JPH0936219A

JPH0936219A - 基板用カセット

Info

Publication number: JPH0936219A
Application number: JP20910895A
Authority: JP
Inventors: Toshio Yoshida; 俊雄吉田
Original assignee: Yodogawa Kasei KK
Current assignee: Yodogawa Kasei KK
Priority date: 1995-07-24
Filing date: 1995-07-24
Publication date: 1997-02-07
Anticipated expiration: 2015-07-24
Also published as: JP3366502B2

Abstract

(57)【要約】【課題】大型の基板であってもその収容時の撓みを有
効に防止することができるように工夫した基板用カセッ
トを提供することを目的とする。【解決手段】下面は底面側フレーム(11)、上面は天井
側フレーム(12)、背面はストッパーとしての受けフレー
ム(13)でそれぞれ構成され、相対向する１対の側面は、
カセット内部側に向けて背肉部(21)から所定のピッチで
棚片(22)が張り出した構造を有する溝付き側板(2), (2)
で構成された箱形のカセットである。基板(B) を収容す
るカセットの有効巾をＷ(mm)、溝付き側板(2) の棚片(2
2)の張り出し長さをＬ(mm)とするとき、Ｗが４００以上
でかつＬ／Ｗが1/10〜1/4 であるように設計し、もって
大型の基板(B) を長尺の棚片(22)で支持するようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、大型の基板であっても
その収容時の撓みを有効に防止することができるように
工夫した基板用カセットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガラス基板等の基板の取り扱いに際して
は、各基板を互いに接触しないようにカセットに出入、
収容することが必要となる。

【０００３】この目的のカセットとして普及しているも
のは、箱形の枠体の１対の相対向する側面を溝付き側板
で形成し、両側板の対応する溝間に基板を出入、収容し
うるようにしたものである。溝付き側板の形状やデザイ
ンには種々のものがあるが、いずれも基本的には、カセ
ットの内部側に向けて側板背肉部から所定のピッチで平
行に多数のリブ状の棚片が張り出した形状を有してい
る。隣接するリブ状の棚片間の空隙が溝となり、そこに
基板が出入、収容される。

【０００４】ガラス基板を収容する基板用カセットの溝
付き側板のリブ状の棚片の張り出し長さは現行では通常
１０mm前後であり、大型のガラス基板を支える場合でも
リブ状の棚片の張り出し長さは１６mm程度かそれ以下で
ある。

【０００５】上記のタイプのカセットには、たとえば、
本出願人の出願にかかる特開平２−２９５１５０号公
報、特開平３−１３３１５２号公報、特開平５−１４７
６８０号公報、特開平６−２４７４８３号公報、特開平
６−２８６８１２号公報などに開示されたカセットがあ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】一般にガラス基板とし
ては、厚みが 1.1mmとか 0.7mmのものが汎用されてお
り、今後は 0.5mmのものも採用されるものと考えられ
る。ガラス基板の大きさは種々様々であるが、今までは
３６０mm巾とか４００mm巾というような寸法のものが大
多数を占めていたところ、最近では５００mm巾以上のも
の、たとえば５５０mm巾、６００mm巾、６５０mm巾とい
うような大型のものの割合が大きくなりつつある。なお
ガラス基板の奥行きは、巾と同等かそれよりもある程度
大きいのが通常である。

【０００７】ところで、剛性の点ですぐれているガラス
基板にあっても、その大きさが５００mm巾以上、５５０
mm巾以上、６００mm巾以上というように大型になってく
るにつれて、カセットに収容したときのガラス基板の撓
みが無視しえなくなる。一例をあげると、厚みが 0.7mm
の５５０mm巾のガラス基板を上述のような従来のカセッ
トに収容すると、ガラス基板中央部における撓みは１０
mm程度にもなる。

【０００８】このような撓みが大きくなると、各段の棚
片間のピッチを大きくしないとガラス基板の円滑な入出
操作を行うことができず、１個のカセットに収容しうる
ガラス基板の枚数が少なくなる。またカセット収容時の
撓みが大きくなると、ガラス基板の傷付きのおそれも無
視しえなくなる。

【０００９】本発明は、このような背景下において、大
型の基板であってもその収容時の撓みを有効に防止する
ことができるように工夫した基板用カセットを提供する
ことを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の基板用カセット
は、下面は底面側フレーム(11)、上面は天井側フレーム
(12)、背面はストッパーとしての受けフレーム(13)でそ
れぞれ構成され、相対向する１対の側面は、カセット内
部側に向けて背肉部(21)から所定のピッチで棚片(22)が
張り出した構造を有する溝付き側板(2), (2)で構成さ
れ、これら相対向する溝付き側板(2), (2)の対応する溝
間に大型の基板(B) を出入、収容しうるようにした箱形
のカセットにおいて、基板(B) を収容するカセットの有
効巾をＷ(mm)、溝付き側板(2) の棚片(22)の張り出し長
さをＬ(mm)とするとき、Ｗが４００以上でかつＬ／Ｗが
1/10〜1/4 であるように設計し、もって大型の基板(B)
を長尺の棚片(22)で支持するようにしたことを特徴とす
るものである。

