JPH094672A - ダンパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電気粘性流体を用いたダンパにおいて、振動
の伝達及び電気粘性流体の流出を防止しつつ減衰力を広
範囲に調整可能とする。 【構成】 電気粘性流体２４が貯留されているシリンダ
ー１２にピストン本体１４Ａを所定間隔をおいて配置す
る。ピストン部１４は、両端の張出部１４Ｄをラウンド
形状とし、下端を曲率半径の大きなラウンド形状として
張出部１４Ｄと滑らかにつなげる。ピストンロッド１４
Ｃの中間部分は円弧状に窪ませ、ピストン部１４の張出
部１４Ｄと滑らかにつなげる。ピストン本体１４Ａが移
動する際の抵抗が小さくなるため、電気粘性流体２４に
電圧を印加しない時の減衰力を低く抑えることができ、
減衰力の大小の差を大きく、即ち、減衰力の調整範囲を
広くできる。また、ピストンロッド１４Ｃをピストン本
体１４Ａよりも細く形成したので、ピストン本体１４Ａ
の移動時の液面変化を少なくできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡、精密天秤、
微小寸法・形状・真円度測定器、表面粗さ計、微小硬度
計等の精密機器や精密加工機器等を搭載し、精密機器の
駆動により発生する振動や、床等から受ける振動を除振
する除振台等に使用されるダンパに関する。

【０００２】

【従来の技術】精密機器や精密加工器を搭載する除振台
において、剛性が極端に小さく（固有振動数で０．５〜
５Ｈz 程度）なっている空気ばねや多段積層ゴム等を支
持材に用い、ダッシュポット等のダンパを備え、デシ、
ミクロンオーダと非常に小さい振動に対して除振効果が
得られるパッシブ除振装置や、小さい振動のみでなく振
幅の大きい振動に対応して除振できるように除振機構の
ばね特性を変化させるセミアクティブ除振装置や、定盤
に振動センサを設け、センサからの信号によりフィード
バック制御して、振動と逆位相の力を定盤に付加して振
動を除去するＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）、空気
ばね等のアクチュエーターを設け、振動の振幅に応じて
除振できるアクアティブ除振装置があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】パッシブ除振装置は、
床面から受ける振動を絶縁するため、空気ばね等の剛性
が極端に小さく、除振効果が得られる振動振幅もおよそ
デシ・ミクロンオーダであり、搭載機器自身の駆動によ
り発生する振動等の大きい振動等の大きい振動振幅に対
しては殆ど減衰効果が無く、一度発生した大きい振動が
デシ・ミクロンオーダの振幅に収束して除振効果が得ら
れるまでには長時間を要し、作業効率は非常に悪いもの
であった。このため、大きい振動を短時間に減衰しよう
としてダンパの減衰常数を大きくすると、振動の高周波
成分が効果的に減衰しなくなり、総合的に除振性能が悪
化するという欠点があった。

【０００４】また、セミアクティブ除振装置は、振動の
振幅に対応して除振を行うものとして満足のいくものが
得られておらず、さらに、アクティブ除振装置において
は、振幅に対応して短時間で振動を収束することが出来
るが、各空気ばねに応じてエアータンクを設ける必要が
あるため、その設置スペースが非常に大きくなり、高価
であり、また、ＶＣＭを用いたアクチュエータは応答性
は優れたものであるが、重量物を載置した定盤を支持す
る為には大きなＶＣＭが必要であり、装置も複雑であ
り、非常に高価になってしまった。

【０００５】一方、近年では、電圧を印加することによ
り粘度が瞬時に変化する電気粘性流体を用いた流体機器
が提案されている。

【０００６】例えば、実開平１−９８９３８号公報に
は、電気粘性流体を用いたロック装置が開示されてい
る。

【０００７】このロック装置は、防振・除振・免震装置
に用いられており、精密機器が載置され空気ばねにより
弾性支持される被支持部をロック可能となっている。

【０００８】しかし、実開平１−９８９３８号公報のロ
ック装置で第２図に示すシール環を設けた構造のもの
は、シール環を介して水平方向の振動が伝達する虞れが
ある。

【０００９】一方、シール環を設けていない第３図及び
第４図に示す開放系のロック装置では、振動が伝達する
虞れは無い。しかしながら、第３図及び第４図に示すロ
ック装置では、以下の問題がある。

