JPH095653A - 自己整列式メカニカル光スイッチ - Google Patents

自己整列式メカニカル光スイッチ

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JPH095653A
JPH095653A JP8145433A JP14543396A JPH095653A JP H095653 A JPH095653 A JP H095653A JP 8145433 A JP8145433 A JP 8145433A JP 14543396 A JP14543396 A JP 14543396A JP H095653 A JPH095653 A JP H095653A
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split
mechanical optical
waveguide
silica
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Herman M Presby
メルヴィン プレスビー ハーマン
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的に安定した光スイッチを提供する。 【解決手段】 低挿入損失を有する機械的に安定な自
己整列式光スイッチは、複数の導波路を含む２つシリカ
光構造を使用することによって達成される。各構造内の
導波路は共通平面に配置される。モノリシックシリカ光
構造を割ることによりこのようなシリカ光構造を得るこ
とができる。一実施例において、この構造は、共通平面
に整列された可動及び固定ベースのそれぞれの平らな表
面上に配置される。この構造は、さらに、その割られた
縁部が互いに隣接して向かい合うように位置決めされ
る。このように、割られた構造の導波路は、ベースの平
らな表面に垂直な方向に効果的に自己整列される。動作
時、可動ベースは割られた縁部に沿った方向に移動し
て、各構造の導波路間の接続を選択的に提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光信号のルーティン
グに関し、特に、導波路整列の質を高めたメカニカル光
スイッチ構造に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】光スイ
ッチはファィバ光通信システムにおいていくつかの応用
がある。メカニカル光スイッチは、波長と偏光が独立し
ておりまた非常に高速なスイッチングを要求しないスイ
ッチング応用に使用されて来た。メカニカル光スイッチ
は、光ファイバルーティング応用において、例えば、光
信号情報を運ぶ信頼できるファィバ伝送ルートを提供す
べく特定の光信号経路を切り換えるために使われて来
た。メカニカル光スイッチの他の典型的な使用は、複数
の光ファィバの各々と、光ファイバルートを検査する測
定機器または光ファイバに接続された部品との間の接続
を提供することである。
【０００３】種々のメカニカル光スイッチ構造が市販さ
れている。これらのスイッチは、光部品可動型可動型ス
イッチかあるいはファィバ可動型スイッチのどちらかの
典型的な特徴がある。これらの型のスイッチの例は、参
照によりここに含まれる、Ｎ．カシマによる「光ファィ
バ伝送用受動光部品」第３章，第３０７〜３２５ペー
ジ，（Ａrtech Ｈouse 1995 ）（カシマ文献）に提供さ
れている。光部品可動型スイッチの例は、端部が互いに
隣接するように平行に配置された第１の光ファィバの端
部から第２の光ファイバの端部に選択的に光信号を向け
直すために可動ミラーまたはプリズムを使用する構造を
含んでいる。同種のスイッチは、互いに向かい合わせに
なっている光ファィバの縁部に選択的に挿入される不透
明な可動遮蔽板を使用している。しかしながら、知られ
ている光部品可動型スイッチは、典型的にオンオフスイ
ッチあるいは１×２スイッチとして動作し、１×ＮやＭ
×Ｎスイッチの応用のような多数ポートのスイッチング
を提供することができない。
【０００４】現在入手可能なファィバ可動型スイッチ
は、多数ポートスイッチングを提供するが、機械的に複
雑で高価であり、たいてい不十分な整列になっていて頻
