JPH0952365A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェット記録装置

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JPH0952365A
JPH0952365A JP8140160A JP14016096A JPH0952365A JP H0952365 A JPH0952365 A JP H0952365A JP 8140160 A JP8140160 A JP 8140160A JP 14016096 A JP14016096 A JP 14016096A JP H0952365 A JPH0952365 A JP H0952365A
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substrate
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ink
holding
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Toshiaki Hirozawa
稔明 広沢
Toru Yamane
徹 山根
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 温度変化しても反りやクラック等は発生しな
いインクジェット記録ヘッド。 【構成】 電気熱変換する吐出ヒーター８を備えた記録
素子基板１と、駆動素子（吐出ヒーター）８に対応した
液路と液室を備えた天板３と、保持基板４とを、同一の
材料、例えばアルミニウム、またはステンレス合金、ま
たは銅によって形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッド及びその製造方法、並びにインクジェット記録
装置の技術分野に属するものであり、特に吐出エネルギ
ー発生素子を有する基板と記録液（インク）を貯える液
室を有する基板とを積層してなるインクジェット記録ヘ
ッド及びその製造方法、並びにインクジェット記録装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、記録液滴を吐出口より吐出さ
せるインクジェット記録ヘッドには種々のものが知られ
ている。例えば、圧電素子の変形により液流路内に圧力
変化を発生させて記録液滴を吐出させるもの、あるいは
更に一対の電極を設けて、これにより記録液滴を偏向さ
せるもの、もしくはインク流路内に配設した発熱素子を
急激に発熱させることによって気泡を生ぜしめるなどの
熱エネルギーを利用することによって、吐出口から記録
液滴を吐出させるもの等が種々知られている。
【０００３】これらの中でも、熱エネルギーを利用して
記録液滴を吐出する方式に係るインクジェット記録ヘッ
ドは、記録用の液滴を吐出して飛翔用液滴を形成するた
めのオリフィス等の液体吐出口を高密度に配列すること
ができるために高解像力の記録をすることが可能である
こと、記録ヘッドとして全体的なコンパクト化も容易で
あること、最近の半導体分野における技術の進歩と信頼
性の向上が著しいＩＣ技術やマイクロ加工技術の長所を
十二分に活用でき、長尺化及び面状化（２次元化）が容
易であること等により、マルチノズル化及び高密度実装
化が容易であり、しかも大量生産時の生産性が良く製造
費用も廉価にできるものとして特に注目されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通常記
録ヘッドは異なる材料からなるヒーターボード，天板，
及び保持基板を積層固定して形成されているため、特に
吐出エネルギー発生素子を記録媒体の記録幅に応じた数
だけ配列させて構成させるフルマルチタイプの記録ヘッ
ドにおいては、温度変化等によるヘッド構成材料の熱膨
張係数の違いによる、反り，クラック，破損等が生じや
すい。
【０００５】これにより、画像品位の低下ばかりでな
く、記録ヘッドが破壊されて使用できなくなることがあ
るという問題をも発生させる場合があった。
【０００６】また、記録ヘッドの記録液を吐出させるた
めの吐出口は、ヒーターボードと天板を貼り合わせた
後、吐出口形成部を切断または研摩等を行なうことによ
って形成する場合がある。この時、ヒーターボードと天
板の材質が異なるため切削性が異なり、それぞれの面を
共に平滑にカケ，バリ等なしに仕上げることは困難であ
った。
【０００７】本発明の目的は、上記従来の問題点を解消
するためになされたもので、温度変化しても反りやクラ
ック等が発生しない、また製造が容易であり、記録性の
優れたインクジェット記録ヘッド及びそのようなインク
