JPH0943082A - バランス形差圧伝送器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】差圧伝送器において、特に高圧による過負荷保
護ダイアフラムのゼロ点変化及び受圧部材の変形による
ゼロ点変化をおさえる。 【構成】測定流体受圧室１７，１８は単一の受圧部材２
０のシールダイアフラム取付け穴部２１，２２，３０と
栓３２，３５，３６で形成され、シールダイアフラム
６，７は受圧部材の両端に平行に取り付ける。過負荷保
護ダイアフラム４とセンサ組立体２はシールダイアフラ
ム６，７と直角方向に設け、第一の受圧室２０１と第一
の隔離室２０３、半導体差圧センサは導通路により連通
し、同様に第二の受圧室２０２と第二の隔離室２０４、
半導体差圧センサも導通路により連通している。そし
て、第二の隔離室の変形をおさえるために、第二の隔離
室の密封部材を第一及び第二の固定金具８，２８からな
る二重構造とし、その間に第三の隔離室２０６を設け第
二の隔離室と同じ測定流体の圧力を導く。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は差圧伝送器に係り、特に
隔離室の変形をおさえることにより測定流体の圧力が高
圧であるときの静圧の影響を小さくし、差圧を正確に検
出するバランス形差圧伝送器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の差圧伝送器は、一般的には、特開
昭６０−１８５１３１号公報に記載されたように、本体
Ｈ及び本体Ｌの２つの部品で受圧部材を構成し、本体Ｈ
の片面には第一のシールダイアフラムを固定し、もう一
方の面にセンサ組立体を組み込みかつ過負荷保護ダイア
フラムとして機能するセンターダイアフラムを固定して
いた。また、本体Ｌの片面にも第二のシールダイアフラ
ムを固定し、もう一方の面は本体Ｈのセンターダイアフ
ラムを押し付けるように本体Ｈと本体Ｌを重ね、外周を
溶接する。更に、本体Ｈ，Ｌで構成された受圧部材の両
側に第一及び第二のシールダイアフラムによって第一及
び第二の受圧室を形成し、第一及び第二のシールダイア
フラムに第一及び第二の流体を印加する。そして本体
Ｈ、センターダイアフラム、本体Ｌによって第一及び第
二の隔離室を形成し、更に第一の受圧室と第一の隔離室
をつなぐ導通路、第一の隔離室とセンサ組立体の半導体
差圧センサをつなぐ導通路、第二の受圧室と第二の隔離
室をつなぐ導通路、第二の隔離室と半導体差圧センサを
つなぐ導通路を設けている。

【０００３】これら第一の受圧室、第一の隔離室、半導
体差圧センサ、これらをつなぐ導通路内には封入液が充
填されている。同様に第二の受圧室、第二の隔離室、半
導体差圧センサ、これらをつなぐ導通路内にも封入液が
充填され、圧力が半導体差圧センサの表裏面に伝達され
る。

【０００４】また、本体Ｈ，Ｌを２個のフランジで両側
よりはさみ込み、ボルト、ナットによって締め付け固定
することにより、測定流体受圧室が本体Ｈの第一のシー
ルダイアフラムとフランジとの間及び本体Ｌの第二のシ
ールダイアフラムとフランジとの間に形成される。

【０００５】一方、上記従来技術の差圧伝送器より測定
精度を向上させるものとして、特開平６−１９４２４７
号公報に記載の差圧伝送器がある。この差圧伝送器で
は、過負荷保護ダイアフラムとしてのセンターダイアフ
ラムを本体部材に設ける際に、第一及び第二のシールダ
イアフラムの受圧方向に対してセンターダイアフラムの
受圧方向が異なるよう、例えば直角方向に設けている。
また、測定流体の受圧室や封入液の受圧室単一の受圧部
材内に形成されるため、フランジやフランジを締め付け
るボルト、ナットを必要としない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術には次のような問題がある。

【０００７】特開昭６０ー１８５１３１号公報に記載の
差圧伝送器では、第一及び第二のシールダイアフラム、
センターダイアフラム及びセンサ組立体が同一軸上に並
べて設けられているので、それぞれのダイアフラムを支
持する部材を接合する場合、またシールダイアフラムを
支持する部材に測定流体から圧力が加わった場合にも本
体部材の変形がセンターダイアフラムの形状および位置
の歪を生じてしまい、センターダイアフラムのゼロ点の
変化が発生してしまっていた。