繁な調整を必要とする。例えば、知られているファィバ
可動型スイッチ構造の１つは、ガイドピンを持つ可動フ
ァイバコネクタプラグと、ピンソケットを持つ一連の固
定ファイバコネクタ受けプラグを使用している。動作
時、可動プラグは、固定プラグと合わせるのに望ましい
位置へおおまかに運ばれ、次いでガイドピンをソケット
に挿入するように固定プラグに押し込むことにより精密
に整列される。この複雑で高価なスイッチ構造は上記に
引用したカシマ文献により詳細に記述されている。
【０００５】ファィバ可動型スイッチの他の例は、カリ
フォルニア州バークレイのドラコンファイバ オプティ
クス社で製造されている。この光スイッチは、格子式指
標（ＧＲＩＮ）ロッドレンズを用いて光ファィバから光
ビームを広げることに基づく構造を持っている。光ファ
ィバとレンズは、光ビームが他のレンズに集光されて受
光する光ファィバ上に焦点を合わせられる位置に希望す
るファイバを回転させる輪に取り付けられている。この
ようなスイッチ構造は高価であり、頻繁な調整を要求す
る不十分な整列に苦しんでいる。
【０００６】したがって、多数ポートスイッチング動作
を提供できる、シンプルでローコストかつ機械的に安定
な光スイッチの認知された要求がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】低挿入損失で機械的に安
定な自己整列式光スイッチは、複数の導波路を含む二つ
のシリカ光構造を使用する。このシリカ光構造は、モノ
リシックなシリカ光構造を割ることにより作られる。こ
の割られた構造は、互いに隣接して向かい合っている割
られた縁部による共通平面に配置導波路と共に、スイッ
チ内に配置される。例えば、この割られた構造は、同様
に共通平面に整列される可動ベース及び固定ベースの各
平坦面に配置することができる。
【０００８】このように、割られた構造の導波路は、導
波路の共通平面またはベースの平らな面に垂直な方向に
効果的に自己整列される。モノリシックな光ガイド構造
から割られたシリカ光構造の使用は好都合にもこの自己
整列を容易にする。この自己整列の結果、導波路の共通
平面に垂直な方向に要求されるさらなる整列はなくな
る。
【０００９】動作時、可動ベースは、導波路の平面ある
いはベースの平らな表面に平行な方向の整列ばかりでな
く各構造における導波路間の接続も選択的に提供するた
めに、割られた縁部に沿った方向に移動する。可動ベー
スを動かすのに適する方法の１つは、例えば、ネジ山付
き軸が可動ベースに取り付けられた内部ネジ山付スリー
ブとかみ合うネジ駆動型メカニズムである。軸に結合さ
れたモーターは、希望する導波路接続及び整列を達成す
るように可動ベースを正確に位置決めする精密な方法
で、軸を回転させる。したがって、本発明は、多数ポー
トスイッチングを提供できる、ローコストで機械的にシ
ンプルで安定な自己整列式スイッチ構造を提供する。本
発明の追加の特徴と利点は以下の詳細な説明と添付図面
から、より容易に明らかになるだろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明は、メカニカル光スイッチ
の自己整列は、共通平面に配置される複数の導波路を含
む二つのシリカ光構造を使うことによって達成され、そ
して前記の構造はモノリシックなシリカ光構造を割るこ
とによって形成できる、という発見に基づいている。こ
の割られた構造は、導波路が共通平面に互いに隣接しか
つ向かい合った割られた縁部として残るのを保証するよ
うに整列された仕方で配置される。例えば、固定ベース
と可動ベースの各々の平らな表面上に割られた構造を配
置することが可能である。したがって、割られた構造の
導波路は、この共通平面に維持されるので、導波路の共
通平面またはベースの平坦面に垂直な方向に自己整列さ
れる。導波路の共通平面に平行な方向への導波路の整列
と、各構造の導波路の間の接続は、割られた縁部に沿っ
た方向に可動ベースを動かすことで生じる。
【００１１】本発明による典型的なメカニカル光スイッ
チ１は図１及び図２に示される。スイッチ１は、取付ブ
ラケット１０に一体形成または固定された固定ベース５
を含む。可動ベース１５は、固定ベース５に平行なｘ方
