JPH0945257A - シャドーマスクとその製造方法 - Google Patents
シャドーマスクとその製造方法Info
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- JPH0945257A JPH0945257A JP8165018A JP16501896A JPH0945257A JP H0945257 A JPH0945257 A JP H0945257A JP 8165018 A JP8165018 A JP 8165018A JP 16501896 A JP16501896 A JP 16501896A JP H0945257 A JPH0945257 A JP H0945257A
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- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
- H01J9/142—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱的変形に従うドーミング現象を抑制し
てスクリーンの色純度を向上させることができ、それで
いて製造価格の低いシャドーマスクを提供する。 【解決手段】 鋼製のシャドーマスク本体の表面に形成
されたＮｉ層１５の下層に、このＮｉ層１５のＮｉがシ
ャドーマスク本体内に拡散されてＦｅ−Ｎｉ合金拡散層
１７が形成されている。
てスクリーンの色純度を向上させることができ、それで
いて製造価格の低いシャドーマスクを提供する。 【解決手段】 鋼製のシャドーマスク本体の表面に形成
されたＮｉ層１５の下層に、このＮｉ層１５のＮｉがシ
ャドーマスク本体内に拡散されてＦｅ−Ｎｉ合金拡散層
１７が形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はシャドーマスク、特
にカラー受像管用シャドーマスクとその製造方法に関
し、詳しくは、ＡＫ（アルミキルド）鋼などから形成さ
れたシャドーマスクの電子ビームによるドーミング現象
と色純度劣化とを抑制できるシャドーマスクとその製造
方法に関する。
にカラー受像管用シャドーマスクとその製造方法に関
し、詳しくは、ＡＫ（アルミキルド）鋼などから形成さ
れたシャドーマスクの電子ビームによるドーミング現象
と色純度劣化とを抑制できるシャドーマスクとその製造
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、シャドーマスク方式を採用した
カラー受像管は、パネル、ファネル、及び、ネックから
構成されたバルブを有しており、前記ネック内には電子
銃が設けられている。前記パネルの内面にはＲ、Ｇ、Ｂ
の蛍光膜が塗布されており、この蛍光膜から一定距離を
離れてシャドーマスクが配置されている。このシャドー
マスクは、電子銃から放出された３個の電子ビームをパ
ネル内面に塗布されたＲ、Ｇ、Ｂのそれぞれ対応する蛍
光体にランディングするように割当てるものとして、フ
レームに結合されてシャドーマスク構造体を構成し、こ
の構造体はスプリングによってパネル内側に設けられ
る。
カラー受像管は、パネル、ファネル、及び、ネックから
構成されたバルブを有しており、前記ネック内には電子
銃が設けられている。前記パネルの内面にはＲ、Ｇ、Ｂ
の蛍光膜が塗布されており、この蛍光膜から一定距離を
離れてシャドーマスクが配置されている。このシャドー
マスクは、電子銃から放出された３個の電子ビームをパ
ネル内面に塗布されたＲ、Ｇ、Ｂのそれぞれ対応する蛍
光体にランディングするように割当てるものとして、フ
レームに結合されてシャドーマスク構造体を構成し、こ
の構造体はスプリングによってパネル内側に設けられ
る。
【０００３】図３に、シャドーマスク構造体の概略的な
構造を示す。このようなシャドーマスク構造体において
は、電子ビームが通過するアパーチャを有しており、お
およそ矩形になっている有効部１と、この有効部１の周
縁に形成された補強用ビード２と、フレームとの溶接の