ジェット記録ヘッドの製造方法、並びにインクジェット
記録装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明に係る
インクジェット記録ヘッドは下記の（１）〜（１１）、
その製造方法は下記の（１２）、インクジェット記録装
置は下記の（１３），（１４）に記載の構成によって、
前記目的を達成するものである。
【０００９】（１）インクを吐出するために利用される
エネルギーを発生するための複数の吐出エネルギー発生
素子が設けられた記録素子基板と、前記複数の吐出エネ
ルギー発生素子に対応したインク路に供給されるインク
を貯溜するためのインク液室が形成され前記記録素子基
板上に設けられた天板と、前記記録素子基板を保持する
ための記録素子基板用保持基板とを有するインクジェッ
ト記録ヘッドであって、前記記録素子基板、前記天板、
及び前記保持基板が同一の材料で構成されていることを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【００１０】（２）前記記録素子基板、前記天板、及び
前記保持基板を構成する同一の材料は、アルミニウム，
ステンレス合金，及び銅から選択されるいずれかである
ことを特徴とする前記（１）に記載のインクジェット記
録ヘッド。
【００１１】（３）前記インク路の横壁部は樹脂で構成
されていることを特徴とする前記（１）に記載のインク
ジェット記録ヘッド。
【００１２】（４）前記記録素子基板、前記天板、及び
前記保持基板の、インクを吐出する吐出口を含む面全体
に撥水性の膜が設けられていることを特徴とする前記
（１）に記載のインクジェット記録ヘッド。
【００１３】（５）複数の記録素子が配設された記録素
子基板と、前記記録素子を駆動するための駆動素子が配
設された駆動素子基板と、該駆動素子基板を保持するた
めの駆動素子基板用保持基板とを有し、前記記録素子基
板と前記駆動素子基板を圧接することにより、前記記録
素子基板と前記駆動素子基板との電気的接続を行なった
インクジェット記録ヘッドであって、前記記録素子基
板、前記駆動素子基板、及び前記保持基板が同一の材料
で構成されていることを特徴とするインクジェット記録
ヘッド。
【００１４】（６）インクを吐出するための吐出口に連
通するインク路に供給されるインクを貯溜するためのイ
ンク室が形成された天板が前記記録素子基板上に設けら
れており、該天板も前記記録素子基板、前記駆動素子基
板、前記保持基板を構成する同一の材料で構成されてい
ることを特徴とする前記（５）に記載のインクジェット
記録ヘッド。
【００１５】（７）前記記録素子基板を保持するための
記録素子基板用保持基板を有し、該保持基板も前記同一
の材料で構成されていることを特徴とする前記（５）ま
たは（６）に記載のインクジェット記録ヘッド。
【００１６】（８）前記同一の材料が、アルミニウム、
ステンレス合金、及び銅から選択されるいずれかである
ことを特徴とする前記（５）に記載のインクジェット記
録ヘッド。
【００１７】（９）インク路の横壁部は樹脂で構成され
ていることを特徴とする前記（５）に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。
【００１８】（１０）記録のなされる記録媒体の幅に対
応して、インクを吐出する吐出口が多数配されているこ
とを特徴とする前記（１）または（５）に記載のインク
ジェット記録ヘッド。
【００１９】（１１）前記熱エネルギー発生素子は熱エ
ネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とす
る前記（１）または（５）に記載のインクジェット記録
ヘッド。
【００２０】（１２）インクを吐出するために利用され
るエネルギーを発生するための複数の吐出エネルギー発
生素子が設けられた記録素子基板と、前記複数の吐出エ
ネルギー発生素子に対応したインク路に供給されるイン
クを貯溜するためのインク液室が形成され前記記録素子
基板上に設けられた天板と、前記記録素子基板を保持す
るための記録素子基板用保持基板とを、同一の材料で提
供する工程と、前記天板と前記保持基板とが前記記録素
子基板を挟むように、前記保持基板と前記記録素子基板
と前記天板とを積層させる工程と、積層された前記保持
基板と前記記録素子基板と前記天板とを同時に切断する
ことにより、インクを吐出する吐出口を形成する工程
と、を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド
の製造方法。
【００２１】（１３）インクを吐出するために利用され
るエネルギーを発生するための複数の吐出エネルギー発
生素子が設けられた記録素子基板と、前記複数の吐出エ
ネルギー発生素子に対応したインク路に供給されるイン