向に動くように取付ブラケット１０に移動可能に取り付
けられている。ベース５及び１５は、互いに共通平面に
ある平らな上部表面７及び１７を有する。表面７は固定
ベース５のスペーサー８の上部表面である。表面７及び
１７が共通平面にあるのを保証する適切な方法の１つ
は、例えば、両方の表面を同時に機械加工することであ
る。
【００１２】複数の平坦な導波路３７を含むシリカ光構
造３５は、可動ベース１５の平らな表面１７上に配置さ
れる。また、複数の平坦な導波路４２を含む対応するシ
リカ光構造４０は、固定ベース５の平らな表面７上に配
置される。導波路３７及び４２は、それぞれベースの表
面１７及び７に接している構造３５及び４０の底部表面
に平行な共通平面に配置される。したがって、ベース５
と１５の表面７及び１７は共通平面にあるので、構造３
５及び４０の中の導波路３７及び４２は、スイッチ１の
共通平面に支持されている。このようにして、導波路３
７及び４２は表面７及び１７に垂直なｙ方向に互いに整
列される。
【００１３】共通平面に導波路３７及び４２を配置する
ために、対応するシリカ光構造３５及び４０は、本発明
にしたがってモノリシックシリカ光構造から割ることが
できる。典型的で適当なモノリシックシリカ光構造は図
３を参照して下記により詳細に説明される。取り付けら
れたシリカ光構造３５及び４０は、図１及び図２に示さ
れるようにｘ方向に沿って互いに接近して向かい合って
いる割られた縁部３９及び４４に導波路の端部３８及び
４３を有する。光ファィバ５５及び６０は、スイッチ１
によって経路指示される光信号を伝える。コネクタ４５
及び５０は、シリカ光構造３５と４０の導波路３７及び
４２に光ファィバ５５及び６０を接続する。適当なコネ
クタ４５及び５０は、例えば、ジョージア州アトランタ
のＡＴ＆Ｔネットワークケーブルシステムズから入手可
能なファィバ接続チップを含む。
【００１４】シリカ光構造３５及び４０は、その割られ
た縁部３９及び４４をできるだけ近づけてベース５及び
１５に取り付けられる。約０．５ｄＢ以下の低挿入損失
を維持するために、各構造３５及び４０の導波路間の光
の伝達を最大にすべく割られた縁部３９及び４４のギャ
ップ間隔を１０ミクロン以下にするのが効果的である。
挿入損失を小さくするために、割られた縁部３９及び４
４を磨くのがさらに効果的である。挿入損失をさらに低
減するため、ゲル状または液状のような屈折率整合物質
を割られた縁部３９及び４４間のギャップ内に充填する
ことができる。適当な屈折率整合ゲルは、ニュージャー
ジー州セダーグローブのカーギリ サイエンティフィッ
ク社から入手できる。また、どんな反射もできるだけ少
なくするために、割られた縁部３９及び４４を互いに平
行となるように余角をなすように形成できる。適当な余
角は５度から１５度の範囲にある。
【００１５】希望するルーティング接続の導波路端部３
８及び４３を各々整列させるためにｘ方向にベース１５
と構造３５を正確に動かすことによって、第１及び第２
のシリカ光構造３５及び４０の異なる個々の導波路の間
で異なった接続を発生させることができる。ｘ方向にベ
ース１５を動かすのに選択される特別なメカニズムと方
法は本発明の実施に重要ではなく、種々の従来手法を用
いることができる。ベース１５を動かすための典型的な
ネジ駆動配置は、例示の目的のために図１及び図２に示
され、本発明を制限することを意味しない。
【００１６】例示したネジ駆動メカニズムは図１に見ら
れるように、取付ブラケット１０の第１の端部１１に回
転可能に取り付けられたネジ山付軸２５を含み、ベース
１５の内部ネジ山付スリーブ２０を通って延出する。軸
２５は、取付ブラケット１０の第２の端部１２に固定さ
れ、図２に最も良く見られる制御可能なモーター３０に
更に取り付けられる。モーター３０が回転すると、ネジ
山付軸２５は、ネジ山付スリーブ２０を軸２５のネジと
接して進ませる。その結果、可動ベース１５もｘ方向に
軸２５に沿って移動する。モーター３０は、軸２５の回
転数を制御することによって、ｘ方向への可動ベース１
５とシリカ光構造の位置の精密な制御を可能にする。モ
ーター３０に適するモーターは、例えば、直流モーター
やステッパーモーターを含む。
【００１７】種々の導波路の接続とｘ方向の整列を発生
