JPH0953610A - 電気粘性流体の制御方法 - Google Patents
電気粘性流体の制御方法Info
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- JPH0953610A JPH0953610A JP23211495A JP23211495A JPH0953610A JP H0953610 A JPH0953610 A JP H0953610A JP 23211495 A JP23211495 A JP 23211495A JP 23211495 A JP23211495 A JP 23211495A JP H0953610 A JPH0953610 A JP H0953610A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 絶縁性物質からなる間隙を挟んで正負の
電極を交互に配列した集合体電極とそれに対向する絶縁
性基板の間隙に電気粘性流体を介在させ、該電極に電界
を印加することにより該流体のレオロジ−的性質を、変
化させる流体制御方法。 【効果】 電極間の接触や接近による短絡や放電の問題
なく、低電圧の印加で安定して電気粘性流体のレオロジ
−的特性を変化させる制御方法であって、特にマイクロ
マシン等の小型、超小型のアクチュエ−タやポンプの潤
滑制御等に極めて好適に利用であり。
電極を交互に配列した集合体電極とそれに対向する絶縁
性基板の間隙に電気粘性流体を介在させ、該電極に電界
を印加することにより該流体のレオロジ−的性質を、変
化させる流体制御方法。 【効果】 電極間の接触や接近による短絡や放電の問題
なく、低電圧の印加で安定して電気粘性流体のレオロジ
−的特性を変化させる制御方法であって、特にマイクロ
マシン等の小型、超小型のアクチュエ−タやポンプの潤
滑制御等に極めて好適に利用であり。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】電気粘性流体のレオロジ−特
性の新規な制御方法に関するものであり、従来の制御方
法が適用される振動吸収、トルク伝達、ロボット制御等
の用途だけでなく、特にマイクロマシン等の小型あるい
は超小型のアクチュエータやポンプの潤滑制御等に極め
て好適に使用される。
性の新規な制御方法に関するものであり、従来の制御方
法が適用される振動吸収、トルク伝達、ロボット制御等
の用途だけでなく、特にマイクロマシン等の小型あるい
は超小型のアクチュエータやポンプの潤滑制御等に極め
て好適に使用される。
【０００２】
【従来の技術】電気粘性流体は電界を印加することによ
りその粘性を制御することができるものである。この流
体に電界を印加する方法としては、従来、対向する一対
の電極間隙に電気粘性流体を介在させる方法が用いられ
てきた。
りその粘性を制御することができるものである。この流
体に電界を印加する方法としては、従来、対向する一対
の電極間隙に電気粘性流体を介在させる方法が用いられ
てきた。
【０００３】
【発明が解決しょうとする問題点】電気粘性流体の粘性
の変化は電界強度に依存し、実用上の有効な粘性変化を
得るには一般に数ｋＶ／ｍｍ程度の高電界強度の印加が
必要である。従って、できるだけ低電圧の印加で作動さ
せるためには、電極間隙を出来るだけ狭くする必要があ
る。
の変化は電界強度に依存し、実用上の有効な粘性変化を
得るには一般に数ｋＶ／ｍｍ程度の高電界強度の印加が
必要である。従って、できるだけ低電圧の印加で作動さ
せるためには、電極間隙を出来るだけ狭くする必要があ
る。
【０００４】従来の対向電極を用いた電界印加方法で
は、電極間隙を狭くすると加工精度上対向電極が一部で
接近し過ぎて放電したり、接触して短絡したりする問題
点があり、狭くすること、即ち、低電圧で作動させるこ
とは非常に困難であった。このような放電や短絡を防止
するため、電極表面を薄い絶縁性物質の被膜で被覆する
方法や電極間に絶縁性の多孔膜等のスペ−サ−を介在さ
せる方法、等が提案されているが、電気粘性効果が大き
く低下するという問題があった。
は、電極間隙を狭くすると加工精度上対向電極が一部で
接近し過ぎて放電したり、接触して短絡したりする問題