【００１１】以下本発明を詳細に説明する。

【００１２】本発明の基板用カセットにあっては、下面
は底面側フレーム(11)、上面は天井側フレーム(12)、背
面はストッパーとしての受けフレーム(13)でそれぞれ構
成される。これらのフレーム(1) の材質は樹脂とするの
が通常であるが、金属であっても差し支えない。底面側
フレーム(11)および天井側フレーム(12)は格子状とする
ことが多いが、ほこりの付着防止のため、天井側フレー
ム(12)は板状にして蓋を兼ねるようにしたり、格子状の
天井側フレーム(12)の上にさらに蓋を設けたりすること
もできる。

【００１３】このうち受けフレーム(13)には、カセット
に収容した基板(B) の最奥の部分を支持できるように、
溝付き側板(2) の棚片(22)のピッチと同じピッチの舌状
のリブ(13R) を形成することが特に望ましい。リブ(13
R) の張り出し長さは、たとえば１０mm程度から後述の
溝付き側板(2) の棚片(22)の張り出し長さＬと同等ない
しそれ以上とすることができる。

【００１４】そしてカセットの相対向する１対の側面
は、カセット内部側に向けて背肉部(21)から所定のピッ
チで棚片(22)が張り出した構造を有する溝付き側板(2),
(2)で構成される。そして、これら相対向する溝付き側
板(2), (2)の対応する溝間に大型の基板(B) が出入、収
容される。

【００１５】溝付き側板(2), (2)の設置個数は、箱形の
一側面（つまり片面）当り最少で２個、通常は３〜６
個、殊に３〜５個とされる。

【００１６】そして本発明においては、基板(B) を収容
するカセットの有効巾（相対向する溝付き側板(2), (2)
の背肉部(21), (21)間の巾、つまり溝間巾）をＷ(mm)、
溝付き側板(2) の棚片(22)の張り出し長さをＬ(mm)とす
るとき、Ｗが４００以上（好ましくは５００以上、殊に
５５０以上）でかつＬ／Ｗが1/10〜1/4 （好ましくは1/
8〜1/4 、殊に 1/7〜1/4.5 ）であるように設計する。

【００１７】Ｗが５６０mmの場合を例にとると、Ｌは５
６〜１４０mm、好ましくは７０〜１４０mm、殊に８０〜
１２４mmとなる。従来の技術の項で説明したように、現
行のカセットにおける棚片の張り出し長さは通常１０mm
前後であり、長い場合でも１６mm程度であるから、本発
明における棚片(22)の張り出し長さＬは従来に比し著し
く長いものである。なお基板(B) が大型のガラス基板で
あるときの基板巾は、各ユーザーによって異なるが、た
とえば５５０mm、６００mm、６５０mm、７２０mm、８０
０mmなどである。

【００１８】ＷおよびＬ／Ｗが上記の範囲にあるとき
は、基板(B) の撓みが有効に抑制される上、中間には基
板(B) 入出用のロボットのアームの巾に見合ったスペー
スをとることができる。

【００１９】溝付き側板(2), (2)の各段の背肉部(21)の
表面は、その上方部分よりも下方部分が前に突き出た傾
斜面となるようにすることができる。また背肉部(21)の
表面は、その両脇側よりも中央線の方がわずかに前に突
き出るテーパー面とすることもできる。このようにする
と、基板(B) のエッジとの接触が少なくなり、塵埃の発
生防止に好都合となるからである。

【００２０】溝付き側板(2), (2)の棚片(22)は、水平方
向に張り出すように設けてもよく、またその遊端側にい
くほど上方になるようにわずかに上向きに設けてもよ
い。棚片(22)の遊端側には盛り上がりを設けることもで
きる。棚片(22)の上面は、尾根のように形成することも
できる。

【００２１】溝付き側板(2) は、樹脂のみで形成するこ
ともできるが、アルミニウム、ステンレススチールなど
の金属体を骨格材としかつ背肉部(21)の少なくとも前面
側および棚片(22)が樹脂体で形成されるようにすること
が望ましい。