クを貯溜するためのインク液室が形成され前記記録素子
基板上に設けられた天板と、前記記録素子基板を保持す
るための記録素子基板用保持基板とを有するインクジェ
ット記録ヘッドであって、前記記録素子基板、前記天
板、及び前記保持基板が同一の材料で構成されているイ
ンクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッ
ドを装着するための装着部と、を有することを特徴とす
るインクジェット記録装置。
【００２２】（１４）複数の記録素子が配設された記録
素子基板と、前記記録素子を駆動するための駆動素子が
配設された駆動素子基板と、該駆動素子基板を保持する
ための駆動素子基板用保持基板とを有し、前記記録素子
基板と前記駆動素子基板を圧接することにより、前記記
録素子基板と前記駆動素子基板との電気的接続を行なっ
たインクジェット記録ヘッドであって、前記記録素子基
板、前記駆動素子基板、及び前記保持基板が同一の材料
で構成されているインクジェット記録ヘッドと、該イン
クジェット記録ヘッドを装着するための装着部と、を有
することを特徴とするインクジェット記録装置。
【００２３】
【発明の実施の形態】本発明の実施は、記録素子基板、
天板、及び記録素子基板用保持基板を同一の材料で構成
することにより、それらの板の熱膨張係数を等しくさ
せ、温度変化等があっても、それぞれの基板の反り，ク
ラック等の発生を防止できる。
【００２４】また、記録素子基板、天板、及び保持基板
を積層した後、吐出口形成部を同時に切断することによ
り吐出口及び吐出口面を形成する。これにより、記録素
子基板、天板、及び保持基板によって形成された吐出口
面は段差がなく、均一で平滑な面が容易に形成できる。
【００２５】また、複数の記録素子が配設された記録素
子基板と、前記記録素子を駆動するための駆動素子が配
設された駆動素子基板と、該駆動素子基板を保持するた
めの駆動素子基板用保持基板とを有し、前記記録素子基
板と前記駆動素子基板を圧接することにより、前記記録
素子基板と前記駆動素子基板との電気的接続を行なった
インクジェット記録ヘッドであって、前記記録素子基
板、前記駆動素子基板、及び前記保持基板を同一の材料
で構成することにより、温度変化等による電気的接続部
の従来の不具合を改良することができる。
【００２６】上記の実施の形態を実施例により詳細に説
明する。
【００２７】
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
【００２８】（実施例１）図１及び図２は、本発明の実
施例である熱エネルギーを利用するインクジェット記録
ヘッドの構成を示す図であり、図１はヘッドの斜視図で
あり、図２は図１のＢ−Ｂ断面図である。このヘッド
は、いわゆるフルラインタイプであり、例えばＡ４の大
きさの記録紙の一辺に対応した長さにわたって吐出口が
配列されたものである。
【００２９】図１，図２に示す符号１は、基板上に不図
示の電気熱変換体（吐出ヒーター）とこれに電力を供給
するＡｌ等の配線とが成膜技術により形成されており、
吐出ヒーターを駆動するための駆動素子８が実装されて
いる記録素子基板であるヒーターボードである。３は、
吐出ヒーターに対応した液路３ａと、該液路にインクを
供給するための液室３ｂとが凹部として形成された天板
である。天板３には、液室３ｂにインクを導入するため
のインク導入口部１０Ａ，１０Ｂが設けられている。１
１Ａ及び１１Ｂは、ヘッドにインクを供給するためのイ
ンク供給管である。共通液室３ｂ及びインク導入口部１
０Ａ，１０Ｂは、切削またはエッチングモールド成形に
よって形成されている。４は、ヒーターボード１を保持
するための保持基板であるところのベースプレートであ
る。
【００３０】記録素子基板１には天板３が位置決め積層
されており、記録素子基板１はベースプレート４に位置
決め固定されている。インクを吐出するための電力、信
号を外部から取り込むための回路基板５は記録素子基板
１の電気的接続パッドと正確に位置決めされ、圧着板６
をベースプレート４にネジ止め固定することによって弾
性体９を介して両者は圧着接続されている。
【００３１】この記録ヘッドの実施例では、記録素子基
板１、天板３、保持基板４は全て同じ材料で構成されて
おり、材料としてはアルミニウム（Ａｌ），ステンレス
合金（ＳＵＳ），銅（Ｃｕ）などが好ましい。中でもア
ルミニウムは、熱放散性及び切削性の点から好ましい。
従って、記録素子基板１、天板３、保持基板４は全て熱
膨張係数が等しくなるため、温度変化等による基板の反
り，クラック，破損等が生ずることはなくなる。なお、
本明細書でいうアルミニウム及びＣｕとしては、不純物
レベルならば他材料を含有していてもよい。