ためにほぼ垂直に折り曲がったスカート部３とを有する
シャドーマスク４と、前記スカート部３が溶接される直
立部５とスプリングが配置される湾曲部を有するフレー
ム６と、パネルの内側に配置されるコーナーピンにシャ
ドーマスク構造体を懸架するためのスプリング７とから
構成されている。
構造を示す。このようなシャドーマスク構造体において
は、電子ビームが通過するアパーチャを有しており、お
およそ矩形になっている有効部１と、この有効部１の周
縁に形成された補強用ビード２と、フレームとの溶接の
ためにほぼ垂直に折り曲がったスカート部３とを有する
シャドーマスク４と、前記スカート部３が溶接される直
立部５とスプリングが配置される湾曲部を有するフレー
ム６と、パネルの内側に配置されるコーナーピンにシャ
ドーマスク構造体を懸架するためのスプリング７とから
構成されている。
【０００４】図４に、前述のシャドーマスク４の断面構
造を拡大して示す。電子ビーム通過孔、即ちアパーチャ
８は、電子ビームの入射側がスクリーン側より小さく形
成されている。この場合に、シャドーマスク４は通常Ａ
Ｋ鋼で製造されており、最近は大形機種においてもＩＮ
ＶＡＲ（アンバー）材質を使用したものが公知である。
造を拡大して示す。電子ビーム通過孔、即ちアパーチャ
８は、電子ビームの入射側がスクリーン側より小さく形
成されている。この場合に、シャドーマスク４は通常Ａ
Ｋ鋼で製造されており、最近は大形機種においてもＩＮ
ＶＡＲ（アンバー）材質を使用したものが公知である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一方、電子銃から射出
された電子ビームはシャドーマスク４に形成されたアパ
ーチャ８を通過して蛍光面にランディングされるが、実
質的に前記アパーチャ８を通過するビームは１５〜２５
％に過ぎない。残余の電子ビームはシャドーマスク４面
に衝突して、シャドーマスクの温度をおおよそ８０〜９
０℃まで上昇させるように作用する。その結果、前述の
シャドーマスク４は、スクリーン方向に熱膨張されるド
ーミング現象を表わすが、このようなシャドーマスク４
の熱的変形は、特に、熱膨張係数の大きい（１２〜１３
×１０-6／℃）ＡＫ鋼材質のシャドーマスクで激しく生
じる。前述したドーミング現象は、スクリーン上で蛍光
体と電子ビームのミスランディングを誘発させ、これは
ピューリティー・ドリフトと呼ばれる色純度の劣化を招
来するので好ましくない。
された電子ビームはシャドーマスク４に形成されたアパ
ーチャ８を通過して蛍光面にランディングされるが、実
質的に前記アパーチャ８を通過するビームは１５〜２５
％に過ぎない。残余の電子ビームはシャドーマスク４面
に衝突して、シャドーマスクの温度をおおよそ８０〜９
０℃まで上昇させるように作用する。その結果、前述の
シャドーマスク４は、スクリーン方向に熱膨張されるド
ーミング現象を表わすが、このようなシャドーマスク４
の熱的変形は、特に、熱膨張係数の大きい（１２〜１３
×１０-6／℃）ＡＫ鋼材質のシャドーマスクで激しく生
じる。前述したドーミング現象は、スクリーン上で蛍光
体と電子ビームのミスランディングを誘発させ、これは
ピューリティー・ドリフトと呼ばれる色純度の劣化を招
来するので好ましくない。
【０００６】一方、このような色純度の劣化は、大形
化、フラット化および高精細画面になればなるほど、よ
り深刻な問題点となるが、これを克服するために、最近
はＡＫ鋼の１／１０の熱膨張率を有するＩＮＶＡＲ材質
（Ｆｅ−Ｎｉ合金）製のシャドーマスクが採用されてい
る。しかしながら、前記ＩＮＶＡＲ材質製のシャドーマ
スクは、アパーチャのエッチング及びスカート部のプレ
スなど加工が困難であるばかりではなく、材質自体が高
価であるためカラー受像管の製造原価を上昇させる要因
となる。
化、フラット化および高精細画面になればなるほど、よ
り深刻な問題点となるが、これを克服するために、最近
はＡＫ鋼の１／１０の熱膨張率を有するＩＮＶＡＲ材質
（Ｆｅ−Ｎｉ合金）製のシャドーマスクが採用されてい
る。しかしながら、前記ＩＮＶＡＲ材質製のシャドーマ
