JPH095357A - Ｉｃテスタの信号観測装置用プローブコンタクト - Google Patents
Ｉｃテスタの信号観測装置用プローブコンタクトInfo
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- JPH095357A JPH095357A JP7172895A JP17289595A JPH095357A JP H095357 A JPH095357 A JP H095357A JP 7172895 A JP7172895 A JP 7172895A JP 17289595 A JP17289595 A JP 17289595A JP H095357 A JPH095357 A JP H095357A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣテスタのパホーマンス・ボードの上から
超高速の信号を誤差なく観測できるプローブ・コンタク
トを提供する。 【構成】 プローブ・コンタクト３０に固定されたＳＭ
Ａコネクタと接続した同軸ケーブルは信号観測装置と接
続して、プローブ・コンタクト３０は信号線を中心に同
軸構造に包んだ金属性の円柱で、先端に信号接触用のポ
ゴピン３１を中心にＧＮＤ接触用の多数のポゴピン３２
を円に沿ってポゴピンソケット３５、３６に収納できる
ように設けた。ポゴピン３１、３２はプローブ・コンタ
クト３０の先端より数ｍｍ外にはみ出してＩＣテスタの
パホーマンス・ボードの上の金属性のパットに最短距離
に接触して正確な信号観測を行う。
超高速の信号を誤差なく観測できるプローブ・コンタク
トを提供する。 【構成】 プローブ・コンタクト３０に固定されたＳＭ
Ａコネクタと接続した同軸ケーブルは信号観測装置と接
続して、プローブ・コンタクト３０は信号線を中心に同
軸構造に包んだ金属性の円柱で、先端に信号接触用のポ
ゴピン３１を中心にＧＮＤ接触用の多数のポゴピン３２
を円に沿ってポゴピンソケット３５、３６に収納できる
ように設けた。ポゴピン３１、３２はプローブ・コンタ
クト３０の先端より数ｍｍ外にはみ出してＩＣテスタの
パホーマンス・ボードの上の金属性のパットに最短距離
に接触して正確な信号観測を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣテスタのパホーマ
ンス・ボードと信号観測装置との間の信号授受を行うプ
ローブコンタクトに関する。
ンス・ボードと信号観測装置との間の信号授受を行うプ
ローブコンタクトに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣテスタはＤＵＴやウェハテストを実
施する前にＩＣテスタの自己診断を行うが、自己診断で
異常があれば原因究明のため信号観測等のチエックを行
う。ＩＣテスタのチエックはＤＵＴやウェハテストをす
るために必要な信号が全て出力されているＩＣテスタの
パホーマンス・ボード上の多数の信号パットや接地パッ
トを観測点として、例えばサンプリング・オシロスコー
プとプローブで超高周波の信号を観測している。従来の
ＩＣテスタはクロックパルスが１００Ｍｈｚ以下であっ
たので、この観測は特に困難は無かったが、１００Ｍｈ
ｚを越える最新のＩＣテスタでは正確に観測するには観
測技術を必要とした。
施する前にＩＣテスタの自己診断を行うが、自己診断で
異常があれば原因究明のため信号観測等のチエックを行
う。ＩＣテスタのチエックはＤＵＴやウェハテストをす
るために必要な信号が全て出力されているＩＣテスタの
パホーマンス・ボード上の多数の信号パットや接地パッ
トを観測点として、例えばサンプリング・オシロスコー
プとプローブで超高周波の信号を観測している。従来の
ＩＣテスタはクロックパルスが１００Ｍｈｚ以下であっ
たので、この観測は特に困難は無かったが、１００Ｍｈ
ｚを越える最新のＩＣテスタでは正確に観測するには観
測技術を必要とした。
【０００３】パルス信号のなだらかな立ち上がり、立ち
下がりを特別に作りだす場合を除いて、パルス信号の立
ち上がり、立ち下がりの波形は急峻でなくてはならな
い。例えばスルーレトが０．４ｎｓ以下を必要としてい
る場合、パルス信号観測について特別な観測技術を持た
ない場合対応が出来なかった。
下がりを特別に作りだす場合を除いて、パルス信号の立
ち上がり、立ち下がりの波形は急峻でなくてはならな
い。例えばスルーレトが０．４ｎｓ以下を必要としてい
る場合、パルス信号観測について特別な観測技術を持た
ない場合対応が出来なかった。
【０００４】図３に示すようにパホーマンス・ボード１
上のパルス信号の観測は、観測する金属のパット２にプ
ローブ・コンタクト１０のピン６、７接触させて信号を
取り出し、サンプリングオシロスコープ等で観測を行
う。例えば直径０．７ｍの円形のパホーマンス・ボード
１の上に多数個の導電性の良好なパット２が０．４ｍｍ
間隔で配置されている。そしてプローブ・コンタクト１
０の接地（以降ＧＮＤと称する）ピン７がＧＮＤパット