【００１０】即ち、第３図に示すロック装置では、電気
的粘性流体２０に浸漬される摺動体１５の外側壁１５ａ
及び内側壁１５ｂの軸直角断面積が一定である。このた
め、摺動体１５が上下すると、外側壁１５ａ及び内側壁
１５ｂの軸直角断面積に摺動体１５の上下変位寸法を掛
けた体積に応じて電気的粘性流体２０の液面が大きく変
動するため、大変位時に電気的粘性流体２０が溢れる可
能性がある。

【００１１】一方、第４図に示すロック装置では、細径
のピストンロッドの断面積に摺動体１５の上下変位寸法
を掛けた体積に応じて電気的粘性流体２０の液面が変動
することになり、第３図のロック装置に比較すると電気
的粘性流体２０の液面の変動量は小さくできる。しか
し、第４図に示すロック装置では、円柱状の摺動体１５
が電気的粘性流体２０の中を動くので抵抗が大きく、一
定断面積で凹凸の無い真っ直ぐな外側壁１５ａ及び内側
壁１５ｂを有する第３図に示すロック装置に比較して減
衰力を低くすることが出来ない。減衰力の調整範囲が狭
くなるという問題がある。

【００１２】本発明は、上記事実を考慮し、振動を伝達
する虞れがなく、大変位時においても電気粘性流体が溢
れるようなことが無く、また、減衰力を広範囲に調整可
能なダンパを提供することが目的である。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、振動発生部及び振動受部の何れか一方に連結され電
圧を印加することにより粘度が変化する電気粘性流体を
収納するシリンダーと、外径が前記シリンダーの内径よ
りも所定寸法小さく設定され、前記粘性流体中を前記シ
リンダーの長手方向に沿って移動可能なピストンと、振
動発生部及び振動受部の何れか他方と前記ピストンとを
連結するピストンロッドと、前記シリンダーに設けられ
前記電気粘性流体に電圧を印加する第１の電極と、前記
ピストンに設けられ前記第１の電極と対向して前記電気
粘性流体に電圧を印加する第２の電極と、を備え、前記
ピストンは、両端部が軸方向外側へ向かって径が減少す
る抵抗低減部を有することを特徴としている。

【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記ピストンの角部分を円弧状に形成
したことを特徴としている。

【００１５】

【作用】請求項１に記載のダンパは、シリンダー及びピ
ストンロッドの何れか一方を例えば除振台の定盤等の制
振すべき振動対象物に連結し、他方を床等の振動受部に
連結する。第１の電極と第２の電極との間に所望の電圧
を印加し、電気粘性流体の粘度を所望の値とすることに
より、振幅に対応してダンパの減衰定数を瞬時に変化さ
せることができ、振幅に応じて短時間で制振を行うこと
ができる。例えば、振動の振幅が大きい時には電気粘性
流体に電圧を印加して粘度を増し、その後振動の振幅が
小さくなった際には、電圧を下げて（又は電圧の印加を
停止して）電気粘性流体の粘度を低くして制振を行うこ
とで、短時間で制振を行うことができる。

【００１６】また、ピストンは、両端部に抵抗低減部が
設けられているので、抵抗低減部を設けていないピスト
ンに比較して電気粘性流体中を軸方向の動く際の抵抗を
減少させ、電気粘性流体に電圧を印加しない時のダンパ
の減衰力を低く抑えることができる。即ち、減衰力の調
整範囲を広くとることができる。

【００１７】請求項２に記載のダンパは、ピストンの角
部分を円弧状に形成したことにより電気粘性流体中を軸
方向の動く際の抵抗をさらに減少させることができる。

【００１８】

【実施例】

［第１実施例］本発明の第１実施例を図１乃至図５にし
たがって説明する。

【００１９】図１に示すように、ダンパ１０は、合成樹
脂等の絶縁材料で形成されたシリンダー１２と、同じく
合成樹脂等の絶縁材料で形成されたピストン部１４を備
えている。

【００２０】シリンダー１２は、円筒部１２Ａ、円筒部
１２Ａの下部を閉塞する底部１２Ｂを備えている。

【００２１】シリンダー１２には、上面に環状溝１６が
形成されており、この環状溝１６にはゴム等の弾性体か
らなるシール部材としてのオーリング１８が嵌め込まれ
ている。なお、オーリング１８は、一部がシリンダー１
２の上面よりも突出している。

