JPH0954161A - 放射線検出器の製造方法 - Google Patents
放射線検出器の製造方法Info
- Publication number
- JPH0954161A JPH0954161A JP21053595A JP21053595A JPH0954161A JP H0954161 A JPH0954161 A JP H0954161A JP 21053595 A JP21053595 A JP 21053595A JP 21053595 A JP21053595 A JP 21053595A JP H0954161 A JPH0954161 A JP H0954161A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】各放射線検出素子間のピッチ精度を上げ、かつ
生産性を向上する。 【解決手段】所定の厚みに研磨した板状の蛍光材料１に
シート状の光反射膜材料２を接着し、それを所定の大き
さに切断して蛍光素子４の一面に光反射膜５が接着され
た蛍光素子片を複数個作り、この蛍光素子片を蛍光素子
４と光反射膜５が交互に並ぶように複数個接着して蛍光
素子アレイ６を形成し、この蛍光素子アレイ６をフォト
ダイオードアレイ７に接着する。
生産性を向上する。 【解決手段】所定の厚みに研磨した板状の蛍光材料１に
シート状の光反射膜材料２を接着し、それを所定の大き
さに切断して蛍光素子４の一面に光反射膜５が接着され
た蛍光素子片を複数個作り、この蛍光素子片を蛍光素子
４と光反射膜５が交互に並ぶように複数個接着して蛍光
素子アレイ６を形成し、この蛍光素子アレイ６をフォト
ダイオードアレイ７に接着する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、医療用の診断装置
であるＸ線ＣＴ装置などに使用される放射線検出器の製
造方法に関する。
であるＸ線ＣＴ装置などに使用される放射線検出器の製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線ＣＴ装置で使用されるＸ線検出器と
して、Ｘ線が入射することによって光を発する蛍光素子
とその光を電気信号に変換する光電変換素子の組み合わ
せを複数個並列したアレイ型放射線検出器が使用され
る。この放射線検出器を製造するに当たって、従来は、
所定の大きさに切断し研磨した蛍光材料を、あいだに光
反射膜を挟みながら複数個接着することによって蛍光素
子がアレイ状に並んだものを形成し、それを光電変換素
子がアレイ状に複数個並列している光電変換器に接着し
ていた。
して、Ｘ線が入射することによって光を発する蛍光素子
とその光を電気信号に変換する光電変換素子の組み合わ
せを複数個並列したアレイ型放射線検出器が使用され
る。この放射線検出器を製造するに当たって、従来は、
所定の大きさに切断し研磨した蛍光材料を、あいだに光
反射膜を挟みながら複数個接着することによって蛍光素
子がアレイ状に並んだものを形成し、それを光電変換素
子がアレイ状に複数個並列している光電変換器に接着し
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の製造方法では、
できあがったときの各蛍光素子間のピッチを正しく一定
にするためには、個別に切断された各蛍光材料の大きさ
の精度をきびしく管理する必要があり、また間に反射膜
を挟みながら寄せ集めて接着することは大変手間がかか
った。とくにＸ線ＣＴ装置用の検出器では高い解像度が
要求されるので、各素子間のピッチは１ｍｍ程度以下に
しなければならず、これを高い精度で加工するのは至難
の業であった。本発明の目的は、各蛍光素子間のピッチ
精度が上げられ、かつ生産性を向上できる製造方法を提
供することである。
できあがったときの各蛍光素子間のピッチを正しく一定
にするためには、個別に切断された各蛍光材料の大きさ
の精度をきびしく管理する必要があり、また間に反射膜
を挟みながら寄せ集めて接着することは大変手間がかか
った。とくにＸ線ＣＴ装置用の検出器では高い解像度が
要求されるので、各素子間のピッチは１ｍｍ程度以下に
しなければならず、これを高い精度で加工するのは至難
の業であった。本発明の目的は、各蛍光素子間のピッチ