【００３２】（実施例２）図３及び図４を参照して、本
発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の例を説明
する。
【００３３】図３は、記録ヘッドの製造方法を示す概観
斜視図、図４は、図３の方法で製造された記録ヘッドの
外観斜視図である。
【００３４】この記録ヘッドでは、吐出エネルギー発生
素子が対向して設けてある記録素子基板材１ａと、吐出
エネルギー発生素子に対応した液路にインクを供給する
ための液室が対向して形成されている天板材３ｃと、記
録素子基板材１ａを保持固定するための保持基板材４ａ
とを積層して形成する。そして、図３に示すようにブレ
ード１２でヘッドの対向軸線Ａ−Ａに沿って切断する。
【００３５】この工程によって、図４に示すように、記
録素子基板１、天板３、保持基板４が一体となった記録
ヘッドが２個、同時に形成できる。
【００３６】この実施例においては、例えばＡｌといっ
た同一材料の記録素子基板材１ａ、天板材３ｃ、保持基
板材４ａを同時に切断するため、それぞれの基板間の段
差がまったく生じることなく、また全て同一な平滑な切
断面、即ち吐出口７を有する吐出口面を容易に形成でき
る。
【００３７】従って、インク滴の吐出口面への付着を最
小限に抑えることができると共に、吐出口面のインク
滴、ゴミ等を除去するためのワイピング等をスムーズそ
して有効に行なうことができる。
【００３８】（実施例３）図５を参照して、本発明のイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法の他の実施例を説明
する。図５はヘッドの側面図である。
【００３９】本実施例の製造方法は、記録ヘッドの記録
素子基板１、天板３、及び保持基板４の吐出口面に同時
に同一の撥水性の膜１３４を塗布する方法である。
【００４０】この場合、記録素子基板１、天板３、及び
保持基板４は、全てＡｌといった同一材料で形成するこ
とにより、撥水性の膜１３４の密着性が全て同一で、均
一な撥水性膜が形成できる。なお、実施例２の方法で製
造されたヘッドにおいては、更に記録素子基板１、天板
３、保持基板４のそれぞれの基板間の段差等が生じない
ため、より均一な撥水性の膜１３４を塗布形成すること
ができる。
【００４１】（実施例４）図６は、本発明の実施例４で
ある記録ヘッドを示した分解斜視図である。
【００４２】１３は、複数の記録素子（ヒーター）１３
ａが配列され、記録素子１３ａと接続された配線部と該
配線部の端部に接続電極１３ｂが形成された記録素子基
板である。１４は、記録素子基板１３を駆動するための
駆動素子１５を搭載し、記録素子基板１３と電気的接続
を行なうための接続電極が形成された駆動素子基板であ
る。１６は、外部からの入力電気を駆動素子基板１４に
入力するための回路基板である。１７は、駆動素子基板
１４と回路基板１６を保持固定するための駆動素子基板
用保持基板であり、駆動素子基板１４と回路基板１６は
電気的に接続されている。１８は、記録素子基板１３を
保持固定するための記録素子基板用保持基板である。
【００４３】そして、記録素子基板１３と駆動素子基板
１４の接続電極同士を互いに位置決めし、不図示の圧接
部材で互いに圧接することにより、記録素子基板１３と
駆動素子基板１４の電気的接続が行なわれる。この接続
電極は数１０〜数１００μｍ間隔で並んでおり、正確な
位置決めが要求される。
【００４４】本実施例では、上記構成において、記録素
子基板１３と駆動素子基板１４と保持基板１７と保持基
板１８を全て同一の材料、例えばＡｌ，ＳＵＳ，Ｃｕな
どのいずれかで全て形成してある。
【００４５】その結果、記録素子基板１３、駆動素子基
板１４、保持基板１７、保持基板１８の熱膨張係数が全
て等しくなるため、温度変化等による基板の反り，クラ
ック等がなくなり、また、熱膨張の差による記録素子基
板１３と駆動素子基板１４の接続電極のズレの発生がな
くなり、圧接部の信頼性が向上する。
【００４６】（実施例５）図７は、本発明の実施例５で
ある記録ヘッドを示した概略側面図である。
【００４７】この記録ヘッドは、記録素子基板１３にイ
ンクを吐出するための吐出口及びインク液路が形成さ
れ、そしてインク液路にインクを供給するための液室が
形成された天板１９が配設されたインクジェット記録ヘ
ッドである。
【００４８】また、実施例４と同様に記録素子基板１３
と駆動素子１５を備えた駆動素子基板１４を圧接するこ
とにより、電気的接続を行なっている。駆動素子１５
は、ワイヤボンディング１６により別の基板１６を介し
てヘッドの外部と接続されている。
【００４９】本実施例でも、記録素子基板１３、天板１
９、駆動素子基板１４、保持基板１７、保持基板１８は
全てＡｌといった同一材料で構成してある。従って、実
