JPH09504892A - 基板上に書き込まれた文字の識別方法及び識別装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 少なくとも文字を照明し、観察し、識別する段階を含む、基板（２）上に書き込まれた文字（１）を識別するための方法。この方法によれば、文字は、光源（Ｓ１）によってあらゆる文字を含む最小の平らな表面（３）に対して斜めに照明され、有利には電子カメラ（８）によって前記の表面（３）に対して斜めに観察され、さらに文字は、ニューロンネットワーク式認識ソフトウェアを備えた中央処理装置によって識別される。基板（２）上に書き込まれた文字（１）を識別し、そのために前記の識別方法を実行するための装置も対象となる。この方法と装置は、ＩＣ製作用に有用である。

Description

【発明の詳細な説明】 基板上に書き込まれた文字の識別方法及び識別装置 本発明は、電子部品の製造、特に半導体素材でできた基板またはウエハからの ＩＣの製造の分野に関するものであり、各基板に書き込まれた特に英数字の形の 弁別文字またはバーコードから、自動化製造工程での、とりわけこれらの基板の 識別または認識を行う方法または装置に関するものである。 従来技術では、ウエハの形の基板上、より厳密には各ウエハのいずれか一つの 面上に刻まれた文字を識別するための広く普及された方法が知られている。この 方法は、マニピュレータアームを用いて各ウエハを水平に移動させるものである 。これらの文字は、識別される文字を備えた表面の部分がカメラ及び照明システ ムの光軸と同一線上に、かつそれらと垂直になるように配置するために、バスケ ットからウエハを取り出し、次にノッチまたはルート面の形でその周囲にマーキ ングを行うことによってこのウエハを角度をつけて配向するように、垂直に配置 されたバスケットの各溝の中に互いに一列に並べられている。 この方法には多くの欠点があるが、特に、とりわけウエハの処理の際、２５の ウエハを処理するのにおよそ４分ないし６分と、文字識別サイクルの時間が比較 的長いこと、マニピュレータアームによって大きなスペースが必要なこと、照明 システムやカメラのようにこれらウエハの上方に機械的エレメントが存在するこ とによってウエハの粒子の汚染が増大すること、さらに、とりわけマニピュレー タアームの存在によって投資及び運転コストが比較的高くなってしまうことが挙 げられる。 同様に、一つのバスケットのあらゆるウエハをある装置上で角度をつけて配向 させ、ウエハの下に設置されたミラーによってそのバスケットから文字を取り出 さずに他の装置上でウエハの文字を識別する別の方法が存在する。ただし、この ためには、識別されるウエハの手前に位置する２つのウエハを持ち上げる必要が あり、これらの多様なマニピュレーションはウエハの粒子の汚染源となる恐れが ある。 最後に、同一の装置上で、角度をつけて配列させ、同一バスケット内に配置さ れたウエハの識別を行うことができる別の方法があるが、これによると、カメラ 及び照明システムはウエハの上方に配置され、その結果、大気が大きく乱れ、ウ エハの粒子の汚染の危険が増大してしまう。 本発明の目的は、これらの欠点を解消し、他の利点をもたらすことにある。よ り詳細にいえば、少なくとも以下の段階を含むことを特徴とする、基板に刻まれ た文字の識別方法である。 * 前記の文字全体を書き込む最小の平らな表面を通り、その平らな表面に対す る垂線と第一の角度をなす第一平面内に位置する少なくとも一つの第一光源を用 いて前記の文字を直接的に照らす段階。その第一の光源は、前記の平らな表面を 通り、前記の平らな表面に垂直で前記の第一平面にも垂直な第二の平面と第二の 角度をなす直線上に位置している。 * 少なくとも前記の第二の平面に平行な光軸を備え、前記の平らな表面への前 記の垂線と第三の角度をなす、電子式観察手段によって前記の文字を観察する段 階。その光軸は前記の平面と２５°以下の角度をなす。 * 少なくともニューロンネットワーク式認識ソフトウェアによって前記の文字 を識別する。 