JPH09500335A - 仕上げ処理された切削刃を持つドリルの表面脱炭 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明によれば、超硬合金切削工具の表面脱炭方法が提供される。工具は保護環境下にセットされる。この保護環境下で、６００〜１１００℃の高温で１５〜１２０分間工具は加熱される。本発明の他の態様によれば、ドリルには、切削先端と、対称軸と、切削先端ですくい面を形成する複数の縦溝（１５）を有するドリル本体が設けられる。切削先端は、隣接する縦溝間に形成されてウェブで互いに結合される複数の側刃（４２）を有する。複数の逃け面（４７）は、切削先端の外径から対称軸まで広がる。逃げ面とすくい面との交差部には複数の切り込み刃（４０）が形成される。この切り込み刃は、角面（４１）や曲面、これらの組み合わせのいずれかを備え、逃げ面からすくい面にかけて延びている。

Description

【発明の詳細な説明】 仕上げ処理された切削刃を持つドリルの表面脱炭発明の背景 本発明は、広く、ドリルの表面脱炭方法に関し、特に、超硬合金マイクロドリ ルの表面脱炭方法に関する。 マイクロドリルとは、一般に、０．００２〜０．１２５インヂの直径を持った ドリルをいう。通常、このドリルを用いて、片面プリント基板や両面プリント基 板、複数層のプリント回路基板層に穴を形成する。マイクロドリルは、その他、 精度の高い小穴が必要とされる分野にも適用されている。そういった分野には、 カメラ、時計、燃料噴射装置といったものが含まれる。 プリント回路基板、その他の分野で必要とされる精度の高い穴には品質の高さ も要求される。形成された穴では、穴壁表面が粗くなったり、ぎざぎざが形成さ れたりするといった欠陥を最小限に抑えることが要求されるのである。こういっ た欠陥は、ドリルの砕片や摩耗に起因する。例えば、米国特許第４７５９６６７ 号および米国特許第４５６１８１３号に開示されるように、こういった問題や、 ドリルの砕片および摩耗を抑制する必要性は従来から認識されている。 プリント回路基板に穴を形成するマイクロドリルには、様々な加工要件を満た すに十分な強度と耐摩耗性とが要求される。マイクロドリルを超硬合金で製作す れば、必要とされる強度や硬度が得られることはよく知られている。ただし、こ の超硬合金を使用した際に問題となるのは、超硬合金は脆く、マイクロドリルが 砕けやすいことである。特に、ドリルの切削刃の外縁は欠けやすい。この切削刃 の外縁によって、プリント回路基板に穿たれていく穴の周壁が形作られる。超硬 合金ドリルが欠けやすいという点は、例えば、米国特許第４５８３８８８号およ び米国特許第４６４２００３号において認識されている。ドリルが欠け始めると 、ドリルの摩耗も早まる。 ドリルの寿命を延ばすために、従来では、ドリル工具の表面だけでなくドリル 工具全体（表面および内部）に熱処理を施していた。その他、仕上げられたドリ ル工具を熱処理したり焼きなまししたりするのではなく、ドリルを製造する際に 用いられる焼結粉を熱処理したり焼きなまししたりして、ドリルの寿命を延ばそ うと試みていた。 プリント回路基板用の超硬合金マイクロドリルやその他のドリルでは、摩耗お よび刃欠けに対する抵抗性を向上させる試みが様々な形でなされてはいるが、依 然として、摩耗および刃欠けに対して優れた超硬合金マイクロドリルは登場して いない。発明の要約 従来技術の欠点を最大限に解消するために、本発明に係る方法によれば、超硬 合金マイクロドリルを表面脱炭し、摩耗や刃欠けに対する抵抗性が付与される。 本発明の１態様によれば、超硬合金マイクロドリルを表面脱炭して、摩耗や刃 欠けに対する抵抗性を高める方法が提供される。 本発明の他の態様によれば、超硬合金マイクロドリルを表面脱炭する方法であ って、マイクロドリルを表面硬化し、この硬化された表面下ではマイクロドリル の内部を硬化させず、これにより耐摩耗層を提供する。 本発明の他の態様によれば、超硬合金マイクロドリルを表面脱炭する方法であ って、形成された外表面の硬化層は、エータ相、タングステンおよびコバルトの 複炭化物、炭化タングステン（ＷＣ）及び金属コバルトを含む。 本発明の他の態様によれば、マイクロドリルの切り込み刃（ｐｒｉｍａｒｙ ｃｕｔｔｉｎｇ ｅｄｇｅ）を強化するために、仕上げ処理によって、切り込み 刃に隣接して角面（ａｎｇｕｌａｒ ｓｕｒｆａｃｅ）（「Ｋランド（Ｋ ｌａ ｎｄ）」）を形成する。 