀ロウ付け特性；接点片表面を清浄
化した後、各接点片について７２％ＡｇＣｕロウ材を用
いて、真空中で８００℃×１０分で接合した場合の接合
強さ（接合部を引き剥がす引っ張り強さ）を比較した。
なお、ここでは実施例５２の接合強さを１．０とした時
の倍率を算出した相対値をもって銀ロウ付け特性とし
た。

【０１０４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の真
空バルブの製造方法によれば、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，
Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ
％含有した耐弧性成分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくと
も１つからなる導電性成分とで構成された接点素材に対
し、加工中の当該接点素材の温度が７０℃を超えないよ
うに制御しながら所定形状の接点片に加工する第１の工
程と、前記接点片を圧力が８×１０^-5〜５×１０^-7Torr
の範囲の真空雰囲気中、温度が８００〜１０５０℃、処
理時間が５分以上の各条件で高温加熱処理を行う第２の
工程と、該第２の工程の後、前記接点片を圧力が５×１
０^-5Torr以下の真空中において１０５０℃を超えない温
度でロウ付けし気密封着接合する第３の工程とを具備さ
せたため、接点片表面の生成物、付着物を除去、低減し
て表面汚染の少ない接点片とすることができて静耐電圧
特性と遮断特性の両立のみならず再点弧特性をも同時に
向上させることができ、真空バルブの組み立て後に、電
気的なエージングが不要となって信頼性及び生産性の高
い真空バルブの製造方法を提供することができる。

【０１０５】請求項２記載の真空バルブの製造方法によ
れば、前記第２の工程の雰囲気は、前記真空雰囲気に代
えて、水素又は一酸化炭素で代表される還元性雰囲気と
しても、再点弧特性、静耐電圧特性、遮断特性に対して
真空雰囲気中処理と同等の効果が得られる。

【０１０６】請求項３記載の真空バルブの製造方法によ
れば、前記第１の工程と第２の工程との間に、真空、ア
ルゴン、ヘリウム又は窒素で代表される非酸化性雰囲気
に保管する第１の保管工程を具備させたため、前記した
真空バルブの諸特性の向上と安定化を確実に達成するこ
とができる。

【０１０７】請求項４記載の真空バルブの製造方法によ
れば、前記第２の工程と第３の工程との間に、真空、ア
ルゴン、ヘリウム又は窒素で代表される非酸化性雰囲気
に保管する第２の保管工程を具備させたため、前記した
真空バルブの諸特性の向上と安定化をより確実に達成す
ることができる。

【０１０８】請求項５記載の真空バルブの製造方法によ
れば、前記第２の工程の前に、前記接点片と通電軸又は
／及び電極とは予め接続一体化しても、問題なく前記し
た真空バルブの諸特性の向上と安定化を達成することが
できる。

【０１０９】請求項６記載の真空バルブの製造方法によ
れば、前記Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐弧性成
分に代えて、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃ
ｒ，Ｙの少なくとも１つとＷ，Ｍｏの少なくとも１つと
を合わせて１〜７５％含有した耐弧性成分としたため、
特に耐電圧特性を効果的に維持向上させることができ
る。

【０１１０】請求項７記載の真空バルブの製造方法によ
れば、前記Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐弧性成
分に代えて、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃ
ｒ，Ｙの少なくとも１つとＦｅ，Ｃｏの少なくとも１つ
とを合わせて１〜７５％含有した耐弧性成分としたた
め、上記と同様に、特に耐電圧特性を効果的に維持向上
させることができる。

【０１１１】請求項８記載の真空バルブの製造方法によ
れば、前記第１の工程において、加工中の接点素材の温
度が７０℃を超えないように制御する手段は、前記加工
中の接点素材に対してフオレン、アルゴン、ヘリウム、
窒素で代表される不活性ガスの吹き付けとしたため、接
点片表面を汚染することなく加工中の接点素材の温度を
適切に制御することができる。