有利な特徴によれば、前記の第一及び第二の角度は３５〜６５°、好ましくは ４５°であり、前記の第三の角度は４０〜６０°、好ましくは４８°である。 本発明による方法は、文字の斜め照明によって、後続の製造段階中にウエハ上 に現れ、時々各ウエハの識別文字が書き込まれる表面の部分をカバーするもっぱ ら垂直及び水平のカッティングラインとは別に、それらの文字の映像を得ること ができる。垂直及び水平のこれらのカッティングラインは、従来の技術による装 置では、観察される映像に擾乱を発生させ、そのため、文字識別のエラー率が高 くなり、したがってウエハの不良率が高くなる恐れがあった。斜め照明はまた、 文字が刻まれた表面に対して観察される文字のコントラストをさらに強くするこ ともできる。というのも、前記の表面で反射する入射光線は、特に、光線と光軸 が文字の書き込み表面に垂直である場合のように、観察用の光軸中にあるわけで はないからである。 加えて、斜め照明及びカメラの光軸の斜め位置のため、ウエハがバスケットに 配置されるとき、各ウエハを他のウエハに対して移動させることなく、各ウエハ の文字を観察することが可能になる。このように照明され観察された文字の識別 は、特にニューロンネットワーク式認識ソフトウェアによって可能になる。 有利な特徴によれば、本発明による方法は、前記の第二の平面に対して、前記 の第一の光源と対称な少なくとも一つの第二の光源を用いて前記の文字を照らす ことを特徴とする。 この特徴により、カメラの光軸に対して対称な照明が可能になり、したがって 文字の識別のための映像の処理がより簡単になる。 有利な特徴によれば、本発明による方法は、前記の平らな表面を通り、それぞ れ前記の平らな表面に対する垂線と複数の角度をなす、複数の平面内に位置する 複数の光源によって前記の文字が照明されることを特徴とする。 複数の光源は、必要に応じて、特に、偶然に反射体や黒っぽい酸化物の沈積物 を有する可能性のある、文字を書き込む表面の外観に応じて、各光源の光の強さ を変化させることによってより幅広い照明の調節を行うことができる。 別の有利な特徴によれば、本発明による方法は、保持手段中に動かないように 垂直に配置された複数の基板に適用することができ、少なくとも以下の段階を含 むことを特徴とする。 * 前記の基板の下方に位置する少なくとも一つの光源によって第一の基板上に 書き込まれた前記の文字を照らし出す。 * 前記の基板の下方に位置する前記の電子式観察手段によって前記の第一の基 板上に書き込まれた前記の文字を観察する。 * 少なくともニューロンネットワーク式認識ソフトウェアによって前記の文字 を識別する。 * 少なくとも光源と前記の電子式観察手段を、第二の基板の識別位置に置くた めに、前記の複数の基板の整列軸と平行に並進移動させる。 この特徴により、保持手段、特にバスケットの中に配置された複数の基板を識 別することができ、前記の基板は、決められた順番で、マニピュレートされるこ となく、全体の中で一つ一つ識別される。照明と観察は基板の下方から行われる ので、基板は動くことがなく、粒子の汚染も著しく軽減される。 本発明はまた、基板上に刻まれた文字の識別装置であって、前記の基板の位置 決め手段、前記の文字を照明する照明手段、前記の文字を観察する観察手段、前 記の文字を識別する識別手段を備えており、前記の照明手段が、一つの基板の前 記の文字全体を書き込む最小の平らな表面を通り、前記の平らな表面に対する垂 線と第一の角度をなす、第一平面内に位置する少なくとも一つの第一光源を有し 、その第一光源は、前記の平らな表面を通り、前記の平らな表面に垂直で前記の 第一平面にも垂直な第二平面と第二の角度をなし、前記観察手段は、前記識別手 段に少なくとも一つの映像を伝送し、前記平らな表面に対する前記の垂線と第三 の角度をなし、前記の第一平面と２５°以下の角度をなす前記の第二平面に少な くとも平行な光軸を有する電子カメラを備えることを特徴とする文字の識別装置 を対象とする。 本発明の他の特徴及び利点は、添付の図面を参照しながら、本発明のいかなる 限定的解釈も引き出さず例示的なものとして以下に説明する本発明による基板上 に書き込まれた文字の識別装置及び方法の実施例を読めば、明らかになるであろ う。 