本発明の他の態様によれば、超硬合金マイクロドリルを表面脱炭する方法であ って、表面脱炭に先だって、マイクロドリルの切り込み刃に仕上げ処理を施すこ とによって曲面（ｒａｄｉｕｓ ｓｕｒｆａｃｅ）や角面を形成する。これによ って摩耗や刃欠けに対する切削刃の抵抗性を高める。 本発明の他の態様によれば、超硬合金マイクロドリルを表面脱炭する方法であ って、マイクロドリルには仕上げ処理された切り込み刃が形成され、摩耗や刃欠 けに対する抵抗性が高められる。 また、本発明は、プリント回路基板の穴形成に用いられる超硬合金マイクロド リルの耐摩耗性を高める表面脱炭方法を提供することを目的とする。 さらに、本発明は、プリント回路基板の穴形成に用いられる超硬合金マイクロ ドリルに、仕上げ処理された切り込み刃を設けて、摩耗や刃欠けに対する抵抗性 を高める表面脱炭方法を提供することを目的とする。 本発明の他の態様によれば、大量のマイクロドリルに、仕上げ処理された円形 切り込み刃を形成する方法が提供される。 さらにまた、本発明は、プリント回路基板に穴形成する大量のドリルに、仕上 げ処理された切り込み刃を形成する方法を提供することを目的とする。 本発明の他の目的および効果は、本発明の好適な実施例を示す以下の説明およ び図面により明かとなろう。図面の簡単な説明 図１は、本発明に係るマイクロドリルの側面図である。 図２は、本発明の第１実施例に係るマイクロドリルの切削先端を示す図である 。 図３は、本発明の第２実施例に係るマイクロドリルの切削先端を示す図である 。 図４は、本発明の第３実施例に係るマイクロドリルの切削先端を示す図である 。 図５Ａは、図２のＶ方向に沿ってマイクロドリルを示す図である。 図５Ｂは、他の曲面構造を示す図５Ａと同様の図である。 図５Ｃは、さらに他の曲面構造を示す図５Ａと同様の図である。 図６は、図３のＶＩの方向に沿ってマイクロドリルを示す図である。 図７Ａは、図４のＶＩＩ方向に沿ってマイクロドリルを示す図である。 図７Ｂは、他の曲面構造を示す図７Ａと同様の図である。 図７Ｃは、さらに他の曲面構造を示す図７Ａと同様の図である。 図８は、本発明に従って仕上げられた切り込み刃を備えたマイクロドリルが搭 載されたキャリア板の斜視図である。 図９は、本発明に従って仕上げられた切り込み刃を備えたマイクロドリルの運 動を説明する概略平面図である。 図１０は、本発明に従って仕上げられた切り込み刃を備えたマイクロドリルの 側面図である。 図１１は、本発明に従って表面脱炭処理が施された工具の寿命テストの実験結 果を示すグラフである。好適な実施例の説明 超硬合金マイクロドリルは、一般に、金属混合粉を圧粉し焼結して得られる。 この金属混合粉は、１種類以上の金属炭化物の粉と、結合剤の役割を果たす少量 の金属粉（例えばコバルト）とからなる。超硬合金は、極めて高い硬度と強度と を有し、その結果、上述のように、ドリルとして適用するには好都合な素材であ る。ただし、超硬合金は、硬くて強いと同時に脆いという性質を備える。この性 質がドリルの刃欠けを招く。特に、ドリルの切り込み刃の外縁では刃欠けが生じ やすい。 マイクロドリルを表面脱炭することによって、摩耗や刃欠けに対する超硬合金 の抵抗性を高めることができる。この表面脱炭方法を通じ、１ミクロン以下の耐 摩耗層が得られる。この耐摩耗層は、エータ相（炭素欠乏炭化物）、例えばＣｏ₃ Ｗ₃ＣもしくはＣｏ₃Ｗ₆Ｃといったタングステンとコバルトとの複炭化物、炭化 タングステン（ＷＣ）および金属コバルトを含んでいる。 超硬合金マイクロドリルの表面脱炭は、６００〜１１００℃の温度で１５〜１ ２０分間行われる。望ましい相組成を得るためには、熱処理温度に設定された一 般的な保護環境下で脱炭ガスの分圧を制御することが必要となる。例えば、水素 、炭酸ガス、酸素またはその他の混合物が脱炭ガスとして用いられる。水素が好 ましい。表面脱炭は、好ましくは、混合された脱炭ガスの雰囲気下で、およそ６ ０分間、約８００℃で行われるのがよい。 マイクロドリルの仕上げられた切削刃に対して上記の表面脱炭方法を適用すれ ば、都合のよいことに、摩耗および刃欠けに対する抵抗性を一層高めることがで きる。切削刃の仕上げには、例えば、様々な周知のホーニング法が採用される。 表面脱炭された超硬合金マイクロドリルの切り込み刃に対する仕上げ方法に関し ては後述する。 図１は本発明の一実施例に係るマイクロドリルの側面図を示す。マイクロドリ ル１０は、シャンク１１、テーパ部１２およびドリル本体１３を備える。