【０００８】また、測定流体受圧室は、本体Ｈ，Ｌを２
個のフランジで両側よりはさみ込み、ボルト、ナットに
よって締め付け固定され、形成される。しかし、このフ
ランジの締付力は、本体Ｈと本体Ｌを両端より押しつけ
るものであるため、第一及び第二の測定流体受圧室に測
定流体の静圧が加わった場合に当該締め付け力がその圧
力に応じて変化してしまい、この圧力負荷時の締め付け
力の変化により本体部材が変形し、この本体部材の変形
が内部に充填された封入液の移動をもたらし、センター
ダイアフラムを変形させ、その影響がセンターダイアフ
ラムのゼロ点の変化となって表れ、正確な差圧測定の障
害となっていた。

【０００９】特開平６−１９４２４７号公報に記載の差
圧伝送器では、上記のようにセンターダイアフラム（過
負荷保護ダイアフラム）の受圧方向が、第一及び第二の
シールダイアフラムの受圧方向と異なる向きに設けられ
ているので、受圧部材にシールダイアフラムを接合する
場合でも、この時に発生する本体部材の変形又は歪を過
負荷保護ダイアフラムに伝達しなくなり、センターダイ
アフラムのゼロ点の変化をなくすことができる。また、
圧力負荷時のセンターダイアフラムの変形量も小さくす
ることができ、このときのゼロ点変化も小さくすること
ができる。更に、全ての受圧室が単一の受圧部材内に形
成され、フランジ、ボルト、ナットが不要となるので、
測定流体受圧室に静圧が印加した場合の締め付け力の変
化がなく受圧部材本体の変形等がないため、圧力負荷時
の締め付け力の変化によるセンターダイアフラムのゼロ
点の変化をなくすことができる。

【００１０】しかしながら、特開平６−１９４２４７号
公報に記載の差圧伝送器では、測定流体の圧力が高圧で
ある場合には、センターダイアフラムの大気側に位置す
る第二の隔離室を形成する密封部材がその高圧で変形す
ることがあり、密封部材が変形するとセンターダイアフ
ラムの動作支点が動き、センターダイアフラムのゼロ点
が変化するため、高精度に差圧を測定できなるなるとい
う問題があった。

【００１１】本発明の目的は、高い測定流体の圧力下で
もセンターダイアフラムの動作支点が動かず、高精度に
差圧を測定できるバランス形差圧伝送器を提供すること
である。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次の構成を採用する。すなわち、受圧部材
に取り付けられた第一のダイアフラムによって形成さ
れ、第一の検出流体が封入された第一の受圧室と、前記
受圧部材に取り付けられた第二のダイアフラムによって
形成され、第二の検出流体が封入された第二の受圧室
と、前記受圧部材内に配置された差圧検出センサと、前
記第一及び第二のダイアフラムと異なる方向、例えば直
角に前記受圧部材に取り付けられた第三のダイアフラム
によって形成され、前記第一の受圧室に導通する第一の
隔離室と、前記第三のダイアフラムの外周部を固定する
よう前記受圧部材に取り付けられた密封部材と前記第三
のダイアフラムとによって形成され、前記第二の受圧室
に導通する第二の隔離室とを備え、前記第一のダイアフ
ラムに第一の測定流体の圧力を印加し、前記第二のダイ
アフラムに第二の測定流体の圧力を印加して前記第一及
び第二の受圧室に導通する第一及び第二の隔離室の圧力
を前記差圧検出センサに印加し両圧力の差を検出する差
圧伝送器において、前記第二の測定流体の圧力による前
記第二の隔離室の変形をおさえる変形防止手段を設ける
構成とする。

【００１３】好ましくは、前記変形防止手段は、前記第
二の測定流体自身の圧力によって前記密封部材の変形を
おさえる手段である。この場合、好ましくは、前記密封
部材は第一及び第二の固定金具を重ねた二重構造を有
し、前記変形防止手段は前記第一及び第二の固定金具の
間に前記第二の測定流体の圧力を導く手段である。

