JPH09511338A - 遠隔式漏洩検知方法並びに装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、種々の濾過ユニットの粒子フィルタ装置の状況を監視するための改善された方法と装置である。本発明は、濾過ユニットを横切るように設けられた一つ又はそれ以上の光源と、一つ又はそれ以上のこれに対応する検出器とを使用し、光源からの光の強度の変化を検出する。漏洩が発生して塵埃か或る濾過ユニットの周辺の大気中に放出されると、検出器は光強度の減少を感知し、問題が生じたことを知らせる。複数の光源と検出器を使用することにより、又は一つの光源と検出器からの異なる角度での信号を得ることにより、本発明は漏洩箇所の迅速且つ正確な特定を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】 遠隔式漏洩検知方法並びに装置 技術分野 本発明は粒子濾過装置の漏洩検出方法並びに装置に関し、特に、濾過設備内の フィルタバッグ、フィルタカートリッジ、その他のフィルタ装置の漏洩を遠隔位 置で検知する方法と装置に関する。遠隔式漏洩検出方法は濾過工程の最適化に役 立つ。 背景技術 濾過設備の保守における共通の問題は、フィルタ装置（フィルタバッグやフィ ルタカートリッジ等）の漏洩の監視にある。単一のフィルタ装置（カートリッジ やバッグ等）の漏洩の検出は一般的に難しくないが、マトリックス状に行列をな して配置された多数のフィルタ装置を具えた巨大な濾過設備における漏洩を検出 してその漏洩位置を特定することは、非常に面倒な（そして場合によっては危険 な）作業であることが多い。以下に説明するように、現在行われている漏洩検出 方法は、どれも完全に満足すべきものとは考えられない。 現在、単一のバッグの漏洩検出は、いわゆる「ブラックライト」テストを用い て行われている。この方法では、濾過設備の上流側の生ガスの流れの中に蛍光性 の粉末が導入される。漏洩の疑いのある区画がラインから外されるか遮断され、 多くの場合、作業員が中に入れるようになるまで数時間にわたって冷却される必 要がある。そして、通常、保護服を着用した保守作業員が該区画に入り、問題の ありそうなフィルタ装置の清浄ガス側に紫外線（ブラックライト） を照射し、清浄ガス側に漏洩した蛍光粉末を探す。清浄ガス側に蛍光粉末が存在 しているフィルタ装置には漏洩が見つかる。チューブシート内のバッグの設置領 域の漏洩の検出にも同じ方法が用いられる。言うまでもないことであるが、この 方法は高価で且つ時間のかかるやり方である。疑いのある区画で漏洩フィルタ装 置が見つからない場合には、次に他の区画を遮断しなければならず、正常作業の 中断と危険な濾過物の環境空気中への放出がこれに伴う。更に、高温、毒性ガス 、毒性塵埃（例えばダイオキシンやフラン及び重金属を含んだ塵埃）がこの環境 中に見出されることの多い濾過設備によじ登って中に入ることは危険な仕事であ る。ブラックライトテストは漏洩の検出に最も普通に使用されている方法である が、この方法は、連続吐出監視システム（ＣＥＭＳ、不透明メーター等）等の別 の方法によって煙道ガス中の塵埃濃度が高くなったことが観測された場合にのみ 、使用することができる。 不透明性のテストは、煙突を介してガス清浄化装置から排出される煙道ガス中 の塵埃の吐き出しを検出するのに使用される。この不透明性テストは、煙道ガス 煙突から排出されるガス流中に混入している塵埃粒子を通じて光が吸収される吸 光率を測定するものである。これらの測定は、塵埃の漏洩を定量的に求めるため に煙突内でのみ行われるもので、破損又は取付け不良のフィルタバッグを特定す るためのものではない。市販の不透明メーターは、オハイオ州WickliffeのBaile y Controls Co.、ペンシルバニア州LevittownのDatatest Inc.、インディアナ州 IndianapolisのEnviroplan Inc.、ペンシルバニア州BristolのLand Combustion Inc.、コロラド州EnglewoodのMonitor Labs Corp.、ミシガン州Farmington Hill sのMontrol Co. 等から市販されている。 塵埃粒子濃度の遠隔検知は他の応用分野で研究されてきた。