ドリル 本体１３には、シャンク１１に向かうにつれて径が細くなるようにテーパを設け てもよく、このテーパによれば、形成中の穴の壁面とドリル本体１３との間にク リアランスを設けることができる。ドリル本体１３には、切削先端（ｃｕｔｔｉ ｎｇ ｔｉｐ）１４と複数の縦溝１５とが設けられる。切削先端１４から延びる これらの縦溝１５はテーパ部１２で途切れている。切り込み刃では、縦溝１５の 壁はすくい面１７によって画成される。マイクロドリルは長さ方向に沿って対称 軸１６を有する。以下、複数の実施例に共通するマイクロドリル１０の要素には 同一の参照符号が用いられる。 図２は本発明の第１実施例に係るマイクロドリルの切削先端を示す。この切削 先端１４の端部では、逃げ面２７とすくい面１７との交差部に切り込み刃２０が 形成される。この切り込み刃２０には、仕上げ処理によって曲面２１が形成され ている。明細書全体を通じて、この「曲面」という語が用いられる場合には、様 々な曲線によって切削刃が修正されることを意味し、曲率一定に限定されるもの ではない。かかる構成は、例えば、図５Ａに明示される。図５Ａによれば、逃げ 面２７およびすくい面１７との交差部において切り込み刃２０に曲面２１が形成 されていることが理解される。曲面２１は、切り込み刃２０全体に沿って延びて もよいし、部分的に延びていてもよい。ただし、切り込み刃２０の外端から延び ることが好ましい。この曲面は、軽い研磨によって形成されるものから強いホー ニングによるものまで多様である。図５Ｂは、逃げ面２７に滝型に落ち込んだ曲 面２１からなる他の曲面構造を示す。図５Ｃでは、曲面２１はすくい面１７に滝 型に落ち込んでいる。逃げ面２７とすくい面１７とが互いに交差する仮想点と、 曲面２１と逃げ面２７とが交差する点との間の距離Ｗ１は少なくとも約０．００ ０１インチである。前記仮想点と、曲面２１とすくい面１７とが交差する点との 間の距離Ｗ２も少なくとも０．０００１インチである。 再び図２を参照し、切削先端では、縦溝１５の間に側刃２２が形成される。こ の側刃２２の断面は翼形に形作られる。側刃２２同士はウェブ２３によって対称 軸１６で接続される。側刃２２は、ドリル本体１３の長さ方向に沿って螺旋を描 き、外径２５にマージン２４を有する。側刃２２のマージン２４に続く部分には 小径部２６が設けられ、この小径部２６は側刃クリアランス径と称される。逃げ 面２７の後端に続いて２次面２８を形成してもよい。かかる構成によれば、一方 の側刃の２次面２８と、他方の側刃の逃げ面２７とによってチゼルエッジ２９が 形成される。作動時には、マイクロドリルは、Ａ方向に回転しながら加工素材の 内部を進んでいく。切削刃の全てがドリルの回転方向に対して先端刃となる。 図３は本発明の第２実施例に係るマイクロドリルの切削先端を示す。その切削 先端の先端では、逃げ面４７とすくい面１７との交差部で切り込み刃４０が形成 される。この切り込み刃４０には、仕上げ処理によって角面４１（「Ｋランド」 ）が形成されている。かかる構成は、例えば、図６に明示される。図６によれば 、逃げ面４７とすくい面１７との交差点で切り込み刃４０に角面４１が形成され ていることが理解される。角面４１はすくい面４７の前端に形成される。角面４ １は、切り込み刃４０全体に沿って延びてもよいし、部分的に延びていてもよい 。ただし、切り込み刃４０の外端から延びることが好ましい。逃げ面４７とすく い面１７とが互いに交差する仮想点と、角面４１と逃げ面４７とが交差する点と の間の距離Ｗ１は少なくとも約０．０００１インチである。前記仮想点と、角面 ４１とすくい面１７とが交差する点との間の距離Ｗ２も少なくとも０．０００１ インチである。 再び図３を参照し、切削先端では、縦溝１５の間に側刃４２が形成される。こ の側刃４２の断面は翼形に形作られる。側刃４２同士はウェブ４３によって対称 軸１６で接続される。側刃４２は、ドリル本体１３の長さ方向に沿って螺旋を描 き、外径４５にマージン４４を有する。側刃４２のマージン４４に続く部分には 小径部４６が設けられ、この小径部４６は側刃クリアランス径と称される。逃げ 面４７の後端に続いて２次面４８を形成してもよい。かかる構成によれば、一方 の側刃の２次面４８と、他方の側刃の逃げ面４７とによってチゼルエッジ４９が 形成される。作動時には、マイクロドリルは、Ａ方向に回転しながら加工素材の 内部を進んでいく。切削刃の全てがドリルの回転方向に対する先端刃となる。 図４は本発明の第３実施例に係るマイクロドリルの切削先端を示す。