点があり、狭くすること、即ち、低電圧で作動させるこ
とは非常に困難であった。このような放電や短絡を防止
するため、電極表面を薄い絶縁性物質の被膜で被覆する
方法や電極間に絶縁性の多孔膜等のスペ−サ−を介在さ
せる方法、等が提案されているが、電気粘性効果が大き
く低下するという問題があった。
【０００５】
【問題を解決するための手段】本発明は電極間の接触や
接近による短絡や放電の問題がなく、低電圧の印加で安
定して電気粘性流体のレオロジ−的特性を変化させる制
御方法を提供するものである。即ち、絶縁性物質からな
る間隙を挟んで正負の電極を交互に配列した集合体電極
とそれに対向する絶縁性基板の間隙に電気粘性流体を介
在させ、該電極に電界を印加することにより該流体のレ
オロジ−的性質を、変化させる流体制御方法である。
接近による短絡や放電の問題がなく、低電圧の印加で安
定して電気粘性流体のレオロジ−的特性を変化させる制
御方法を提供するものである。即ち、絶縁性物質からな
る間隙を挟んで正負の電極を交互に配列した集合体電極
とそれに対向する絶縁性基板の間隙に電気粘性流体を介
在させ、該電極に電界を印加することにより該流体のレ
オロジ−的性質を、変化させる流体制御方法である。
【０００６】本発明で云う集合体電極とは、複数個の正
負の電極が同一平面上あるいは同一円筒面上に絶縁性物
質からなる間隙を挟んで交互に配列されたものであり、
各電極の形状は短冊状、櫛型状、あるいは波状であって
もよく、集合体電極が円盤型であれば同心円状であって
もよい。電極は銅、ニッケル、金等の金属あるいは酸化
スズ、酸化インジュ−ム等の導電性金属化合物、黒鉛、
ポリピロ−ル、ポリアニリン等の導電性ポリマ−、等の
導電性物質を合成樹脂、ガラス、セラミックス、金属酸
化物等の電気絶縁性物質の基板上に間隔を置いて形成さ
れる。電極および間隙の幅は、共に狭い方が好ましく、
一般的には５ｍｍ以下で数μｍ以上であり、間隙は狭く
数ｍｍ以下であることが電気粘性流体のレオロジ−的性
質を低電圧の印加で変化させる上で好ましい。また電極
の間隙は一般には一定の幅に設定されるが、目的に応じ
て変化させてもよい。電極および上記間隙の長さは電極
間に有効な電界がかかる限り長さには制限はない。電極
の形成は埋め込み、蒸着、メッキ、塗布、等の方法によ
って形成される。特異な例として金属電極を空隙（電気
粘性流体で充満される）を介して交互に配列した集合体
電極も使用することができる。
負の電極が同一平面上あるいは同一円筒面上に絶縁性物
質からなる間隙を挟んで交互に配列されたものであり、
各電極の形状は短冊状、櫛型状、あるいは波状であって
もよく、集合体電極が円盤型であれば同心円状であって
もよい。電極は銅、ニッケル、金等の金属あるいは酸化
スズ、酸化インジュ−ム等の導電性金属化合物、黒鉛、
ポリピロ−ル、ポリアニリン等の導電性ポリマ−、等の
導電性物質を合成樹脂、ガラス、セラミックス、金属酸
化物等の電気絶縁性物質の基板上に間隔を置いて形成さ
れる。電極および間隙の幅は、共に狭い方が好ましく、
一般的には５ｍｍ以下で数μｍ以上であり、間隙は狭く
数ｍｍ以下であることが電気粘性流体のレオロジ−的性
質を低電圧の印加で変化させる上で好ましい。また電極
の間隙は一般には一定の幅に設定されるが、目的に応じ
て変化させてもよい。電極および上記間隙の長さは電極
間に有効な電界がかかる限り長さには制限はない。電極
の形成は埋め込み、蒸着、メッキ、塗布、等の方法によ
って形成される。特異な例として金属電極を空隙（電気
粘性流体で充満される）を介して交互に配列した集合体
電極も使用することができる。
【０００７】集合体電極と対向する絶縁性基板は、集合
体電極と対応した形状をなし、正負の電極の間隙形成に
用いられる材料と同様に合成樹脂、ガラス、セラミック
ス、金属酸化物等の電気絶縁性物質が用いられる。ま
た、表面を絶縁性物質で被覆した金属等の導電性物質を
用いることも可能である。更に、基板表面に強誘電性物
質や電気粘性流体に使われている誘電体粒子を被覆する
ことも電気粘性効果を高める上で好ましい。電極とこの
絶縁性基板の間隙は、広過ぎると電極に高電界を印加し
ても変化する電気粘性流体のレオロジ−的性質の効果を