【０１１２】請求項９記載の真空バルブ用接点材料の製
造方法によれば、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，
Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐
弧性成分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくとも１つからな
る導電性成分とで構成された接点素材に対し、該接点素
材の加工面の温度が所定温度を超えないように冷媒を作
用させながら所定形状の接点片に加工するようにしたた
め、接点片表面の生成物、付着物を除去、低減して表面
汚染の少ない接点片とすることができて接触抵抗特性、
温度上昇特性のみならずロウ付け特性も同時に向上させ
ることができ、信頼性及び生産性の高い真空バルブ用接
点材料の製造方法を提供することができる。

【０１１３】請求項１０記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法によれば、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有し
た耐弧性成分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくとも１つか
らなる導電性成分とで構成された接点素材に対し、加工
中の当該接点素材の温度が７０℃を超えないように制御
しながら所定形状の接点片に加工するようにしたため、
上記請求項９記載の発明の効果をよりよく達成すること
ができる。

【０１１４】請求項１１記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法によれば、加工中の前記接点素材の加工面又は
当該接点素材の温度が前記の所定温度又は７０℃を超え
ないように制御する手段は、前記加工中の接点素材に対
してアルゴン、ヘリウム、フレオン、窒素、水素で代表
される不活性ガス又は液体の吹き付けとしたため、接点
片表面を汚染することなく加工中の接点素材の温度を適
切に制御することができる。

【０１１５】請求項１２記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法によれば、加工中の前記接点素材の加工面又は
当該接点素材の温度が前記の所定温度又は７０℃を超え
ないように制御する手段は、アルゴン、ヘリウム、フレ
オン、窒素で代表されるガスボンベ、減圧弁、流量計、
ガス移送管、膨張室を含んで構成された冷却媒体発生装
置から放射される冷媒の吹き付けとしたため、加工中の
接点素材の温度を所定温度に確実かつ容易に制御するこ
とができる。

【０１１６】請求項１３記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法によれば、加工中の前記接点素材の加工面又は
当該接点素材の温度が前記の所定温度又は７０℃を超え
ないように制御する手段は、加工中の接点素材に対し６
ｃｃ／ｓｅｃ以上の量の冷媒の吹き付けとしたため、加
工中の接点素材の温度を確実に所定温度に制御すること
ができる。

【０１１７】請求項１４記載の真空バルブ用接点材料の
製造方法によれば、前記接点素材を所定形状の接点片に
加工した後に、真空、アルゴン、ヘリウム、フレオン、
窒素で代表される非酸化性雰囲気に保管するようにした
ため、接触抵抗特性、温度上昇特性、ロウ付け特性の安
定化をより確実に達成することができる。