第１図は、本発明による装置の照明手段及び観察手段の幾何学的配置の実施形 態の第一の例を示す略断面図である。 第２図は、第１図に示した実施例をＦ２方向から見た略前面図である。 第３図は、第１図に示した実施例をＦ１方向から見た略上面図である。 第４図は、本発明による装置の照明手段の幾何学的配置の実施形態の第二の例 を示す略断面図である。 第５図は、第１図、第２図及び第３図による照明手段及び観察手段を有する本 発明による装置の実施形態の一例を示す機能的部分略断面図である。 第６図は、第５図に従った本発明による装置の実施形態の一例を示す断面図で ある。 第７図は、第６図に従った本発明による装置の実施形態の一例を示す前面図で ある。 第１図に部分的に示されている本発明による装置の照明手段及び観察手段の幾 何学的配置は、ウエハ２の形の基板の文字１の識別位置にある所が、第一平面Ｐ １に垂直な断面図として示されている。照明手段は、特に４つの発光ダイオード ダイオード（ＬＥＤ）を用いて実施される第一光源Ｓ１、第二光源Ｓ２、第三光 源Ｓ３、第四光源Ｓ４を有すると有利である。４つの光源Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ ４は基板の文字１全体を書き込んだ最小の平らな表面３を通る平面Ｐ１内にほぼ 位置している。平面Ｐ１は、表面３に対する垂線４と約４５°の第一の角度β１ となるのが好ましく、第１図に示されているように、表面３の長軸の一本を含ん でいるのが好ましい。 ウエハ２は、電子工業において一般的に使用されているタイプの薄いディスク の形のものであり、その前面には、第２図に示されているように、円周付近の区 域にウエハのＩＤ文字が刻まれている。添付の図面に示されているウエハ２と文 字１の例は原寸に比例していず、一般によく見られる代表的なものであるが、決 して限定的なものではなく、たとえば他のあらゆるタイプのウエハ上に書き込ま れたバーコードなど他のあらゆる様式の文字も本発明による装置を用いて識別で きる。 平面Ｐ１において、第一光源Ｓ１、第二光源Ｓ２、第三光源Ｓ３、第四光源Ｓ ４はそれぞれ、特に、第１図をＦ１方向から見た図である第３図（第一平面Ｐ１ に垂直な図）に示されているように、表面３に垂直であり平面Ｐ１にも垂直であ る第二平面Ｐ２と有利には４５°の第二の角度β２を特に形成し、表面３を通る 、第一直線Ｄ１、第二直線Ｄ２、第三直線Ｄ３、第四直線Ｄ４上にほぼ位置して いる。 第２図と第３図に示されているように第一光源Ｓ１と第三光源Ｓ３はそれぞれ 、第二平面Ｐ２に対して第二光源Ｓ２と第四光源Ｓ４と対称とするのが有利であ る。 ４つの光源Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４は、文字１に向けて特に円錐形のその光束 を送り、かつ有利には表面３からほぼ等しい距離の位置にある。第二平面Ｐ２か らそれらの光源を隔てる距離は、たとえば第２図及び第３図に示されているよう に、光源から発する光束が少なくとも表面３のレベルで一部交わるようにすると 有利である。 第１図、第２図、第３図はまた、有利には、光軸９を備えた電子カメラ８を有 する観察手段の幾何学的配置を示している。カメラ８は、第１図、第２図、第３ 図に示されているように、有利には第二平面Ｐ２と一致し、表面３に対する垂線 ４と第三の角度β３を形成する光軸９によって４つの光源Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ ４によって照明される文字１を結像する。第三の角度β３は、第５図、第６図、 第７図により詳細に示されているように、特に４０°から６０°までの値で調節 可能であると有利である。 本発明による装置の照明手段の幾何学的配置の実施形態の第二の例が第４図に 概略的に示されている。照明手段は、表面３に対する垂線４と有利には約４５° を中心として複数のそれぞれの角度βｎをなし、前記の表面３を通る複数の平面 Ｐｎ内に位置する複数の光源Ｓｎを備えている。