【００２２】シリンダー１２の内壁面には、円筒部１２
Ａの高さ方向中間部分にリング状に形成された薄肉の金
属板からなる電極板２０が設けられている。なお、電極
２０の内周面は、円筒部１２Ａの内周面と面一にされて
いる。

【００２３】シリンダー１２には、電気粘性流体２４が
貯留されている。電気粘性流体２４は、疎水性の微粒子
を電気絶縁油に分散・懸濁させたもので、電圧を印加す
ると電圧に応じて極めて速やかに粘度が上昇し、且つ、
可逆的に粘度が下降するものである。粘度を変化させる
には直流のみでなく、交流によっても変化させることが
でき、少ない消費電力で液体からほぼ固体状態近くまで
変化させることができるものである。電気粘性流体２４
に電圧を印加すると、粒子中の電荷が電圧により移動
し、粒子が分極することにより粒子同士に引力が生じ、
電極間に粒子が数珠状に繋がるために粘度が上昇するこ
とになる。このような粘度変化は、電場の強さに応じて
ミリ秒単位で変化し、センサからの検出信号に応答良く
粘度が変化し、温度変化に対しても粘度の変化は一定で
あり、−５０°〜＋１５０°の温度に対して用いること
ができる。

【００２４】本実施例のピストン部１４は、電気粘性流
体２４の中に沈められる円柱状のピストン本体１４Ａと
円板状のフランジ１４Ｂとがピストン本体１４Ａよりも
細径のピストンロッド１４Ｃで連結されている。

【００２５】ピストン本体１４Ａの外周面には、リング
状に形成された薄肉の金属板からなる電極板２２が設け
られている。また、ピストン本体１４Ａには、電極板２
２の軸方向両端部に接するように環状の張出部１４Ｄが
一体的に形成されている。この張出部１４Ｄは、電極２
０と電極２２との接触を防止し、かつ所定寸法以下に近
接させないための径方向のストロークストッパの役目を
している。

【００２６】なお、ピストン部１４に設けた環状の張出
部１４Ｄは滑らかなラウンド形状とされている。また、
ピストン部１４は、下端が曲率半径の大きなラウンド形
状とされ張出部１４Ｄと滑らかにつながっている。

【００２７】一方、ピストンロッド１４Ｃの中間部分
（動作状態における電気粘性流体２４の液面付近）が円
弧状に窪んでおり、ピストン部１４の張出部１４Ｄと滑
らかにつながっている。

【００２８】図１及び図２に示すように、ピストン部１
４のフランジ１４Ｂには、ねじ穴２６及びねじ穴２８が
形成されている。ねじ穴２６は定盤等との接続に用いら
れ、ねじ穴２８は後述するスライダ部６０との接続に用
いられる。

【００２９】図１に示すように、シリンダー１２の外周
には、フランジ６０Ａを備えた円筒状のスライダ部６０
がスライド可能に外装されている。スライダ部６０のフ
ランジ６０Ａには、ピストン部１４のねじ穴２８に対応
する位置に丸孔２９が穿孔されている。

【００３０】スライダ部６０の筒状本体部分には、上面
から所定寸法下の位置に外周方向に沿って複数の丸孔５
４が穿孔されている。

【００３１】一方、シリンダー１２には、図１に示すよ
うにスライダ部６０の上面とシリンダー１２の上面とを
面一にした際にスライダ部６０の丸孔５４に対応する位
置にねじ穴５６が形成され、図３に示すようにスライダ
部６０のフランジ６０Ａをピストン部１４のフランジ１
４Ｂにビス５０で固定して電極２０と電極２２とが軸方
向中心部を対向させた際にスライダ部６０の丸孔５４に
対応する位置にねじ穴５８が形成されている。

【００３２】ところで、このダンパ１０は、例えば、除
振台に用いることができる。図４に示すように、除振台
３０は精密機器３２を搭載する定盤３４を備え、定盤３
４は床３８に設置されるフレーム３９に取り付けられた
空気ばね３６によって支持されている。