に、プローブ・コンタクト１０の信号ピン６が信号のパ
ット２に最短距離で接触して信号を取り出し観測する。
超高周波の信号の場合、パット２とプローブ・コンタク
ト１０の距離を最短距離にしないと位相差が発生して正
確な観測が出来なかった。
上のパルス信号の観測は、観測する金属のパット２にプ
ローブ・コンタクト１０のピン６、７接触させて信号を
取り出し、サンプリングオシロスコープ等で観測を行
う。例えば直径０．７ｍの円形のパホーマンス・ボード
１の上に多数個の導電性の良好なパット２が０．４ｍｍ
間隔で配置されている。そしてプローブ・コンタクト１
０の接地（以降ＧＮＤと称する）ピン７がＧＮＤパット
に、プローブ・コンタクト１０の信号ピン６が信号のパ
ット２に最短距離で接触して信号を取り出し観測する。
超高周波の信号の場合、パット２とプローブ・コンタク
ト１０の距離を最短距離にしないと位相差が発生して正
確な観測が出来なかった。
【０００５】プローブ・コンタクト１５の一例を図６に
示す。同軸ケーブルの周囲を金属の棒状に加工して、プ
ローブ・コンタクト１５として設け、その先端の中心は
パルス信号観測用の信号ピン１６と、ＧＮＤ線はＧＮＤ
ピン１７と接続したものであって、ピンはポゴピンの場
合もある。信号ピン１６と、ＧＮＤピン１７の間隔は観
測する例えば図５のパホーマンス・ボード２０であれば
パット２１やパット２２の間隔に合わせる。
示す。同軸ケーブルの周囲を金属の棒状に加工して、プ
ローブ・コンタクト１５として設け、その先端の中心は
パルス信号観測用の信号ピン１６と、ＧＮＤ線はＧＮＤ
ピン１７と接続したものであって、ピンはポゴピンの場
合もある。信号ピン１６と、ＧＮＤピン１７の間隔は観
測する例えば図５のパホーマンス・ボード２０であれば
パット２１やパット２２の間隔に合わせる。
【０００６】信号の観測の一例を図５に示す。パホーマ
ンス・ボード２０にパット２１やパット２２が碁盤の目
のように並んでいるところをＸ−Ｙ方向に動くアームに
プローブ・コンタクト１５を付け目的のパット２１と接
触して信号の観測を行う。パット２１のＧＮＤパットと
信号（ｓｉｇｎａｌ）パットは、プローブ・コンタクト
１５のＧＮＤピン１７と信号ピン１６の位置が同じ方向
にあるので距離は最短となって位相差が生じない。一方
パット２２ではＧＮＤパット信号パットがプローブ・コ
ンタクト１５のＧＮＤピン１７と信号ピン１６の方向が
逆であるためプローブ・コンタクト１５のＧＮＤピン１
７と信号ピン１６の方向を１８０°回転させるという厄
介なことが生じた。プローブ・コンタクト１５の他端は
例えばＳＭＡコネクタ２５であって、同軸ケーブル２６
に接続され信号観測装置につながる。
ンス・ボード２０にパット２１やパット２２が碁盤の目
のように並んでいるところをＸ−Ｙ方向に動くアームに
プローブ・コンタクト１５を付け目的のパット２１と接
触して信号の観測を行う。パット２１のＧＮＤパットと
信号（ｓｉｇｎａｌ）パットは、プローブ・コンタクト
１５のＧＮＤピン１７と信号ピン１６の位置が同じ方向
にあるので距離は最短となって位相差が生じない。一方
パット２２ではＧＮＤパット信号パットがプローブ・コ
ンタクト１５のＧＮＤピン１７と信号ピン１６の方向が
逆であるためプローブ・コンタクト１５のＧＮＤピン１
７と信号ピン１６の方向を１８０°回転させるという厄
介なことが生じた。プローブ・コンタクト１５の他端は
例えばＳＭＡコネクタ２５であって、同軸ケーブル２６
に接続され信号観測装置につながる。
【０００７】また図４はパホーマンス・ボード１上のパ
ットは信号パットとその周りの円周に幅を持つＧＮＤパ
ットで構成され、パルス信号の観測で観測するパット３
とプローブ・コンタクト１０のＧＮＤ側の位置が電気的
に導通していてもプローブ・コンタクト１０のＧＮＤピ
ン７の位置が最短距離にないので１００Ｍｈｚを越える
超高周波の信号の場合観測した波形に位相差が発生して
正確な観測が出来ない。
ットは信号パットとその周りの円周に幅を持つＧＮＤパ
ットで構成され、パルス信号の観測で観測するパット３
とプローブ・コンタクト１０のＧＮＤ側の位置が電気的
に導通していてもプローブ・コンタクト１０のＧＮＤピ
ン７の位置が最短距離にないので１００Ｍｈｚを越える
超高周波の信号の場合観測した波形に位相差が発生して
正確な観測が出来ない。
【０００８】通常、信号（ｓｉｇｎａｌ）とＧＮＤが等
距離でないと位相差を発生する。実測のデータを図２で
説明する、例えばパルス波形の立ち上がり時間３０ｐｓ
を入力Ｍ１して、図４のパット３の状態で波形を観測す
ると出力Ｍ２は１６ｐｓ位相差を生じた。実用上、１０
０Ｍｈｚを越える最近のＩＣテスタで、この部分だけで
１６ｐｓも信号差を生じる様な信号観測であってはなら
ない。
距離でないと位相差を発生する。実測のデータを図２で
説明する、例えばパルス波形の立ち上がり時間３０ｐｓ
を入力Ｍ１して、図４のパット３の状態で波形を観測す
ると出力Ｍ２は１６ｐｓ位相差を生じた。実用上、１０