複数の平面Ｐｎの各々は、第１ 図、第２図、第３図に示されているのと同様の方法で配置されるのが有利であり 、さらに複数の光源Ｓｎの各々は各平面内に配置されている。 第５図は、本発明による装置の実施形態の一例の第１図、第２図、第３図に従 って描かれた幾何学的配置を有する照明手段及び観察手段の運動の一例を示して いる。 ウエハ２は動かず、それらが備えているＩＤ文字が一列に並ぶように配置され ており、第６図と第７図により詳細に示されているように表面３はほぼ平行であ る。４つの光源Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４は、平らな表面３に対する垂線４に平行 な方向１２に沿って、ウエハ２に対して並進移動するサポート１１上に固定され るのが有利である。カメラ８は、その光軸９に平行な方向１４でサポートに対し て並進移動し、かつ方向１３に沿ってほぼ表面３の最長軸の周囲をサポート１１ に対して回転移動することができるように、サポート１１上に取り付けるのが好 ましい。 方向１２に沿ったサポート１１の並進移動によって、各ウエハの文字の照明と 観察が可能になり、方向１４に沿ったカメラ８の並進移動によって、観察の最適 化が可能になり、方向１３に沿ったカメラ８の回転移動によって、特に、第三の 角度β３の適切な調節によって、各ウエハを隔てる間隔１０に応じて観察を調節 することが可能である。 第５図に示されているように、水平軸に沿ってウエハが一列に並んでいる場合 には、照明及び観察手段は、ウエハの下に位置しながら作用するように設計され るのが好ましい。ウエハは、本発明によればあらゆるウエハの識別時間中ずっと 動かないままであることに注目されたい。ウエハをこのように静止させ、照明手 段及び観察手段をウエハの下方に位置決めすることによって、特に、ウエハの粒 子の汚染を最小限に抑えることができる。 第６図及び第７図は、それぞれ、第５図に従った本発明による装置の実施形態 の一例を示す断面図及び前面図である。 この装置は、ウエハ２の位置決め手段を備え、この手段には、ウエハのフォー マットに従って変化する規則正しい間隔で溝の中に次々と垂直に配置される各ウ エハ２を備えたバスケット１５を水平位置に保持できる構造１６と、第７図に示 されているように、各ウエハのＩＤ文字がバスケット１５に対してより低い位置 で一列に並ぶように、あらゆるウエハ２をその整列軸の周りで角度をつけて配向 させるための機構（図示せず）が含まれる。この機構は、ウエハがその円周上に 備えているノッチまたはルート面（図示せず）を一列にすることができる一般的 によく知られた機構であることに注目されたい。この機構は、構造１６の内側で バスケット１５の下方に位置し、中央処理装置１８から制御することができる用 にするのが有利である。この結果、前記の機構の自動制御が可能になる。 この装置はまた、第１図、第２図、第３図、第５図によって規定されるような 照明手段及び観察手段を備えていると有利である。サポート１１は、たとえば、 ウエハの整列軸に平行な２本のガイドバー１７に沿って並進誘導される。サポー ト１１に対するカメラ８の並進及び回転誘導は、従来の何らかの方法、たとえば ガイドレールシステム（図示せず）によって行われ、サポート１１に対するカメ ラ８の移動は特に手動で行われる。サポート１１に対するカメラ８の位置は識別 プロセスの前に調節される。サポート１１の移動は、従来の何らかの方法によっ て、機械化され（図示せず）、照明手段及び観察手段の移動の自動誘導が可能な ように中央処理装置１８を介して制御可能である。同様に、カメラ８と光源Ｓ１ 、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の作動は、照明手段及び観察手段の完全な自動誘導、または モニタを用いた文字識別の監視（図示せず）あるいはその両方が可能なように、 中央処理装置１８を介して制御可能とするのが望ましい。 この装置はさらに、特に、映像処理ソフトウェア及びニューロンネットワーク による文字認識ソフトウェアを含み、この装置の有利にはカメラ８によって観察 され伝送された映像に応じて文字を識別する手段を備えている。 