精度が上げられ、かつ生産性を向上できる製造方法を提
供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、放射線を受光する蛍光素子を複数個並列
してなるアレイ型放射線検出器の製造方法において、ほ
ぼ前記蛍光素子のピッチ間隔に相当する厚さを持つ板状
の蛍光材料にシート状の光反射膜材料を接着し、両者の
複合体を所定の大きさに切断して蛍光材料の少なくとも
一面に光反射膜が接着された複合蛍光素子片を複数個作
り、この素子片を蛍光材料と光反射膜が交互に並ぶよう
に複数個接着して蛍光素子アレイを形成し、これを光電
変換素子がアレイ状に複数個並列している光電変換器に
接着する。
決するために、放射線を受光する蛍光素子を複数個並列
してなるアレイ型放射線検出器の製造方法において、ほ
ぼ前記蛍光素子のピッチ間隔に相当する厚さを持つ板状
の蛍光材料にシート状の光反射膜材料を接着し、両者の
複合体を所定の大きさに切断して蛍光材料の少なくとも
一面に光反射膜が接着された複合蛍光素子片を複数個作
り、この素子片を蛍光材料と光反射膜が交互に並ぶよう
に複数個接着して蛍光素子アレイを形成し、これを光電
変換素子がアレイ状に複数個並列している光電変換器に
接着する。
【０００５】切断前の板状蛍光材料を均一厚みになるよ
うに研磨などすることは比較的容易であるので、この板
状蛍光材料にシート状の光反射膜を張り付けたのち所定
の大きさに切断すれば、蛍光材料と反射膜が接着された
均一厚みの複合蛍光素子片を得ることができる。これを
蛍光材料と光反射膜が交互に並ぶように複数個接着する
ことによってピッチが一定の蛍光素子アレイが得られ
る。また各蛍光素子には各チャンネル間で光が行き来す
ることによるクロストークを防ぐための反射膜があらか
じめ接着済みであるので、これを複数個接着してアレイ
状に形成する工程も比較的容易であり、生産性がよい。
うに研磨などすることは比較的容易であるので、この板
状蛍光材料にシート状の光反射膜を張り付けたのち所定
の大きさに切断すれば、蛍光材料と反射膜が接着された
均一厚みの複合蛍光素子片を得ることができる。これを
蛍光材料と光反射膜が交互に並ぶように複数個接着する
ことによってピッチが一定の蛍光素子アレイが得られ
る。また各蛍光素子には各チャンネル間で光が行き来す
ることによるクロストークを防ぐための反射膜があらか
じめ接着済みであるので、これを複数個接着してアレイ
状に形成する工程も比較的容易であり、生産性がよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の放射線検出器の製
造方法の実施の形態を説明する図である。まず図１
（ａ）に示すように、板状の蛍光材料１とシート状の光
反射膜材料２を用意する。光反射膜２は白色マイラーな
どの市販のシートをそのまま使うこととし、蛍光材料１
の厚みと光反射膜材料２の厚みを加えたものが最終的に
目標とする蛍光素子のピッチｐになるように蛍光材料１
の厚みｐ’を研磨などによって調整する。そして接着剤
３を光反射膜材料３もしくは蛍光材料１の接着面に均一
に塗布し、両者を接着する。接着剤３は光に対して透明
な光学接着剤であることが好ましい。このとき、平らな
定盤の上などに両者を置き、平らな面を持つ重りなどを
上に乗せて均一に力がかかる様にするとよい。
造方法の実施の形態を説明する図である。まず図１
（ａ）に示すように、板状の蛍光材料１とシート状の光
反射膜材料２を用意する。光反射膜２は白色マイラーな
どの市販のシートをそのまま使うこととし、蛍光材料１
の厚みと光反射膜材料２の厚みを加えたものが最終的に
目標とする蛍光素子のピッチｐになるように蛍光材料１
の厚みｐ’を研磨などによって調整する。そして接着剤
３を光反射膜材料３もしくは蛍光材料１の接着面に均一
に塗布し、両者を接着する。接着剤３は光に対して透明
な光学接着剤であることが好ましい。このとき、平らな
定盤の上などに両者を置き、平らな面を持つ重りなどを
上に乗せて均一に力がかかる様にするとよい。
【０００７】次に図１（ｂ）に示すように、ダイシング
ソーなどを用いて蛍光材料１と光反射膜２の複合体を所
定の幅ｔになるように切断し、蛍光素子４に光反射膜５
が接着された複合蛍光素子片を複数個得る。ここでいう