この切削 先端の先端では、逃げ面６７とすくい面１７との交差部に切り込み刃６０が形成 される。この切り込み刃６０には、仕上げ処理によって曲面６１ａと角面６１ｂ とが形成されている。かかる構成は、例えば、図７Ａに明示される。図７Ａによ れば、切り込み刃６０に曲面６１ａおよび角面６１ｂが形成されていることが理 解される。角面６１ｂは、すくい面１７の前端に形成される。曲面６１ａは、角 面６１ｂの前端から逃げ面６７まで広がる。曲面６１ａおよび角面６１ｂは、切 り込み刃６０全体に沿って延びてもよいし、部分的に延びていてもよい。ただし 、切り込み刃６０の外端から延びることが好ましい。図７Ｂは、逃げ面６７に滝 型に落ち込んだ曲面６１ａからなる他の曲面構造を示す。図７Ｃでは、曲面６１ ａは角面６１ｂに滝型に落ち込んでいる。逃げ面６７とすくい面１７とが互いに 交差する仮想点と、曲面６１ａと逃げ面６７とが交差する点との間の距離Ｗ１は 少なくとも約０．０００１インチである。前記仮想点と、角面６１ｂおよびすく い面１７が交差する点との間の距離Ｗ２も少なくとも０．０００１インチが好ま しい。 再び図４を参照し、切削先端では、縦溝１５の間に側刃６２が形成される。こ の側刃６２の断面は翼形に形作られる。側刃６２同士はウェブ６３によって対称 軸１６で接続される。側刃６２は、ドリル本体１３の長さ方向に沿って螺旋を描 き、外径６５にマージン４４を有する。側刃６２のマージン６４に続く部分には 小径部６６が設けられ、この小径部６６は側刃クリアランス径と称される。逃げ 面６７の後端に続いて２次面６８を形成してもよい。かかる構成によれば、一方 の側刃の２次面６８と、他方の側刃の逃げ面６７とによってチゼルエッジ６９が 形成される。作動時には、マイクロドリルは、Ａ方向に回転しながら加工素材の 内部を進んでいく。切削刃の全てがドリルの回転方向に対して先端刃となる。 前述の第１〜第３実施例では、切削刃の仕上げによって、摩耗や刃欠けに対す る一層の抵抗性を付与することができる。切削刃では、縦溝と逃げ面との交差部 に形成された鋭角部が最も摩耗や刃欠けに曝される。その鋭角部に曲面や角面、 これらの組合ぜを設けることによって、切削刃の極端な薄肉を回避する。その結 果、得られる切削刃は抵抗性あるものとなる。 第１〜第３実施例ではファセット（刻面）構造を持ったものを説明してきた。 しかし、本発明は、こういった構造に限られるものではなく、例えば、ジョバー 点（ｊｏｂｂｅｒ ｐｏｉｎｔ）を有するドリルにも適用される。 図８〜図１０には、切り込み刃に曲面を形成することによってマイクロドリル を仕上げる本発明に係る方法を示す。丸いキャリア板８０には、その垂直方向に マイクロドリル１０が配設される。この丸いキャリア板８０は、機械にセットさ れて回転させられ、惑星運動を行う。この惑星運動は、図９に概略的に示すよう に、自己の軸８１回りでＢ方向にキャリア板８０が回転すると同時に、回転軸８ ２回りでＣ方向に移動することによって達成される。キャリア板８０がこの惑星 運動を行っている間、図１０に示すように、大型回転ブラシ９０が下方に移動し 、マイクロドリル１０に接触する。大型回転ブラシ９０のブラシ９１には、その 表面９２にダイアモンドペーストが付加されているか、表面９２に予めダイアモ ンドペーストが含浸されている。このブラシ９１は軸９３回りでＤ方向に回転す る。回転ブラシ９０が下降してマイクロドリル１０の切削先端１４に接触する際 、マイクロドリル１０は図９に示すような惑星運動を行っている。ダイアモンド ペーストの研磨作用により、マイクロドリル１０の切り込み刃２０、６０には曲 面の切削刃２１、６１ａが形成される。これらの曲面切削刃２１、６１ａの大き さや形状は、第１および第３実施例に示したように制御される。この研磨は、軽 い研磨から強いホーニングまで変化させることができる。回転ブラシ９０がマイ クロドリル１０に接触している間、惑星運動以外の方法によってキャリア板８０ を運動させてもよい。 上述の第１〜第３実施例に係るマイクロドリルにさらに表面脱炭方法を施して もよい。表面脱炭は、６００〜１１００℃の温度で１５〜１２０分間行われる。 表面脱炭では、熱処理温度に設定された一般的な保護環境下で脱炭ガスの分圧を 制御することが必要となる。例えば、水素、炭酸ガス、酸素またはその他の混合 物が脱炭ガスとして用いられる。水素が好ましい。表面脱炭は、好ましくは、ア ルゴンと水素との混合ガスの雰囲気下で、およそ６０分間、約８００℃で行われ るのがよい。 超硬合金マイクロドリルは、一般に、金属混合粉を圧粉し焼結して得られる。 