させるようにベース１５を位置決めすべくモーター３０
を制御するために選択される特別のモーターコントロー
ラ（図示しない）は、本発明を実施するのに重要ではな
い。適当なモーターコントローラは例えばパソコンのよ
うな普通のコンピュータであり、必要な移動命令をモー
ター３０に供給するための適切なハードウエア及び／ま
たはソフトウエアを備えている。さらに、誤った整列の
ために割られた縁部３９または４４でそれる迷走光の量
を監視することによりｘ方向の正しい整列を決定して得
ることがモーターコントローラにとって可能である。し
たがって、迷走光を監視するために割られた縁部３９よ
り上に取り付けられたピンダイオード等の選択可能な光
検出器７５が図２に示されている。例示の目的のため、
選択可能な光検出器７５は図１には示されていない。
【００１８】スイッチ１は、可動ベースの平坦な表面１
７と共に共通平面にある平坦な表面７を供給するための
スペーサ８の使用が示されているが、本発明の実施時に
平坦な表面７及び１７を提供するために他のメカニカル
構造を用いることができることは容易に理解できるだろ
う。例えば、それぞれベース５と１５の上にある２つの
スペーサを使用したり、あるいはベースの対応する部分
が同一平面にあるスペーサを省略したりして、平坦な表
面７及び１７を提供することができる。
【００１９】シリカ光構造の３５及び４０を形成するた
めに使う典型的なモノリシックシリカ光構造１００は図
３に示される。シリカ光構造１００はシリコンウェハー
基板のような基板１２５の上に形成されるシリカ（Si
O2）ガラス１２０を備えている。シリコン基板１２５
は、導波路構造が形成できかつ例えば０．５ｍｍのオー
ダーの厚みを持つことができる実質的に平らな上部及び
底部１２６及び１２７を持つ基台を提供する。進めてい
る説明はシリコンの導波路装置上のシリカに関係してい
るが、溶解した石英、リチウム ニオブ酸塩やセラミッ
クのような他の基板材料の上に構造１００を作ることが
できるということが理解されるだろう。
【００２０】導波路１３０、１３１、１３２及び１３３
は、本発明にしたがって４×４スイッチを作るために、
シリカガラス１２０内に形成され、リソグラフィ、エッ
チング、低圧化学蒸着、火炎加水分解等の製作技術は、
導波路１３０〜１３３を作るのに有効である。シリカ光
回路１００の典型的な製作プロセスは次の通りである。
すなわち、シリカガラスのベース層が基板１２５上に沈
積され、そしてシリカガラスをドープした薄いコア層が
このシリカガラス層上に沈積される。次いで、コア層
は、標準的なフォトリソグラフィ技術を使って、希望す
る導波路の構造１３０〜１３３に形成される。そして、
シリカガラスをドープした層がコア層上に沈積されてク
ラッディングとして働く。ドープしたシリカガラスの適
当なドーピングの特性は等ステップ−屈折率分布とな
る。
【００２１】シリカガラスの上部クラッディングとベー
ス層は図１に示されるシリカガラス１２０を形成する。
ベースシリカ層、コア層及び上部クラッディング層の適
切な厚さは、それぞれ１０乃至２０ミクロン、４乃至８
ミクロン及び１０乃至２０ミクロンである。ベースのシ
リカ層の１０ミクロン以下の厚さは、基板に対する光損
失のため望ましくないが、２０ミクロン以上の厚さは、
その厚みを形成するのに必要な沈積時間が長いため一般
に不利となる。シリコン上のガラスの導波路とその製作
方法の詳細な議論については、例えば、参照によりここ
に含まれる、Ｃ．Ｈ．ヘンリー等の“ハイブリッド オ
プチカル パッケージングのためのシリコン上のガラス
導波路”，７Ｊ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏ
ｌ．，１５３０〜１５３９ページ（１９８９年）を参照
されたい。上記の典型的な製作方法は、シリカガラス１
２０内に完全に埋め込まれた導波路を生じるが、シリカ
ガラスの上部表面１４０の近くでシリカガラス１２０内
にある導波路、すなわちほんの部分的に埋め込まれてい
る導波路を製作することができる。
【００２２】導波路１３０〜１３３はシリカガラス１２
０中へと延出し、シリカ光構造１００の底部表面１２７
と実質上平行になっている。図１及び図２のシリカ光構