所定の幅ｔとは検出するべき放射線が蛍光材料によって
ほぼすべて吸収されるのに必要な厚さである。なお、図
１では模式的に４個の蛍光素子片に切断し、４チャンネ
ルの検出素子アレイを制作する例を示しているが、チャ
ンネル数はこの例に限られないのはいうまでもなく、実
際には１６〜２４チャンネルの検出器として制作するこ
とが多い。
ソーなどを用いて蛍光材料１と光反射膜２の複合体を所
定の幅ｔになるように切断し、蛍光素子４に光反射膜５
が接着された複合蛍光素子片を複数個得る。ここでいう
所定の幅ｔとは検出するべき放射線が蛍光材料によって
ほぼすべて吸収されるのに必要な厚さである。なお、図
１では模式的に４個の蛍光素子片に切断し、４チャンネ
ルの検出素子アレイを制作する例を示しているが、チャ
ンネル数はこの例に限られないのはいうまでもなく、実
際には１６〜２４チャンネルの検出器として制作するこ
とが多い。
【０００８】次に図１（ｃ）に示すように、バラバラに
された蛍光素子片を、光反射膜５があいだに挟まれるよ
うに、すなわち図１（ｂ）で示されている蛍光素子片を
９０度回転するように並び替えたのち、接着剤によって
再び接着し、複数の蛍光素子４が一次元的に並列した蛍
光素子アレイを形成する。このように形成された蛍光素
子アレイは厚さｔを更にそろえるために図の上下の面を
研磨してもよい。
された蛍光素子片を、光反射膜５があいだに挟まれるよ
うに、すなわち図１（ｂ）で示されている蛍光素子片を
９０度回転するように並び替えたのち、接着剤によって
再び接着し、複数の蛍光素子４が一次元的に並列した蛍
光素子アレイを形成する。このように形成された蛍光素
子アレイは厚さｔを更にそろえるために図の上下の面を
研磨してもよい。
【０００９】最後の工程として、図１（ｄ）に示すよう
に、蛍光素子アレイ６を光電変換素子であるフォトダイ
オードアレイ７に接着する。このフォトダイオードアレ
イ７は別の工程でシリコン基板上に複数個の光電変換素
子がアレイ状に形成されたものである。この後、外周面
のうち反射膜の張り付けられていない面、すなわちこの
図で上面と前後の面および右側の面に光反射膜を接着
し、放射線検出器が完成する。
に、蛍光素子アレイ６を光電変換素子であるフォトダイ
オードアレイ７に接着する。このフォトダイオードアレ
イ７は別の工程でシリコン基板上に複数個の光電変換素
子がアレイ状に形成されたものである。この後、外周面
のうち反射膜の張り付けられていない面、すなわちこの
図で上面と前後の面および右側の面に光反射膜を接着
し、放射線検出器が完成する。
【００１０】（他の実施の形態）図２に他の実施の形態
を示す。この例では図２（ａ）に示すように、蛍光材料
２１の一面だけではなく前後の面を加えた３面に一枚の
光反射膜材料２２を接着する。その後点線で示す位置で
切断し、図２（ｂ）に示すように、光反射膜２５を挟む
ように蛍光素子２４を並べて接着し、蛍光素子アレイと
する。これを図１（ｄ）に示したと同様にフォトダイオ
ードアレイに接着して放射線検出器とするが、図２
（ｂ）に示した蛍光素子アレイでは図の前後の端面はす
でに光反射膜で覆われているので、図１に示した例と比
較して最終段階で張り付けるべき反射膜が少なくですむ
という効果がある。
を示す。この例では図２（ａ）に示すように、蛍光材料
２１の一面だけではなく前後の面を加えた３面に一枚の
光反射膜材料２２を接着する。その後点線で示す位置で
切断し、図２（ｂ）に示すように、光反射膜２５を挟む
ように蛍光素子２４を並べて接着し、蛍光素子アレイと
する。これを図１（ｄ）に示したと同様にフォトダイオ
ードアレイに接着して放射線検出器とするが、図２
（ｂ）に示した蛍光素子アレイでは図の前後の端面はす
でに光反射膜で覆われているので、図１に示した例と比
較して最終段階で張り付けるべき反射膜が少なくですむ
という効果がある。
【００１１】図３にはさらに他の実施の形態を示す。蛍
光材料３１の相対する面の両方に光反射膜材料３２と３
４を接着し、さらにその外側の面にはアルミニウムの蒸
着膜３３と３５を形成してある。これを用いて図１の
（ｂ）から（ｄ）と同様な工程で放射線検出器を制作す
ると、蛍光素子の間に光反射膜が２枚挟まれ、さらにそ
の反射膜の間にはアルミニウムの光反射層が挟まれた検