この金属混合粉は、１種類以上の金属炭化物の粉と、結合剤の役割を果たす少量 の金属粉（例えばコバルト）とからなる。超硬合金は、極めて高い硬度と強度と を有し、その結果、上述のように、ドリルとして適用するには好都合な素材であ る。ただし、超硬合金は、硬くて強いと同時に脆いという性質を備える。この性 質がドリルの刃欠けを招く。特に、ドリルの切り込み刃の外縁では刃欠けが生じ やすい。マイクロドリルを表面脱炭することによって、前述したように、摩耗や 刃欠けに対する超硬合金の抵抗性を高めることができる。したがって、本発明に よれば、表面脱炭と切り込み刃の仕上げを組み合わせることによって、摩耗や刃 欠けに対するマイクロドリルの抵抗性を一層向上させることができる。 図１１は本発明に従って処理されたドリルの寿命を示す分布図である。ドリル の寿命として、繊維ガラスエポキシ銅積層板に穿った穴の数をパラメータとした 。Ｈ曲線はホーニング処理のみを行ったドリルを示す。Ｈ＆Ａ曲線は、ホーニン グ処理と表面脱炭処理とを行ったドリルを示す。ホーニングおよび表面脱炭の熱 処理済みのドリルは、研削された切り込み刃を備えた従来のドリルに比べ、寿命 が約２倍から５倍長い。 上記いずれの実施例でも、表面脱炭された超硬合金マイクロドリルに、仕上げ 研磨された切削刃を設けることによって、摩耗や刃欠けに対するドリルの抵抗性 が高められている。切削刃では、縦溝とすくい面との交差部に形成された鋭角刃 が最も摩耗や刃欠けに曝されやすい。表面脱炭された超硬合金マイクロドリルに 、曲面や角面、これら２つの組み合わせを形成することによって、切削刃の極端 な薄肉を回避することができる。その結果、得られた切削刃では抵抗性が高まる 。 上述の実施例では、ファセット（刻面）構造を持った表面脱炭超硬合金マイク ロドリルを説明してきた。しかし、本発明は、こういった構造に限られるもので はなく、例えば、ジョバー点（ｊｏｂｂｅｒ ｐｏｉｎｔ）を有するドリルにも 適用される。 上記の説明および図面は、本発明の目的、特徴および効果を実現するための好 適な実施例を例示したものにすぎず、本発明はこれに限られるものではない。例 えば、本発明の表面脱炭は、マイクロドリルもしくは先の分裂したドリルだけで なく、その他の超硬合金に用いても効果的である。さらに、本発明の表面脱炭を 用いて他の種類の超硬合金切削工具を処理することもできる。また、本発明によ る修正された切削刃を、他のタイプのドリルや回転切削工具に用いることもでき る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ Ｃ２２Ｆ 1/02 8719−4Ｋ Ｃ２２Ｆ 1/02 1/18 8719−4Ｋ 1/18 Ｂ (31)優先権主張番号 ０８／３１４，５１０ (32)優先日 1994年９月28日 (33)優先権主張国 米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号 ０８／３１４，５１１ (32)優先日 1994年９月28日 (33)優先権主張国 米国（ＵＳ） (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ)，ＡＭ， ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＴ， ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，ＭＷ，ＮＬ，ＮＯ，Ｎ Ｚ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＩ，ＳＫ ，ＴＪ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者 ファング ツィガング アメリカ合衆国 テキサス州 ザ ウッド ランズ サウス クリムソン クローバー サークル 230