スクは、アパーチャのエッチング及びスカート部のプレ
スなど加工が困難であるばかりではなく、材質自体が高
価であるためカラー受像管の製造原価を上昇させる要因
となる。
【０００７】本発明は、前述した従来技術の問題点を克
服するために案出されたもので、その目的は、熱的変形
に従うドーミング現象を抑制してスクリーンの色純度を
向上させることができるようにしたシャドーマスク及び
その製造方法を提供することにある。さらに、本発明の
他の目的は、低熱膨張を維持でき、それでいて製造価格
を低くできるシャドーマスク及びその製造方法を提供す
ることにある。
服するために案出されたもので、その目的は、熱的変形
に従うドーミング現象を抑制してスクリーンの色純度を
向上させることができるようにしたシャドーマスク及び
その製造方法を提供することにある。さらに、本発明の
他の目的は、低熱膨張を維持でき、それでいて製造価格
を低くできるシャドーマスク及びその製造方法を提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題は、請求項記載
の発明により達成される。即ち、本発明にかかるシャド
ーマスクの特徴構成は、シャドーマスク本体の表面に形
成されたＮｉ層の下層に、このＮｉ層のＮｉが前記シャ
ドーマスク本体内に拡散されてＦｅ−Ｎｉ合金拡散層が
形成された点にある。このようになっているので、シャ
ドーマスク本体を鋼、例えばＡＫ鋼、のみで形成する場
合に比べて、熱膨張率を低く抑えることができ、熱的変
形に従うドーミング現象を抑制してスクリーンの色純度
を向上させることができる。しかも、シャドーマスク本
体に高価なアンバー材を用いないので、製造価格を低く
することができる。
の発明により達成される。即ち、本発明にかかるシャド
ーマスクの特徴構成は、シャドーマスク本体の表面に形
成されたＮｉ層の下層に、このＮｉ層のＮｉが前記シャ
ドーマスク本体内に拡散されてＦｅ−Ｎｉ合金拡散層が
形成された点にある。このようになっているので、シャ
ドーマスク本体を鋼、例えばＡＫ鋼、のみで形成する場
合に比べて、熱膨張率を低く抑えることができ、熱的変
形に従うドーミング現象を抑制してスクリーンの色純度
を向上させることができる。しかも、シャドーマスク本
体に高価なアンバー材を用いないので、製造価格を低く
することができる。
【０００９】また、本発明にかかるシャドーマスクの製
造方法の特徴構成は、鋼板から平板状のシャドーマスク
本体を形成し、このシャドーマスク本体の表面にＮｉ層
を形成すると共に、無酸化雰囲気中１，０００〜１，２
００℃の温度で加熱することにより前記Ｎｉ層のＮｉを
前記平板状のシャドーマスク本体内に拡散させ、前記平
板状のシャドーマスク本体内にＦｅ−Ｎｉ合金拡散層を
形成し、ついで所定の形状に加工する点にある。このよ
うになっていると、シャドーマスク本体の表面にＮｉ層
の下層にＦｅ−Ｎｉ合金拡散層を形成することができ、
熱膨張率、かつ製造価格の低いシャドーマスクを製造す
ることができる。シャドーマスク本体の表面にＮｉ層を
形成後、加熱する場合の温度が１，０００℃よりかなり
低い温度であると拡散処理に時間がかかり、製造サイク
ルが長くなって好ましくない。１，２００℃を大幅に越
えると、表面のＮｉ層がシャトーマスク本体内部への拡
散が急激となって制御し難く、かつ酸化され易くもなり
好ましくない。従って、加熱温度は１，０００〜１，２
００℃が好ましいが、多少の変動はあってもよい。又、
加熱する場合の雰囲気は、特に水素雰囲気が好ましい。
還元性であり、特にＮｉの酸化を抑制でき、材質の悪影
響を及ぼすことが少なく、経済的でもあるからである。
加熱時間は１〜２時間が好ましい。上記Ｎｉ層の厚み
は、少なくとも１０μｍであることが好ましい。シャド
ーマスク本体を低熱膨張化するＦｅ−Ｎｉ合金拡散層の
形成が、確実であるからである。
造方法の特徴構成は、鋼板から平板状のシャドーマスク
本体を形成し、このシャドーマスク本体の表面にＮｉ層
を形成すると共に、無酸化雰囲気中１，０００〜１，２