【００３３】空気ばね３６は、ベローズタイプ型、ダイ
ヤフラムタイプ型等の何れであても良い。図４では、空
気ばね３６は１箇所のみ示してあるが、適宜所望の個
数、例えば定盤３４の４隅に各々対応するように設けて
も良い。空気ばね３６は振幅の小さい振動、例えば振動
数０．５〜５Ｈz 程度の振動を性能良く除振することが
できるようなばね定数を有するものであり、精密機器３
２を搭載する定盤３４が床３８から受ける振動を短時間
で収束するものである。

【００３４】定盤３４には、定盤３４の振動または変位
を検出するセンサ４０が取り付けられている。センサ４
０は、変位センサ或いは加速度センサや速度センサ等の
振動センサ等何れであっても良い。なお、センサ４０
は、定盤３４に設置せずに精密機器３２自体に搭載する
ようにしてもよい。センサ４０は、図４では１箇所のみ
を示してあるが、センサの数はこれに限定されない。

【００３５】センサ４０及びダンパ１０の電極２０，２
２は、図示しない配線を介して駆動部４２に接続されて
いる。駆動部４２にはセンサ４０からの検出信号を入力
しパルスを整形するオン・オフ回路４４、オン・オフ回
路４４からの出力信号を増幅する増幅回路４６、増幅回
路４６で増幅されたパルスを入力してダンパ１０の電極
２０及び電極２２に駆動信号を送出するドライバ４８が
設けられている。なお、本実施例では、電極２２が陽極
とされ、電極２０が陰極とされている。

【００３６】センサ４０で検出された定盤３４の振動ま
たは変位は適宜処理され、検出された値が一定値以上の
場合に検出信号を出力する。なお、センサ４０が速度セ
ンサの場合に、検出値を微分して加速度を得ることもで
き、センサ４０が加速度センサの場合に、検出値を積分
して速度を得ることもできる。

【００３７】ダンパ１０はセンサ４０にそれぞれ対応し
て設けられても、また、２個のセンサに対して１つ設け
られる等、複数のセンサから送出される検出信号を入力
するものであっても良い。また、１個のセンサにて複数
個のダンパ１０をコントロールしても良い。

【００３８】次に、ダンパ１０を保管又は輸送する際の
状態を説明する。このような場合には、図５に示すよう
に、スライダ部６０をビス５０でピストン部１４のフラ
ンジ１４Ｂに固定し、ねじ穴５６にビス５９を螺合させ
てスライダ部６０をシリンダー１２に固定する。これに
より、オーリング１８が所定量潰されて内部が完全密閉
され、輸送時等に電気粘性流体２４の流出を防止するこ
とができ、保管時に塵や埃等の異物が電気粘性流体２４
へ進入することを防止することができる。

【００３９】次に、ダンパ１０の取り付け手順を説明す
る。ダンパ１０を除振台３０に組付ける際には、先ず、
ビス５９を一旦外し、スライダ部６０を持ち上げて、ス
ライダ部６０の丸孔５４とシリンダー１２のねじ穴５８
とを合わせ、ねじ穴５８にビス５９を螺合させて図３に
示すような状態とする。これにより、電極２０の軸方向
中心と電極２２の軸方向中心とが対向する。

【００４０】次に、精密機器３２を搭載した定盤３４の
高さを調整して定盤３４とフレーム３９との間に図３に
示す状態のダンパ１０が挿入できるようにし、図１に示
すように、ピストン部１４のフランジ１４Ｂをボルト４
１で定盤３４の下面に取り付け、シリンダー１２を図示
しないボルト等でフレーム３９に取り付ける。なお、ダ
ンパ１０の使用時には、図１に示すようにスライダ部６
０を下げておく。

【００４１】このように、スライダ部６０を取り付け用
の治具として用いることにより、容易な方法で電極２０
の軸方向中心と電極２２の軸方向中心とを正しく対向さ
せてダンパ１０を取り付けることができ、ダンパ１０を
適正な状態で作動させることができる。

【００４２】次に、本実施例の作用を説明する。定盤３
４が床３８等の設置面あるいは搭載する精密機器３２自
体から生じる振動により振動すると、センサ４０により
定盤３４の振動あるいは変位が検知され、一定値以上の
振動あるいは変位が検出されると、センサ４０から駆動
部４２へ検出信号が送出される。