有効に利用することが難しい。好ましい間隙としては電
極間隙と同等あるいはそれ以下である。
体電極と対応した形状をなし、正負の電極の間隙形成に
用いられる材料と同様に合成樹脂、ガラス、セラミック
ス、金属酸化物等の電気絶縁性物質が用いられる。ま
た、表面を絶縁性物質で被覆した金属等の導電性物質を
用いることも可能である。更に、基板表面に強誘電性物
質や電気粘性流体に使われている誘電体粒子を被覆する
ことも電気粘性効果を高める上で好ましい。電極とこの
絶縁性基板の間隙は、広過ぎると電極に高電界を印加し
ても変化する電気粘性流体のレオロジ−的性質の効果を
有効に利用することが難しい。好ましい間隙としては電
極間隙と同等あるいはそれ以下である。
【０００８】本発明に使用される電気粘性流体とは、電
界を印加した際にその粘性が瞬間的且つ大きく、可逆的
に変化する流体であり、誘電体粒子を絶縁油に分散させ
た分散系と粒子を用いない均一系とに大別される。前者
に用いられる粒子としては、イオン分極可能な水、酸、
アルカリあるいは有機電解質等を含んだ、シリカやゼオ
ライト等の無機粒子系、あるいはイオン交換樹脂やセル
ロ−ス等の有機粒子、水を含まずイオン分極よりは電子
分極を生じ易い炭素やポリアニリン、金属フタロシアニ
ン等の半導体粒子、表面に絶縁性薄膜を被覆した金属粒
子や導電ポリマ−性粒子、その他、異方導電性や非線形
光学特性をもつ材料からなる粒子、等が挙げられる。ま
た、後者の均一系としては、液晶性、粘度異方性、両親
媒性、強誘電性、高双極子能率等をもつ物質あるいはそ
の溶液が挙げられ、中でも液晶、特に高分子液晶が好ま
しいものとして挙げられる。前者の分散系は一般に電界
印加時に剪断応力が剪断速度によらず大略一定である、
いわゆるビンガム流動を示す。一方、後者の均一系は一
般に剪断応力が剪断速度に比例する、いわゆるニュート
ン流動を示す。本発明にはいずれの流体をも使用するこ
とができる。
界を印加した際にその粘性が瞬間的且つ大きく、可逆的
に変化する流体であり、誘電体粒子を絶縁油に分散させ
た分散系と粒子を用いない均一系とに大別される。前者
に用いられる粒子としては、イオン分極可能な水、酸、
アルカリあるいは有機電解質等を含んだ、シリカやゼオ
ライト等の無機粒子系、あるいはイオン交換樹脂やセル
ロ−ス等の有機粒子、水を含まずイオン分極よりは電子
分極を生じ易い炭素やポリアニリン、金属フタロシアニ
ン等の半導体粒子、表面に絶縁性薄膜を被覆した金属粒
子や導電ポリマ−性粒子、その他、異方導電性や非線形
光学特性をもつ材料からなる粒子、等が挙げられる。ま
た、後者の均一系としては、液晶性、粘度異方性、両親
媒性、強誘電性、高双極子能率等をもつ物質あるいはそ
の溶液が挙げられ、中でも液晶、特に高分子液晶が好ま
しいものとして挙げられる。前者の分散系は一般に電界
印加時に剪断応力が剪断速度によらず大略一定である、
いわゆるビンガム流動を示す。一方、後者の均一系は一
般に剪断応力が剪断速度に比例する、いわゆるニュート
ン流動を示す。本発明にはいずれの流体をも使用するこ
とができる。
【０００９】ところで、本発明で云う電気粘性流体のレ
オロジ−的性質とは、粘性、弾性、変形等の性質であ
り、これらが電界の印加により変化することは既に知ら
れている。本発明により制御される電気粘性流体のレオ
ロジ−的性質の変化は、集合体電極とそれに対向する絶
縁性基板の電気粘性流体に剪断をかけた際の剪断応力、
電気粘性流体に圧力をかけ流動させた際の流動抵抗、集
合体電極あるいは絶縁性基板を押し広げあるいは引き縮
める圧縮応力、等として利用される。従来の電気粘性流
体が適応される振動吸収やトルク伝達、ロボット運動制
御、等のアクチュエ−タ−に利用されるのみならず、マ
イクロマシン等の小型あるいは超小型のアクチュエ−タ
−やポンプの潤滑制御等に極めて好適に利用される。。
以下、実施例をもって本発明を更に具体的に説明する
が、本発明はこれら実施例により何ら限定されるもので
はない。
オロジ−的性質とは、粘性、弾性、変形等の性質であ
り、これらが電界の印加により変化することは既に知ら
れている。本発明により制御される電気粘性流体のレオ
ロジ−的性質の変化は、集合体電極とそれに対向する絶