【００２２】この場合、樹脂体のうち基板(B) との接当
部の少なくとも一部を発塵防止性樹脂（たとえば摩耗に
よっても発塵を生じがたいノンフィラーのナチュラル樹
脂）やエラストマー系樹脂で形成すると共に、樹脂体の
他の部分を導電性樹脂体（それ自体が導電性を有する樹
脂または導電性物質を配合した樹脂）で形成するように
することもできる。特に棚片(22)の少なくとも上面およ
び遊端側をエラストマー系樹脂で形成したときは、カセ
ットの輸送時における収容基板(B) のがたつきを有効に
防止することができる。

【００２３】金属体を骨格材として、発塵防止性樹脂、
エラストマー系樹脂、導電性物質配合樹脂などからなる
樹脂体を形成するには、金属体をアウトサートまたはイ
ンサートとして樹脂を射出成形するに際し、異なる種類
の樹脂を二重（二段）成形する方法、ある樹脂の成形体
を予め金属体の溝に嵌入してから樹脂を射出する方法を
はじめ、適宜の手段が採用される。

【００２４】ここで樹脂としては、ポリエーテルエーテ
ルケトン、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリアミ
ドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレー
ト、ポリスルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテル
スルホン、ポリフェニレンエーテルスルホン、変性ポリ
フェニレンオキサイド、ポリエーテルアミド、パーフル
オロアルコキシ置換ポリテトラフルオロエチレン、ポリ
プロピレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボ
ネート、アクリロニトリル系ポリマー、エチレン−ビニ
ルアルコール共重合体、ポリアミド、各種のエラストマ
ー系樹脂などが用いられる。導電性物質としては、たと
えば、金属繊維、金属粒子、カーボン繊維、カーボンブ
ラック（ケッチェンブラック等）、グラファイト、イオ
ン性高分子などがあげられる。導電性樹脂体の体積抵抗
値は、たとえば１０⁴ 〜１０¹¹Ω、殊に１０⁵ 〜１０⁹
Ωに設定することが好ましい。また発塵防止性樹脂とし
ては、ポリエーテルエールケトン、ポリエーテルイミド
をはじめとする粘りのある樹脂が用いられる。

【００２５】カセットの基板出入口に飛び出し防止用の
部材を設置したり、カセットの側面に基板(B) のがたつ
きを防止する部材を付設することもできる。

【００２６】上記構造のカセットに収容する基板(B) と
しては、ガラス基板、セラミックス基板、各種のコンポ
ジット基板をはじめとする各種の基板があげられ、特に
ガラス基板が重要である。

【００２７】

【作用】本発明のカセットにあっては、基板(B) を収容
するカセットの有効巾をＷ(mm)、溝付き側板(2) の棚片
(22)の張り出し長さをＬ(mm)とするとき、Ｗが４００以
上でかつＬ／Ｗが1/10〜1/4 であるように設計してい
る。つまり、大型の基板(B) を長尺の棚片(22)で支持す
るようにしている。

【００２８】典型的な事例をあげて本発明のカセットと
従来のカセットとを対比すると、従来は厚みが 0.7mmの
５５０mm巾のガラス基板を棚片(22)の張り出し長さがた
とえば１６mmの溝付き側板(2), (2)で支承しており、そ
のときのガラス基板中央部における撓みは約１０mmであ
ったのに対し、本発明のカセットを用いたときは、同じ
厚みおよび大きさのガラス基板を、たとえば棚片(22)の
張り出し長さＬが１００mmの溝付き側板(2), (2)の棚片
(22)で支承することになるので、ガラス基板中央部にお
ける撓みは約１〜２mmにしかならない。

【００２９】このように、本発明によれば大型の基板
(B) であっても撓みが小さいので、溝付き側板(2), (2)
の棚片(22)のピッチを最小限に設定することができ、し
かもロボットのアームによる基板(B) の出入操作を円滑
に行うことができる。また本発明にカセットによれば、
カセットに揺れが加わったときの基板(B) の歪みや動き
が小さいという利点もある。

【００３０】加えて、本発明のカセットにおいて、受け
フレーム(13)として溝付き側板(2)の棚片(22)のピッチ
と同じピッチのリブ(13R) を形成させたものを用いる
と、基板(B) はカセットに収容した基板(B) の最奥の部
分においても支持されるので、基板(B) の撓みや動きは
さらに小さくなる。

