JPH0955180A - 電子ビーム装置 - Google Patents
電子ビーム装置Info
- Publication number
- JPH0955180A JPH0955180A JP7208007A JP20800795A JPH0955180A JP H0955180 A JPH0955180 A JP H0955180A JP 7208007 A JP7208007 A JP 7208007A JP 20800795 A JP20800795 A JP 20800795A JP H0955180 A JPH0955180 A JP H0955180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- chamber
- sample
- sluice valve
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料ホルダーを試料室に入れたり抜いたりし
ても、鏡筒内の真空度を悪化（圧力が高くなる）させる
ことなく、電子銃室内に設置された電界放出型電子銃の
エミッターが破損する事を防止する事。 【解決手段】 試料保持部１１が光軸上と該光軸近傍の
所定の位置の間に無い時は仕切弁６は閉じた状態にあ
る。試料ホルダー１０の移動により、試料保持部１１が
光軸近傍に来た時にスイッチ１２に触れ、該スイッチが
オンの状態となる。すると、信号が流れ、制御装置１３
は該信号により仕切弁駆動機構７に指令を送り、仕切弁
６をオープンの状態にする。一方、試料ホルダ１０を移
動させ、試料保持部１１を光軸上から予備室９の方向へ
移動させる。この移動の間、試料保持部からスイッチ１
２が離れ、該スイッチがオフの状態となり、制御装置１
３に信号が流れなくなる。その為に、該制御装置は仕切
弁駆動機構７に指令を送り、前記仕切弁６を閉じる状態
にする。
ても、鏡筒内の真空度を悪化（圧力が高くなる）させる
ことなく、電子銃室内に設置された電界放出型電子銃の
エミッターが破損する事を防止する事。 【解決手段】 試料保持部１１が光軸上と該光軸近傍の
所定の位置の間に無い時は仕切弁６は閉じた状態にあ
る。試料ホルダー１０の移動により、試料保持部１１が
光軸近傍に来た時にスイッチ１２に触れ、該スイッチが
オンの状態となる。すると、信号が流れ、制御装置１３
は該信号により仕切弁駆動機構７に指令を送り、仕切弁
６をオープンの状態にする。一方、試料ホルダ１０を移
動させ、試料保持部１１を光軸上から予備室９の方向へ
移動させる。この移動の間、試料保持部からスイッチ１
２が離れ、該スイッチがオフの状態となり、制御装置１
３に信号が流れなくなる。その為に、該制御装置は仕切
弁駆動機構７に指令を送り、前記仕切弁６を閉じる状態
にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、電界放出型電子
銃を備えた電子ビーム装置に関する。
銃を備えた電子ビーム装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 電子顕微鏡等の電子ビーム装置におい
て、電子銃として電界放出型電子銃が使用されているも
のが少なくない。この電界放出型電子銃は、エミッター
と呼ばれる電子源と、該エミッターから電子を引出す為
の引出し電極を有するが、この様な電界放出型電子銃に
おいて、エミッターから電子を放出させる場合、如何に
エミッターを破損させずに、しかも、長時間安定に電子
放出を持続させるかが課題となる。この課題の解決策の
一番手に上げられるのは何と言っても電子銃周りの真空
度を可能な限り良く（圧力を低くする）してその真空度
を保持する事、即ち、超高真空を保持する事であると言
っても過言ではない。
て、電子銃として電界放出型電子銃が使用されているも
のが少なくない。この電界放出型電子銃は、エミッター
と呼ばれる電子源と、該エミッターから電子を引出す為
の引出し電極を有するが、この様な電界放出型電子銃に
おいて、エミッターから電子を放出させる場合、如何に
エミッターを破損させずに、しかも、長時間安定に電子
放出を持続させるかが課題となる。この課題の解決策の