出器ができあがる。この形態では、光反射の効率がよい
のでチャンネル間のクロストークの減少などに効果があ
る。
光材料３１の相対する面の両方に光反射膜材料３２と３
４を接着し、さらにその外側の面にはアルミニウムの蒸
着膜３３と３５を形成してある。これを用いて図１の
（ｂ）から（ｄ）と同様な工程で放射線検出器を制作す
ると、蛍光素子の間に光反射膜が２枚挟まれ、さらにそ
の反射膜の間にはアルミニウムの光反射層が挟まれた検
出器ができあがる。この形態では、光反射の効率がよい
のでチャンネル間のクロストークの減少などに効果があ
る。
【００１２】また、さらに他の実施の形態として、図１
の光反射膜材料２として、単独の白色マイラーの代わり
に２枚の白色マイラーの間にアルミニウム箔を挟んだサ
ンドイッチ構造の光反射膜材料を使用することもでき
る。その後は図１で説明した通りの工程で放射線検出器
を製造する。この場合、図３に示した実施の形態と同様
にチャンネル間のクロストークの減少などに効果があ
る。
の光反射膜材料２として、単独の白色マイラーの代わり
に２枚の白色マイラーの間にアルミニウム箔を挟んだサ
ンドイッチ構造の光反射膜材料を使用することもでき
る。その後は図１で説明した通りの工程で放射線検出器
を製造する。この場合、図３に示した実施の形態と同様
にチャンネル間のクロストークの減少などに効果があ
る。
【００１３】本発明の製造方法によって次の放射線検出
器を製造することができる。ほぼ放射線検出素子のピッ
チ間隔に相当する厚さを持つ板状の蛍光材料にシート状
の光反射膜材料を接着し、両者の複合体を所定の大きさ
に切断して蛍光材料の少なくとも一面に光反射膜が接着
された複合蛍光素子片を複数個作り、この素子片を蛍光
材料と光反射膜が交互に並ぶように複数個接着して蛍光
素子アレイを形成し、これを光電変換素子がアレイ状に
複数個並列している光電変換器に接着して製造すること
を特徴とする放射線検出器。
器を製造することができる。ほぼ放射線検出素子のピッ
チ間隔に相当する厚さを持つ板状の蛍光材料にシート状
の光反射膜材料を接着し、両者の複合体を所定の大きさ
に切断して蛍光材料の少なくとも一面に光反射膜が接着
された複合蛍光素子片を複数個作り、この素子片を蛍光
材料と光反射膜が交互に並ぶように複数個接着して蛍光
素子アレイを形成し、これを光電変換素子がアレイ状に
複数個並列している光電変換器に接着して製造すること
を特徴とする放射線検出器。
【００１４】
【発明の効果】本発明の放射線検出器の製造方法では、
所定の厚みに研磨された蛍光材料にあらかじめ光反射膜
を張り付けて一緒に切断するので、蛍光素子の一面に光
反射膜が接着された均一な厚みの蛍光素子片を容易に得
ることができる。これを光反射膜を間に挟むようにし
て、すなわち均一な厚みの方向を並べるようにして、互
いに接着しアレイ状に形成するのでピッチのそろった蛍
光素子アレイを得られ、これを光電変換素子アレイに位
置をそろえて接着することで各検出素子のピッチがよく
そろった性能のよい放射線検出器を容易に得ることがで
きる。
所定の厚みに研磨された蛍光材料にあらかじめ光反射膜
を張り付けて一緒に切断するので、蛍光素子の一面に光
反射膜が接着された均一な厚みの蛍光素子片を容易に得
ることができる。これを光反射膜を間に挟むようにし
て、すなわち均一な厚みの方向を並べるようにして、互
いに接着しアレイ状に形成するのでピッチのそろった蛍
光素子アレイを得られ、これを光電変換素子アレイに位
置をそろえて接着することで各検出素子のピッチがよく
そろった性能のよい放射線検出器を容易に得ることがで
きる。
【００１５】また各蛍光素子と蛍光素子の間に必要な光
反射膜を個別に接着する必要がないので手間がかからず
生産性がよい。
反射膜を個別に接着する必要がないので手間がかからず
生産性がよい。
【図１】本発明の放射線検出器の製造方法の一つの実施
の形態を説明する図である。
の形態を説明する図である。
【図２】本発明の他の実施の形態を説明する図である。
【図３】本発明のさらに他の実施の形態を説明する図で
ある。
ある。
１…蛍光材料 ２…光反射膜材料 ３…接着剤 ４…蛍光素子 ５…光反射膜 ６…蛍光素子アレイ ７…フォトダイオードアレイ ２１…蛍光材料 ２２…光反射膜材料 ２４…蛍光素子 ２５…光反射膜 ３１…蛍光材料 ３２…光反射膜材料 ３３…Ａｌ蒸着膜 ３４…光反射膜材料 ３５…Ａｌ蒸着膜