施例４の効果に加え、天板１９の反り，変形等も防止で
きる。
【００５０】また、記録素子基板１３、天板１９、保持
基板１８を同時切断することが可能となり、作業性の向
上と共に吐出口面の均一平滑性がより向上する。
【００５１】（実施例６）本実施例では、インクジェッ
ト記録ヘッドのインク路の横壁については感光性樹脂の
パターニングによって形成し、残りの部分については実
施例１と同様な構成となっている。
【００５２】図８はこのようなインクジェット記録ヘッ
ドの要部を示す模式的部分破断斜視図である。
【００５３】エッチング・蒸着・スパッタリング等の半
導体製造プロセス工程を経て、記録素子基板１上に電気
熱変換体８，電極１３ｂが成膜形成されている。かかる
記録素子基板１上には、例えば、感光性樹脂をパターニ
ングすることにより液路壁３ｄが設けられ、更にその上
には天板３が接合されている。
【００５４】共通液室３ｂ内に供給された液体はいわゆ
る毛管現象により液路３ａ内に供給され、液路先端の吐
出口７でメニスカスを形成することにより安定に保持さ
れる。Ｓは、吐出口７が複数配されたヘッドの吐出口面
である。ここで電気熱変換体８に通電することにより、
電気熱変換体面上の液体が急峻に加熱され、液路中に気
泡が生起され、その気泡の膨張・収縮により吐出口７か
ら液体を吐出し液滴が形成される。上記したような構成
により、吐出口密度１６ノズル／mmといった高密度の吐
出口配列で１２８吐出口或いは２５６吐出口という、更
には、記録幅全域にわたって吐出口が配置されたマルチ
ノズルのインクジェット記録ヘッドが形成できる。
【００５５】（実施例７）図９は、前記した本発明の実
施例７である液体吐出ヘッド２０１を用いたインクジェ
ット記録装置の要部を示す模式的斜視図である。
【００５６】本実施例における液体吐出ヘッドは、被記
録媒体の記録可能幅に対応した長さに３６０ｄｐｉの間
隔で吐出口を複数配したフルライン型のヘッドであり、
イエロー（Ｙ），マゼンタ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラ
ック（Ｂｋ）の４色に対応して４つのヘッドをホルダ２
０２によりＸ方向に所定の間隔を持って互いに平行に固
定支持されている。
【００５７】これらのヘッドに対してそれぞれ駆動信号
供給手段を構成するヘッドドライバ３０９から信号が供
給され、この信号に基づいて各ヘッドの駆動がなされ
る。
【００５８】各ヘッドには、吐出液としてＹ，Ｍ，Ｃ，
Ｂｋの４色のインクがそれぞれ２０４ａ〜２０４ｄのイ
ンク容器から供給されている。なお、符号２０４ｅは発
泡液が蓄えられた発泡液容器であり、この容器から各ヘ
ッドに発泡液が供給される構成になっている。
【００５９】また、各ヘッドの下方には、内部にスポン
ジ等のインク吸収部材が配されたヘッドキャップ２０３
ａ〜２０３ｄが設けられており、被記録時に各ヘッドの
吐出口を覆うことでヘッドの保守を成すことができる。
【００６０】符号２０６は、先の各実施例で説明したよ
うな各種、被記録媒体を搬送するための搬送手段を構成
する搬送ベルトである。搬送ベルト２０６は、各種ロー
ラにより所定の経路に引き回されており、モータドライ
バ３０５に接続された駆動用ローラにより駆動される。
【００６１】本実施例のインクジェット記録装置におい
ては、記録を行う前後に被記録媒体に対して各種の処理
を行う前処理装置２５１および後処理装置２５２をそれ
ぞれ被記録媒体搬送経路の上流と下流に設けている。
【００６２】前処理と後処理は、記録を行う被記録媒体
の種類やインクの種類に応じて、その処理内容が異なる
が、例えば、金属，プラスチック，セラミックス等の被
記録媒体に対しては、前処理として、紫外線とオゾンの
照射を行い、その表面を活性化することでインクの付着
性の向上を図ることができる。また、プラスチック等の
静電気を生じやすい被記録媒体においては、静電気によ
ってその表面にゴミが付着しやすく、このゴミによって
良好な記録が妨げられる場合がある。このため、前処理
としてイオナイザ装置を用い被記録媒体の静電気を除去
することで、被記録媒体からゴミの除去を行うとよい。
また、被記録媒体として布帛を用いる場合には、滲み防
止、先着率の向上等の観点から布帛にアルカリ性物質、
水溶性物質、合成高分子、水溶性金属塩、尿素およびチ
オ尿素から選択される物質を付与する処理を前処理とし
て行えばよい。前処理としては、これに限らず、被記録
媒体の温度を記録に適切な温度にする処理等であっても
よい。
【００６３】一方、後処理は、インクが付与された被記
録媒体に対して熱処理、紫外線照射等によるインクの定
着を促進する定着処理や、前処理で付与し未反応で残っ
た処理剤を洗浄する処理等を行うものである。