【００１４】また、好ましくは、前記変形防止手段は、
前記第一及び第二の固定金具の間に形成された第三の隔
離室と、前記第三の隔離室に前記第二の測定流体の圧力
を導く圧力伝達手段とで構成される。この場合、好まし
くは、前記圧力伝達手段は、前記受圧部材に取り付けら
れた第四のダイアフラムと、前記第四のダイアフラムに
よって形成され、第三の検出流体が封入された第三の受
圧室と、前記第三の受圧室の圧力を前記第三の隔離室に
導く導通路とを有し、前記第四のダイアフラムに前記第
二の測定流体の圧力が印加される。そして、好ましく
は、本発明の差圧伝送器は前記第二の測定流体が導かれ
前記第二のダイアフラムに第二の測定流体の圧力を印加
するよう前記受圧部材に設けられた測定流体受圧室を更
に備え、前記圧力伝達手段の第四のダイアフラムは前記
測定流体受圧室に導かれた第二の測定流体の圧力が印加
されるように配置されている。

【００１５】

【作用】以上のように構成した本発明の差圧伝送器で
は、基本的には特開平６−１９４２４７号公報に記載の
差圧伝送器と同様、第三のダイアフラム（センターダイ
アフラム又は過負荷保護ダイアフラム）の受圧方向が、
第一及び第二のダイアフラム（シールダイアフラム）の
受圧方向と異なる向きに設けられているので、受圧部材
にシールダイアフラムを接合する場合でも、この時に発
生する歪を過負荷保護ダイアフラムに伝達しなくなり、
過負荷保護ダイアフラムのゼロ点の変化をなくすことが
できる。また、圧力負荷時の過負荷保護ダイアフラムの
変形量も小さくすることができ、このときのゼロ点変化
も小さくすることができる。更に、全ての受圧室が同じ
受圧部材内に形成され、フランジ、ボルト、ナットが不
要となるので、測定流体受圧室に静圧が印加した場合の
締め付け力の変化がなく受圧部材本体の変形等がないた
め、圧力負荷時の締め付け力の変化によるセンターダイ
アフラムのゼロ点の変化をなくすことができる。

【００１６】そして、本発明の特徴として、第二の測定
流体の圧力による第二の隔離室の変形をおさえる変形防
止手段を設けることにより、過負荷保護ダイアフラムの
動作支点が動くことがなくなり過負荷保護ダイアフラム
のゼロ点の変化が発生しない。

【００１７】ここで、変形防止手段として、第二の測定
流体自身の圧力によって密封部材の変形をおさえる手段
を設けることにより、簡単な構成で第二の隔離室の変形
をおさえることができる。

【００１８】また、この場合、密封部材を第一及び第二
の固定金具を重ねた二重構造とし、変形防止手段を第一
及び第二の固定金具の間に第二の測定流体の圧力を導く
手段で構成することにより、またより具体的には、第一
及び第二の固定金具の間に形成された第三の隔離室と、
この第三の隔離室に第二の測定流体の圧力を導く圧力伝
達手段とで構成することにより、第一の固定金具の両面
に同じ第二の測定流体の圧力が印加され、密封部材の変
形（第一の固定金具）の変形がおさえられる。

【００１９】また、圧力伝達手段を、受圧部材に取り付
けられた第四のダイアフラムと、第四のダイアフラムに
よって形成され、第三の検出流体が封入された第三の受
圧室と、第三の受圧室の圧力を第三の隔離室に導く導通
路とで構成し、第四のダイアフラムに第二の測定流体の
圧力が印加される構成とすることにより、第三の隔離室
には第二の測定流体は直接導かれないので、第二の測定
流体が腐食性流体等のいかなる流体であっても差圧を測
定することができる。また、密封部材が取り付けられる
のと同じ受圧部材に第三の受圧室を形成するため、二重
構造の密閉部材内に測定流体圧力を取り込む経路も短く
することができ、コンパクトにする作用もある。

【００２０】更に、第二のダイアフラムに第二の測定流
体の圧力を印加するよう受圧部材に測定流体受圧室を設
け、圧力伝達手段の第四のダイアフラムをこの測定流体
受圧室に導かれた第二の測定流体の圧力が印加されるよ
うに配置することにより、１つの測定流体受圧室が２つ
のダイアフラムに共用され、構造が簡素化される。