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．切削工具を保護環境下に置くステップと、 前記保護環境下で、６００〜１１００℃の高温まで前記切削工具を加熱するス テップと、 １５〜１２０分の間、前記切削工具を前記高温に維持するステップとを含む超 硬合金切削工具の表面脱炭方法。 ２．請求項１に記載の方法において、前記切削工具の表面に硬化層を形成するス テップを含む超硬合金切削工具の表面脱炭方法。 ３．請求項２に記載の方法において、前記硬化層は、エータ相、タングステンと コバルトの複炭化物、炭化タングステンＷＣ、およびコバルト金属を含む超硬合 金切削工具の表面脱炭方法。 ４．請求項１に記載の方法において、前記高温は約８００℃であり、前記高温維 持続時間は約６０分であり、前記保護環境は分圧を制御した脱炭気体である超硬 合金切削工具の表面脱炭方法。 ５．請求項１に記載の方法において、前記高温は約８００℃であり、前記高温維 持続時間は約６０分であり、前記保護環境は、水素、炭酸ガス、酸素、およびこ れらの混合物からなる混合気体である超硬合金切削工具の表面脱炭方法。 ６．マイクロドリルを保護環境下におくステップと、 前記保護環境下で、６００〜１１００℃の高温まで前記マイクロドリルを加熱 するステップと、 １５〜１２０分の間、前記マイクロドリルを前記高温で維持するステップとを 含む超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 ７．請求項６に記載の方法において、前記高温は約８００℃であり、前記高温維 持続時間は約６０分であり、前記保護環境は分圧を制御した脱炭気体である超硬 合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 ８．請求項６に記載の方法において、前記高温は約８００℃であり、前記高温維 持続時間は約６０分であり、前記保護環境は、水素、炭酸ガス、酸素、およびこ れらの混合物からなる混合気体である超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 ９．請求項６に記載の超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法において、 前記マイクロドリルは、切削先端と、対称軸と、切削先端ですくい面を持った 複数の縦溝とを有するドリル本体を備え、 前記切削先端には、隣接する縦溝の間に互いにウェブで連結される複数の側刃 と、前記切削先端の外周から前記対称軸まで広がる逃げ面と、この逃げ面とすく い面との交差部に形成される複数の切り込み刃とが設けられ、 前記切り込み刃には、前記逃げ面からすくい面に広がる曲面が形成される超硬 合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 １０．請求項９に記載の方法において、前記曲面は前記切り込み刃の全長に沿っ て形成される超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 １１．請求項９に記載の方法において、前記曲面は曲線で形作られる超硬合金マ イクロドリルの表面脱炭方法。 １２．請求項９に記載の方法において、前記曲面と、逃げ面およびすくい面とは 、逃げ面の延長線とすくい面の延長線との交点から少なくとも約０．０００１イ ンチの距離で交わる超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 １３．請求項９に記載の方法において、前記マイクロドリルは、前記逃げ面の後 端に続いて形成される２次面と、この分割面と対向する逃げ面との交線上に形成 されるチゼルエッジとを備え、前記曲面は、前記切り込み刃に沿って、前記外周 からチゼルエッジまで延びる超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 １４．請求項６に記載の方法において、 前記マイクロドリルは、切削先端と、対称軸と、切削先端ですくい面を形成す る複数の縦溝とを有するドリル本体を備え、 前記切削先端には、隣接する縦溝の間に互いにウェブで連結される複数の側刃 と、前記切削先端の外周から前記対称軸まで広がる逃げ面と、この逃げ面とすく い面との交差部に形成される複数の切り込み刃とが設けられ、 前記切り込み刃には、前記すくい面の前端で角面が形成される超硬合金マイク ロドリルの表面脱炭方法。 １５．請求項１４に記載の方法において、前記角面は、前記切り込み刃の全長に 沿って形成される超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 １６．請求項１４に記載の方法において、前記マイクロドリルは、前記逃げ面の 後端に続いて形成される２次面と、分割面と対向する逃げ面との交線上に形成さ れるチゼルエッジとを備え、前記角面は、前記切り込み刃に沿って、前記外周か らチゼルエッジまで延びる超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 １７．