一番手に上げられるのは何と言っても電子銃周りの真空
度を可能な限り良く（圧力を低くする）してその真空度
を保持する事、即ち、超高真空を保持する事であると言
っても過言ではない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 所で、例えば、電子
顕微鏡においては、通常、鏡筒のトップに電子銃室があ
り、その下方に集束レンズ設置空間を挟んで試料室が設
けられており、試料交換等の度に試料ホルダーを試料室
に入れたり抜いたりしている。この試料ホルダーの出入
れに伴い鏡筒内の真空度が悪化（圧力が高くなる）し、
その為に、電子銃室内に設置された電界放出型電子銃の
エミッターが破損する事がある。
顕微鏡においては、通常、鏡筒のトップに電子銃室があ
り、その下方に集束レンズ設置空間を挟んで試料室が設
けられており、試料交換等の度に試料ホルダーを試料室
に入れたり抜いたりしている。この試料ホルダーの出入
れに伴い鏡筒内の真空度が悪化（圧力が高くなる）し、
その為に、電子銃室内に設置された電界放出型電子銃の
エミッターが破損する事がある。
【０００４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、新規な電子ビーム装置を提供するものである。
もので、新規な電子ビーム装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 請求項１の発明に基づ
く電子ビーム装置は、電子銃室と試料室を持つ電子ビー
ム装置において、前記試料室に出入れされる試料保持部
の位置に基づいて前記電子銃室と試料室との間に設けら
れた仕切弁を開閉させる様に成した事を特徴としてい
る。
く電子ビーム装置は、電子銃室と試料室を持つ電子ビー
ム装置において、前記試料室に出入れされる試料保持部
の位置に基づいて前記電子銃室と試料室との間に設けら
れた仕切弁を開閉させる様に成した事を特徴としてい
る。
【０００６】請求項２の発明に基づく電子ビーム装置
は、電子銃室と試料室を持つ電子ビーム装置において、
前記試料室に出入れされる試料保持部が光軸上若しくは
光軸近傍に位置している時には前記電子銃室と試料室と
の間に設けられた仕切弁を開け、前記試料保持部が光軸
上若しくは光軸近傍に位置していない時には閉じる様に
成す仕切弁開閉機構を設けた事を特徴としている。
は、電子銃室と試料室を持つ電子ビーム装置において、
前記試料室に出入れされる試料保持部が光軸上若しくは
光軸近傍に位置している時には前記電子銃室と試料室と
の間に設けられた仕切弁を開け、前記試料保持部が光軸
上若しくは光軸近傍に位置していない時には閉じる様に
成す仕切弁開閉機構を設けた事を特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】 以下、図面を参照して本発明の
実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一例とし
て電子顕微鏡の概略を示している。図中１は鏡筒で、そ
のトップに電界放出型電子銃２を備えた電子銃室３が設
けられている。４は電子銃室３直下に設けられた集束レ
ンズである。５は試料室で、該試料室と前記集束レンズ
配置空間との間に仕切弁６が設けられており、該仕切弁
は仕切弁駆動機構７により動作する。前記試料室５には
仕切弁８を介して予備室９が設けられている。該予備室
及び前記試料室５は排気ポンプ（図示せず）により排気
される様に成っており、試料ホルダ１０の移動によりそ
の先端部の試料保持部１１を前記予備室９内に位置させ
た状態で前記バルブ８を閉めてから、該予備室をリーク
し、前記試料ホルダ１０の移動により試料保持部１１を
大気中に引っこ抜いて試料交換する様に成している。そ
して、前記試料ホルダ１０の移動により該試料保持部を
前記予備室９に突っ込んでから、該予備室を所定の圧力
まで排気し、それから前記バルブ８を開け、試料ホルダ
１０の移動により該試料保持部を試料室５の中心、即
ち、光軸上に位置させる様に成している。１２は、前記
試料保持部１１が移動して光軸近傍に来た時に該試料保
持部に接触されることによりスイッチオンし、該試料保
持部が移動して光軸近傍から離れた時にスイッチオフす