【００２１】なお、本発明では密封部材の内部に第三の
隔離室の圧力に対抗して同じ圧力を印加することより、
本発明の差圧伝送器を特に「バランス形」差圧伝送器と
呼ぶ。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の一実施例によるバランス形差
圧伝送器を図１〜図５を用いて説明する。図１におい
て、本実施例の差圧伝送器は、概略的に言って、伝送器
本体を構成する受圧部材２０、受圧部材２０内に配置さ
れた半導体差圧センサ４４を有するセンサ組立体２と、
受圧部材２０内に形成され第一及び第二の測定流体が導
かれる第一及び第二の測定流体受圧室１７，１８、第一
及び第二の測定流体受圧室１７，１８に配置され第一及
び第二の測定流体の圧力が印加される第一及び第二のシ
ールダイアフラム６，７と、受圧部材２０と第一及び第
二のシールダイアフラム６、７との間に形成された第一
及び第二の受圧室２０１，２０２と、受圧部材２０に外
周部が接合された過負荷保護ダイアフラム（センターダ
イアフラム）４と、過負荷保護ダイアフラム４によって
分離され、それぞれ第一及び第二の受圧室２０１、２０
２に導通する第一及び第二の隔離室２０３，２０４とを
備え、第一のシールダイアフラム６に第一の測定流体の
圧力を印加し、第二のシールダイアフラム７に第二の測
定流体の圧力を印加して第一及び第二の受圧室２０１，
２０２に導通する第一及び第二の隔離室２０３，２０４
の圧力をセンサ組立体２の半導体差圧センサ４４に印加
し両圧力の差を検出する構成となっている。

【００２３】また、本実施例の差圧伝送器は、第二の測
定流体受圧室１８に第四のダイアフラムとして配置され
第二の測定流体の圧力が印加される第三のシールダイア
フラム３と、第三のシールダイアフラム３によって形成
された第三の受圧室２０５と、第三の受圧室２０５の圧
力が導かれ、第二の測定流体の圧力によって第二の隔離
室２０４の変形をおさえる第三の隔離室２０６とを更に
備えている。

【００２４】図２に図１で示した受圧部材２０の構造を
示す。受圧部材２０は単一の部材からなり、受圧部材２
０の両端には対称に第一及び第二のシールダイアフラム
６，７を取り付けるための穴部２１，２２が設けられ、
穴部２１，２２の底面には第一及び第二のシールダイア
フラム６，７と同一形状に加工を施し、穴部２１，２２
の入口には栓３５，３６を固定するための第一及び第二
のシールダイアフラム６，７より大きな径のねじ部３
７，３８を形成している。

【００２５】また、第一及び第二のシールダイアフラム
６，７を取り付ける穴部２１，２２の面と直角方向に第
三のシールダイアフラム３を取り付けるための穴部３０
が設けられ、その穴部３０の入口には、栓３２を固定す
るためのねじ部３４を形成している。

【００２６】更に、受圧部材２０の中心軸上には、過負
荷保護ダイアフラム４及びセンサ組立体２を収納するた
めの段付穴部２３が、第一及び第二のシールダイアフラ
ム６，７と直角方向に設けてある。段付穴２３の小径側
には増幅器９Ａを取り付けるための穴９が、また大径側
には、過負荷保護ダイアフラム４を固定するための密封
部材を構成する第一の固定金具８及び第二の固定金具２
８を取り付けるための穴１０が設けてある。第三の隔離
室２０６は第一の固定金具８と第二の固定金具２８との
間に形成されている。

【００２７】第一の受圧室２０１、第一の隔離室２０
３、センサ組立体２の半導体差圧センサ４４の表面（図
１で見て下面）とは導通路２４，６１，６３を介して互
いに導通しており、第二の受圧室２０２、第二の隔離室
２０４、センサ組立体２の裏面（図１で見て上面）とは
導通路２５，２６，２７，６０，６２を介して互いに導
通している（図４参照）。また、第三の受圧室２０５と
第三の隔離室２０６とは導通路８１，８２，８３，８
４，８５（図４参照）を介して導通している。ここで、
導通路２４，２５，２６，２７と導通路８２は受圧部材
２０に形成され、導通路８２は穴部３０と穴１０とを連
絡している。また、導通路６０はセンサ組立体２に形成
され、導通路６１はセンタ金具５に形成され、導通路６
２は第一の固定金具８に形成され、導通路６３はセンタ
金具５に形成され、導通路８１，８３は栓３２に形成さ
れ、導通路８４，８５は第二の固定金具２８に形成され
ている。