縁性基板の電気粘性流体に剪断をかけた際の剪断応力、
電気粘性流体に圧力をかけ流動させた際の流動抵抗、集
合体電極あるいは絶縁性基板を押し広げあるいは引き縮
める圧縮応力、等として利用される。従来の電気粘性流
体が適応される振動吸収やトルク伝達、ロボット運動制
御、等のアクチュエ−タ−に利用されるのみならず、マ
イクロマシン等の小型あるいは超小型のアクチュエ−タ
−やポンプの潤滑制御等に極めて好適に利用される。。
以下、実施例をもって本発明を更に具体的に説明する
が、本発明はこれら実施例により何ら限定されるもので
はない。
【００１０】
（実施例１）長さ１０ｃｍで幅５ｃｍの長方形のガラス
板（絶縁性物質）１に蒸着法で酸化インジュ−ム（ＩＴ
Ｏ）を０．１μｍの厚みに部分蒸着し、正負の電極２お
よび３を交互に配列した櫛形電極板４（集合体電極、図
１にその部分拡大図を示す）を形成した。電極幅は１．
０ｍｍであり、電極間隙は０．５ｍｍである。対向する
絶縁性基板５としては中央部に約５０ｇの鉄製の立方体
の重り６が貼り付けられた４ｃｍ角の無地のガラス板を
用いた。図２に示す如く、水平貨台７の上に置いた電極
板４の上に、電極板４と絶縁性基板５の間隙（０．５０
ｍｍ）を保持するスペ−サ−として約２０個の架橋ポリ
スチレン製の真球状粒子（直径０．５０ｍｍ）を均一に
分散させた下記の電気粘性流体８を垂らし、その上に重
りを乗せた絶縁性基板５を重ねた。
板（絶縁性物質）１に蒸着法で酸化インジュ−ム（ＩＴ
Ｏ）を０．１μｍの厚みに部分蒸着し、正負の電極２お
よび３を交互に配列した櫛形電極板４（集合体電極、図
１にその部分拡大図を示す）を形成した。電極幅は１．
０ｍｍであり、電極間隙は０．５ｍｍである。対向する
絶縁性基板５としては中央部に約５０ｇの鉄製の立方体
の重り６が貼り付けられた４ｃｍ角の無地のガラス板を
用いた。図２に示す如く、水平貨台７の上に置いた電極
板４の上に、電極板４と絶縁性基板５の間隙（０．５０
ｍｍ）を保持するスペ−サ−として約２０個の架橋ポリ
スチレン製の真球状粒子（直径０．５０ｍｍ）を均一に
分散させた下記の電気粘性流体８を垂らし、その上に重
りを乗せた絶縁性基板５を重ねた。
【００１１】電極に電圧を印加しないで貨台６を傾ける
と、約２５度で絶縁性基板４は滑り始めたが、４００ボ
ルトの直流電圧を印加すると６０度傾けてやっと徐々に
滑り始めた。使用した電気粘性流体は、イオン交換樹脂
粒子〔三菱化成（株）、ＭＣＩゲル・Ｋ０８Ｐ、Ｎａ
型、粒径約３μｍ、含水率６ｗｔ％〕をシリコ−ン油
（２０ｃｓｔ）に粒子濃度３０容量％で分散させて得た
ものである。なお、上記電気粘性流体８の代わりに媒体
に用いたシリコ−ン油（２０ｃｓｔ）のみを介在させた
ものでは４００ボルトの電圧を印加しても１５度傾ける
だけで滑り始めた。
と、約２５度で絶縁性基板４は滑り始めたが、４００ボ
ルトの直流電圧を印加すると６０度傾けてやっと徐々に
滑り始めた。使用した電気粘性流体は、イオン交換樹脂
粒子〔三菱化成（株）、ＭＣＩゲル・Ｋ０８Ｐ、Ｎａ
型、粒径約３μｍ、含水率６ｗｔ％〕をシリコ−ン油
（２０ｃｓｔ）に粒子濃度３０容量％で分散させて得た
ものである。なお、上記電気粘性流体８の代わりに媒体
に用いたシリコ−ン油（２０ｃｓｔ）のみを介在させた
ものでは４００ボルトの電圧を印加しても１５度傾ける
だけで滑り始めた。
【００１２】（実施例２）筒外面に電極幅２ｍｍ、電極
間隙１ｍｍの正負の電極２および３が回転軸方向に交互
に配列してなる集合体電極４（図４に部分拡大図を示
す）が形成された内円筒９（直径３９．８ｍｍ、ポリア
ミド樹脂製、固定のトルク計１０に接続）、内面がポリ
イミドの薄膜で被覆され電気絶縁性を付与した外円筒１
１（内部直径４０．０ｍｍ、モ−タ１２に接続されて回
転）からなり、図３に示すような２重円筒型の回転粘度
計を用いて、電圧印加による電気粘性流体８の粘性変化
を測定した。電気粘性流体８としては実施例１の粒子分
散系流体（スペ−サ−の真球状粒子は添加せず）および
液晶シリコ−ンからなる均一系の電気粘性流体〔旭化成
（株）、試作サンプルＡＤ０１、下記化学式（１）に示
す分子構造の化合物をジメチルシリコ−ンで１．５倍に
希釈したもの〕を使用し、２００ボルトの直流電圧を印