映像処理ソフトウェアは伝送された映像を粗描することができ、またニューロ ンネットワーク式認識ソフトウェアによって、オペレータは、たとえばモニタ（ 図示せず）を介して文字を視覚化及び識別することが可能になる。ニューロンネ ットワーク式認識ソフトウェアはまた、伝送された映像をネットワーク上の情報 処理に利用できる情報に変換することができる。このような利用法の場合には特 に、中央処理装置は、必要に応じて一定の製造プロセスやプロセスのある段階に 適合したウエハ識別サイクルの管理ソフトウェアを備えている。このように、本 発明による装置は、全面的に自動化された誘導が可能である。 ニューロンネットワーク式認識ソフトウェアはまた、文字認識の迅速性の利点 つまり生産性ゲイン、さらに文字識別エラー率の低さつまり製造不良率の低さを もたらす。 本発明による装置のウエハ位置決め手段及び文字の照明及び観察手段は、識別 プロセス中にウエハが静止しているため、また照明手段と観察手段とバスケット の下方へのウエハの配向機構が一体化しているため、特に比較的コンパクトな大 きさに組み込まれる。プラスチック材料を大量に使用することによって、重量を １５キログラム未満に抑えることができ、その結果、移動や持ち運びが容易にな る。最後に、情報処理の統合化、本発明による装置をネットワークとつないで利 用することもできる。

【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９５年９月７日 【補正内容】 補正請求の範囲 １．垂直に配置した静止する複数の基板（２）上に刻まれた文字（１）の識別方 法であって、少なくとも * 前記複数の基板の下方に位置し、前記複数の基板の第一の基板の前記の文字 全体を書き込む最小の平らな表面（３）を通り、その平らな面に対する垂線（４ ）と第一の角度（β１）をなす第一平面（Ｐ１）内に位置し、かつ前記の平らな 表面を通り、その平らな表面に垂直で第一の平面（Ｐ１）に垂直な第二の平面（ Ｐ２）と第二の角度（β２）をなす、直線（Ｄ１）上に位置する、少なくとも一 つの第一光源（Ｓ１）を用いて前記複数の第一の基板の文字を直接的に照らし出 す段階と、 * 前記複数の基板の下方に位置し、第二の平面（Ｐ２）に少なくとも平行で、 前記の平面（Ｐ１）と２５°以下の角度をなす、光軸（９）を備え、前記の平ら な表面（３）に対する前記の垂線（４）と第三の角度（β３）をなす、電子式観 察手段（８）によって前記の文字を観察する段階と、 * 少なくともニューロンネットワーク式認識ソフトウェアによって前記第一の 基板の前記の文字を識別する段階と、 * 少なくとも前記第一の光源と前記観察手段を、前記複数の基板の整列軸と平 行に並進移動させて、前記複数の基板のうちの第二の基板の文字識別位置に配置 する段階と を含むことを特徴とする方法。 ２．前記の第一の角度（β１）が３５〜６５°、好ましくは４５°であることを 特徴とする請求項１に記載の方法。 ３．前記の第二の角度（β２）が３５〜６５°、好ましくは４５°であることを 特徴とする請求項１または２に記載の方法。 ４．前記の第三の角度（β３）が４０〜６０°、好ましくは４８°であることを 特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の方法。 ５．前記の第二の平面（Ｐ２）に対して前記の第一の光源（Ｓ１）と対称な少な くとも一つの第二の光源（Ｓ２）を用いて前記の文字（１）を照らし出すことを 特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の方法。 ６．前記の平らな表面（３）を通り、それぞれ前記の平らな表面に対する垂線（ ４）と複数の角度（βｎ）をなす、複数の平面（Ｐｎ）内に位置する複数の光源 （Ｓｎ）を用いて前記の文字を照らし出すことを特徴とする請求項１ないし５の いずれか一項に記載の方法。 ７．