例え ば、G.Ramachandran等の「Exraction of Aerosol-Sized Distributions from Mu ltispectral Light Extinction Data（マルチスペクトル吸光データからのエア ロゾルサイズの分布の抽出）」１７Aerosol Science and Tech３０３−２５（１ ９９２年）、G.Ramachandran等の「Exraction of Aerosol-Sized Distributions from Multispectral Light Extinction Measurements with Computed Tomograp hy（ＣＴによるマルチスペクトル吸光の測定からのエアロゾルサイズの分布の抽 出）」１１J．Opt．Soc．Am．A１４４（１９９４年１月）、Todd等の「Evaluati on of Algorithms for Tomographic Reconstruction of Chemical Concentratio ns in Indoor Air（屋内空気の化学薬品濃度のトモグラフィ的再構築のためのア ルゴリズムの評価）」５５Am．Ind．Hyg．Assoc．J．４０３（１９９４年５月） を参照されたい。この研究の目的は、塵埃濃度、塵埃粒子サイズの分布、屋内空 気（例えば産業労働者に曝されている職場の空気）のガス組成を検出することに あった。これらのアイデアは、環境空気の組成のリアルタイムでの測定である。 この目的は、レーザーを用いて二次元平面内で室内空気をスキャニングすること によって得られた。広い領域をスキャニングするのに必要なレーザーと検出器の 数を減らすために、一連のミラーを設けて光のビームを各レーザーとそれに関連 する検出器との間の経路を通じて反射させることが提案された。これらの研究に よって職場の汚染状態の遠隔検知の理論的な解決策が得られたが、明かにそのよ うなシステムは実用化されなかった。 本発明に到達するまでは、このタイプの遠隔検知システムを、濾過設備のフィ ルタ装置の状況を監視するのに使用しようとする試みや改造は提案されていなか った。その理由の一つは、多分、濾過設備の環境が非常に苛酷であって、特別な 設備パラメータが必要だか らだと思われる。例えば、代表的な濾過設備は、振動、酸性ガス、高温、並びに フィルタの清浄ガス側でさえも塵埃濃度がかなり高い混乱した条件に満ちている 。 従って、本発明の第１の目的は、濾過設備のフィルタ装置の状態の変化を検出 するための確実で効率的な方法と装置を提供することにある。 本発明の他の目的は、濾過設備の作業の最小限の中断で且つ環境の影響を減少 して、漏洩している装置を迅速に特定できる、濾過設備のフィルタ装置の状態の 変化を検出するための方法と装置を提供することにある。 本発明の更に他の目的は、粒子サイズと濃度の監視を行える、濾過設備のフィ ルタ装置の状態の変化を検出するための方法と装置を提供することにある。 これらの及び他の本発明の目的は、次の説明の再吟味により明らかとなるでろ う。 発明の開示 本発明は、多くのフィルタユニット内のフィルタ装置の状況を監視する改良さ れた方法と装置とである。その最も簡単な形態では、本発明は光センサ並びに測 定装置と連携して使用する光源を具えている。フィルタ装置の上面、側面及び／ 又は底面を横切るように光源を向けることによって、ベースライン測定が行われ る。同じ光経路を通る次の測定によって、フィルタ装置を通過する光量の変化が 示される。このようにして、漏洩その他のフィルタ装置の状況の変化がリアルタ イムで監視される。特定の光ビームの強度の減少によって、漏洩フィルタ装置か らの塵埃が光経路に存在していることが示される。 多数のフィルタ装置の配列を具えた通常の濾過への適用においては、フィルタ 装置の行と列での変化を検出するために、一連の光源及び／又はセンサが設けら れ得る。次に、フィルタ配列からのマトリックス状測定での変化を求めることに よって、漏洩箇所が迅速に特定される。電子的測定、監視装置を用いることによ って、作業員を濾過設備の苛酷な環境に曝すことが少なくなり、又は完全に無く すことができる。 本発明によれば、使用者は工程を妨害することなく、外部から濾過設備内の個 々のフィルタの漏洩を検出することが可能となる。濾過設備の清浄ガス側が一つ 又は数個の光源によってスキャニングされ、複数の光ビームは一つ又は数個の検 出器によって検出される。 図面の簡単な説明 本発明の作用は、添付の図面を参照して以下の説明によって明らかになるであ ろう。 図１は複数のフィルタアセンブリを具えたパルスジェット式濾過設備の半横向 きの等角投影図である。 