【００３１】さらに、溝付き側板(2) が、金属体を骨格
材としかつ背肉部(21)の少なくとも前面側および棚片(2
2)が樹脂体で形成されるようにすると、基板(B) を支承
する溝付き側板(2) の巾を狭くしても必要な強度を得る
ことができる。またその樹脂体のうち基板(B) との接当
部の少なくとも一部が発塵防止性樹脂やエラストマー系
樹脂で形成されると共に、樹脂体の他の部分が導電性物
質配合樹脂で形成されるようにすると、基板(B) の取り
扱い時の帯電が有効に防止される上、基板(B)のエッジ
や背面が接触しても塵埃を生じがたくなる。特に棚片(2
2)の少なくとも上面および遊端側をエラストマー系樹脂
で形成したときは、カセットの輸送時における収容基板
(B) のがたつきを有効に防止することができる。

【００３２】

【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。

【００３３】実施例１図１は本発明の基板用カセットの一例を示した平面図、
図２はその正面図、図３はその側面図である。

【００３４】(1) はフレームであり、底面側フレーム(1
1)、天井側フレーム(12)および受けフレーム(13)からな
る。底面側フレーム(11)、天井側フレーム(12)は、たと
えばポリエーテルイミド、ポリエーテルーテルケトン、
エチレンービニルアルコール共重合体、ポリカーボネー
トなどの格子状の射出成形品からなる。

【００３５】受けフレーム(13)には、図３のように、後
述の溝付き側板(2) の棚片(22)のピッチと同じピッチで
同じ長さのリブ(13R) を形成させてある。

【００３６】(2) は溝付き側板であり、底面側フレーム
(11)−天井側フレーム(12)間に１面につき４枚宛ビスど
めしてある。溝付き側板(2) は、この実施例では、金属
体の一例としてのアルミニウム合金をアウトサートとし
て用い、樹脂を射出成形することにより得た金属−樹脂
複合板でできている。

【００３７】(B) は基板の一例としての厚み 0.7mm、巾
５５０mm、奥行き６５０mmの大型のガラス基板であり
（図２に最下段の１枚のみを表示してある）、相対向す
る溝付き側板(2), (2)の対応する棚片(22), (22)間の空
隙に収容してある。

【００３８】カセットの有効巾Ｗは５６０mmであり、基
板(B) の巾５５０mmよりは若干広くしてある。

【００３９】溝付き側板(2) は、背肉部(21)から棚片(2
2)が２０mmのピッチでカセット内部側に向けて張り出し
た構造を有している。棚片(22)の数は２４、棚片(22)の
張り出し長さＬは１００mmと長尺にしてある。従って、
Ｌ／Ｗは100/560 となり、1/10〜1/4 の範囲内にある。
なお溝付き側板(2) の背肉部(21)の巾は５５mm、棚片(2
2)の巾は２０mmである。

【００４０】溝付き側板(2) の棚片(22)は、ほぼ水平に
（正確には、その遊端側が基端側よりも高くなるように
傾斜角２゜に）設置してあり、棚片(22)の遊端は丸みを
持たせてある。

【００４１】上記構造を有する基板用カセットの溝付き
側板(2), (2)の各段に収容された大型の基板(B) は、溝
付き側板(2), (2)の左右の棚片(22), (22)により支持さ
れ、かつ受けフレーム(13)のリブ(13R) で基板(B) の最
奥の部分が支持されており、基板(B) の中央部における
撓みは１〜２mmにすぎない。そしてこの状態にあって
も、カセットの中央領域には基板(B) の出入のためのロ
ボットのハンドの挿入に必要なスペースが確保されてい
る。

【００４２】実施例２図４は本発明の基板用カセットの溝付き側板(2) の他の
一例を示した斜視図、図５はその水平方向の切断断面図
である。

【００４３】この実施例２では、溝付き側板(2) は、金
属体(M) の一例としてのアルミニウム合金をアウトサー
トとして用いて樹脂を多重に射出成形した金属−樹脂複
合板でできている。溝付き側板(2) の背肉部(21)の表面
は、隣接する棚片(22), (22)の溝間において、各段の背
肉部(21)の上方部分よりも下方部分が前に突き出た傾斜
面となるようにしてあり、また各段の背肉部(21)の表面
は、その両脇側よりも中央線の方がわずかに前に突き出
るテーパー面としてある。

【００４４】樹脂体(R) の背肉部(21)の表面側および棚
片(22)の内部側の部分は、導電性物質配合樹脂の一例と
しての炭素繊維（ケッチェンブラック、グラファイト等
でもよい）を内添したポリエーテルエーテルケトン（ポ
リエーテルイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリ
プロピレン、ポリカーボネートなどでもよい）からなる
体積抵抗値が１０⁴ 〜１０¹¹Ωの範囲内の樹脂体からな
るが、背肉部(21)の中央線付近の領域は、ポリエーテル
エーテルケトン、ポリエーテルイミドのような発塵防止
性樹脂（ノンフィラーのナチュラル樹脂）で形成してあ
り、また棚片(22)の表面のうち少なくとも上面側および
遊端部は、基板(B) の動きを防止するようにエラストマ
ー系樹脂で形成してある。なお棚片(22)の上面は尾根状
に形成してある。

