JPH0954034A - 液体中の微粒子の計測装置 - Google Patents
液体中の微粒子の計測装置Info
- Publication number
- JPH0954034A JPH0954034A JP7205952A JP20595295A JPH0954034A JP H0954034 A JPH0954034 A JP H0954034A JP 7205952 A JP7205952 A JP 7205952A JP 20595295 A JP20595295 A JP 20595295A JP H0954034 A JPH0954034 A JP H0954034A
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- JP
- Japan
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- liquid
- fine particles
- laser light
- laser beam
- measuring
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- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザー光発信装置から発信されるレーザー
光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体の流
れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向の散
乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であって、微
粒子の粒径についての高い分解能の下において、微粒子
の濃度を高い精度で測定し得る液体中の微粒子の計測方
法を提供する。 【解決手段】 レーザー光発信装置から発信されるレー
ザー光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体
の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向
の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であっ
て、レーザー光発信装置としてマルチモードレーザー光
発信装置を用いる液体中の微粒子の計測装置。
光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体の流
れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向の散
乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であって、微
粒子の粒径についての高い分解能の下において、微粒子
の濃度を高い精度で測定し得る液体中の微粒子の計測方
法を提供する。 【解決手段】 レーザー光発信装置から発信されるレー
ザー光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体
の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向
の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であっ
て、レーザー光発信装置としてマルチモードレーザー光
発信装置を用いる液体中の微粒子の計測装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体中の微粒子の
計測装置に関するものである。更に詳しくは、本発明
は、レーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフ
ローセル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向
及びレーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を
検出する液体中の微粒子の計測装置であって、微粒子の
粒径について、高い分解能（異なる粒径の微粒子を区別
して検出する能力）の下において、微粒子の濃度を高い
精度で測定し得る液体中の微粒子の計測方法に関するも
のである。
計測装置に関するものである。更に詳しくは、本発明
は、レーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフ
ローセル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向
及びレーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を
検出する液体中の微粒子の計測装置であって、微粒子の
粒径について、高い分解能（異なる粒径の微粒子を区別
して検出する能力）の下において、微粒子の濃度を高い
精度で測定し得る液体中の微粒子の計測方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、半導体製造などに使用される
いわゆる電子工業薬品には、硫酸、過酸化水素水を始め
とする液体状のものがある。これら液体状の薬品に要求
される品質のひとつとして、不純物として含まれる粒子
の粒径が小さく、その濃度が低いことがある。この要求
は、近年の集積回路の高性能化などにより一層高度なも
のとなりつつあり、たとえば粒径０．１μｍ以上の粒子
の濃度が１０個／ｍｌ程度であるといった水準が要求さ
れている。かかる状況において、液体中に存在する微粒
子について、微粒子の粒径毎の微粒子の濃度を高い精度
で測定すること、すなわち微粒子の粒径についての高い
分解能の下において、微粒子の濃度を高い精度で測定す
る必要がある。
いわゆる電子工業薬品には、硫酸、過酸化水素水を始め
とする液体状のものがある。これら液体状の薬品に要求
される品質のひとつとして、不純物として含まれる粒子
の粒径が小さく、その濃度が低いことがある。この要求
は、近年の集積回路の高性能化などにより一層高度なも
のとなりつつあり、たとえば粒径０．１μｍ以上の粒子
の濃度が１０個／ｍｌ程度であるといった水準が要求さ
れている。かかる状況において、液体中に存在する微粒
子について、微粒子の粒径毎の微粒子の濃度を高い精度
で測定すること、すなわち微粒子の粒径についての高い
分解能の下において、微粒子の濃度を高い精度で測定す
る必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかる現状に鑑み、本
発明が解決しようとする課題は、レーザー光発信装置か
ら発信されるレーザー光をフローセル中の液体に収束さ
せて照射し、液体の流れ方向及びレーザー光の照射方向
に対して直角方向の散乱光を検出する液体中の微粒子の
計測装置であって、微粒子の粒径についての高い分解能
の下において、微粒子の濃度を高い精度で測定し得る液
体中の微粒子の計測方法を提供する点に存する。
発明が解決しようとする課題は、レーザー光発信装置か
ら発信されるレーザー光をフローセル中の液体に収束さ
せて照射し、液体の流れ方向及びレーザー光の照射方向
に対して直角方向の散乱光を検出する液体中の微粒子の
計測装置であって、微粒子の粒径についての高い分解能
の下において、微粒子の濃度を高い精度で測定し得る液
