JPH0943420A - カラーフィルタの製造法 - Google Patents
カラーフィルタの製造法Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 claims 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 4
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical class [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 2
- BNCADMBVWNPPIZ-UHFFFAOYSA-N 2-n,2-n,4-n,4-n,6-n,6-n-hexakis(methoxymethyl)-1,3,5-triazine-2,4,6-triamine Chemical compound COCN(COC)C1=NC(N(COC)COC)=NC(N(COC)COC)=N1 BNCADMBVWNPPIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDTZWEXADJYOBJ-UHFFFAOYSA-N 9-(7-acridin-9-ylheptyl)acridine Chemical compound C1=CC=C2C(CCCCCCCC=3C4=CC=CC=C4N=C4C=CC=CC4=3)=C(C=CC=C3)C3=NC2=C1 YDTZWEXADJYOBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラ−液晶表示装置の表示品質の低下や密着
不良の発生しないカラーフィルタを提供する。 【構成】 着色感光性樹脂フィルムを露光・現像する画
素パタ−ン形成時に発生する現像残さを現像後の工程に
おいて紫外線照射により除去するカラーフィルタの製造
法。
不良の発生しないカラーフィルタを提供する。 【構成】 着色感光性樹脂フィルムを露光・現像する画
素パタ−ン形成時に発生する現像残さを現像後の工程に
おいて紫外線照射により除去するカラーフィルタの製造
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置に使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
置に使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ティスプレイ（以下ＬＣＤと略す）
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
【０００３】ＬＣＤをカラー表示させるためのカラーフ
ィルタは、図１に示すように格子状パターンのＢＭ（ブ
ラックマトリックス）１が形成されたガラス板等の基板
２上に、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素
３（約１００×１００×２μｍ）を順次形成し、その上
に透明なオーバーコート層（ＯＣ）４形成したものであ
る。５は偏光板、６はＩＴＯ電極である。
ィルタは、図１に示すように格子状パターンのＢＭ（ブ
ラックマトリックス）１が形成されたガラス板等の基板
２上に、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素
３（約１００×１００×２μｍ）を順次形成し、その上
に透明なオーバーコート層（ＯＣ）４形成したものであ
る。５は偏光板、６はＩＴＯ電極である。
【０００４】カラーＬＣＤは、カラーフィルタ７をＬＣ
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
【０００５】現在、カラーフィルタは主に染色法を用い
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
【０００６】しかし、電着法は電極パターンを形成する
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】フィルム法を用いたカ
ラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法におい
て、着色感光性樹脂フィルムを熱ラミネート、露光、現
像してＲＧＢ画素を形成する工程でその現像時にパタ−
ン残留部以外の透明基板またはブラックマトリックス上
に現像残さが発生する。この現像残さは後工程で形成さ
れる画素の色むらの原因となり、また画素部分外周のガ
ラス面にはＩＴＯ電極が形成されるため、これら電極を
ガラスの密着不良の原因となる。本発明は、カラ−液晶
表示装置の表示品質の低下や密着不良の発生しないカラ
ーフィルタの製造法を提供するものである。
ラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法におい
て、着色感光性樹脂フィルムを熱ラミネート、露光、現
像してＲＧＢ画素を形成する工程でその現像時にパタ−
ン残留部以外の透明基板またはブラックマトリックス上
に現像残さが発生する。この現像残さは後工程で形成さ
れる画素の色むらの原因となり、また画素部分外周のガ
ラス面にはＩＴＯ電極が形成されるため、これら電極を
ガラスの密着不良の原因となる。本発明は、カラ−液晶
表示装置の表示品質の低下や密着不良の発生しないカラ
ーフィルタの製造法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願発明は、透明基板上
に遮光層、着色画素を順時形成するカラーフィルタの製
造法において、着色感光性樹脂フィルムを露光・現像す
る画素パタ−ン形成時に発生する現像残さを現像後の工
程において紫外線照射により除去することを特徴とする
カラーフィルタの製造法である。
に遮光層、着色画素を順時形成するカラーフィルタの製
造法において、着色感光性樹脂フィルムを露光・現像す
る画素パタ−ン形成時に発生する現像残さを現像後の工
程において紫外線照射により除去することを特徴とする
カラーフィルタの製造法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のでは、紫外線照射は一般
に広く使用される紫外線照射装置により行うこたができ
る。紫外線照射は通常は大気中で行うが、オゾンの発生
効率を高めるためＵＶ−オゾン装置内に積極的に酸素を
導入することもできる。
に広く使用される紫外線照射装置により行うこたができ
る。紫外線照射は通常は大気中で行うが、オゾンの発生
効率を高めるためＵＶ−オゾン装置内に積極的に酸素を
導入することもできる。
【００１０】
【実施例】以下本発明を実施例に基づいて説明する。２
−２’−ビス［４−メタクリロキシ、ポリエトキシフェ
ニル］プロパン３５重量部、γ−クロロ−β−ヒドロキ
シプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−
フタレート１５重量部、メタクリル酸／エチルアクリレ
ート/エチルアクリレート（１８／３０／５３重量比）
共重合樹脂５０重量部、１，７ビス（９−アクリジニ
ル）ヘプタン２重量部、ヘキサメトキシメチルメラミ
ン、メチルエチルケトンと、アンスラキノン（赤）、ハ
ロゲン化銅フタロシアニン（緑）、銅フタロシアニン
（青）の各成分を均一にして感光性樹脂層塗工溶液を得
た。該溶液を厚さ６μｍのポリエチレンテレフタレート
フィルム上にグラビア塗工機（平野精機社製）で塗工し
保護フィルムとして３０μｍのポリエチレンフィルムを
貼り合わせて感光性フィルムを得る。着色感光性樹脂層
の厚さは１．５μｍであった。次にクロム膜（膜厚０．
１μｍ）付きガラス基板（１．１ｍｍ×２００ｍｍ×３
００ｍｍ、ジオマテック社製）でブラックマトリックス
を形成したガラス基板に、ロールラミネータＨＬＭ１５
００（日立化成テクノプラント社製）を用いて、基板温
度９０℃、ロール温度１１０℃、ロール圧力６ｋｇ／ｃ
ｍ２、速度０．５ｍ／分で、感光性フィルムを着色感光
性樹脂が前記基板に面するようにラミネートし、所定の
ネガマスクを通して、平行光露光機ＭＡＰ１２００Ｌ
（大日本スクリーン社製）を用いて１００ｍＪ／ｃｍ２
露光、次いでポリエチレンテレフタレートフィルムを除
去し、スプレー式現像装置ＤＶＷ９１１（大日本スクリ
ーン社製）を用いて、２５℃で０．２重量％Ｎａ２Ｂ２
Ｏ５水溶液で２０秒間スプレー現像して未露光部を除去
する。現像工程での水切り乾燥後、８０Ｗ低圧水銀灯を
３０ｍｍ間隔で配したＵＶ−オゾン装置内（大日本スク
リ−ン社製）で５分以上紫外線の照射を行う。その後、
クリーンオーブンＣＳＯ−４０２（楠本化成製）で１５
０℃に加熱、硬化を行って１色の着色パターンを形成す
る。この着色形成工程をＲ、Ｇ、Ｂの順に各色のフィル
ムを用いて繰り返し行い、ＲＧＢ画素パターンを形成す
る。これにより、現像残さのないカラ−フィルタを得
た。
−２’−ビス［４−メタクリロキシ、ポリエトキシフェ
ニル］プロパン３５重量部、γ−クロロ−β−ヒドロキ
シプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−
フタレート１５重量部、メタクリル酸／エチルアクリレ
ート/エチルアクリレート（１８／３０／５３重量比）
共重合樹脂５０重量部、１，７ビス（９−アクリジニ
ル）ヘプタン２重量部、ヘキサメトキシメチルメラミ
ン、メチルエチルケトンと、アンスラキノン（赤）、ハ
ロゲン化銅フタロシアニン（緑）、銅フタロシアニン
（青）の各成分を均一にして感光性樹脂層塗工溶液を得
た。該溶液を厚さ６μｍのポリエチレンテレフタレート
フィルム上にグラビア塗工機（平野精機社製）で塗工し
保護フィルムとして３０μｍのポリエチレンフィルムを
貼り合わせて感光性フィルムを得る。着色感光性樹脂層
の厚さは１．５μｍであった。次にクロム膜（膜厚０．
１μｍ）付きガラス基板（１．１ｍｍ×２００ｍｍ×３
００ｍｍ、ジオマテック社製）でブラックマトリックス
を形成したガラス基板に、ロールラミネータＨＬＭ１５
００（日立化成テクノプラント社製）を用いて、基板温
度９０℃、ロール温度１１０℃、ロール圧力６ｋｇ／ｃ
ｍ２、速度０．５ｍ／分で、感光性フィルムを着色感光
性樹脂が前記基板に面するようにラミネートし、所定の
ネガマスクを通して、平行光露光機ＭＡＰ１２００Ｌ
（大日本スクリーン社製）を用いて１００ｍＪ／ｃｍ２
露光、次いでポリエチレンテレフタレートフィルムを除
去し、スプレー式現像装置ＤＶＷ９１１（大日本スクリ
ーン社製）を用いて、２５℃で０．２重量％Ｎａ２Ｂ２
Ｏ５水溶液で２０秒間スプレー現像して未露光部を除去
する。現像工程での水切り乾燥後、８０Ｗ低圧水銀灯を
３０ｍｍ間隔で配したＵＶ−オゾン装置内（大日本スク
リ−ン社製）で５分以上紫外線の照射を行う。その後、
クリーンオーブンＣＳＯ−４０２（楠本化成製）で１５
０℃に加熱、硬化を行って１色の着色パターンを形成す
る。この着色形成工程をＲ、Ｇ、Ｂの順に各色のフィル
ムを用いて繰り返し行い、ＲＧＢ画素パターンを形成す
る。これにより、現像残さのないカラ−フィルタを得
た。
【００１１】
【発明の効果】本発明により得られたカラ−フィルタ
は、カラ−液晶表示装置の表示品質の低下や密着不良の
発生がない。
は、カラ−液晶表示装置の表示品質の低下や密着不良の
発生がない。
【図１】液晶ティスプレイの断面図。
１．ＢＭ（ブラックマトリックス） ２．ガラス基板 ３．カラー画素 ４．オーバーコート層（ＯＣ） ５．偏光板 ６．ＩＴＯ電極 ７．カラーフィルタ ８．配向膜 ９．液晶 １０．シ−ル材 １１．トップコ−ト層 １２．ＩＴＯ電極 １３．ガラス基板 １４．偏光板
Claims (1)
- 【請求項１】 透明基板上に遮光層、着色画素を順時形
成するカラーフィルタの製造法において、着色感光性樹
脂フィルムを露光・現像する画素パタ−ン形成時に発生
する現像残さを現像後の工程において紫外線照射により
除去することを特徴とするカラーフィルタの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19504295A JPH0943420A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | カラーフィルタの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19504295A JPH0943420A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | カラーフィルタの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943420A true JPH0943420A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16334584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19504295A Pending JPH0943420A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | カラーフィルタの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0943420A (ja) |
-
1995
- 1995-07-31 JP JP19504295A patent/JPH0943420A/ja active Pending
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