【００４５】実施例３図６は本発明の基板用カセットの溝付き側板(2) のさら
に他の一例を示した斜視図、図７はその水平方向の切断
断面図である。

【００４６】この実施例３では、溝付き側板(2) は、金
属体(M) の一例としてのアルミニウム合金をアウトサー
トとして用いて樹脂を多重に射出成形した金属−樹脂複
合板でできている。溝付き側板(2) の背肉部(21)の表面
は、隣接する棚片(22), (22)の溝間において、各段の背
肉部(21)の上方部分よりも下方部分が前に突き出た傾斜
面となるようにしてある。

【００４７】樹脂体(R) の背肉部(21)の表面側および棚
片(22)の内部側の部分は、導電性物質配合樹脂の一例と
しての炭素繊維（ケッチェンブラック、グラファイト等
でもよい）を内添したポリエーテルエーテルケトン（ポ
リエーテルイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリ
プロピレン、ポリカーボネートなどでもよい）からなる
体積抵抗値が１０4 〜１０11Ωの範囲内の樹脂体からな
るが、背肉部(21)の中央線の所はポリエーテルエーテル
ケトン、ポリエーテルイミドのような発塵防止性樹脂
（ノンフィラーのナチュラル樹脂）で形成してあり、ま
た棚片(22)の表面のうち少なくとも上面側および遊端部
は、基板(B) の動きを防止するようにエラストマー系樹
脂で形成してある。なお棚片(22)の上面は尾根状に形成
してある。

【００４８】

【発明の効果】本発明のカセットにあっては、基板(B)
を長尺の棚片(22)で支持するようにしているため、基板
(B) が大型のガラス基板などであっても、カセット収容
時の撓みが有効に防止される。加えて、受けフレーム(1
3)として溝付き側板(2) の棚片(22)のピッチと同じピッ
チのリブ(13R) を形成させたものを用いると、基板(B)
はカセットに収容した基板(B) の最奥の部分においても
支持されるので、基板(B) の撓みはさらに小さくなる。

【００４９】従って、本発明によれば大型の基板(B) を
収容する場合でも撓みが小さいので、溝付き側板(2),
(2)の棚片(22)のピッチを最小限に設定することがで
き、しかもロボットのアームによる基板(B) の出入操作
を円滑に行うことができる。また本発明にカセットによ
れば、カセットに揺れが加わったときの基板(B) の歪み
や動きが小さいという利点もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板用カセットの一例を示した平面図
である。

【図２】図１のカセットの正面図である。

【図３】図１のカセットの側面図である。

【図４】本発明の基板用カセットの溝付き側板(2) の他
の一例を示した斜視図である。

【図５】図４の水平方向の切断断面図である。

【図６】本発明の基板用カセットの溝付き側板(2) のさ
らに他の一例を示した斜視図である。

【図７】図６の水平方向の切断断面図である。

【符号の説明】

(1) …フレーム、 (11)…底面側フレーム、 (12)…天井側フレーム、 (13)…受けフレーム、 (13R) …リブ、 (2) …溝付き側板、 (21)…背肉部、 (22)…棚片、 (M) …金属体、(R) …樹脂体、 (B) …基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下面は底面側フレーム(11)、上面は天井側
フレーム(12)、背面はストッパーとしての受けフレーム
(13)でそれぞれ構成され、相対向する１対の側面は、カ
セット内部側に向けて背肉部(21)から所定のピッチで棚
片(22)が張り出した構造を有する溝付き側板(2), (2)で
構成され、これら相対向する溝付き側板(2), (2)の対応
する溝間に大型の基板(B) を出入、収容しうるようにし
た箱形のカセットにおいて、基板(B) を収容するカセットの有効巾をＷ(mm)、溝付き
側板(2) の棚片(22)の張り出し長さをＬ(mm)とすると
き、Ｗが４００以上でかつＬ／Ｗが1/10〜1/4 であるよ
うに設計し、もって大型の基板(B) を長尺の棚片(22)で
支持するようにしたことを特徴とする基板用カセット。
【請求項２】Ｗが５００以上でかつＬ／Ｗが 1/8〜1/4
である請求項１記載の基板用カセット。
【請求項３】受けフレーム(13)に、溝付き側板(2) の棚
片(22)のピッチと同じピッチのリブ(13R) が形成されて
いる請求項１記載の基板用カセット。