基板（２）上に刻まれた文字の識別装置（１）であって、前記の基板の位置 決め手段と前記の文字の照明手段、前記の文字の観察手段及び前記の文字の識別 手段を備えており、前記位置決め手段が、前記基板を垂直の静止位置に保持する ことのできるバスケット（１５）を備え、基板の前記した前記文字全体を書き込 むことのできる、少なくとも一つの最小の平らな表面（３）を規定し、前記の照 明手段が、一つの基板の文字全体を書き込む最小の平らな表面（３）を通り、前 記の平らな表面に対する垂線（４）と第一の角度（β１）をなす、第一平面（Ｐ １）内に位置する少なくとも一つの第一の光源を備えており、前記の第一の光源 が、前記の平らな表面に垂直で前記の第一平面にも垂直な第二の平面（Ｐ２）と 第二の角度（β２）をなし、前記の平らな表面を通る、直線（Ｄ１）上に位置し ており、前記の観察手段が、前記の識別手段に対して少なくとも一つの映像を伝 送し、前記の平らな表面（３）に対する前記の垂線（４）と第三の角度（β３） をなし、前記の第一の平面と２５°未満の角度をなす、電子カメラ（８）を備え ており、前記装置が、前記照明手段と前記観察手段を前記基板の整列軸と平行に 並進移動する手段を備えていることを特徴とする装置。 ８．前記の第一の角度（β１）が３５〜６５°、好ましくは４５°であることを 特徴とする請求項７に記載の装置。 ９．前記の第二の角度（β２）が３５〜６５°、好ましくは４５°であることを 特徴とする請求項７または８に記載の装置。 １０．前記の第三の角度（β３）が４０〜６０°、好ましくは４８°であること を特徴とする請求項７ないし９のいずれか一項に記載の装置。 １１．前記の照明手段が、前記の第二の平面（Ｐ２）に関して前記の第一の光源 （Ｓ１）と対称な少なくとも一つの第二の光源（Ｓ２）を備えていることを特徴 とする請求項７ないし１０のいずれか一項に記載の装置。 １２．前記の平らな表面（３）を通り、それぞれ前記の平らな表面に対する垂線 （４）と複数の角度（βｎ）をなす、複数の平面（Ｐｎ）内に位置する複数の光 源（Ｓｎ）を備えていることを特徴とする請求項７ないし１１のいずれか一項に 記載の装置。 １３．少なくとも前記の位置決め手段と前記の照明手段と前記の観察手段が前記 の基板（２）の下方に延びることを特徴とする請求項７ないし１２のいずれか一 項に記載の装置。 １４．前記の文字の前記の識別手段が、前記の観察手段によって伝送された映像 を解釈するための少なくとも一つのニューロンネットワーク式認識ソフトウェア を備えていることを特徴とする請求項７ないし１３のいずれか一項に記載の装置 。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オラニョン，マルセル フランス国 エフ―31840 オソンヌ・ゾ ーン アンド ストリエル ドゥ ムーラ ン・（番地なし) (72)発明者 ポリ，ベルナール フランス国 エフ―31480 コックス・ （番地なし)

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．基板（２）上に刻まれた文字（１）の識別方法であって、少なくとも * 前記の文字全体を書き込む最小の平らな表面（３）を通り、前記の平らな面 に対する垂線（４）と第一の角度（β１）をなす第一平面（Ｐ１）内に位置し、 前記の平らな表面を通り、前記の平らな表面に垂直で第一の平面（Ｐ１）に垂直 な第二の平面（Ｐ２）と第二の角度（β２）をなす、直線（Ｄ１）上に位置する 、少なくとも一つの第一光源（Ｓ１）を用いて前記の文字を直接的に照らし出す 段階と、 * 第二の平面（Ｐ２）に少なくとも平行で、前記の平面（Ｐ１）と２５°以下 の角度をなす、光軸（９）を備え、前記の平らな表面（３）に対する前記の垂線 （４）と第三の角度（β３）をなす、電子式観察手段（８）によって前記の文字 を観察する段階と、 * 少なくともニューロンネットワーク式認識ソフトウェアによって前記の文字 を識別する段階と を含むことを特徴とする方法。 ２．前記の第一の角度（β１）が３５〜６５°、好ましくは４５°であることを 特徴とする請求項１に記載の方法。 ３．