【００４３】検出信号はオン・オフ回路４４によりパル
スに整形され増幅回路４６で増幅されてドライバ４８か
ら駆動信号が出力され、ドライバ４８によりダンパ１０
の電極２０及び電極２２に所望の電圧が印加される。

【００４４】これによりシリンダー１２内の電圧の印加
された電気粘性流体２４の粘度が増し、ダンパ１０の減
衰定数が大きくなる。このため、振幅の大きい振動は短
時間で制振され、効率的に制振される。

【００４５】また、センサ４０で検出される振動または
変位が一定値以下になると、検出信号の送出が停止さ
れ、ダンパ１０の電極２０及び電極２２に電圧が印加さ
れなくなる。そして振幅が小さくなった振動は、電圧の
印加されない電気粘性流体２４の減衰定数におけるダン
パ１０及び空気ばね３６で減衰される。このため、振幅
の小さい振動も短時間で減衰することができる。

【００４６】本実施例のピストン本体１４Ａは、軸方向
外側へ向かって径が減少するように形成されているた
め、単なる円柱状に形成したものに比較して電気粘性流
体２４中を軸方向に動く際の抵抗が小さくなる。したが
って、電気粘性流体２４に電圧を印加しない時のダンパ
１０の減衰力を低く抑えることができ、減衰力の大小の
差を大きく、即ち、減衰力の調整範囲を広くとることが
できる。

【００４７】また、本実施例のダンパ１０は、動作状態
においてシリンダー１２とピストン部１４とが電気粘性
流体２４以外のものを介して連結されていないため、床
３８等の設置面の振動を定盤３４へ伝達させることがな
い。

【００４８】なお、センサ４０で検知される検知信号を
一定値以上になった場合に電圧を印加させるのみなら
ず、センサ４０で検知される振動の振幅を２段階あるい
は３段階等の所定値として分割し各所定値になったと
き、駆動部４２へ検知信号を出力し、電極２０及び電極
２２に印加する電圧を変化させ、電気粘性流体２４を印
加電圧に応じて所望の粘度に変化せることにより減衰を
可変させて効率良く減衰を行うようにしても良い。

【００４９】本実施例のダンパ１０では、張出部１４Ｄ
が電極２０と電極２２とが所定寸法以下に接近しないよ
うに作用するため、シリンダー１２とピストン部１４と
が径方向に相対変位した際（例えば、定盤３４が水平方
向に大きく動いた時等）の電極間の放電及びショートを
防止することができる。

【００５０】なお、放電は、エッジ部分から生じ易いた
め、本実施例のように電極２２の端部に絶縁体の突起を
設けることが有効である。なお、電極２２の端部を張出
部１４Ｄで覆うようにしても良い。

【００５１】また、図１に示すような動作状態では、電
気粘性流体２４の液面はシリンダー１２の上面よりも所
定寸法下側に位置しており、シリンダー１２とピストン
ロッド１４Ｃとの間には、大容量の液溜部６４が設けら
れている。この液溜部６４を設けることにより、ピスト
ン部１４が上下に大きく変位したとき等に、電気粘性流
体２４がシリンダー１２の外へこぼれることを防止する
ことができる。

【００５２】なお、シリンダー１２を透明な樹脂で形成
し、電気粘性流体２４が見えるようにてもよい。 ［第２実施例］本発明の第２実施例を図６及び図７にし
たがって説明する。なお、前述した実施例と同一構成に
関しては同一符号を付し、その説明は省略する。

【００５３】図６に示すように、本実施例のピストン部
１４は、底部及びピストン本体１４Ａとピストンロッド
１４Ｃとの接続部分がテーパー状に形成されている。

【００５４】また、ピストン部１４の上面には、取付用
のねじ穴９０の形成されたフランジ板９２が固着されて
いる。

【００５５】シリンダー１２の外周には、円筒状のスラ
イダ部９４がスライド可能に設けられている。スライダ
部９４には、外周方向に沿って等間隔で穿孔された４個
の丸孔９６が軸方向に４列設けられている。