０Ｍｈｚを越える最近のＩＣテスタで、この部分だけで
１６ｐｓも信号差を生じる様な信号観測であってはなら
ない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】一般的にパホーマンス
・ボードは円形をしてパットは一定の間隔で碁盤の目の
ように多数存在している。パットのＧＮＤとパルス信号
は同じ方向にないので、正確に信号を観測するにはプロ
ーブ・コンタクトのピンをＧＮＤパットと信号パットに
絶えず回転して合わせてからパットの信号の観測をしな
ければならないという問題点があった。多数存在してい
るパットの信号をプローブ・コンタクトを回転させない
で素早く正しく観測できるプローブ・コンタクトを提供
することを目的としている。
・ボードは円形をしてパットは一定の間隔で碁盤の目の
ように多数存在している。パットのＧＮＤとパルス信号
は同じ方向にないので、正確に信号を観測するにはプロ
ーブ・コンタクトのピンをＧＮＤパットと信号パットに
絶えず回転して合わせてからパットの信号の観測をしな
ければならないという問題点があった。多数存在してい
るパットの信号をプローブ・コンタクトを回転させない
で素早く正しく観測できるプローブ・コンタクトを提供
することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のＩＣテスタの信号観測装置用信号授受手段
においては、パホーマンス・ボードのパットに接触する
プローブ・コンタクトのＧＮＤピンを１ピンから多数ピ
ンにして、３６０°の方向に対応するように取り付けた
ものである。
に、本発明のＩＣテスタの信号観測装置用信号授受手段
においては、パホーマンス・ボードのパットに接触する
プローブ・コンタクトのＧＮＤピンを１ピンから多数ピ
ンにして、３６０°の方向に対応するように取り付けた
ものである。
【００１１】上記プローブ・コンタクトはＸ−Ｙ方向に
動くアームに取り付けるため金属を使用した円柱管とし
た。金属の円柱管であるので電磁障害を除き、パットの
ポイントを定めるのに都合がよくなった。
動くアームに取り付けるため金属を使用した円柱管とし
た。金属の円柱管であるので電磁障害を除き、パットの
ポイントを定めるのに都合がよくなった。
【００１２】上記プローブ・コンタクトのＧＮＤ接触用
ピンを取り付ける位置は、同軸構造で信号用ピンを中心
ピンとして、ＧＮＤピンを多数円周状に配置した。多数
個円周状にＧＮＤピンを配置したので信号観測のパット
とピンの距離が最短となり、位相差の発生を防止でき
た。
ピンを取り付ける位置は、同軸構造で信号用ピンを中心
ピンとして、ＧＮＤピンを多数円周状に配置した。多数
個円周状にＧＮＤピンを配置したので信号観測のパット
とピンの距離が最短となり、位相差の発生を防止でき
た。
【００１３】
【作用】プローブ・コンタクトは同軸構造であり、外周
を金属を使用した円柱管としたので電磁遮蔽効果もあ
る。プローブ・コンタクトはＸ−Ｙ方向に動くアームに
金属円柱管を取り付け、ＧＮＤピンを多数付けたのでパ
ットのポイントに最短距離で狙いを付けやすく、位相差
発生防止に大きく貢献する。
を金属を使用した円柱管としたので電磁遮蔽効果もあ
る。プローブ・コンタクトはＸ−Ｙ方向に動くアームに
金属円柱管を取り付け、ＧＮＤピンを多数付けたのでパ
ットのポイントに最短距離で狙いを付けやすく、位相差
発生防止に大きく貢献する。
【００１４】プローブ・コンタクトの信号用ピンとＧＮ
Ｄピンはポゴピンを採用したのでパットのポイントを傷
めないで接触不良も防止できた。
Ｄピンはポゴピンを採用したのでパットのポイントを傷
めないで接触不良も防止できた。
【００１５】
【実施例】実施例について図１をもちいて説明すると、
図１において、プローブ・コンタクト３０の根元にＳＭ
Ａコネクタが取付られて固定され同軸ケーブルに接続さ
れて信号観測装置に接続している。プローブ・コンタク
ト３０は同軸構造となっておりそれを包む円柱の金属の
先端には中心の信号をポゴピン３１にポゴピンソケット
３５を円周上の多数のＧＮＤポゴピン３２にポゴピンソ
ケット３６を組にして配置した。
図１において、プローブ・コンタクト３０の根元にＳＭ
Ａコネクタが取付られて固定され同軸ケーブルに接続さ
れて信号観測装置に接続している。プローブ・コンタク
ト３０は同軸構造となっておりそれを包む円柱の金属の
先端には中心の信号をポゴピン３１にポゴピンソケット
３５を円周上の多数のＧＮＤポゴピン３２にポゴピンソ
ケット３６を組にして配置した。
【００１６】例えばプローブ・コンタクト３０の大きさ
は直径を１０ｍｍ程度で、全長はＳＭＡコネクタ７０ｍ
ｍ程度である。円の中心にある信号ポゴピン３１とＧＮ
Ｄポゴピン３２の距離を３．８ｍｍとして、ＧＮＤポゴ
ピン３２を８本設けた同軸構造のプローブ・コンタクト
３０である。ポゴピン３１、３２の長さは１２ｍｍ程度
でプローブ・コンタクト３０のポゴピンソケット３５、