図２は本発明に使用される光源とセンサの一実施例の模式図である。 図３は濾過設備の組み立ての上部破断図であり、フィルタチューブシートを示 すと共に、本発明の一実施例に使用される光源とセンサの配置を示している。 図４は濾過設備の組み立ての上部破断図であり、フィルタチューブシートを示 すと共に、本発明の他の実施例に使用される光源とセンサの配置を示している。 図５は濾過設備の組み立ての上部破断図であり、フィルタチューブシートを示 すと共に、本発明の更に他の実施例に使用される光源 とセンサの配置並びにそのような実施例の電子的制御システムを示している。 図６は濾過設備の組み立ての上部破断図であり、フィルタチューブシートを示 すと共に、本発明の別の実施例に使用される光源とセンサの配置を示している。 図７は本発明の装置の他の応用例を示す振動式又は逆風式濾過設備の半横向き 透視図である。 発明を実施するための最良の形態 本発明は、粒子濾過装置における漏洩その他の変化を検出するための改良され た方法と装置である。 図１には、煙道ガス入口１２、煙道ガス出口１４、複数のフィルタ（バッグや カートリッジ等）アセンブリ１６を具えた代表的なパルスジェット型の濾過設備 １０が示されている。各フィルタアセンブリ１６は、フィルタ（バッグやカート リッジ）１８と支持ケージ２０を具えている。ガスはフィルタ１８を通って濾過 され、フィルタ上にダストケーキを形成する。フィルタ上に充分に厚いダストケ ーキが形成されると、フィルタの前後の圧力低下を減少させるように、フィルタ を清掃する必要がある。この特別なタイプの濾過装置の場合には、フィルタ１８ はパルスジェットをパルスジェットパイプ２２から吹き出すことによって清掃さ れる。清浄空気は、清浄空気出口１４を通って集塵装置から出て行く。 正常作用の際には、フィルタアセンブリの上方の空気は比較的清浄であり、フ ィルタを通じて漏洩する塵埃による汚染は極めて少ない。しかし、フィルタの一 つに漏洩が生じると、塵埃粒子は清浄空気側に侵入し、環境を汚染する。現在の 所、過剰な塵埃がフィルタの清浄側に存在していることを、清浄空気出口での検 出、又はフィ ルタ設備を出る過剰な塵埃の検出を通じて（例えば「煙突」を通じて）作業員が 観察することにより、そのような漏洩を見出す必要がある。 次に、この漏洩箇所の正確な位置を知るために、トレーサ材料（例えば紫外線 顔料粉末）を漏洩の疑いのあるフィルタの上流側の生ガス中に導入し、フィルタ の下流側で紫外線（ブラックライト）を使用して漏洩箇所を特定する面倒な作業 が行われる。前述したようにこの作業は時間がかかり、作業員の健康を害し、且 つこの特定作業の間は設備を過剰に停止する必要がある。本発明の装置を使用す れば、この作業を完全に回避することが可能である。 図２は、本発明に使用される検出装置２４の基本的な構成を示す。この装置は 光源２６と独立した検出器２８とを有する。適当な光源としては、従来型のラン プ（白熱灯、ハロゲンランプ、アーク灯、蛍光灯等）、レーザー、赤外線ランプ 、紫外線ランプ等が挙げられる。この光源は、最大約１５ｍまでの距離を経て正 確に照射可能な収束ビームを発生するものであることが望ましい。更に、この光 源は、経時的に非常に一定した光強度を有することが必要である。 検出器２８は光源と協働して光源を測量し、時間経過による光源の変化を測定 するのに充分な感度を有するものでなければならない。本発明に使用される好適 な検出器は、選択された光源の適宜な波長と濾過設備の温度において作動する光 電セルを含む。検出器の感度は時間経過によって大きく変化しないことが重要で ある。又、光源と検出器は、振動その他の物理的攻撃、化学的攻撃、塵埃堆積そ の他の濾過設備特有の条件によって、時間経過と共に閉塞されたり妨害されたり しないことが重要である。 作動に当たって、光源２６をフィルタ装置の上面、側面及び／又は底面を貫通 して検出器２８に照射することによって、ベースライ ンの測定が行われる。同じ光経路による引き続く測定によって、フィルタ装置を 通過する光の量の変化が求められる。このようにして、フィルタの漏洩を監視す ることができる。特定の光ビームの強度の減少によって、光経路内における漏洩 フィルタ装置からの塵埃３０が検出される。殆どの用途において、光源２６は所 定量の光エネルギを発し、検出器２８はその光量を監視して時間が経過してもそ れが一定に維持されていることを確認するが、光強度に予め設定された変化が生 じた場合には、検出器は信号を発して、有意な塵埃が検出されたので漏洩が生じ たか又は起こりそうな状況にあることを知らせる。 