【００５６】本実施例のダンパ１０は、保管時や輸送時
に、図７に示すように、フランジ１４Ｂがシリンダー１
２の上面に密着され、一番上の列の丸孔９６に挿通され
たビス１００がピストン部１４のフランジ１４Ｂに形成
されたねじ穴９８にねじ込まれることでスライダ部９４
がフランジ１４Ｂに固定され、上から２列目の丸孔９６
にビス１０２が挿通され、このビス１０２が円筒部１２
Ａのねじ穴１０４にねじ込まれることでスライダ部９４
がシリンダー１２に固定される。

【００５７】一方、ダンパ１０を除振台３０に取り付け
る際には、図６に示すように、上から３列目（或いは４
列目）の丸孔９６にビス１０２を挿通し、このビス１０
２を円筒部１２Ａのねじ穴１０４にねじ込んで、ピスト
ン部１４を固定する。本実施例では、このときに電極２
０と電極２２とが対向するようになっている。

【００５８】また、動作時には、ビス１００，１０２を
取り除き、図６の想像線（２点鎖線）で示すようにスラ
イダ部９４を下に降ろしておくことにより、床３８等の
設置面の振動が定盤３４へ伝達することはない。

【００５９】本実施例のピストン本体１４Ａも、軸方向
外側へ向かって径が減少するように形成されているた
め、単なる円柱状に形成したものに比較して電気粘性流
体２４中を軸方向に動く際の抵抗が小さくなる。したが
って、電気粘性流体２４に電圧を印加しない時のダンパ
１０の減衰力を低く抑えることができ、減衰力の大小の
差を大きく、即ち、減衰力の調整範囲を広くとることが
できる。

【００６０】なお、その他のダンパ１０の作用・効果に
関しては、第１実施例と同様である。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のダンパは
上記の構成としたので、以下の（１）乃至（３）の効果
が得られる。 （１） 電気粘性流体を用いたことにより、応答性良く
振動を短時間で減衰可能である。また、ダンパの小型化
を図ることができ、大がかりな装置を必要としない。 （２） ピストンの大変位時の電気粘性流体の液面変化
を抑制することができ、電気粘性流体の流出を防止する
ことができる。 （３） ダンパの減衰力の調整範囲を広くすることがで
きる。

【００６２】請求項２に記載のダンパは、ピストンの角
部分を円弧状に形成したことにより電気粘性流体中を軸
方向の動く際の抵抗がさらに減少させることができ、こ
れによってダンパの減衰力の調整範囲をさらに広くする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】除振台に取り付けた第１実施例に係るダンパの
断面図である。

【図２】ピストン部のフランジの平面図である。

【図３】除振台に取り付ける前の第１実施例に係るダン
パの断面図である。

【図４】除振台の構成図である。

【図５】密閉した第１実施例に係るダンパの断面図であ
る。

【図６】除振台に取り付けた第２実施例に係るダンパの
断面図である。

【図７】密閉した第２実施例に係るダンパの断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ ダンパ １２ シリンダー １４Ａ ピストン本体 ２０ 電極（第１の電極） ２２ 電極（第２の電極） ２４ 電気粘性流体 １４Ｃ ピストンロッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 公夫 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 山家 弘行 東京都小平市小川東町３−１−１ 株式会 社ブリヂストン東京工場内 (72)発明者 川真田 智 東京都小平市小川東町３−１−１ 株式会 社ブリヂストン東京工場内 (72)発明者 石野 裕一 東京都小平市小川東町３−１−１ 株式会 社ブリヂストン東京工場内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動発生部及び振動受部の何れか一方に
   連結され電圧を印加することにより粘度が変化する電気
   粘性流体を収納するシリンダーと、 外径が前記シリンダーの内径よりも所定寸法小さく設定
   され、前記粘性流体中を前記シリンダーの長手方向に沿
   って移動可能なピストンと、 振動発生部及び振動受部の何れか他方と前記ピストンと
   を連結するピストンロッドと、 前記シリンダーに設けられ前記電気粘性流体に電圧を印
   加する第１の電極と、 前記ピストンに設けられ前記第１の電極と対向して前記
   電気粘性流体に電圧を印加する第２の電極と、 を備え、 前記ピストンは、両端部が軸方向外側へ向かって径が減
   少する抵抗低減部を有することを特徴とするダンパ。
2. 【請求項２】 前記ピストンの角部分を円弧状に形成し
   たことを特徴とする請求項１に記載のダンパ。