る様に成したスイッチである。１３は該スイッチからの
信号により前記仕切弁駆動機構の動作を制御する制御装
置である。尚、前記試料室５の下方には投影レンズ配置
空間、観察室、カメラ室等が設けられている。
実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一例とし
て電子顕微鏡の概略を示している。図中１は鏡筒で、そ
のトップに電界放出型電子銃２を備えた電子銃室３が設
けられている。４は電子銃室３直下に設けられた集束レ
ンズである。５は試料室で、該試料室と前記集束レンズ
配置空間との間に仕切弁６が設けられており、該仕切弁
は仕切弁駆動機構７により動作する。前記試料室５には
仕切弁８を介して予備室９が設けられている。該予備室
及び前記試料室５は排気ポンプ（図示せず）により排気
される様に成っており、試料ホルダ１０の移動によりそ
の先端部の試料保持部１１を前記予備室９内に位置させ
た状態で前記バルブ８を閉めてから、該予備室をリーク
し、前記試料ホルダ１０の移動により試料保持部１１を
大気中に引っこ抜いて試料交換する様に成している。そ
して、前記試料ホルダ１０の移動により該試料保持部を
前記予備室９に突っ込んでから、該予備室を所定の圧力
まで排気し、それから前記バルブ８を開け、試料ホルダ
１０の移動により該試料保持部を試料室５の中心、即
ち、光軸上に位置させる様に成している。１２は、前記
試料保持部１１が移動して光軸近傍に来た時に該試料保
持部に接触されることによりスイッチオンし、該試料保
持部が移動して光軸近傍から離れた時にスイッチオフす
る様に成したスイッチである。１３は該スイッチからの
信号により前記仕切弁駆動機構の動作を制御する制御装
置である。尚、前記試料室５の下方には投影レンズ配置
空間、観察室、カメラ室等が設けられている。
【０００８】この様な構成の動作を次に説明する。
【０００９】先ず、大気中で試料交換された試料保持部
１１を試料ホルダ１０の移動により前記予備室９に突っ
込んでから、該予備室を所定の圧力まで排気し、それか
らバルブ８を開け、前記試料ホルダ１０の移動により前
記試料保持部１１を試料室５の中心、即ち、光軸上に位
置させる様にする。この間、試料保持部１１が光軸上と
該光軸近傍の所定の位置の間に無い時には、仕切弁６は
閉じた状態にある。一方、この様な移動の際、前記試料
保持部１１が光軸近傍に来た時にスイッチ１２に触れる
と、該スイッチがオンの状態となる。すると、信号が流
れ、制御装置１３は該信号により前記仕切弁駆動機構７
に指令を送り、仕切弁６をオープンの状態にする。この
状態の下で、光軸上に位置した試料保持部１１の試料に
集束レンズ４により集束した電子銃２からの電子ビーム
を照射し、その透過電子を投影レンズ（図示せず）によ
り観察室（図示せず）の蛍光板（図示せず）上に結像さ
せ、試料の透過電子像を観察するようにしている。一
方、試料を交換する場合には、試料ホルダ１０を移動さ
せ、試料保持部１１を光軸上から予備室９の方向へ移動
させる。この移動の間、該試料保持部からスイッチ１２
が離れ該スイッチはオフの状態となり、制御装置１３に
信号が流れなくなる。その為に、該制御装置は仕切弁駆
動機構７に指令を送り、前記仕切弁６を閉じる状態にす
る。この状態で、前記試料保持部１１が予備室方向に移
動し、該予備室内に入ると、仕切り弁８が閉じる。そし
て、該予備室内がリークされ、該試料保持部１１を試料
ホルダ１０の移動により大気中に引っこ抜き試料交換す
る様に成している。
１１を試料ホルダ１０の移動により前記予備室９に突っ
込んでから、該予備室を所定の圧力まで排気し、それか
らバルブ８を開け、前記試料ホルダ１０の移動により前
記試料保持部１１を試料室５の中心、即ち、光軸上に位
置させる様にする。この間、試料保持部１１が光軸上と
該光軸近傍の所定の位置の間に無い時には、仕切弁６は
閉じた状態にある。一方、この様な移動の際、前記試料
保持部１１が光軸近傍に来た時にスイッチ１２に触れる
と、該スイッチがオンの状態となる。すると、信号が流
れ、制御装置１３は該信号により前記仕切弁駆動機構７
に指令を送り、仕切弁６をオープンの状態にする。この