その最も基本的な作業は、単一の光源２６と検出器２８をフィルタバッグアセ ンブリの行と列に沿って手動又は自動的に動かし、繰り返してその結果を読み取 ることである。図３に示すように、チューブシート３３に取付けられたフィルタ ３２に漏洩が検出された場合には、適正な行と列（即ち、パルスジェット型フィ ルタにおいては、行と列はパルスジェットパイプに平行なフィルタバッグの配列 線とそれに垂直な配列線として規定され得る）の両方に沿って測定を行うことに よって、その正確な位置を特定することができる。検出器の測定結果は現場で読 み取られるか、又は遠隔制御ユニットで読み取られる。認識されるように、この 作業は、濾過設備の環境内での漏洩箇所の特定のための従来方法に比べて、はる かに迅速に、より正確に、且つより安全に行われる。更に、この作業は濾過設備 の正常作業を阻害する必要なく、安価に且つ短時間の設備停止で行うことができ る。 本発明の検知装置は濾過設備に恒久的に設置され、フィルタアセンブリの定期 的なまたは常時のフィードバックを可能にするのが好ましい。図４には該装置の 一実施例が示されている。この実施例で は、一連の光源３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄとこれらに対応する検出器３６ ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄが、濾過設備の行に沿って配置され、別の一連の光 源３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄとこれらに対応する検出器４０ａ，４０ｂ， ４０ｃ，４０ｄが濾過設備の列に沿って配置されている。一旦このように配置さ れると、光強度の如何なる変化も周期的又は連続的に濾過設備を横切って監視さ れ、漏洩が生じた場合には直ちに（リアルタイムで）フィードバックされる。図 ４の例では、フィルタ４２の漏洩によって、検出器３６ｃと４０ｂによって検出 された光が減少する。このようにして、技術者は直ちに漏洩源を特定し、例えば 交換や修理が完了するまで漏洩フィルタをラインから外したりして修正作業を行 うことができる。更に、本発明を電子的制御システム内に組み込み、コンピュー タによって漏洩箇所を特定し、適宜な自動制御を通じて即応的な修正作業を行う ようにしてもよいことが期待される。殆んど直ちにフィルタ区域をラインから外 し、個々のフィルタを閉鎖又は交換することができる。このような処置は作動フ ィルタ面積を減少させるが、ユーザーは次回の漏洩フィルタの遮断まで濾過作業 を続行することができる。 本発明の別の実施例が図５に示されている。本発明においては、光源が設置、 維持に最も費用がかかるので、そのようなものとして対象となる設備において一 つの光源を複数の検出器と共に使用するように取付けてよいことが考えられる。 図５は一つの光源４３と一連の半透明ミラー４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４４ｄ， ４４ｅ，４４ｆ及びミラー４６ａ，４６ｂを用いて、一本の光ビームを８個の検 出器５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ，５０ｆ，５０ｇ，５０ｈのいず れか一つに向かわせる状態を示している。作動の際に、一定の光ビームが種々の 半透明ミラー４４とミラー４６を通過し 反射されて検出器５０に向けられ得る。これらの半透明ミラーの透明度を注意深 く選ぶことによって、各検出器に対してほぼ等しい光強度が供給され得る。各検 出器は光強度の変化のみを測定することを求められており、且つそのように較正 され得るので、適正な作用を行わせるのに等しい光強度は必須のものではないこ とを理解すべきである。これらの光学装置は苛酷な濾過設備の環境によって曇り を生じることに留意しなければならない。煙道ガスに曝される光学装置の清掃等 の特別な注意を払って、この曇りを最少限にする必要があろう。遠隔検知装置の 較正もしばしば行う必要があろう。ここでも検出器５０ｂと５０ｇによってフィ ルタ５２の漏洩が検出され、欠陥フィルタの正確な位置が与えられる。 図５には、本発明に使用される電子制御装置５４の一例が示されている。各検 出器５０は１本又はそれ以上のケーブル５６によってこの制御装置５４に接続さ れている。