【００２８】本実施例の差圧伝送器における第一の受圧
室２０１、第二の受圧室２０２、第三の受圧室２０５、
第一の隔離室２０３、第二の隔離室２０４、第三の隔離
室２０６の構造を図１〜図４を参照し、差圧伝送器の組
立工程を説明することにより更に詳細に説明する。

【００２９】本実施例の差圧伝送器においては、受圧部
材２０の穴部２１，２２から第一及び第二のシールダイ
アフラム６，７を組み込み、第一及び第二のシールダイ
アフラム６，７の面が平行となるように溶接して、第一
及び第二の受圧室２０１，２０２を形成する。同様に第
三のシールダイアフラム３も穴部３０から組込溶接さ
れ、栓３２をねじこんで端面部分を溶接することで第三
の受圧室２０５を形成している。ここで、導通路８１と
導通路８２とを導通させる導通路８３は環状の溝として
形成されている。

【００３０】次に栓３５，３６を受圧部材２０のねじ穴
にねじこみ、その端面部分を溶接で接合、封止し、第一
及び第二の測定流体受圧室１７，１８を形成する。そし
て、第二の測定流体受圧室１８には第三のシールダイア
フラム３に圧力を伝える導圧路８０が設けてある。

【００３１】受圧部材２０の中心段付穴部２３には、径
の大きな方向よりセンサ組立体２を挿入し、センサ組立
体２の導通路６０と受圧部材２０の導通路２５が導通す
るように組み込み、センサ組立体２の両端を溶接する。

【００３２】その後、センタ金具５をセンタ金具５の導
通路６１と受圧部材２０の導通部２４が導通するような
位置に、また過負荷保護ダイアフラム４の波形状と同一
に加工した面を過負荷保護ダイアフラム４側に向けて取
り付け、更に過不過保護ダイアフラム４を受圧部材２０
に溶接し、第一の隔離室２０３を形成する。導通路６３
はセンタ金具５の中心には過負荷保護ダイアフラム４か
ら半導体差圧センサ４４へ圧力を伝達するように設けて
ある。

【００３３】段付穴部２３の大径側の穴１０に第一の固
定金具８を、第一の固定金具８の導通路６２と受圧部材
２０の導通路２６が導通するように、また過負荷保護ダ
イアフラム４の波形状と同一に加工した面を過負荷保護
ダイアフラム４側に向けて取り付け、第一の固定金具８
と受圧部材２０を溶接にて封止し第二の隔離室２０４を
形成する。そして、穴１０のねじ部に第二の固定金具２
８をねじこみ、溶接にて封止して、第三の隔離室２０６
を形成する。

【００３４】ここで、第二の固定金具２８の第一の固定
金具側の端面には図４に示すように直径方向の溝２８ａ
が形成され、この溝２８ａと第一の固定金具８の端面と
で第三の隔離室２０６が形成されている。また、導通路
８４は導通路８２と導通路８５を導通させる環状の溝と
して形成され、導通路８５の導通路８４から反対側の端
部は第二の固定金具２８の軸方向中央を通り、溝２８ａ
に開口している。

【００３５】そして、第一の受圧室２０１、第一の隔離
室２０３、導通路２４，６１，６３と、センサ組立体２
の半導体差圧センサ４４の表面側及び受圧部材２０の封
入口のシールピン５１で囲まれた空間には第一の検出流
体として封入液１５が充填してあり、同様に第二の受圧
室２０２、第二の隔離室２０４、導通路２５，２６，２
７，６０，６２と、センサ組立体２の半導体差圧センサ
４４の裏面側及び受圧部材２０の液封口のシールピン５
２で囲まれた空間にも第二の検出流体として封入液１６
が充填してある。また、第三の受圧室２０５、第三の隔
離室２０６、導通路８１〜８５と、栓３２の液封口のシ
ールピン５０で囲まれた空間にも第三の検出流体として
封入液１９が充填してある。

