JPS6131225Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡に使用される電子銃装置に
関する。

電界放出型電子銃等においては電子銃室を極め
て超高真空に保たねばならない。この超高真空を
達成するには、電子銃室内壁を加熱しながら排気
するいわゆる焼出し処理を行なわなければならな
いため、非常に長い時間を要する。そこでエミツ
ターが破損した場合には従来の熱電子放出型電子
銃のようにユーザが直接電子銃室の真空を破つて
交換するのではなく、メーカーにて予じめ真空排
気中の電子顕微鏡本体に接続した状態で焼き出し
処理を施こされた電子銃室を用意しておき、この
電子銃室を真空を破ることなく前記電子顕微鏡本
体から取り外した後、ユーザーに運んでユーザー
の電子顕微鏡に取りつけ、いわば電子銃室ごと交
換することが試みられた。ところで、電子銃室の
底板には電子線を電子銃室外へ取り出すための孔
が設けられているが、上記のように電子銃室ごと
交換をするには、この孔を外部から操作して塞が
ねばならない。その為従来においては、電子銃室
底板に取り付けられた弁室内に設けられた仕切弁
を光軸と垂直な方向に移動させるための駆動棒を
顕微鏡本体に取り付けられた駆動機構によつて駆
動して仕切弁を閉じた後、電子銃室を取り外して
いたが、前記仕切弁と駆動棒とは一体的に連結さ
れており、且つ駆動棒は駆動機構とも一体的に連
結されていたため、電子銃室と駆動機構とを簡単
に分離することはできなかつた。そのため電子銃
室に重量のある駆動機構を取り付けたまま運ばな
ければならず、前述した電子銃室の交換を行う上
で不便であつた。

本考案はこのような従来の欠点を解決し、電子
銃室を仕切弁で閉じた後、電子銃室を駆動機構か
ら簡単に分離して容易に運搬することのできる電
子顕微鏡用電子銃装置を提供することを目的とす
るもので、鏡体に着脱自在に取付けられ、電子銃
を収納して超高真空に保たれた電子銃室と、前記
電子銃から発生した電子線を鏡体内に導びくため
の電子銃室に形成された電子線通過穴と、該電子
線通過穴を前記鏡体側から遮断する仕切弁を収納
するための電子銃室底板に取り付けられた弁室
と、前記仕切弁を一方向に移動させるための駆動
棒と、前記鏡体外部より該駆動棒の駆動を行うた
めの前記鏡体に取り付けられた駆動機構とを備
え、前記仕切弁と駆動棒との連結部は前記移動方
向とは略垂直な方向の仕切弁の移動を自由とする
ように構成することにより、電子銃室を鏡体から
持ち上げただけで仕切弁と駆動軸が分離できるよ
うにしたことを特徴としており、以下本考案を第
１図に示した実施例に基づき詳説する。

図において１は電子銃室で、該電子銃室は集束
レンズ（図示せず）等を納めた鏡体２上にボルト
３を介して着脱自在に取付けられ、又該電子銃室
はこの電子銃室の底板１ａの略中央部に設けた電
子線通過穴４を介して前記鏡体２内に連通され
る。更に該電子銃室１内にはエミツター５と引出
し電極６と陽極７とから構成される電界放出型電
子銃８が碍子９を介して設置されている。更に又
該電子銃室には排気管１０を介して例えばイオン
ポンプ等の超高真空ポンプ１１が一体に固定さ
れ、これによりこの電子銃室内は圧力が例えば
10^-8Torr以下の超高真空に保つことができる。
１２は前記電子銃室の底板１ａの下部に固定され
た弁室で、該弁室内には前記電子銃室に形成され
た電子線通過穴４を閉鎖する仕切弁１３が移動可
能に設置されている。該仕切弁１３は電子線通過
穴４を直接閉鎖するパツキングを有した弁体１４
とこの弁体を保持するようにおかれた押圧体１５
とからなり、この弁体と押圧体には夫々傾斜面１
６ａ，１６ｂが形成してあり、又弁体と押圧体と
の間にはスプリング１７（第２図参照）が設けて
ある。今第２図に示すように押圧体１５が光軸
（電子線通過穴４）から離れているときには、弁
体は押圧体に形成された第１の水平面１８ａ上に
おかれ、傾斜面１６ａと１６ｂとは接触してい
る。この状態において押圧体１５を光軸に近づけ
るように移動することにより弁体１４を電子線通
過穴４直下まで移動させるとこの弁体はストツパ
ー１９にてその移動が停止される。この状態にお
いて更に押圧体を移動すると傾斜面１６ａと１６
ｂとの間ですべりが生ずるため弁体４が上方に押
上げられ、第１図にその状態を示すように弁体は
押圧体に形成された第２の水平面１８ｂ上に載置
される。これにより弁体１４は電子銃室底板１ａ
に一定の押圧力でもつて押圧され、電子線通過穴
４を閉鎖する。