【０１１８】

【表１】

【表２】

【表３】

【表４】

【表５】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 経世 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 山本 敦史 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 草野 貴史 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃ
   ｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐弧
   性成分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくとも１つからなる
   導電性成分とで構成された接点素材に対し、加工中の当
   該接点素材の温度が７０℃を超えないように制御しなが
   ら所定形状の接点片に加工する第１の工程と、前記接点
   片を圧力が８×１０^-5〜５×１０^-7Torrの範囲の真空雰
   囲気中、温度が８００〜１０５０℃、処理時間が５分以
   上の各条件で高温加熱処理を行う第２の工程と、該第２
   の工程の後、前記接点片を圧力が５×１０^-5Torr以下の
   真空中において１０５０℃を超えない温度でロウ付けし
   気密封着接合する第３の工程とを有することを特徴とす
   る真空バルブの製造方法。
2. 【請求項２】 前記第２の工程の雰囲気は、前記真空雰
   囲気に代えて、水素又は一酸化炭素で代表される還元性
   雰囲気としてなることを特徴とする請求項１記載の真空
   バルブの製造方法。
3. 【請求項３】 前記第１の工程と第２の工程との間に、
   真空、アルゴン、ヘリウム又は窒素で代表される非酸化
   性雰囲気に保管する第１の保管工程を有することを特徴
   とする請求項１又は２記載の真空バルブの製造方法。
4. 【請求項４】 前記第２の工程と第３の工程との間に、
   真空、アルゴン、ヘリウム又は窒素で代表される非酸化
   性雰囲気に保管する第２の保管工程を有することを特徴
   とする請求項１又は２記載の真空バルブの製造方法。
5. 【請求項５】 前記第２の工程の前に、前記接点片と通
   電軸又は／及び電極とは予め接続一体化してあることを
   特徴とする請求項１，２，３又は４記載の真空バルブの
   製造方法。
6. 【請求項６】 前記Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
   ａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有し
   た耐弧性成分に代えて、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，
   Ｔａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つとＷ，Ｍｏの少なくと
   も１つとを合わせて１〜７５％含有した耐弧性成分とし
   てなることを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記
   載の真空バルブの製造方法。
7. 【請求項７】 前記Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
   ａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有し
   た耐弧性成分に代えて、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，
   Ｔａ，Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つとＦｅ，Ｃｏの少なく
   とも１つとを合わせて１〜７５％含有した耐弧性成分と
   してなることを特徴とする請求項１，２，３，４又は５
   記載の真空バルブの製造方法。
8. 【請求項８】 前記第１の工程において、加工中の接点
   素材の温度が７０℃を超えないように制御する手段は、
   前記加工中の接点素材に対してフオレン、アルゴン、ヘ
   リウム、窒素で代表される不活性ガスを吹き付けること
   であることを特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載
   の真空バルブの製造方法。
9. 【請求項９】 Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃ
   ｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐弧
   性成分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくとも１つからなる
   導電性成分とで構成された接点素材に対し、該接点素材
   の加工面の温度が所定温度を超えないように冷媒を作用
   させながら所定形状の接点片に加工することを特徴とす
   る真空バルブ用接点材料の製造方法。
10. 【請求項１０】 Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，
    Ｃｒ，Ｙの少なくとも１つを１〜７５ｗｔ％含有した耐
    弧性成分と、残部がＣｕ，Ａｇの少なくとも１つからな
    る導電性成分とで構成された接点素材に対し、加工中の
    当該接点素材の温度が７０℃を超えないように制御しな
    がら所定形状の接点片に加工することを特徴とする真空
    バルブ用接点材料の製造方法。
11. 【請求項１１】 加工中の前記接点素材の加工面又は当
    該接点素材の温度が前記の所定温度又は７０℃を超えな
    いように制御する手段は、前記加工中の接点素材に対し
    てアルゴン、ヘリウム、フレオン、窒素、水素で代表さ
    れる不活性ガス又は液体を吹き付けることであることを
    特徴とする請求項９又は１０記載の真空バルブ用接点材
    料の製造方法。
12. 【請求項１２】 加工中の前記接点素材の加工面又は当
    該接点素材の温度が前記の所定温度又は７０℃を超えな
    いように制御する手段は、アルゴン、ヘリウム、フレオ
    ン、窒素で代表されるガスボンベ、減圧弁、流量計、ガ
    ス移送管、膨張室を含んで構成された冷却媒体発生装置
    から放射される冷媒を前記加工中の接点素材に対して吹
    き付けることであることを特徴とする請求項９又は１０
    記載の真空バルブ用接点材料の製造方法。
13. 【請求項１３】 加工中の前記接点素材の加工面又は当
    該接点素材の温度が前記の所定温度又は７０℃を超えな
    いように制御する手段は、６ｃｃ／ｓｅｃ以上の量の冷
    媒を前記加工中の接点素材に対して吹き付けることであ
    ることを特徴とする請求項９又は１０記載の真空バルブ
    用接点材料の製造方法。
14. 【請求項１４】 前記接点素材を所定形状の接点片に加
    工した後に、真空、アルゴン、ヘリウム、フレオン、窒
    素で代表される非酸化性雰囲気に保管することを特徴と
    する請求項９乃至１３の何れかに記載の真空バルブ用接
    点材料の製造方法。