【００３６】図５は図３の過負荷保護ダイアフラム４と
受圧部材２０と第一の固定金具８の部分を詳細に示した
図である。過負荷保護ダイアフラム４は外周部で受圧部
材２０に溶接接合され、その溶接部の内側を第一の固定
金具８によって接触し押しつけられ、第一の固定金具８
を電子ビ−ム溶接で溶接され、封止される。したがっ
て、過負荷保護ダイアフラム４の動作支点は強固に押し
つけられるため、組み付け時の歪の影響が無く、その動
作支点は常時明確化される。

【００３７】更に、圧力負荷時には第二の隔離室２０４
と第二の固定金具２８の反対側の端面（大気側）では大
きな差圧が発生し、第一の固定金具８が弾性変形し、そ
の変形により内部の封入液が移動してゼロ点が変化する
可能性がある。しかし、本実施例では第二の固定金具２
８との間に第三の隔離室２０６を形成し、第二の隔離室
２０４と同圧力を負荷する構造を取っているので、その
変形量はほとんどなく、過負荷保護ダイアフラム４の動
作支点も動くことがない。このため、圧力負荷時のゼロ
点の変化もほとんどない。

【００３８】センサ組立体２は半導体差圧センサ４４に
電気的に接続されたハーメチックシールピン４５を備
え、ハーメチックシールピン４５の大気圧開放側にＦＰ
Ｃ４６を半田付けしており、これにより従来の差圧伝送
器で必要だったセンサ信号を取り出すための穴を受圧部
材２０に設ける必要をなくしている。

【００３９】このような構成からなるバランス形差圧伝
送器の差圧検出動作を図１を用いて説明する。第一のシ
ールダイアフラム６に第一の測定流体としてのプロセス
流体からの第一の圧力が印加すると、第一のシールダイ
アフラム６を介してその裏側の第一の受圧室２０１の封
入液１５に第一の測定流体の第一の圧力が伝達される。
この第一の圧力は更に導通路２４，６１を通って過負荷
保護ダイアフラム４とセンタ金具５の間に形成された第
一の隔離室２０３に伝達され、更にセンタ金具５の導通
路６３を通ってセンサ組立体２の半導体差圧センサ４４
の表面に伝達される。また、第二の測定流体としてのプ
ロセス流体からの第二の圧力が第二のシールダイアフラ
ム７に印加した場合も、同様に第二のシールダイアフラ
ム７を介してその裏側の第二の受圧室２０２の封入液１
６に第二の測定流体の第二の圧力が伝達され、この第二
の圧力は導通路２５，２６，２７を通って過負荷保護ダ
イアフラム４と第一の固定金具８の間で形成された第二
の隔離室２０４に伝達されるとともに、導通路６０を介
してセンサ組立体２の半導体差圧センサ４４の裏面へ伝
達される。このように半導体差圧センサ４４は過負荷保
護ダイアフラム４の表面及び裏面に伝達した第一及び第
二の測定流体の第一及び第二の圧力を検出し、半導体差
圧センサ４４の出力はハーメチックシールピン４５より
大気開放側に取り出され、ＦＰＣ４６を介して増幅器９
Ａに伝送される。

【００４０】そして、本実施例では、上記第二の圧力は
更に第三のシールダイアフラム３を介して第三の受圧室
２０５の封入液１９に伝達され、この圧力は導通路８１
〜８５を介して第三の隔離室２０６へ伝達される。これ
により、第一の固定金具８には第二の隔離室２０４と第
三の隔離室２０５の両側から同圧力が加わるため、第一
の固定金具８は変形せず、過負荷保護ダイアフラム４の
動作支点も変わらない。

【００４１】測定流体の受圧室１７，１８や封入液の受
圧室２０１，２０２，２０５は、全て単一の部材である
受圧部材２０内に形成されるため、従来例のように、特
にフランジやフランジを締め付けるボルト、ナットを必
要としない。すなわち、測定流体の受圧室１７，１８及
び封入液の受圧室２０１，２０２，２０５を形成するの
にシールダイアフラム１５，１６，１９を溶接で固定す
る以外は、栓３２，３５，３６を設けるだけで済む。