請求項１４に記載の方法において、前記角面と、前記逃げ面およびすくい 面とは、逃げ面の延長線およびすくい面の延長線の交点から少なくとも約０．０ ００１インチの距離で交わる超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 １８．請求項６に記載の方法において、前記マイクロドリルは、切削先端と、対 称軸と、切削先端ですくい面を形成する複数の溝とを有するドリル本体を備え、 前記切削先端には、隣接する縦溝の間に互いにウェブで連結される複数の側刃 と、前記切削先端の外周から前記対称軸まで広がる逃げ面と、この逃げ面とすく い面との交差部に形成される複数の切り込み刃とが設けられ、 前記切り込み刃には角面および曲面が設けられ、その角面は前記すくい面の前 端に形成され、角面および逃げ面間に曲面が広がる超硬合金マイクロドリルの表 面脱炭方法。 １９．請求項１８に記載の方法において、前記曲面は曲線で形作られる超硬合金 マイクロドリルの表面脱炭方法。 ２０．請求項１８に記載の方法において、前記角面および曲面は、切り込み刃の 全長に沿って形成される超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 ２１．請求項１８に記載の方法において、前記角面とすくい面とは、すくい面の 延長線と逃げ面の延長線とが交わる基準点から少なくとも約０．０００１インチ の距離で交わり、前記曲面と逃げ面とは、前記基準点から少なくとも約０．００ ０１インチの距離で交わる超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 ２２．請求項１８に記載の方法において、前記マイクロドリルは、前記逃げ面の 後端に続いて形成される２次面と、分割面と対向する逃げ面との交線上に形成さ れるチゼルエッジとを備え、前記角面および曲面は、前記切り込み刃に沿って、 前記外周からチゼルエッジまで延びる超硬合金マイクロドリルの表面脱炭方法。 ２３．請求項６に記載の方法において、切削工具の外面に硬化層を形成するステ ップを含む超硬合金切削工具の表面脱炭方法。 ２４．請求項６に記載の方法において、前記硬化層は、エータ相、タングステン およびコバルトの複炭化物、炭化タングステンＷＣ、およびコバルト金属を含む 超硬合金切削工具の表面脱炭方法。 ２５．大きさおよび輪郭を管理しつつ回転切削工具の切削刃に曲面を形成する曲 面形成方法であって、 複数の切削工具をキャリヤ板に装着するステップと、 前記キャリヤ板を動かすステップと、 前記キャリヤ板を動かしながら、ダイヤモンドペーストで被覆された回転ブラ シを前記回転切削工具の切削刃に接触させるステップと、 前記回転切削工具を前記回転ブラシで研磨して、大きさおよび輪郭が管理され た曲面を形成するステップとを含む曲面形成方法。 ２６．請求項２５に記載の方法において、前記キャリア板を動かすステップでは 、前記キャリヤ板を惑星運動させる曲面形成方法。 ２７．請求項２５に記載の方法において、前記切削工具を研磨するステップでは 、曲線によって曲面が形成される曲面形成方法。 ２８．切削先端と、対称軸と、切削先端ですくい面を形成する複数の溝とを有す るドリル本体を備えるドリルであって、 前記切削先端には、隣接する縦溝の間に互いにウェブで連結される複数の側刃 と、前記切削先端の外周から前記対称軸まで広がる逃げ面と、この逃げ面とすく い面との交差部に形成される複数の切り込み刃とが設けられ、 前記切り込み刃には、前記逃げ面からすくい面に広がる曲面が形成されるドリ ル。 ２９．請求項２８に記載のドリルにおいて、前記曲面は前記切り込み刃の全長に 沿って形成されるドリル。 ３０．請求項２８に記載のドリルにおいて、前記曲面は曲線で形作られるドリル 。 ３１．請求項２８に記載のドリルにおいて、前記角面と、前記逃げ面およびすく い面とは、逃げ面の延長線およびすくい面の延長線の交点から少なくとも約０． ０００１インチの距離で交わるドリル。 ３２．請求項２８に記載のドリルにおいて、前記逃げ面の後端に続いて形成され る２次面と、分割面と対向する逃げ面との交線上に形成されるチゼルエッジとを 備え、前記曲面は、前記切り込み刃に沿って、前記外周からチゼルエッジまで延 びるドリル。 ３３．請求項２８に記載のドリルにおいて、前記ドリルは超硬合金製であるドリ ル。 ３４．