JPH0944254A - マスフローコントローラー - Google Patents
マスフローコントローラーInfo
- Publication number
- JPH0944254A JPH0944254A JP19371095A JP19371095A JPH0944254A JP H0944254 A JPH0944254 A JP H0944254A JP 19371095 A JP19371095 A JP 19371095A JP 19371095 A JP19371095 A JP 19371095A JP H0944254 A JPH0944254 A JP H0944254A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- line
- mass flow
- circuit
- flow controller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガス元側で圧力の変化が生じた場合、流れ出る
ガス流量の精度がばらつく。 【解決手段】１本のガスラインがバイパスライン１とセ
ンサーライン２とに分岐するマスフローコントローラに
おいて、分岐点前のガスラインにバリアブルオリフィス
１０を設ける。
ガス流量の精度がばらつく。 【解決手段】１本のガスラインがバイパスライン１とセ
ンサーライン２とに分岐するマスフローコントローラに
おいて、分岐点前のガスラインにバリアブルオリフィス
１０を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は気体の質量流量を制
御するマスフローコントローラーに関する。
御するマスフローコントローラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のマスフロコントローラー
は、図３に示すように、導入ガス９が途中でセンサーラ
イン２とバイパスライン１に分流され、センサーライン
２に流れこんだガスによってブリッジ回路３の均衡が崩
れ、設定信号７と同じ値になるまで流量コントロールバ
ルブ８を開弁する構造になっていた。このマスフローコ
ントローラーではコントロールできる流量が限定される
ため、大流量仕様から小流量仕様への変更もしくはその
逆の場合、マスフローコントローラー自体をガスライン
から外し仕様に合致するサイズのものに交換する必要が
あり、交換する場合はガスラインのパージ，大気の流入
防止のための措置，交換後のチェック等を含め、仕様変
更に長時間を要するという欠点があった。
は、図３に示すように、導入ガス９が途中でセンサーラ
イン２とバイパスライン１に分流され、センサーライン
２に流れこんだガスによってブリッジ回路３の均衡が崩
れ、設定信号７と同じ値になるまで流量コントロールバ
ルブ８を開弁する構造になっていた。このマスフローコ
ントローラーではコントロールできる流量が限定される
ため、大流量仕様から小流量仕様への変更もしくはその
逆の場合、マスフローコントローラー自体をガスライン
から外し仕様に合致するサイズのものに交換する必要が
あり、交換する場合はガスラインのパージ，大気の流入
防止のための措置，交換後のチェック等を含め、仕様変
更に長時間を要するという欠点があった。
【０００３】この対策として図４に示すように、バイパ
スライン１にバイアブルオリフィス（弁機構）１０を設
けたものが、例えば特開平２−４８７１１号公報に記載
されている。
スライン１にバイアブルオリフィス（弁機構）１０を設
けたものが、例えば特開平２−４８７１１号公報に記載
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】バイパスラインにバリ
アブルオリフィスを設けた従来のマスフローコントロー
ラーでは、バイパスラインのオリフィス径を外部より自
動で変更できる為、定格流量の仕様変更を短時間で行う
ことができる。しかしながら、センサーラインに流れる
ガスはメインのガスラインから直接分岐している為、ガ
ス元側で圧力等の変動があった場合その影響を大きく受
けてコントロールバルブ８を制御するが、バイパスライ
ン側はバイアブルオリフィス１０を介する為影響の度合
いが比較的小さくなる為、コントロールバルブ８から下
流側に流れ出るガス流量の精度がばらつくという欠点が
ある。しかもバリアブルオリフィスの開度を正確に定め
ることが難しい為、きめ細かな定格流量の仕様変更がで
きないという問題点もある。
アブルオリフィスを設けた従来のマスフローコントロー
ラーでは、バイパスラインのオリフィス径を外部より自
動で変更できる為、定格流量の仕様変更を短時間で行う
ことができる。しかしながら、センサーラインに流れる
ガスはメインのガスラインから直接分岐している為、ガ
ス元側で圧力等の変動があった場合その影響を大きく受
けてコントロールバルブ８を制御するが、バイパスライ
ン側はバイアブルオリフィス１０を介する為影響の度合
いが比較的小さくなる為、コントロールバルブ８から下
流側に流れ出るガス流量の精度がばらつくという欠点が
ある。しかもバリアブルオリフィスの開度を正確に定め
ることが難しい為、きめ細かな定格流量の仕様変更がで
きないという問題点もある。
【０００５】本発明の目的は、上記欠点を除去し、定格
流量の仕様変更を正確に短時間で行うことができ、しか
も、ガス圧が変化しても下流側に流れ出るガス流量の精
度にばらつきが生じることのないマスフローコントロー
ラーを提供することにある。
流量の仕様変更を正確に短時間で行うことができ、しか