前記の第二の角度（β２）が３５〜６５°、好ましくは４５°であることを 特徴とする請求項１または２に記載の方法。 ４．前記の第三の角度（β３）が４０〜６０°、好ましくは４８°であることを 特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の方法。 ５．前記の第二の平面（Ｐ２）に対して前記の第一の光源（Ｓ１）と対称な少な くとも一つの第二の光源（Ｓ２）を用いて前記の文字（１）を照らし出すことを 特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の方法。 ６．前記の平らな表面（３）を通り、それぞれ前記の平らな表面に対する垂線（ ４）と複数の角度（βｎ）をなす、複数の平面（Ｐｎ）内に位置する複数の光源 （Ｓｎ）を用いて前記の文字を照らし出すことを特徴とする請求項１ないし５の いずれか一項に記載の方法。 ７．保持手段（１５）中で垂直に動かないように配置された複数の基板に適用さ れ、少なくとも * 前記の基板の下方に位置する少なくとも一つの光源によって、第一の基板上 に書き込まれた前記の文字を照らし出す段階と、 * 前記の基板の下方に位置する前記電子観察手段によって、第一の基板上に書 き込まれた前記の文字を観察する段階と、 * 少なくともニューロンネットワーク式認識ソフトウェアによって前記の文字 を識別する段階と、 * 少なくとも光源と前記の観察手段が第二の基板の識別位置に置かれるように 、前記の複数の基板が整列軸に平行に並進移動する段階と、 を含むことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の方法。 ８．基板（２）上に刻まれた文字の識別装置（１）であって、前記の基板の位置 決め手段と前記の文字の照明手段、前記の文字の観察手段及び前記の文字の識別 手段を備えており、前記の照明手段が、一つの基板の文字全体を書き込む最小の 平らな表面（３）を通り、前記の平らな表面に対する垂線（４）と第一の角度（ β１）をなす、第一平面（Ｐ１）内に位置する少なくとも一つの第一の光源を備 えており、前記の第一の光源が、前記の平らな表面に垂直で前記の第一平面にも 垂直な第二の平面（Ｐ２）と第二の角度（β２）をなし、前記の平らな表面を通 る、直線（Ｄ１）上に位置しており、前記の観察手段が、前記の識別手段に対し て少なくとも一つの映像を伝送し、前記の平らな表面（３）に対する前記の垂線 （４）と第三の角度（β３）をなし、前記の第一の平面と２５°未満の角度をな す、電子カメラ（８）を備えていることを特徴とする装置。 ９．前記の第一の角度（β１）が３５〜６５°、好ましくは４５°であることを 特徴とする請求項８に記載の装置。 １０．前記の第二の角度（β２）が３５〜６５°、好ましくは４５°であること を特徴とする請求項８または９に記載の装置。 １１．前記の第三の角度（β３）が４０〜６０°、好ましくは４８°であること を特徴とする請求項８ないし１０のいずれか一項に記載の装置。 １２．前記の照明手段が、前記の第二の平面（Ｐ２）に関して前記の第一の光源 （Ｓ１）と対称な少なくとも一つの第二の光源（Ｓ２）を備えていることを特徴 とする請求項８ないし１１のいずれか一項に記載の装置。 １３．前記の平らな表面（３）を通り、それぞれ前記の平らな表面に対する垂線 （４）と複数の角度（βｎ）をなす、複数の平面（Ｐｎ）内に位置する複数の光 源（Ｓｎ）を備えていることを特徴とする請求項８ないし１２のいずれか一項に 記載の装置。 １４．少なくとも前記の位置決め手段と前記の照明手段と前記の観察手段が前記 の基板（２）の下方に延びることを特徴とする請求項８ないし１３のいずれか一 項に記載の装置。 １５．少なくとも、前記の基板が整列軸と平行に前記の照明手段及び前記の観察 手段の並進移動手段（１１、１７）を備えることを特徴とする請求項１４に記載 の装置。 １６．前記の文字の前記の識別手段が、前記の観察手段によって伝送された映像 を解釈するための少なくとも一つのニューロンネットワーク式認識ソフトウェア を備えていることを特徴とする請求項８ないし１５のいずれか一項に記載の装置 。