３６に納まりプローブ・コンタクト３０の先端より２．
５ｍｍ程度外にはみ出した構成で目的の信号観測のポイ
ントに当たる。プローブ・コンタクト３０のポゴピン３
１、３２用のポゴピンソケット３５、３６の周囲は例え
ば充填剤としてテフロンで固めて、ポゴピン３１、３３
の特性インピーダンスを５１Ωとした。
は直径を１０ｍｍ程度で、全長はＳＭＡコネクタ７０ｍ
ｍ程度である。円の中心にある信号ポゴピン３１とＧＮ
Ｄポゴピン３２の距離を３．８ｍｍとして、ＧＮＤポゴ
ピン３２を８本設けた同軸構造のプローブ・コンタクト
３０である。ポゴピン３１、３２の長さは１２ｍｍ程度
でプローブ・コンタクト３０のポゴピンソケット３５、
３６に納まりプローブ・コンタクト３０の先端より２．
５ｍｍ程度外にはみ出した構成で目的の信号観測のポイ
ントに当たる。プローブ・コンタクト３０のポゴピン３
１、３２用のポゴピンソケット３５、３６の周囲は例え
ば充填剤としてテフロンで固めて、ポゴピン３１、３３
の特性インピーダンスを５１Ωとした。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００１８】信号観測の技術を持たない技術者が本発明
のプローブ・コンタクトを用いて観測しても正確に観測
できるようになった。
のプローブ・コンタクトを用いて観測しても正確に観測
できるようになった。
【００１９】プローブ・コンタクトの先端部はポゴピン
としたのでパットの磨耗が少なくなり接触不良もなくな
った。
としたのでパットの磨耗が少なくなり接触不良もなくな
った。
【００２０】プローブ・コンタクトの先端部のＧＮＤ側
ポゴピンの数は必要に応じてポゴピンソケットより引き
抜いて調整できるようになった。
ポゴピンの数は必要に応じてポゴピンソケットより引き
抜いて調整できるようになった。
【００２１】プローブ・コンタクトの先端部にポゴピン
を多数設けたので信号ポイントを一点押さえればＧＮＤ
の方向は３６０°接触できるので信号観測のためにプロ
ーブ・コンタクトを回転させる必要が無くなり最短距離
の信号観測が可能となった。
を多数設けたので信号ポイントを一点押さえればＧＮＤ
の方向は３６０°接触できるので信号観測のためにプロ
ーブ・コンタクトを回転させる必要が無くなり最短距離
の信号観測が可能となった。
【００２２】プローブ・コンタクトはＸ−Ｙ方向に動く
アームに金属円柱管を取り付け、ＧＮＤピンを多数付け
たのでパットのポイントに最短距離で狙いを付けやす
く、位相差発生防止に大きく貢献する。
アームに金属円柱管を取り付け、ＧＮＤピンを多数付け
たのでパットのポイントに最短距離で狙いを付けやす
く、位相差発生防止に大きく貢献する。
【図１】本発明の一実施例によるプローブ・コンタクト
の側面図と底面図を示す。
の側面図と底面図を示す。
【図２】従来の技術による一実施例で入力Ｍ１−出力Ｍ
２の通過特性図を示す。
２の通過特性図を示す。
【図３】従来の技術による一実施例で位相差の発生しな
い信号観測図を示す。
い信号観測図を示す。
【図４】従来の技術による一実施例で位相差が発生する
信号観測図を示す。
信号観測図を示す。
【図５】従来の技術による一実施例でＸ−Ｙアームによ
る信号観測図を示す。
る信号観測図を示す。
【図６】従来の技術による一実施例でプローブ・コンタ
クトの側面図と底面図を示す。
クトの側面図と底面図を示す。
１、２０ パホーマンス・ボード ２、３、２１、２２ パット ６、７、１６、１７ ピン １０、１５、３０ プローブ・コンタクト ２５ ＳＭＡコネクタ ２６ 同軸ケーブル ３１、３２ ポゴピン ３５、３６ ポゴピンソケット
Claims (2)
- 【請求項１】 信号ピン（３１）と、 上記信号ピン（３１）を中心として円周上に同軸構造で
構成された複数のＧＮＤピン（３２）と、 上記信号ピン（３１）と上記ＧＮＤピン（３２）を固定
し内蔵する金属の円周と、 上記信号ピン（３１）の特定インピーダンスを一定に保
つ媒体を上記信号ピン（３１）と上記複数のＧＮＤピン
（３２）との間に充填する充填剤と、 上記信号ピン（３１）及びＧＮＤピン（３２）側と他端
の根元に接続されたコネクタと、 を具備することを特徴とするＩＣテスタの信号観測装置
用プローブコンタクト。 - 【請求項２】信号ピン（３１）及び複数のＧＮＤピン
（３２）はポゴピンで構成された請求項１記載のＩＣテ