費用を節約し、且つ偽の警報の可能性を少なくするために、各検出器 はそれ自体のマイクロコントローラを具え、且つすべてのケーブルは一本の母線 ケーブルライン５６を介して遠隔電子制御装置に接続されていることが望ましい 。この例では、各マイクロコントローラは各検出器からのアナログ信号を監視し 、該アナログ信号をデジタル信号に変換し、これらのデジタル信号は中央制御装 置５４（遠隔場所に設けられているかもしれない）に送られる。これはデータを 送るのにがん丈で効果的なやり方である。 図４、５の実施例の利点の中には、動く部品を使用する必要がないことであり 、これによって保守や故障の危険が減る。更に、常時監視を行い、フィルタの漏 洩を補修することができるので、従来よりも濾過設備の運転全体が清浄になり、 効率的な作業が可能になることが保証される。正常なバッグの汚染が防止でき、 又、必要に応 じて製造上の誤差を補償することによって、放出量を絶対最小限に抑えることが できる。この遠隔検知方法は、個々のフィルタの性能を評価することのできる初 めての方法である。最高水準の性能を発揮してないバッグを、環境破壊が生じる 前に交換できる。更に、漏洩の発見と補修が極めて困難なために従来型のバッグ フィルター設備を安全に使用できないような、汚染に対して敏感な環境において 、本発明は、静電集塵装置（ＥＳＰ）等の他のシステムよりも遥に合理的な価格 の代替手段を提供する。 図６には、本発明の更に別の実施例が示されている。この実施例は、検出器５ ８と光源６０のコストを減らすことを目的としている。この例では、一つ又はそ れ以上の光源６０ａ，６０ｂが、濾過設備を横切って種々の箇所を向くように回 転可能に設けられている。適宜に設置されたミラー６２及び／又は半透明ミラー を介して、光信号が種々のフィルタを横切って一つ又はそれ以上の検出器５８ａ ，５８ｂに向けられる。漏洩フィルタの位置は、光源の角度位置と光強度の変化 を示した検出器を求めることによって決定される。本発明のこの実施例は、コン ピュータによる断層写真技術（computed tomography）と組み合わせることによ って漏洩フィルタの正確な位置を迅速に求めるのに特に有効である。コンピュー タのハードウエアとソフトウエアを組み合わせて、この装置を使用した濾過設備 の横断的な正確な塵埃濃度情報を知ることができる。 本発明の原理は、事実上すべての形状のフィルタ装置及び広範な濾過設備構造 において使用可能であることが理解されるべきである。図７は、本発明の検知装 置の更に他の実施例を示す。この例では、濾過設備６４は逆風式又は「振動」式 の設備であり、塵埃はフィルタバッグ６６の内側に堆積し、溜まった塵埃は逆向 きの気流を流すことにより、又はフィルタを揺さぶることにより、周期的に清掃 される。本発明の装置はフィルタの上部に取付けられてこの環境内での漏洩を検 出してもよいが、フィルタの側面に沿って取付けられてその長さ方向の漏洩を検 出するようにしてもよい。 本発明のすべての実施例において、フィルタ性能及びその完全性を監視するた めの改良された方法が提供されている。本発明の共通の利点には、設置が容易で 、既存のフィルタ装置の改装が可能で、しかも比較的簡単な設備で、その結果信 頼性が高く、保守が容易な点がある。その上、本発明を使用すれば、作業員の労 働コストが時間と健康の危険性の両面で大幅に少なくなる。最も重要なことは、 本発明によって、従来の検出装置に比して、漏洩がより早く、より確実に発見で き、これによって濾過設備全体の効率が確実に改善される点にあると考えられる 。 以上、本発明の特別な実施例について図解し記述したが、本発明はこれらの図 解、記述に限定されるものではない。これらの変形及び改変をも本発明の一部と して、次にのべる特許請求の範囲内で複合化、具体化され得ることは明らかであ ろう。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，Ｂ Ｇ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＪＰ，ＫＥ， ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＴ，ＬＵ，Ｌ Ｖ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ， ＴＴ，ＵＡ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者 ビルニッヒ，ウルリッヒ ドイツ連邦共和国，92318 ノイマルクト、 アイヘンドルフシュトラーセ ６