００℃の温度で加熱することにより前記Ｎｉ層のＮｉを
前記平板状のシャドーマスク本体内に拡散させ、前記平
板状のシャドーマスク本体内にＦｅ−Ｎｉ合金拡散層を
形成し、ついで所定の形状に加工する点にある。このよ
うになっていると、シャドーマスク本体の表面にＮｉ層
の下層にＦｅ−Ｎｉ合金拡散層を形成することができ、
熱膨張率、かつ製造価格の低いシャドーマスクを製造す
ることができる。シャドーマスク本体の表面にＮｉ層を
形成後、加熱する場合の温度が１，０００℃よりかなり
低い温度であると拡散処理に時間がかかり、製造サイク
ルが長くなって好ましくない。１，２００℃を大幅に越
えると、表面のＮｉ層がシャトーマスク本体内部への拡
散が急激となって制御し難く、かつ酸化され易くもなり
好ましくない。従って、加熱温度は１，０００〜１，２
００℃が好ましいが、多少の変動はあってもよい。又、
加熱する場合の雰囲気は、特に水素雰囲気が好ましい。
還元性であり、特にＮｉの酸化を抑制でき、材質の悪影
響を及ぼすことが少なく、経済的でもあるからである。
加熱時間は１〜２時間が好ましい。上記Ｎｉ層の厚み
は、少なくとも１０μｍであることが好ましい。シャド
ーマスク本体を低熱膨張化するＦｅ−Ｎｉ合金拡散層の
形成が、確実であるからである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を、添付図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本実
施形態に係るシャドーマスクの一部断面構造を示してお
り、図番１０はシャドーマスク全体を表す。図１より、
このシャドーマスク１０は、電子ビームが通過するよう
に形成された多数個のアパーチャ１１と、これらアパー
チャ１１の間に形成される無孔部１３とからなってお
り、おおよそ矩形状の有効部を形成する。この有効部の
外周には、図示は省くが、従来のシャドーマスクと同様
に、補強用ビードとスカート部が形成されている。前記
シャドーマスク１０、即ち、無孔部１３はＡＫ鋼材質か
ら形成されている。また、前記無孔部１３の外表面には
Ｎｉ層１５が形成されており、そのＮｉ層１５とＡＫ鋼
の無孔部１３との間には、Ｆｅ−Ｎｉ合金層１７が形成
されている。
を、添付図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本実
施形態に係るシャドーマスクの一部断面構造を示してお
り、図番１０はシャドーマスク全体を表す。図１より、
このシャドーマスク１０は、電子ビームが通過するよう
に形成された多数個のアパーチャ１１と、これらアパー
チャ１１の間に形成される無孔部１３とからなってお
り、おおよそ矩形状の有効部を形成する。この有効部の
外周には、図示は省くが、従来のシャドーマスクと同様
に、補強用ビードとスカート部が形成されている。前記
シャドーマスク１０、即ち、無孔部１３はＡＫ鋼材質か
ら形成されている。また、前記無孔部１３の外表面には
Ｎｉ層１５が形成されており、そのＮｉ層１５とＡＫ鋼
の無孔部１３との間には、Ｆｅ−Ｎｉ合金層１７が形成
されている。
【００１１】この場合に、前記Ｆｅ−Ｎｉ合金層１７は
Ｎｉがメッキされたシャドーマスクを、水素雰囲気の炉
内に投入して熱処理することによって、ＡＫ鋼本体とＮ
ｉとの間の物質拡散が生起するので、一定比率のＮｉ
（３６ｗｔ％）が含有されているＩＮＶＡＲ材質と組成
上の差異はあるが、類似する金属組織を有するようにな
る。尚、この熱処理は、還元雰囲気、真空雰囲気、不活
性ガス雰囲気のような無酸化雰囲気でなされればよく、
必ずしも水素雰囲気での熱処理に限定されるものではな
い。より具体的には、この実施形態によるＦｅ−Ｎｉ合
金層１７の組成は、ＡＫ鋼本体とＮｉとの間の物質拡散
によって形成されるので、図２に示すように、ＡＫ鋼側
のＮｉ含有量が少なく、Ｎｉ層側に行くほど、Ｎｉ含有
量が増加する連続的構造を形成している。尚、図２はシ
ャドーマスク１０の断面を、表面側から１０μｍ間隔毎
にＥＰＭＡによる点分析を行って得たものである。ここ
で、このＦｅ−Ｎｉ合金層１７を備えたシャドーマスク