体中の微粒子の計測方法を提供する点に存する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、レ
ーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフローセ
ル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向及びレ
ーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を検出す
る液体中の微粒子の計測装置であって、レーザー光発信
装置としてマルチモードレーザー光発信装置を用いる液
体中の微粒子の計測装置に係るものである。
ーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフローセ
ル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向及びレ
ーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を検出す
る液体中の微粒子の計測装置であって、レーザー光発信
装置としてマルチモードレーザー光発信装置を用いる液
体中の微粒子の計測装置に係るものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】レーザー光発信装置から発信され
るレーザー光をフローセル中の液体に収束させて照射
し、液体の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して
直角方向の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置
としては、たとえば図１に示すものをあげることができ
る。すなわち、レーザー光発信装置（１）からのレーザ
ー光はレーザー光整形光学系（２）により、フローセル
（３）中を流れる液体に集光して照射される。なお、レ
ーザー光整形光学系としては、たとえば二以上のレンズ
を組み合わせてなる通常のものが使用できる。液体の流
れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向に
は、散乱光集光光学系（４）が設置されている。散乱光
集光光学系としては、たとえば二以上のレンズを組み合
わせてなる通常のものが用いられる。散乱光集光光学系
を通過した散乱光は迷光防止スリット（５）に入る。迷
光防止スリットは、レーザー光照射光路にある、たとえ
ば空気／フローセルやフローセル／流体等の境界で発生
するノイズ源となる散乱光、迷光を散乱光無光光学系光
路から除くこと及び散乱光測定領域を設定することを目
的とし、スリット幅は散乱光集光光学系結像点における
フローセル内の流路結像幅の５〜８割程度の通常の固定
スリットが用いられる。迷光防止スリットを通過した光
は受光器（６）に入る。受光器としては、たとえば光電
子倍増管（ホトマル）、フォトダイオードなどが用いら
れる。
るレーザー光をフローセル中の液体に収束させて照射
し、液体の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して
直角方向の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置
としては、たとえば図１に示すものをあげることができ
る。すなわち、レーザー光発信装置（１）からのレーザ
ー光はレーザー光整形光学系（２）により、フローセル
（３）中を流れる液体に集光して照射される。なお、レ
ーザー光整形光学系としては、たとえば二以上のレンズ
を組み合わせてなる通常のものが使用できる。液体の流
れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向に
は、散乱光集光光学系（４）が設置されている。散乱光
集光光学系としては、たとえば二以上のレンズを組み合
わせてなる通常のものが用いられる。散乱光集光光学系
を通過した散乱光は迷光防止スリット（５）に入る。迷
光防止スリットは、レーザー光照射光路にある、たとえ
ば空気／フローセルやフローセル／流体等の境界で発生
するノイズ源となる散乱光、迷光を散乱光無光光学系光
路から除くこと及び散乱光測定領域を設定することを目
的とし、スリット幅は散乱光集光光学系結像点における
フローセル内の流路結像幅の５〜８割程度の通常の固定
スリットが用いられる。迷光防止スリットを通過した光
は受光器（６）に入る。受光器としては、たとえば光電
子倍増管（ホトマル）、フォトダイオードなどが用いら
れる。
【０００６】本発明の最大の特徴は、レーザー光発信装
置としてマルチモードレーザー光発信装置を用いる点に
ある。ここで、マルチモードレーザー光（図２）とは、
ガウシアンモードレーザー光に相対するものである。ガ
ウシアンモードレーザー光は、図３に示すように、ガウ
ス分布関数に従う強度分布を有するレーザー光である。
それに対し、マルチモードレーザー光は、図２に示すよ
うに、全体として略台形又は矩形の強度分布を有し、よ
ってレーザー光束中のどの部分をとっても、その強度が
略一定しているものである。マルチモードレーザー光発
信装置としては、市販の該当するマルチモードレーザー
光発信装置を用いることができる。
置としてマルチモードレーザー光発信装置を用いる点に
ある。ここで、マルチモードレーザー光（図２）とは、
ガウシアンモードレーザー光に相対するものである。ガ
ウシアンモードレーザー光は、図３に示すように、ガウ
ス分布関数に従う強度分布を有するレーザー光である。
それに対し、マルチモードレーザー光は、図２に示すよ
うに、全体として略台形又は矩形の強度分布を有し、よ
ってレーザー光束中のどの部分をとっても、その強度が
略一定しているものである。マルチモードレーザー光発
信装置としては、市販の該当するマルチモードレーザー
光発信装置を用いることができる。
【０００７】本発明の作用は次のとおり理解される。す
なわち、ガウシアンモードレーザー光を用いた場合、そ
の強度がレーザー光束中の位置により大きく変化し、検
出すべき微粒子がレーザー光束中のどの部分を通過する
かにより、検出信号が影響を受ける。すなわち、検出信
号は、微粒子の粒径の他、レーザー光束中の微粒子の通
過位置に依存し、よって本来一義的に反映すべき微粒子
の粒径による検出信号に雑音が重畳され、その結果、異
なる粒径の微粒子を区別して検出する能力である微粒子
の粒径についての分解能が低下する。一方、マルチモー
ドレーザー光を用いた場合、その強度がレーザー光束中
の位置により略一定であり、検出すべき微粒子がレーザ
ー光束中のどの部分を通過するかにより、検出信号が影
響されない。すなわち、検出信号は、微粒子の粒径を正
確に反映し、その結果、微粒子の粒径について極めて高
い分解能の下においての計測が可能となるのである。
なわち、ガウシアンモードレーザー光を用いた場合、そ
の強度がレーザー光束中の位置により大きく変化し、検
出すべき微粒子がレーザー光束中のどの部分を通過する
かにより、検出信号が影響を受ける。すなわち、検出信
号は、微粒子の粒径の他、レーザー光束中の微粒子の通
過位置に依存し、よって本来一義的に反映すべき微粒子
の粒径による検出信号に雑音が重畳され、その結果、異
なる粒径の微粒子を区別して検出する能力である微粒子
の粒径についての分解能が低下する。一方、マルチモー
ドレーザー光を用いた場合、その強度がレーザー光束中