【００４２】以上のように本実施例の差圧伝送器によれ
ば、過負荷保護ダイアフラム４の受圧方向を第一及び第
二のシールダイアフラム６，７の受圧方向と異なる直角
方向に配置することにより、全てのダイアフラムを同一
軸上に並べた従来例と比べると、過負荷保護ダイアフラ
ム４と受圧部材２０との溶接箇所を受圧部材２０に第一
及び第二のシールダイアフラム６，７を接合するときの
歪が伝達しない箇所に設けることができるので、差圧伝
送器組立時に過負荷保護ダイアフラム４の形状および位
置に歪が発生しなくなり、過負荷保護ダイアフラム４の
ゼロ点の変化が発生しなくなる。

【００４３】また、過負荷保護ダイアフラム４を直角方
向に配置したことにより第一及び第二の測定流体受圧室
１７，１８にプロセス流体から過大な圧力が加わった場
合でも、第一及び第二のシールダイアフラム６，７近辺
に発生した部材の歪は過負荷保護ダイアフラム４に歪と
して伝わりにくくなり、過負荷保護ダイアフラム４のゼ
ロの点変化も小さくなる。

【００４４】そして、本実施例では、第一の固定金具８
の変形を第二の測定流体の圧力を利用することでなくす
ことができるため、特に、第二の測定流体が高圧の流体
である場合、過負荷保護ダイアフラム４の動作支点の変
化をなくすことができ、過負荷保護ダイアフラム４のゼ
ロ点の変化が発生せず差圧を正確に測定することができ
る。

【００４５】更に、本実施例の差圧伝送器によれば、全
ての受圧室１７，１８，２０１，２０２，２０５が受圧
部材２０内に形成されるので、受圧部材２０を単一部品
として構成でき、受圧室１７，１８，２０１，２０２，
２０５を形成するのにフランジ、ボルト、ナットが不要
となる。したがって、ボルト、ナットの締め付けによる
受圧部材２０の形状変化や測定流体受圧室１７，１８，
２０１，２０２，２０５に片圧や過大な静圧が印加した
場合の受圧部材の変形等がないため、過負荷保護ダイア
フラム４のゼロ点の変化や動作支点の変化をなくして、
より正確に差圧を測定することができる。

【００４６】また、第三のシールダイアフラム３を設
け、第三の受圧室２０５に伝えられた封入液の圧力を第
三の隔離室２０６に伝達するようにしたため、第三の隔
離室２０６には第二の測定流体は直接導かれないので、
第二の測定流体が腐食性流体等のいかなる流体であって
も差圧を測定することができる。また、密封部材（第一
及び第二の固定金具８，２８）が取り付けられるのと同
じ受圧部材２０に第三の受圧室２０５を形成するため、
第三の隔離室２０６に測定流体圧力を取り込む導通路８
１〜８５の経路も短くすることができ、差圧伝送器全体
をコンパクトにすることができる。

【００４７】更に、第三のシールダイアフラム３を第二
の測定流体受圧室１８の第二の測定流体の圧力が印加さ
れるように配置したので、１つの測定流体受圧室１８が
２つのダイアフラム３，７に共用され、構造が簡素化さ
れる効果もある。

【００４８】本発明の他の実施例を図６により説明す
る。本実施例は、図１の第三のシールダイアフラム３を
なくした場合の例である。

【００４９】図６において、導通路８０は導通路９０に
つながっており、第二の測定流体受圧室１８は導通路８
０，９０及び導通路８４，８５を介して直接第三の隔離
室２０６に導通している。本実施例は第二の測定流体が
例えば腐食性でない油等の流体である場合に適用可能で
ある。

【００５０】本実施例によれば先の実施例と同様の作用
効果が得られるとともに、構造が簡単で安価に製造する
ことができる利点がある。

【００５１】

【発明の効果】本発明の差圧伝送器によれば、測定流体
の圧力による隔離室の変形をおさえることにより圧力負
荷時の過負荷保護ダイアフラムのゼロ点の変化をなくす
ことができるため、測定流体が高圧であっても正確な差
圧を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるバランス形差圧伝送器
の縦断面図である。