本体の熱膨張係数は、本出願人により測定された結果、
おおよそ４〜５×１０-6／℃の熱膨張係数を有するにい
たった。かかる熱膨張率は、従来のＡＫ鋼より著しく減
少したものであることがわかる。この場合に、前記Ｆｅ
−Ｎｉ合金層１７はＡＫ鋼材質から形成されたシャドー
マスク１０の無孔部１３の外表面に低熱膨張皮膜を形成
するようになり、これはＡＫ鋼材質の熱膨張を抑制する
ように作用する。より具体的には、このＦｅ−Ｎｉ合金
層１７を形成したシャドーマスク１０は、本出願人が実
験を多数実施した結果、従来のＡＫ鋼材質のみで形成さ
れたシャドーマスクに比べて４０％以上の熱膨張率低減
効果を得られた。また、前述したようなドーミング防止
効果は、スクリーン上で蛍光体と電子ビームのミスラン
ディングを防止するようになり、実質的にカラー受像管
の色純度を向上させることができる。
Ｎｉがメッキされたシャドーマスクを、水素雰囲気の炉
内に投入して熱処理することによって、ＡＫ鋼本体とＮ
ｉとの間の物質拡散が生起するので、一定比率のＮｉ
（３６ｗｔ％）が含有されているＩＮＶＡＲ材質と組成
上の差異はあるが、類似する金属組織を有するようにな
る。尚、この熱処理は、還元雰囲気、真空雰囲気、不活
性ガス雰囲気のような無酸化雰囲気でなされればよく、
必ずしも水素雰囲気での熱処理に限定されるものではな
い。より具体的には、この実施形態によるＦｅ−Ｎｉ合
金層１７の組成は、ＡＫ鋼本体とＮｉとの間の物質拡散
によって形成されるので、図２に示すように、ＡＫ鋼側
のＮｉ含有量が少なく、Ｎｉ層側に行くほど、Ｎｉ含有
量が増加する連続的構造を形成している。尚、図２はシ
ャドーマスク１０の断面を、表面側から１０μｍ間隔毎
にＥＰＭＡによる点分析を行って得たものである。ここ
で、このＦｅ−Ｎｉ合金層１７を備えたシャドーマスク
本体の熱膨張係数は、本出願人により測定された結果、
おおよそ４〜５×１０-6／℃の熱膨張係数を有するにい
たった。かかる熱膨張率は、従来のＡＫ鋼より著しく減
少したものであることがわかる。この場合に、前記Ｆｅ
−Ｎｉ合金層１７はＡＫ鋼材質から形成されたシャドー
マスク１０の無孔部１３の外表面に低熱膨張皮膜を形成
するようになり、これはＡＫ鋼材質の熱膨張を抑制する
ように作用する。より具体的には、このＦｅ−Ｎｉ合金
層１７を形成したシャドーマスク１０は、本出願人が実
験を多数実施した結果、従来のＡＫ鋼材質のみで形成さ
れたシャドーマスクに比べて４０％以上の熱膨張率低減
効果を得られた。また、前述したようなドーミング防止
効果は、スクリーン上で蛍光体と電子ビームのミスラン
ディングを防止するようになり、実質的にカラー受像管
の色純度を向上させることができる。
【００１２】次に、前記Ｆｅ−Ｎｉ合金層１７の形成方
法を説明する。まず、ＡＫ鋼から製造されアパーチャが
形成されている平面シャドーマスク本体に、Ｎｉ層１５
をメッキする。このとき、Ｎｉメッキは少なくとも１０
μｍの厚みに形成されることが好ましい。これは、前述
のＦｅ−Ｎｉ合金層１７の形成を考慮したものである。
前記Ｎｉメッキは、電気メッキ法もしくは無電解メッキ
法によって形成することができる。もっとも、ＡＫ鋼表
面のＮｉメッキは、これに限定されることなく、ＣＶＤ
法、ＰＶＤ法などにより行ってもよい。前述したよう
に、Ｎｉ層１５がメッキされたシャドーマスク本体は、
水素雰囲気中１，０００℃×１〜２時間保持して拡散処
理工程を行うが、これによって、前記Ｎｉ層１５とＡＫ
鋼本体との間に物質拡散を発生させてＦｅ−Ｎｉ合金層
１７を形成するようになる。尚、この加熱工程は、予め
１，０００℃に設定された無酸化雰囲気のバッチ式炉に
シャドーマスク本体を投入して加熱してもよいし、予め
１，０００℃に設定された連続式炉にシャドーマスク本
体を次々に投入して熱処理してもよい。もっともバッチ
式炉で熱処理する場合、炉内に多数のシャドーマスク本
体を配置してから水素雰囲気を形成した後、加熱するよ
うにしてもよい。要は、シャドーマスク本体に、好まし
い拡散カーブを形成したＦｅ−Ｎｉ合金層が形成されれ