の位置により略一定であり、検出すべき微粒子がレーザ
ー光束中のどの部分を通過するかにより、検出信号が影
響されない。すなわち、検出信号は、微粒子の粒径を正
確に反映し、その結果、微粒子の粒径について極めて高
い分解能の下においての計測が可能となるのである。
【０００８】
【実施例】次に、本発明を実施例によって説明する。
【０００９】実施例１ 図１の装置を用いた。レーザー光発信装置（１）とし
て、市販のマルチモードレーザー光発信装置（ＵＮＩＰ
ＨＡＳＥ ＭＯＤＥＬ １１２５Ｍ）を用いた。受光器
としては光電子増倍管（ホトマル）を用いた。微粒子を
含有する液体試料として、０．１７４μｍの単分散の粒
径を有するポリスチレン球約３０００個／ｍｌを含有す
る超純水であるモデル液を用いた。得られた結果（測定
結果チャート）を図４に示した。結果は極めてシャープ
なピークを示しており、微粒子の粒径について極めて高
い分解能の下においての計測が可能であることがわか
る。
て、市販のマルチモードレーザー光発信装置（ＵＮＩＰ
ＨＡＳＥ ＭＯＤＥＬ １１２５Ｍ）を用いた。受光器
としては光電子増倍管（ホトマル）を用いた。微粒子を
含有する液体試料として、０．１７４μｍの単分散の粒
径を有するポリスチレン球約３０００個／ｍｌを含有す
る超純水であるモデル液を用いた。得られた結果（測定
結果チャート）を図４に示した。結果は極めてシャープ
なピークを示しており、微粒子の粒径について極めて高
い分解能の下においての計測が可能であることがわか
る。
【００１０】比較例１ レーザー光発信装置（１）として、市販のガルシアンモ
ードレーザー光発信装置（ＵＮＩＰＨＡＳＥ ＭＯＤＥ
Ｌ １１２５Ｐ）を用いたこと以外は実施例１と同様に
行った。得られた結果（測定結果チャート）を図５に示
した。結果はブロードなピークを示しており、微粒子の
粒径についての分解能が低いことがわかる。
ードレーザー光発信装置（ＵＮＩＰＨＡＳＥ ＭＯＤＥ
Ｌ １１２５Ｐ）を用いたこと以外は実施例１と同様に
行った。得られた結果（測定結果チャート）を図５に示
した。結果はブロードなピークを示しており、微粒子の
粒径についての分解能が低いことがわかる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明により、レ
ーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフローセ
ル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向及びレ
ーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を検出す
る液体中の微粒子の計測装置であって、微粒子の粒径に
ついての高い分解能の下において、微粒子の濃度を高い
精度で測定し得る液体中の微粒子の計測方法を提供する
ことができた。
ーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフローセ
ル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向及びレ
ーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を検出す
る液体中の微粒子の計測装置であって、微粒子の粒径に
ついての高い分解能の下において、微粒子の濃度を高い
精度で測定し得る液体中の微粒子の計測方法を提供する
ことができた。
【図１】本発明の計測装置の例を示す図である。
【図２】マルチモードレーザー光の強度分布の例を示す
概念図である。
概念図である。
【図３】ガルシアンモードレーザー光の強度分布の例を
示す概念図である。
示す概念図である。
【図４】実施例１の結果（測定結果チャート）を示す図
である。
である。
【図５】比較例１の結果（測定結果チャート）を示す図
である。
である。
１ レーザー光発信装置 ２ レーザー光整形光学系 ３ フローセル ４ 散乱光集光光学系 ５ 迷光防止スリット ６ 受光器 ７ レーザー光 ８ 液体試料
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザー光発信装置から発信されるレー
ザー光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体
の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向
の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であっ
て、レーザー光発信装置としてマルチモードレーザー光
発信装置を用いる液体中の微粒子の計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7205952A JPH0954034A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 液体中の微粒子の計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7205952A JPH0954034A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 液体中の微粒子の計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954034A true JPH0954034A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16515426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7205952A Pending JPH0954034A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 液体中の微粒子の計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0954034A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9250544B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-02-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Particle counter and immersion exposure system including the same |
-
1995
- 1995-08-11 JP JP7205952A patent/JPH0954034A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9250544B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-02-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Particle counter and immersion exposure system including the same |
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