状態の下で、光軸上に位置した試料保持部１１の試料に
集束レンズ４により集束した電子銃２からの電子ビーム
を照射し、その透過電子を投影レンズ（図示せず）によ
り観察室（図示せず）の蛍光板（図示せず）上に結像さ
せ、試料の透過電子像を観察するようにしている。一
方、試料を交換する場合には、試料ホルダ１０を移動さ
せ、試料保持部１１を光軸上から予備室９の方向へ移動
させる。この移動の間、該試料保持部からスイッチ１２
が離れ該スイッチはオフの状態となり、制御装置１３に
信号が流れなくなる。その為に、該制御装置は仕切弁駆
動機構７に指令を送り、前記仕切弁６を閉じる状態にす
る。この状態で、前記試料保持部１１が予備室方向に移
動し、該予備室内に入ると、仕切り弁８が閉じる。そし
て、該予備室内がリークされ、該試料保持部１１を試料
ホルダ１０の移動により大気中に引っこ抜き試料交換す
る様に成している。
【００１０】この様に、試料保持部が光軸上と該光軸近
傍の間に位置していない時には、電子銃室３と試料室５
の間に設けられた仕切弁６が自動的に閉じた状態にあ
る。従って、試料交換等の度に試料ホルダーを試料室に
入れたり抜いたりしても、鏡筒内の真空度が悪化（圧力
が高くなる）することなく、その為に、電子銃室内に設
置された電界放出型電子銃のエミッターが破損する事が
防止される。
傍の間に位置していない時には、電子銃室３と試料室５
の間に設けられた仕切弁６が自動的に閉じた状態にあ
る。従って、試料交換等の度に試料ホルダーを試料室に
入れたり抜いたりしても、鏡筒内の真空度が悪化（圧力
が高くなる）することなく、その為に、電子銃室内に設
置された電界放出型電子銃のエミッターが破損する事が
防止される。
【図１】 本発明の一例として電子顕微鏡の概略を示し
ている。
ている。
１ 鏡筒 ２ 電界放出型電子銃 ３ 電子銃室 ４ 集束レンズ ５ 試料室 ６ 仕切弁 ７ 仕切弁駆動機構 ８ 仕切弁 ９ 予備室 １０ 試料ホルダ １１ 試料保持部 １２ スイッチ １３ 制御装置
Claims (2)
- 【請求項１】 電子銃室と試料室を持つ電子ビーム装置
において、前記試料室に出入れされる試料保持部の位置
に基づいて前記電子銃室と試料室との間に設けられた仕
切弁を開閉させる様に成した電子ビーム装置。 - 【請求項２】 電子銃室と試料室を持つ電子ビーム装置
において、前記試料室に出入れされる試料保持部が光軸
上若しくは光軸近傍に位置している時には前記電子銃室
と試料室との間に設けられた仕切弁を開け、前記試料保
持部が光軸上若しくは光軸近傍に位置していない時には
閉じる様に成す仕切弁開閉機構を設けた電子ビーム装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7208007A JPH0955180A (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子ビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7208007A JPH0955180A (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子ビーム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0955180A true JPH0955180A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16549132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7208007A Withdrawn JPH0955180A (ja) | 1995-08-15 | 1995-08-15 | 電子ビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0955180A (ja) |
-
1995
- 1995-08-15 JP JP7208007A patent/JPH0955180A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021105 |