【００６４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
温度変化等による反り，クラック等が発生しない。そし
て、平滑で均一な吐出口面を有し、常に高品位の画像が
得られ、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドが、そ
してインクジェット記録装置が容易に得られ、また製造
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のインクジェット記録ヘッドの実施例
１の概観斜視図である。
【図２】 図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】 本発明の実施例２のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法を示す概観斜視図である。
【図４】 図３に示す方法で製造されたインクジェット
記録ヘッドの概観斜視図である。
【図５】 本発明の実施例３のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法で製造されたインクジェット記録ヘッドの
側面図である。
【図６】 本発明の実施例４のインクジェット記録ヘッ
ドの分解斜視図である。
【図７】 本発明の実施例５のインクジェット記録ヘッ
ドの側面図である。
【図８】 本発明の実施例６のインクジェット記録ヘッ
ドの要部を示す模式的部分破断斜視図である。
【図９】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドを用
いた実施例７であるインクジェット記録装置の要部を示
す模式的斜視図である。
【符号の説明】
１ 記録素子基板（ヒーターボード） １ａ 記録素子基板材 ３ 天板 ３ａ 液路 ３ｂ 液室 ３ｃ 天板材 ３ｄ 液路壁 ４ 保持基板（ベースプレート） ４ａ 保持基板材 ５ 回路基板 ６ 圧着板 ７ 吐出口 ８ 駆動素子（吐出ヒーター） ９ 弾性体 １０Ａ，１０Ｂ インク導入口部 １１Ａ，１１Ｂ インク供給管 １２ ブレード １３ 記録素子基板 １３ａ 記録素子 １３ｂ 接続電極 １４ 駆動素子基板 １５ 駆動素子 １６ 回路基板（ワイヤボンディング） １７ 保持基板（駆動素子基板用） １８ 保持基板（記録素子基板用） １９ 天板 １３４ 撥水性の膜 ２０１ ヘッド ２０２ ホルダ ２０３ ヘッドキャップ ２０４ インク容器 ２０６ 搬送ベルト ２５１ 前処理装置 ２５２ 後処理装置 Ｓ 吐出口面

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 インクを吐出するために利用されるエネ
    ルギーを発生するための複数の吐出エネルギー発生素子
    が設けられた記録素子基板と、前記複数の吐出エネルギ
    ー発生素子に対応したインク路に供給されるインクを貯
    溜するためのインク液室が形成され前記記録素子基板上
    に設けられた天板と、前記記録素子基板を保持するため
    の記録素子基板用保持基板とを有するインクジェット記
    録ヘッドであって、前記記録素子基板、前記天板、及び
    前記保持基板が同一の材料で構成されていることを特徴
    とするインクジェット記録ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記記録素子基板、前記天板、及び前記
    保持基板を構成する同一の材料は、アルミニウム，ステ
    ンレス合金，及び銅から選択されるいずれかであること
    を特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッ
    ド。
  3. 【請求項３】 前記インク路の横壁部は樹脂で構成され
    ていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェッ
    ト記録ヘッド。
  4. 【請求項４】 前記記録素子基板、前記天板、及び前記
    保持基板の、インクを吐出する吐出口を含む面全体に撥
    水性の膜が設けられていることを特徴とする請求項１に
    記載のインクジェット記録ヘッド。
  5. 【請求項５】 複数の記録素子が配設された記録素子基
    板と、前記記録素子を駆動するための駆動素子が配設さ
    れた駆動素子基板と、該駆動素子基板を保持するための
    駆動素子基板用保持基板とを有し、前記記録素子基板と
    前記駆動素子基板を圧接することにより、前記記録素子
    基板と前記駆動素子基板との電気的接続を行なったイン
    クジェット記録ヘッドであって、前記記録素子基板、前