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．フィルタ装置の一方の側に光源を設け、 前記フィルタ装置を通過した前記光源からの信号を受け取るためのセンサを設 け、 前記センサが受け取る光の量の変化を測定する計測器を設け、 前記光源とセンサとの間の前記フィルタ装置を通過する光の量を測定して、ベ ースラインの計測を行い、 前記光源とセンサとの間の前記フィルタ装置を通過する光の量を再測定して、 現在状況の計測を行い、 ベースライン計測結果を現在状況の計測結果と対比、これによって現在状況の 計測結果がベースライン計測結果と異なる場合には、フィルタ装置の状況に変化 があったことを検出する、 各ステップを含む、空気中に分散した粒子を放出する濾過ユニットを監視する方 法。 ２．更に、 その光がフィルタ装置を通過するように照射するための光源を取付け、 光源からの光を受け取るようにセンサを取付け、 フィルタの作動中にセンサが受け取る光の量の変化をリアルタイムで計測する 、 各ステップを含む請求項１に記載の方法。 ３．更に、 フィルタ装置の配列を設け、 該フィルタ装置の配列を通過する光の量の変化を検出するために、複数の光源 と、複数のセンサとを取付ける、 各ステップを含む請求項２に記載の方法。 ４．更に、 マトリックス状に行と列をなして取付けられた一連のフィルタ装置からなるフ ィルタ装置の配列を設け、 二組の光源とセンサとを設け、一方の組はフィルタ装置の行を横切る測定を行 うように配置され、他方の組はフィルタ装置の列を横切る測定を行うように配置 され、 光源とセンサの各組によって行われた計測結果を比較して前記マトリックスの 交差点を求め、任意のフィルタ装置の状態の変化を検出する、 各ステップを含む請求項３に記載の方法。 ５．更に、 マトリックス状に行と列をなして取付けられた一連のフィルタ装置の配列を設 け、 少なくとも一つの光源と少なくとも一つのセンサとを設け、該光源とセンサは 一行のフィルタ装置と一列のフィルタ装置とを横切って計測を行なうように配置 し、 フィルタ装置の行を横切る計測とフィルタ装置の列を横切る計測を比較して該 マトリックス内の交差点を求めることによって、所与のフィルタ装置の状況の変 化を検出する、 各ステップを含む請求項２に記載の方法。 ６．更に、フィルタ装置を横切る光の連続的な計測を行うステップを含む請求 項１に記載の方法。 ７．更に、フィルタ装置を横切る光の周期的な計測を行うステップを含む請求 項１に記載の方法。 ８．フィルタ装置の一側面に位置するように適合された光源と、 該光源からの光を検出するために、フィルタ装置を横切る光源からの光信号を 受け取るように位置すべく適合されたセンサと、 該センサが受け取った前記光源からの光の量を測定する計測器と、 該センサからの計測結果を電子的に記録し、比較する手段とを具え、 センサから得られた計測結果の変化によって、フィルタ装置の状況の変化を検 出する、濾過ユニットの周辺の空気中に分散している粒子を計測する、濾過ユニ ットと共に使用される検出装置。 ９．複数の光源とこれに対応する複数の検出器とを具え、各光源からの光をフ ィルタ装置を横切って各検出器に照射するように構成されている請求項８に記載 の検出装置。 １０．少なくとも一つのミラーを具え、光源と検出器との間を走る光の方向を 変更するように構成された請求項８に記載の検出装置。 １１．複数のミラーが採用され、少なくとも一つのミラーが、光源からの光を 通過させると同時に反射する半透明ミラーである請求項１０に記載の検出装置。 １２．光源が濾過ユニットに回動自在に取付けられ、その光ビームの方向が濾 過ユニットを横切る複数の光経路を形成するように変化する請求８に記載の検出 装置。 １３．濾過ユニットが、マトリックス状に行と列をなして取付けられた複数の フィルタ装置からなり、 複数の光源と複数のセンサとからなる少なくとも二組を具え、第１の組はフィ ルタ装置の行を横切って計測を行い、第２の組はフィルタ装置の列を横切って計 測を行うように取付けられた請求項８に記載の検出装置。 １４．センサの計測結果を電子的に記録し比較する前記手段が、前記二組の光 源とセンサからの信号を比較し、漏洩が生じたフィルタ装置のマトリックス上の 位置を特定する請求項１３に記載の検出 装置。