２０は前記押圧体１５の移動を行なわせるため
の駆動機構で、該駆動機構は鏡体２側壁に固定さ
れたシリンダー２１とこのシリンダー内に嵌合さ
れたピストン２２とこのピストンの動きを前記押
圧体に伝達するための駆動棒２３とから構成され
ており、パイプ２４ａ側にコンプレツサー（図示
せず）からの圧縮空気を導入することにより弁体
１４が電子銃室を閉じ、又パイプ２４ｂ側に圧縮
空気を導入することにより開放する。前記駆動棒
２３の押圧体１５への取付けにあたつては簡単に
取外しできるように構成されている。即ち駆動棒
の先端にピン２５ａ，２５ｂ（２５ｂは第３図参
照）を固定し、又第３図に示すように押圧体の下
面には前記駆動棒２３のピン２５ａ，２５ｂ部分
を嵌合するためのＴ字状の溝２６が形成してあ
る。尚２７は前記弁室１２に形成した欠切部、２
８ａ及び２８ｂは弁体１４が閉鎖しているとき押
圧体１５の移動を阻止するためのビスである。

斯くして弁体１４を開放した状態において電子
銃室１の外周に加熱ヒーター（図示せず）を巻装
し、電子銃室を高温に加熱しながら電子線通過穴
４を介してこの電子銃室内を排気することにより
焼出し処理を行なつた後、弁体１４を閉鎖する。
この状態においてボルト３を取り外すことにより
電子銃室を鏡体２からぬき出せば駆動棒２３及び
ピン２５ａ，２５ｂは押圧体１５の溝２６からぬ
けるため、第４図にその状態を示すように電子銃
室には弁部だけ残る。

尚、上述した実施例においては、駆動棒２３に
ピン２５ａ，２５ｂを取り付けるようにしたが、
このようなピンの代りに駆動棒２３に突起部を設
けるようにしても良い。

上述したように本案においては、前記仕切弁と
駆動軸との連結部は前記駆動軸の移動方向とは略
垂直な方向の仕切弁の移動を自由とするように構
成されているため、電子銃室を鏡体から持ち上げ
ただけで仕切弁と駆動軸が分離でき、電子銃室の
運搬にあたつて大型で且つ重量の重い仕切弁の駆
動機構を同時に運搬する必要がなくなるため、極
めて便利となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は本考案で使用される仕切弁の動作説明図、第
３図は第１図で示される押圧体の下面図、第４図
は本考案の動作説明図である。 第１図において１は電子銃室、２は鏡体、４は
電子線通過穴、８は電界放出型電子銃、１１は超
高真空ポンプ、１２は弁室、１３は弁体と押圧体
１５とからなる仕切弁、１９はストツパー、２０
は駆動機構である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 鏡体に着脱自在に取付けられ、電子銃を収納し
   て超高真空に保たれた電子銃室と、前記電子銃か
   ら発生した電子線を鏡体内に導くための電子銃室
   に形成された電子線通過穴と、該電子線通過穴を
   前記鏡体側から遮断する仕切弁を収納するための
   電子銃室底板に取付けられた弁室と、前記仕切弁
   を一方向に移動させるための駆動棒と、前記鏡体
   外部より該駆動棒の駆動を行うための前記鏡体に
   取付けられた駆動機構とを備えると共に、前記電
   子銃室と一体的に前記弁室を前記仕切弁の移動方
   向とは略垂直な方向に移動させた際に、前記仕切
   弁と前記駆動棒との連結が外れるように該両者を
   連結するため、前記駆動棒の先端にはピン又は突
   起部が備えられており、前記仕切弁には該ピン又
   は突起部が嵌合する溝が設けられていることを特
   徴とする電子顕微鏡用電子銃装置。