も、ガス圧が変化しても下流側に流れ出るガス流量の精
度にばらつきが生じることのないマスフローコントロー
ラーを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のマスフローコン
トローラーは、１本のガスラインを分岐させてなるセン
サーライン及びバイパスラインを備えたマスフローコン
トローラーにおいて、外部制御により総流量をコントロ
ールする為に分岐点前の前記ガスラインのオリフィス径
を変化させる弁機構を設けたことを特徴とするものであ
る。
トローラーは、１本のガスラインを分岐させてなるセン
サーライン及びバイパスラインを備えたマスフローコン
トローラーにおいて、外部制御により総流量をコントロ
ールする為に分岐点前の前記ガスラインのオリフィス径
を変化させる弁機構を設けたことを特徴とするものであ
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に本発明について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第１の実施の形態を説明す
る為の構成図である。
て説明する。図１は本発明の第１の実施の形態を説明す
る為の構成図である。
【０００８】図１においてマスフローコントローラーを
構成する１本のメインのガスラインはその下流側がセン
サーライン２とバイパスライン１とに分岐されており、
その下流側には流量コントロールバルブ８が設けられて
いる。そして本発明はこの分岐点前のガスラインに、外
部制御によりそのオリフィス径が変化するバイアブルオ
リフィス１０を設けたものである。尚図１において３は
ブリッジ回路、４は増幅回路、５は補正回路、６は比較
制御回路、７は設定電圧である。以下このマスフローコ
ントローラーの動作について説明する。
構成する１本のメインのガスラインはその下流側がセン
サーライン２とバイパスライン１とに分岐されており、
その下流側には流量コントロールバルブ８が設けられて
いる。そして本発明はこの分岐点前のガスラインに、外
部制御によりそのオリフィス径が変化するバイアブルオ
リフィス１０を設けたものである。尚図１において３は
ブリッジ回路、４は増幅回路、５は補正回路、６は比較
制御回路、７は設定電圧である。以下このマスフローコ
ントローラーの動作について説明する。
【０００９】導入ガス９はバリアブルオリフィス１０を
通りバイパスライン１とセンサーライン２に一定の割合
で分流され、再び合流しバイアブルオリフィスからなる
コントロールバルブ８内を流れる。センサーライン２に
流れ込んだガスはヒーターにより温められて流れる為、
流量検知用のブリッジ回路３の均衡がくずれ、増幅回路
４と補正回路５を経由した出力電圧が比較制御回路６に
送られ、その中で設定電圧７との比較が行なわれ、設定
電圧７と同じ値になる迄コントロールバルブ８が開弁さ
れる。
通りバイパスライン１とセンサーライン２に一定の割合
で分流され、再び合流しバイアブルオリフィスからなる
コントロールバルブ８内を流れる。センサーライン２に
流れ込んだガスはヒーターにより温められて流れる為、
流量検知用のブリッジ回路３の均衡がくずれ、増幅回路
４と補正回路５を経由した出力電圧が比較制御回路６に
送られ、その中で設定電圧７との比較が行なわれ、設定
電圧７と同じ値になる迄コントロールバルブ８が開弁さ
れる。
【００１０】このように構成されたマスフローコントロ
ーラーにおいては、ガス流量の仕様を変更する場合はオ
リフィス径設定信号１１によりバリアブルオリフィス１
０の開度を大きくしたり小さくしたりできる為、定格流
量の仕様変更を短時間で行うことができる。又ガス元側
でガス圧が変化した場合でも、バイパスライン１とセン
サーライン２への影響は同じ割合となる為、コントロー
ルバルブ８により制御されて下流側に流出するガス流量
の精度がばらつくことはなくなる。
ーラーにおいては、ガス流量の仕様を変更する場合はオ
リフィス径設定信号１１によりバリアブルオリフィス１
０の開度を大きくしたり小さくしたりできる為、定格流
量の仕様変更を短時間で行うことができる。又ガス元側
でガス圧が変化した場合でも、バイパスライン１とセン
サーライン２への影響は同じ割合となる為、コントロー
ルバルブ８により制御されて下流側に流出するガス流量
の精度がばらつくことはなくなる。
【００１１】図２は本発明の第２の実施の形態を説明す
る為の構成図であり、図１の第１の実施の形態と異なる
所は、バリアブルオリフィス１０Ａを開閉のみの動作を
行う複数のコントロールバルブ１２から構成したことで
ある。
る為の構成図であり、図１の第１の実施の形態と異なる
所は、バリアブルオリフィス１０Ａを開閉のみの動作を
行う複数のコントロールバルブ１２から構成したことで
ある。
【００１２】例えば、バリアブルオリフィス１０Ａを同
一の径を有する４本のコントロールバルブ１２で構成
し、この４本のコントロールバルブ１２を全開した場合
が分岐点前のメインのガスラインの開度に相当する場
合、コントロールバルブ１２の開閉によりバリアブルオ
リフィス１０Ａの開度をより正確に４段階（２５％きざ
み）にコントロールできる利点がある。更に４本のコン
トロールバルブ１２の径を変え、それぞれの開度をメイ
ンのガスラインの１０％，２０％，３０％及び４０％と
することにより、バリアブルオリフィス１０Ａの開度を
１０〜９０％まで１０％きざみでより正確にコントロー
ルできる為、より細かな定格流量の仕様変更が可能とな
る。このように第２の実施の形態においては、バリアブ
ルオリフィス１０Ａを構成するコントロールバルブの本