切削先端と、対称軸と、切削先端ですくい面を形成する複数の溝とを有す るドリル本体を備えるドリルであって、 前記切削先端には、隣接する縦溝の間に互いにウェブで連結される複数の側刃 と、前記切削先端の外周から前記対称軸まで広がる逃げ面と、この逃げ面とすく い面との交差部に形成される複数の切り込み刃とが設けられ、 前記切り込み刃には角面および曲面が設けられ、その角面はすくい面の前端に 形成され、角面から逃げ面まで曲面が広がるドリル。 ３５．請求項３４に記載のドリルにおいて、前記曲面は曲線で形作られるドリル 。 ３６．請求項３４に記載のドリルにおいて、前記角面と曲面とは前記切り込み刃 の全長に沿って形成されるドリル。 ３７．請求項３４に記載のドリルにおいて、前記角面とすくい面とは、すくい面 の延長線と逃げ面の延長線とが交わる基準点から少なくとも約０．０００１イン チの距離で交わり、前記曲面と逃げ面とは、前記基準点から少なくとも約０．０ ００１インチの距離で交わるドリル。 ３８．請求項３４に記載のドリルにおいて、前記逃げ面の後端に続いて形成され る２次面と、分割面と対向する逃げ面との交線上に形成されるチゼルエッジとを 備え、前記角面および曲面は、前記切り込み刃に沿って、前記外周からチゼルエ ッジまで延びるドリル。 ３９．請求項３４に記載のドリルにおいて、前記ドリルは超硬合金製であるドリ ル。 ４０．切削先端と、対称軸と、切削先端ですくい面を形成する複数の溝とを有す るドリル本体を備えるドリルであって、 前記切削先端には、隣接する縦溝の間に互いにウェブで連結される複数の側刃 と、前記切削先端の外周から前記対称軸まで広がる逃げ面と、この逃げ面とすく い面との交差部に形成される複数の切り込み刃とが設けられ、 前記切り込み刃には、前記すくい面の前端で角面が形成されるドリル。 ４１．請求項４０に記載のドリルにおいて、前記角面は前記切り込み刃の全長に 沿って形成されるドリル。 ４２．請求項４０に記載のドリルにおいて、前記逃げ面の後端に続いて形成され る２次面と、分割面と対向する逃げ面との交線上に形成されるチゼルエッジとを 備え、前記角面は、前記切り込み刃に沿って、前記外周からチゼルエッジまで延 びるドリル。 ４３．請求項４０に記載のドリルにおいて、前記角面とすくい面とは、前記すく い面の延長線と逃げ面の延長線との交点から少なくとも０．０００１インチの距 離で交わるドリル。 ４４．請求項４０に記載のドリルにおいて、前記ドリルは超硬合金製であるドリ ル。 ４５．請求項４０に記載のドリルにおいて、前記切り込み刃には硬化層が形成さ れるドリル。 ４６．請求項４５に記載のドリルにおいて、前記硬化層は約０．０００１インチ の厚さであるドリル。 ４７．請求項４６に記載のドリルにおいて、前記硬化層は、エータ相と、タング ステンおよびコバルトの複炭化物と、炭化タングステンＷＣと、コバルト金属と を含むドリル。 ４８．切削先端と、対称軸と、切削先端ですくい面を形成ずる複数の溝とを有す るドリル本体を備えるドリルであって、 前記切削先端には、隣接する縦溝の間に互いにウェブで連結される複数の側刃 と、前記切削先端の外周から前記対称軸まで広がる逃げ面と、この逃げ面とすく い面との交差部に形成される複数の切り込み刃とが設けられ、 前記切り込み刃には、前記すくい面の前端で角面が形成されるマイクロドリル 。 ４９．請求項４８に記載のマイクロドリルにおいて、前記角面は前記切り込み刃 の全長に沿って形成されるマイクロドリル。 ５０．請求項４８に記載のマイクロドリルにおいて、前記逃げ面の後端に続いて 形成される２次面と、分割面と対向する逃げ面との交線上に形成されるチゼルエ ッジとを備え、前記角面は、前記切り込み刃に沿って、前記外周からチゼルエッ ジまで延びるマイクロドリル。 ５１．請求項４８に記載のマイクロドリルにおいて、前記角面とすくい面とは、 前記すくい面の延長線と逃げ面の延長線との交点から少なくとも０．０００１イ ンチの距離で交わるマイクロドリル。 ５２．請求項４８に記載のマイクロドリルにおいて、前記マイクロドリルは超硬 合金製であるマイクロドリル。 ５３．請求項４８に記載のマイクロドリルにおいて、前記切り込み刃には硬化層 が形成されるマイクロドリル。 ５４．請求項５３に記載のマイクロドリルにおいて、前記硬化層の厚さは約０． ０００１インチであるマイクロドリル。 ５５．請求項５４に記載のマイクロドリルにおいて、前記硬化層は、エータ相と 、タングステンおよびコバルトの複炭化物と、炭化タングステン（ＷＣ）と、コ バルト金属を含むマイクロドリル。