加し、１００Ｓ-1の剪断速度で測定した。その結果を表
１に示す。有効電極面積が少ない分だけ、見かけ上の粘
性変化は小さいが、内外筒の間隙が０．１ｍｍという狭
い状態でもスペ−サ−がなくとも、従来の対向電極方式
で懸念された電極間の接触や絶縁破壊といった問題を起
こさず安定した粘性制御が可能となった。
間隙１ｍｍの正負の電極２および３が回転軸方向に交互
に配列してなる集合体電極４（図４に部分拡大図を示
す）が形成された内円筒９（直径３９．８ｍｍ、ポリア
ミド樹脂製、固定のトルク計１０に接続）、内面がポリ
イミドの薄膜で被覆され電気絶縁性を付与した外円筒１
１（内部直径４０．０ｍｍ、モ−タ１２に接続されて回
転）からなり、図３に示すような２重円筒型の回転粘度
計を用いて、電圧印加による電気粘性流体８の粘性変化
を測定した。電気粘性流体８としては実施例１の粒子分
散系流体（スペ−サ−の真球状粒子は添加せず）および
液晶シリコ−ンからなる均一系の電気粘性流体〔旭化成
（株）、試作サンプルＡＤ０１、下記化学式（１）に示
す分子構造の化合物をジメチルシリコ−ンで１．５倍に
希釈したもの〕を使用し、２００ボルトの直流電圧を印
加し、１００Ｓ-1の剪断速度で測定した。その結果を表
１に示す。有効電極面積が少ない分だけ、見かけ上の粘
性変化は小さいが、内外筒の間隙が０．１ｍｍという狭
い状態でもスペ−サ−がなくとも、従来の対向電極方式
で懸念された電極間の接触や絶縁破壊といった問題を起
こさず安定した粘性制御が可能となった。
【００１３】
【化１】
【００１４】
【表１】
【００１５】
【発明の効果】本発明は、絶縁性物質からなる間隙を挟
んで正負の電極を交互に配列した集合体電極とそれに対
向する絶縁性基板との間隙に電気粘性流体を介在させ、
該電極に電界を印加することにより該流体のレオロジ−
的性質を変化させる流体制御方法であり、そのため電極
間の接触や接近による短絡や放電の問題なく、低電圧の
印加で安定して電気粘性流体のレオロジ−的特性を変化
させることができ、特にマイクロマシン等の小型あるい
は超小型のアクチュエータやポンプの潤滑制御等に極め
て好適に利用できる。
んで正負の電極を交互に配列した集合体電極とそれに対
向する絶縁性基板との間隙に電気粘性流体を介在させ、
該電極に電界を印加することにより該流体のレオロジ−
的性質を変化させる流体制御方法であり、そのため電極
間の接触や接近による短絡や放電の問題なく、低電圧の
印加で安定して電気粘性流体のレオロジ−的特性を変化
させることができ、特にマイクロマシン等の小型あるい
は超小型のアクチュエータやポンプの潤滑制御等に極め
て好適に利用できる。
【図１】実施例１で使用した集合体電極板の拡大図であ
る。
る。
【図２】電界印加による粘性変化を測定するための基板
の積層状態を示す図である。
の積層状態を示す図である。
【図３】実施例２で使用した回転型粘度計を示す図であ
る。
る。
【図４】粘度計の内筒外表面の集合体電極の拡大図であ
る。
る。
１：絶縁性物質 ２：電極（正極） ３：電極（負極） ４：集合体電極 ５：絶縁性基板 ６：重り ７：貨台 ８：電気粘性流体 ９：内円筒 １０：トルク計 １１：外円筒 １２：モ−タ
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁性物質からなる間隙を挟んで正負の
電極を交互に配列した集合体電極とそれに対向する絶縁
性基板の間隙に電気粘性流体を介在させ、該電極に電界
を印加することにより該流体のレオロジ−的性質を変化
させることを特徴とする電気粘性流体制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23211495A JP3915026B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 電気粘性流体の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23211495A JP3915026B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 電気粘性流体の制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0953610A true JPH0953610A (ja) | 1997-02-25 |