数を多くすればよりきめの細かな定格流量の仕様変更が
できる。
一の径を有する４本のコントロールバルブ１２で構成
し、この４本のコントロールバルブ１２を全開した場合
が分岐点前のメインのガスラインの開度に相当する場
合、コントロールバルブ１２の開閉によりバリアブルオ
リフィス１０Ａの開度をより正確に４段階（２５％きざ
み）にコントロールできる利点がある。更に４本のコン
トロールバルブ１２の径を変え、それぞれの開度をメイ
ンのガスラインの１０％，２０％，３０％及び４０％と
することにより、バリアブルオリフィス１０Ａの開度を
１０〜９０％まで１０％きざみでより正確にコントロー
ルできる為、より細かな定格流量の仕様変更が可能とな
る。このように第２の実施の形態においては、バリアブ
ルオリフィス１０Ａを構成するコントロールバルブの本
数を多くすればよりきめの細かな定格流量の仕様変更が
できる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、バイパス
ラインとセンサーラインとに分岐する前のガスライン
に、ガスラインのオリフィス径を変化させる弁機構を設
けることにより、定格流量の仕様変更を正確に短時間で
行うことができる。又、ガス圧が変化しても下流側に流
れ出るガス流量の精度にばらつきが生じることはない。
ラインとセンサーラインとに分岐する前のガスライン
に、ガスラインのオリフィス径を変化させる弁機構を設
けることにより、定格流量の仕様変更を正確に短時間で
行うことができる。又、ガス圧が変化しても下流側に流
れ出るガス流量の精度にばらつきが生じることはない。
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明する為の構成
図。
図。
【図２】本発明の第２の実施の形態を説明する為の構成
図。
図。
【図３】従来のマスフローコントローラーの構成図。
【図４】従来の他のマスフローコントローラーの構成
図。
図。
１ バイパスライン ２ センサーライン ３ ブリッジ回路 ４ 増幅回路 ５ 補正回路 ６ 比較制御回路 ７ 設定電圧 ８ コントロールバルブ ９ 導入ガス １０，１０Ａ バリアブルオリフィス １１ オリフィス径設定信号 １２ コントロールバルブ
Claims (3)
- 【請求項１】 １本のガスラインを分岐させてなるセン
サーライン及びバイパスラインを備えたマスフローコン
トローラーにおいて、外部制御により総流量をコントロ
ールする為に分岐点前の前記ガスラインのオリフィス径
を変化させる弁機構を設けたことを特徴とするマスフロ
ーコントローラー。 - 【請求項２】 弁機構は複数のコントロールバルブから
構成される請求項１記載のマスフローコントローラー。 - 【請求項３】 開口径の異なるコントロールバルブを含
む請求項２記載のマスフローコントローラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19371095A JPH0944254A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | マスフローコントローラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19371095A JPH0944254A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | マスフローコントローラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0944254A true JPH0944254A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16312509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19371095A Pending JPH0944254A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | マスフローコントローラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0944254A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5831500B2 (ja) * | 1975-09-11 | 1983-07-06 | オ−トモビル・ポ−ジヨ | 緊張装置 |
| JPH0248711A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-02-19 | Nec Yamagata Ltd | マスフローコントローラ |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP19371095A patent/JPH0944254A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5831500B2 (ja) * | 1975-09-11 | 1983-07-06 | オ−トモビル・ポ−ジヨ | 緊張装置 |
| JPH0248711A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-02-19 | Nec Yamagata Ltd | マスフローコントローラ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980317 |