造３５及び４０を形成するために、シリカ光構造１００
は、図３の一点鎖線１５０のような直線で導波路１３０
〜１３３を横断して二つの部分に割られる。適当な分割
方法は、例えば、ダイヤモンド刃ダイシングソーやダイ
ヤモンドけ書きで切れ目を入れ、次いで曲げて構造分割
を発生させることを含む。導波路３７及び４２内の各導
波路の間隔は本発の実施にとって重要ではない。しかし
ながら、隣接した導波路の迷走光の排除のために、間隔
を１０ミクロン以上とるのが一般的に望ましい。導波路
間隔は都合良く、市販のファイバ接続チップに用いられ
ている標準的な間隔である２５０ミクロンにすることが
できる。
【００２３】導波路１３０〜１３３は、底部の平らな基
板表面１２７と平行に延びるようにシリカガラス１２０
内に精密に形成されるので、図１に示されるように、そ
の結果分割後に形成される導波路端部３８及び４３は、
割られた構造３５及び４０が整列された平坦なベース表
面７及び１７上に取り付けられる時にｙ方向に整列され
る。望ましいスイッチ接続とｘ方向の整列は、可動ベー
ス１５の移動によって達成される。望ましい整列分解能
は、軸２５の適切なネジ山と、モーターの回転分解能を
選択することによって達成される。導波路１３０〜１３
３は各々、その全長に沿って底部表面１２７と平行に示
されているが、導波路構造は、構造１００が割られる領
域において、底部表面１２７と平行にする必要があるだ
けであるということが理解されるだろう。
【００２４】本発明におけるシリカ光構造の使用は、異
なった利点のある導波路構造の実施を可能にする。例え
ば、図４Ａ〜Ｃは、異なった典型的な導波路構造を使用
する図１及び図２のシリカ光構造３５及び４０として使
用するためのシリカ光構造２００、２４０及び２６０を
示す。導波路構造２００、２４０及び２６０は、図３を
参照して上記に説明したものと実質的に同じに、対応す
るモノリシックシリカ光構造から割られたものである。
図４Ａにおいて導波路構造２００の導波路２０５及び２
１０は、割られた縁部２１５及び２２０に近い領域で互
いにより接近した間隔となっている。その結果、スイッ
チ接続をより速いスイッイング時間で行なわせるために
はより少ない移動が要求される。割られた縁部２１０及
び２１５の近くの１０ミクロン以下の導波路間隔は、光
信号を運ぶ導波路に隣接した導波路によって望ましくな
い迷走光を集光するため一般的に不利である。
【００２５】図４Ｂ〜Ｃのシリカ光構造２４０及び２６
０は、対応する導波路２４５及び２４８と２６５及び２
６８のどれかを通って進む光ビームを広げて、十分な挿
入損失を維持しながらスイッチ接続に要求される整列許
容誤差を減少させる。図４Ｂでは、第１の導波路２４５
は、割られた縁部２５０の近くで外方へ先細にされ、、
割られた縁部２５０の近くの領域で導波路２４５の１つ
を通って伝わる光ビームを広げる。また、導波路２４８
は、対応する割られた縁部２５３の近くで同様に先細に
されて、広げられた光ビームを受ける拡大された集光領
域を提供する。先細のための導波路の直径の適当な増加
は、例えば約１０％乃至５０％の範囲にある。先細のた
めの導波路の５０％以上の増加は、それに対応して損失
が増加するため一般的には望ましくない。動作時、シリ
カ光構造２４０の先細導波路は先細のない導波路より少
ない導波路接続の整列許容誤差の使用を可能にする。
【００２６】同様の方法で、図４Ｃのシリカ光構造２６
０の導波路２６５は、割られた縁部２８０の近くで一連
の導波路セグメント２７５を用いることによって光ビー
ムを広げる。このセグメント２７５は光ビームを広げる
のに十分な不連続を作り出す。この目的のために適当な
セグメント数は例えば約５０個のオーダーになる。各セ
グメントは数ミクロンの範囲の長さを持つことができ、
またセグメント間の間隔は数ミクロンの範囲になる。セ
グメント化された導波路を用いて光ビームを広げること
のより詳細な記述は、参照によりここに含まれる、Ｚ．
ワイズマンとＡ．ハーディによる“定期的にセグメント
化された導波路のモード”，Ｊ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ
Ｔｅｃｈｎｏｌ．，第１１巻，第１１号，第１８３１〜
１８３８ページ，（１９９３年）に提供されている。導