スタの信号観測装置用プローブコンタクト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7172895A JPH095357A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | Ｉｃテスタの信号観測装置用プローブコンタクト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7172895A JPH095357A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | Ｉｃテスタの信号観測装置用プローブコンタクト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095357A true JPH095357A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15950331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7172895A Pending JPH095357A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | Ｉｃテスタの信号観測装置用プローブコンタクト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH095357A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999010749A1 (en) * | 1997-08-25 | 1999-03-04 | Proteus Corporation | Robotic twin probe for measurement on printed circuit boards and electrical and electronic assemblies |
| JP2007178163A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニットおよびそれに用いる検査プローブ用外皮チューブ組立体 |
| JP2009175003A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Toshiba Corp | 高周波用コンタクトプローブ |
| JP2010071954A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Toyo Denshi Giken Kk | 測定用プローブと、それを構成する測定用プローブ本体部材、内側プローブ素子及び周側プローブ素子 |
| KR101383032B1 (ko) * | 2013-04-29 | 2014-04-18 | 양 전자시스템 주식회사 | 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조 |
| CN110609152A (zh) * | 2019-09-06 | 2019-12-24 | 苏州浪潮智能科技有限公司 | 一种机柜测试装置与方法 |
-
1995
- 1995-06-15 JP JP7172895A patent/JPH095357A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999010749A1 (en) * | 1997-08-25 | 1999-03-04 | Proteus Corporation | Robotic twin probe for measurement on printed circuit boards and electrical and electronic assemblies |
| US5994909A (en) * | 1997-08-25 | 1999-11-30 | Lucas; Brian K. | Robotic twin probe for measurement on printed circuit boards and electrical and electronic assemblies |
| JP2007178163A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニットおよびそれに用いる検査プローブ用外皮チューブ組立体 |
| JP2009175003A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Toshiba Corp | 高周波用コンタクトプローブ |
| JP2010071954A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Toyo Denshi Giken Kk | 測定用プローブと、それを構成する測定用プローブ本体部材、内側プローブ素子及び周側プローブ素子 |
| KR101383032B1 (ko) * | 2013-04-29 | 2014-04-18 | 양 전자시스템 주식회사 | 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조 |
| CN110609152A (zh) * | 2019-09-06 | 2019-12-24 | 苏州浪潮智能科技有限公司 | 一种机柜测试装置与方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030603 |