Claims (1)
- 【請求項１】 放射線を受光する蛍光素子を複数個並列
してなるアレイ型放射線検出器の製造方法であって、ほ
ぼ前記蛍光素子のピッチ間隔に相当する厚さを持つ板状
の蛍光材料にシート状の光反射膜材料を接着し、両者の
複合体を所定の大きさに切断して蛍光材料の少なくとも
一面に光反射膜が接着された複合蛍光素子片を複数個作
り、この素子片を蛍光材料と光反射膜が交互に並ぶよう
に複数個接着して蛍光素子アレイを形成し、これを光電
変換素子がアレイ状に複数個並列している光電変換器に
接着することを特徴とする放射線検出器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21053595A JPH0954161A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 放射線検出器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21053595A JPH0954161A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 放射線検出器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954161A true JPH0954161A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16590972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21053595A Pending JPH0954161A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 放射線検出器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0954161A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7053380B2 (en) | 2002-02-08 | 2006-05-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray detector and method for producing X-ray detector |
| JP2024069296A (ja) * | 2019-10-31 | 2024-05-21 | 株式会社東芝 | シンチレータアレイ、放射線検出器、および放射線検査装置 |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP21053595A patent/JPH0954161A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7053380B2 (en) | 2002-02-08 | 2006-05-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray detector and method for producing X-ray detector |
| JP2024069296A (ja) * | 2019-10-31 | 2024-05-21 | 株式会社東芝 | シンチレータアレイ、放射線検出器、および放射線検査装置 |
| US12504549B2 (en) | 2019-10-31 | 2025-12-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Scintillator array, method for manufacturing scintillator array, radiation detector, and radiation inspection device |
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