【図２】図１に示す差圧伝送器の受圧部材の縦断面図で
ある。

【図３】図１に示す差圧伝送器の過負荷保護ダイアフラ
ム部分の詳細縦断面図である。

【図４】図３に示す第二の固定金具の上面図である。

【図５】図３に示す過負荷保護ダイアフラムの取り付け
部分の詳細縦断面図である。

【図６】本発明の他の実施例によるバランス形差圧伝送
器の縦断面図である。

【符号の説明】

２…センサ組立体 ４…過負荷保護ダイアフラム（第三のダイアフラム） ５…センタ金具 ３…第三のシールダイアフラム（第四のダイアフラム） ６，７…第一及び第二のシールダイアフラム（第一及び
第二のダイアフラム） ８…第一の固定金具 ２８…第二の固定金具 ９…増幅器取付穴 １０…固定金具取付穴 １５，１６，１９…封入液 １７，１８，２０５…第一〜第三の測定流体受圧室 ２０…受圧部材 ２１，２２，３０…シールダイアフラム取付け穴部 ２３…センサ組立体収納穴部 ２４〜２７，６０〜６３，８０〜８５…導通路 ３２，３５，３６…栓 ３４，３７，３８…ねじ穴 ４４…半導体差圧センサ ４５…ハーメチックシールピン ４６…ＦＰＣ ５０，５１，５２…シールピン ５３，５４…液封口 ２０１…第一の受圧室 ２０２…第二の受圧室 ２０５…第三の受圧室 ２０３…第一の隔離室 ２０４…第二の隔離室 ２０６…第三の隔離室

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 受圧部材に取り付けられた第一のダイア
   フラムによって形成され、第一の検出流体が封入された
   第一の受圧室と、前記受圧部材に取り付けられた第二の
   ダイアフラムによって形成され、第二の検出流体が封入
   された第二の受圧室と、前記受圧部材内に配置された差
   圧検出センサと、前記第一及び第二のダイアフラムと異
   なる方向を向くよう前記受圧部材に取り付けられた第三
   のダイアフラムによって形成され、前記第一の受圧室に
   導通する第一の隔離室と、前記第三のダイアフラムの外
   周部を固定するよう前記受圧部材に取り付けられた密封
   部材と前記第三のダイアフラムとによって形成され、前
   記第二の受圧室に導通する第二の隔離室とを備え、前記
   第一のダイアフラムに第一の測定流体の圧力を印加し、
   前記第二のダイアフラムに第二の測定流体の圧力を印加
   して前記第一及び第二の受圧室に導通する第一及び第二
   の隔離室の圧力を前記差圧検出センサに印加し両圧力の
   差を検出する差圧伝送器において、前記第二の測定流体
   の圧力による前記第二の隔離室の変形をおさえる変形防
   止手段を設けたことを特徴とする差圧伝送器。
2. 【請求項２】 請求項１記載の差圧伝送器において、前
   記変形防止手段は、前記第二の測定流体自身の圧力によ
   って前記密封部材の変形をおさえる手段であることを特
   徴とする差圧伝送器。
3. 【請求項３】 請求項２記載の差圧伝送器において、前
   記密封部材は第一及び第二の固定金具を重ねた二重構造
   を有し、前記変形防止手段は前記第一及び第二の固定金
   具の間に前記第二の測定流体の圧力を導く手段であるこ
   とを特徴とする差圧伝送器。
4. 【請求項４】 請求項３記載の差圧伝送器において、前
   記変形防止手段は、前記第一及び第二の固定金具の間に
   形成された第三の隔離室と、前記第三の隔離室に前記第
   二の測定流体の圧力を導く圧力伝達手段とで構成される
   ことを特徴とする差圧伝送器。
5. 【請求項５】 請求項４記載の差圧伝送器において、前
   記圧力伝達手段は、前記受圧部材に取り付けられた第四
   のダイアフラムと、前記第四のダイアフラムによって形
   成され、第三の検出流体が封入された第三の受圧室と、
   前記第三の受圧室の圧力を前記第三の隔離室に導く導通
   路とを有し、前記第四のダイアフラムに前記第二の測定
   流体の圧力が印加されることを特徴とする差圧伝送器。
6. 【請求項６】 請求項５記載の差圧伝送器において、前
   記第二の測定流体が導かれ前記第二のダイアフラムに第
   二の測定流体の圧力を印加するよう前記受圧部材に設け
   られた測定流体受圧室を更に備え、前記圧力伝達手段の
   第四のダイアフラムは前記測定流体受圧室に導かれた第
   二の測定流体の圧力が印加されるように配置されている
   ことを特徴とする差圧伝送器。