波路２７０の先細導波路端部２８５は、セグメント化さ
れた導波路２６５から広がった光ビームを集める。
【００２７】多くの異なるシリカ光構造配置は、その教
示から逸脱することなく本発明に従って使用することが
できるということが理解されるべきである。図４Ａ〜Ｃ
に示される典型的な配置は例示の目的のためだけであ
り、本発明を制限することを意味しない。本発明の他の
実施例では、第２の固定ベースが可動ベース１５と取り
替えられる。第２の固定ベースの表面は固定ベース５の
表面７との共通平面に配置される。シリカ光構造３５は
第２の固定ベースの表面上に移動可能に配置されてい
る。動作時、シリカ光構造３５は、導波路接続を形成す
るために第２のベースを横切って動く。さらに、本発明
のいくつかの実施例が上記に詳細に説明されたが、その
教示から逸脱することなく、多くの変更を行なうことが
できる。このような変更のすべては付随の請求の範囲内
に含められるべきものである。例えば、１×Ｎあるいは
Ｍ×Ｎ配置を含む種々のスイッチ配置を使用することが
可能である。さらに、シリカ光構造中の受光側導波路に
よって受けられる光信号は、どこか他で同じ信号を経路
指示するためにスイッチの伝像導波路にループバックす
ることができる。また、次段の入力となる一つのスイッ
チ段の出力との段配置に、本発明によるスイッチを配置
することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による典型的な自己整列式メカニカル光
スイッチの斜視図である。
【図２】図１のスイッチの平面図である。
【図３】図１及び図２のスイッチにおいて割られた光シ
リカ構造を形成するために用いることができる典型的な
モノリシックシリカ光構造の部分切欠き斜視図である。
【図４Ａ】図３のシリカ光構造に代える典型的なシリカ
光構造の平面図である。
【図４Ｂ】図３のシリカ光構造に代える典型的なシリカ
光構造の平面図である。
【図４Ｃ】図３のシリカ光構造に代える典型的なシリカ
光構造の平面図である。

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 固定ベースと、モノリシックシリカ光構
    造から割られた第１及び第２のシリカ光構造からなり、
    前記第１及び第２のシリカ光構造は各々、対応する割ら
    れた縁部を有すると共に少なくとも１つの導波路を含
    み、前記第１の構造は前記固定ベース上に配置され、前
    記第２の構造は、その割られたエッジが前記第１の構造
    の割られたエッジに隣接して向かい合うように配置さ
    れ、前記第２の構造は、各構造の導波路の接続と整列を
    選択的に提供するように、割られたエッジに沿った方向
    に可動になっているメカニカル光スイッチ。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、さらに可動ベースを含み、第１及び第２のシリ
    カ光構造は前記固定及び可動ベースのそれぞれの平らな
    表面上に配列され、前記ベースの平らな表面は互いに共
    通平面に配置されるメカニカル光スイッチ。
  3. 【請求項３】 請求項１記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、シリカ光構造の少なくとも１つは共通平面に配
    置される少なくとも２つの導波路を含むメカニカル光ス
    イッチ。
  4. 【請求項４】 請求項１記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、シリカ光構造の１つは、割られた縁部の近傍で
    先細になっている２つの導波路を備えているメカニカル
    光スイッチ。
  5. 【請求項５】 請求項１記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、各構造内の導波路は、割られた縁部の近傍でよ
    り大きくなっているメカニカル光スイッチ。
  6. 【請求項６】 請求項１記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、構造のうちの１つは割られた縁部の近傍でセグ