| JP3915026B2 JP3915026B2 (ja) | 2007-05-16 |
Family
ID=16934232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23211495A Expired - Fee Related JP3915026B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 電気粘性流体の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3915026B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174565A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Er Tec:Kk | Ｅｒ流体の制御方法 |
| JP2014092257A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | Ｅｒ流体の制御方法と制御装置 |
| US9052724B2 (en) | 2012-08-07 | 2015-06-09 | International Business Machines Corporation | Electro-rheological micro-channel anisotropic cooled integrated circuits and methods thereof |
| KR20160133534A (ko) * | 2014-03-14 | 2016-11-22 | 메르크 파텐트 게엠베하 | 전기-유변학적 유체 및 촉각 장치 |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP23211495A patent/JP3915026B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174565A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Er Tec:Kk | Ｅｒ流体の制御方法 |
| US9052724B2 (en) | 2012-08-07 | 2015-06-09 | International Business Machines Corporation | Electro-rheological micro-channel anisotropic cooled integrated circuits and methods thereof |
| JP2014092257A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | Ｅｒ流体の制御方法と制御装置 |
| KR20160133534A (ko) * | 2014-03-14 | 2016-11-22 | 메르크 파텐트 게엠베하 | 전기-유변학적 유체 및 촉각 장치 |
| JP2017513160A (ja) * | 2014-03-14 | 2017-05-25 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＭｅｒｃｋ Ｐａｔｅｎｔ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ｍｉｔ ｂｅｓｃｈｒａｅｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | 電気粘性流体および触覚デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3915026B2 (ja) | 2007-05-16 |
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