    記駆動素子基板、及び前記保持基板が同一の材料で構成
    されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
    ド。
  6. 【請求項６】 インクを吐出するための吐出口に連通す
    るインク路に供給されるインクを貯溜するためのインク
    室が形成された天板が前記記録素子基板上に設けられて
    おり、該天板も前記記録素子基板、前記駆動素子基板、
    前記保持基板を構成する同一の材料で構成されているこ
    とを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘ
    ッド。
  7. 【請求項７】 前記記録素子基板を保持するための記録
    素子基板用保持基板を有し、該保持基板も前記同一の材
    料で構成されていることを特徴とする請求項５または６
    に記載のインクジェット記録ヘッド。
  8. 【請求項８】 前記同一の材料が、アルミニウム、ステ
    ンレス合金、及び銅から選択されるいずれかであること
    を特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッ
    ド。
  9. 【請求項９】 インク路の横壁部は樹脂で構成されてい
    ることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記
    録ヘッド。
  10. 【請求項１０】 記録のなされる記録媒体の幅に対応し
    て、インクを吐出する吐出口が多数配されていることを
    特徴とする請求項１または５に記載のインクジェット記
    録ヘッド。
  11. 【請求項１１】 前記熱エネルギー発生素子は熱エネル
    ギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とする請
    求項１または５に記載のインクジェット記録ヘッド。
  12. 【請求項１２】 インクを吐出するために利用されるエ
    ネルギーを発生するための複数の吐出エネルギー発生素
    子が設けられた記録素子基板と、前記複数の吐出エネル
    ギー発生素子に対応したインク路に供給されるインクを
    貯溜するためのインク液室が形成され前記記録素子基板
    上に設けられた天板と、前記記録素子基板を保持するた
    めの記録素子基板用保持基板とを、同一の材料で提供す
    る工程と、前記天板と前記保持基板とが前記記録素子基
    板を挟むように、前記保持基板と前記記録素子基板と前
    記天板とを積層させる工程と、積層された前記保持基板
    と前記記録素子基板と前記天板とを同時に切断すること
    により、インクを吐出する吐出口を形成する工程と、を
    含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造
    方法。
  13. 【請求項１３】 インクを吐出するために利用されるエ
    ネルギーを発生するための複数の吐出エネルギー発生素
    子が設けられた記録素子基板と、前記複数の吐出エネル
    ギー発生素子に対応したインク路に供給されるインクを
    貯溜するためのインク液室が形成され前記記録素子基板
    上に設けられた天板と、前記記録素子基板を保持するた
    めの記録素子基板用保持基板とを有するインクジェット
    記録ヘッドであって、前記記録素子基板、前記天板、及
    び前記保持基板が同一の材料で構成されているインクジ
    ェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッドを装
    着するための装着部と、を有することを特徴とするイン
    クジェット記録装置。
  14. 【請求項１４】 複数の記録素子が配設された記録素子
    基板と、前記記録素子を駆動するための駆動素子が配設
    された駆動素子基板と、該駆動素子基板を保持するため
    の駆動素子基板用保持基板とを有し、前記記録素子基板
    と前記駆動素子基板を圧接することにより、前記記録素
    子基板と前記駆動素子基板との電気的接続を行なったイ
    ンクジェット記録ヘッドであって、前記記録素子基板、
    前記駆動素子基板、及び前記保持基板が同一の材料で構
    成されているインクジェット記録ヘッドと、該インクジ
    ェット記録ヘッドを装着するための装着部と、を有する
    ことを特徴とするインクジェット記録装置。
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