ばよい。ついで、このように形成された平面シャドーマ
スク本体に、通常のプレス工程を通じてスカート部及び
ビードを形成する。
法を説明する。まず、ＡＫ鋼から製造されアパーチャが
形成されている平面シャドーマスク本体に、Ｎｉ層１５
をメッキする。このとき、Ｎｉメッキは少なくとも１０
μｍの厚みに形成されることが好ましい。これは、前述
のＦｅ−Ｎｉ合金層１７の形成を考慮したものである。
前記Ｎｉメッキは、電気メッキ法もしくは無電解メッキ
法によって形成することができる。もっとも、ＡＫ鋼表
面のＮｉメッキは、これに限定されることなく、ＣＶＤ
法、ＰＶＤ法などにより行ってもよい。前述したよう
に、Ｎｉ層１５がメッキされたシャドーマスク本体は、
水素雰囲気中１，０００℃×１〜２時間保持して拡散処
理工程を行うが、これによって、前記Ｎｉ層１５とＡＫ
鋼本体との間に物質拡散を発生させてＦｅ−Ｎｉ合金層
１７を形成するようになる。尚、この加熱工程は、予め
１，０００℃に設定された無酸化雰囲気のバッチ式炉に
シャドーマスク本体を投入して加熱してもよいし、予め
１，０００℃に設定された連続式炉にシャドーマスク本
体を次々に投入して熱処理してもよい。もっともバッチ
式炉で熱処理する場合、炉内に多数のシャドーマスク本
体を配置してから水素雰囲気を形成した後、加熱するよ
うにしてもよい。要は、シャドーマスク本体に、好まし
い拡散カーブを形成したＦｅ−Ｎｉ合金層が形成されれ
ばよい。ついで、このように形成された平面シャドーマ
スク本体に、通常のプレス工程を通じてスカート部及び
ビードを形成する。
【００１３】
【発明の効果】上述したように、本発明によるカラー受
像管用シャドーマスクは、電子ビーム衝突による熱的変
形、即ちドーミング現象を抑制でき、究極的にはスクリ
ーンの色純度を向上させることができる。さらに、本発
明に係るＦｅ−Ｎｉ合金層及びＮｉ層はシャドーマスク
の厚板化はもちろん、それに従う構造的な安定性によっ
てハウリング現象を実質的に除去できる効果を有する。
さらにまた、本発明によるＦｅ−Ｎｉ合金層はＩＮＶＡ
Ｒ材質と類似する組成及び熱膨張率を有するようになる
ので、高価なＩＮＶＡＲ材質を代替でき、したがって製
造原価を節減できるという効果を有する。
像管用シャドーマスクは、電子ビーム衝突による熱的変
形、即ちドーミング現象を抑制でき、究極的にはスクリ
ーンの色純度を向上させることができる。さらに、本発
明に係るＦｅ−Ｎｉ合金層及びＮｉ層はシャドーマスク
の厚板化はもちろん、それに従う構造的な安定性によっ
てハウリング現象を実質的に除去できる効果を有する。
さらにまた、本発明によるＦｅ−Ｎｉ合金層はＩＮＶＡ
Ｒ材質と類似する組成及び熱膨張率を有するようになる
ので、高価なＩＮＶＡＲ材質を代替でき、したがって製
造原価を節減できるという効果を有する。
【図１】シャドーマスクの要部断面図
【図２】Ｆｅ−Ｎｉ合金拡散層を示す図
【図３】従来のシャドーマスク構造体の斜視図
【図４】従来のシャドーマスクの要部断面図
１０ シャドーマスク １１ アパーチャ １３ 無孔部 １５ Ｎｉ層 １７ Ｆｅ−Ｎｉ合金層
Claims (4)
- 【請求項１】 シャドーマスク本体の表面に形成された
Ｎｉ層の下層に、このＮｉ層のＮｉが前記シャドーマス
ク本体内に拡散されてＦｅ−Ｎｉ合金拡散層が形成され
たシャドーマスク。 - 【請求項２】 前記Ｎｉ層の厚さは、少なくとも１０μ
ｍである請求項１記載のシャドーマスク。 - 【請求項３】 鋼板から平板状のシャドーマスク本体を
形成し、このシャドーマスク本体の表面にＮｉ層を形成
すると共に、無酸化雰囲気中１，０００〜１，２００℃
の温度で加熱することにより前記Ｎｉ層のＮｉを前記平
板状のシャドーマスク本体内に拡散させ、前記平板状の
シャドーマスク本体内にＦｅ−Ｎｉ合金拡散層を形成
し、ついで所定の形状に加工するシャドーマスクの製造
方法。 - 【請求項４】 前記Ｎｉ層の厚みは、少なくとも１０μ
ｍである請求項３記載のシャドーマスクの製造方法。
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