    メン化されているメカニカル光スイッチ。
  7. 【請求項７】 請求項１記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、構造の割られた縁部の間のギャップは１０ミク
    ロン以下であるメカニカル光スイッチ。
  8. 【請求項８】 請求項７記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、さらに、構造の割られた縁部の間のギャップの
    近傍に光検出器を備えているメカニカル光スイッチ。
  9. 【請求項９】 請求項７記載のメカニカル光スイッチに
    おいて、さらに、ギャップ内に配置された屈折率整合物
    質を含むメカニカル光スイッチ。
  10. 【請求項１０】 請求項２記載のメカニカル光スイッチ
    において、可動ベースはモーターに動作的に接続された
    軸によって可動になっているメカニカル光スイッチ。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載のメカニカル光スイッ
    チにおいて、モーターは直流モーターであるメカニカル
    光スイッチ。
  12. 【請求項１２】 請求項２記載のメカニカル光スイッチ
    において、固定ベースはブラケットに固定され、可動ベ
    ースは前記ブラケットに移動可能に採りつけられている
    メカニカル光スイッチ。
  13. 【請求項１３】 請求項３記載のメカニカル光スイッチ
    において、導波路は、少なくとも２つの導波路を含むシ
    リカ光構造の割られた縁部の近傍で互いに密接して配置
    されているメカニカル光スイッチ。
  14. 【請求項１４】 メカニカル光スイッチの製造方法であ
    って、 モノリシックシリカ光構造を、各々が対応する割られた
    縁部を有すると共に少なくとも１つの導波路を含む第１
    及び第２のシリカ光構造に割る工程と、 前記第１の構造を固定ベース上に位置決めする工程と、 前記第２の構造を、その割られた縁部が前記第１の構造
    の割られた縁部に隣接して向かい合うように整列される
    べく位置決めする工程とからなり、前記第２の構造は、
    各導波路を選択的に整列させるように、割られたエッジ
    に沿った方向に可動になっているメカニカル光スイッチ
    の製造方法。
  15. 【請求項１５】 請求項１４記載の方法において、さら
    に、導波路を有するシリカ光構造のうちの少なくとも１
    つにおける少なくとも２つの導波路を共通平面に配置す
    る工程を含むメカニカル光スイッチの製造方法。
  16. 【請求項１６】 請求項１５記載の方法において、さら
    に、導波路を互いに、割られた縁部の近傍に位置決めす
    る工程を含むメカニカル光スイッチの製造方法。
  17. 【請求項１７】 請求項１４記載の方法において、さら
    に、割られた縁部の近傍で先細にする工程を含むメカニ
    カル光スイッチの製造方法。
  18. 【請求項１８】 請求項１４記載の方法において、少な
    くとも１つの導波路は割られた縁部の近傍にあるメカニ
    カル光スイッチの製造方法。
  19. 【請求項１９】 請求項１４記載の方法において、構造
    の割られた縁部の間に形成されるギャップは１０ミクロ
    ン以下であるメカニカル光スイッチの製造方法。
  20. 【請求項２０】 請求項１９記載の方法において、さら
    に、割られた縁部の間のギャップにおいて迷走光を検出
    することにより導波路の誤整列を検出する工程を含むメ
    カニカル光スイッチの製造方法。
  21. 【請求項２１】 請求項１９記載の方法において、さら
    に、ギャップ内に屈折率整合物質を配置する工程を含む
    メカニカル光スイッチの製造方法。
  22. 【請求項２２】 請求項１６記載の方法において、さら
    に、 固定ベースの平らな表面と可動ベースの平らな表面とを
    共通平面に整列させる工程と、 第２の構造を可動ベースの平らな表面上に配置する工程
    とを含み、第１の構造は固定ベースの平らな表面上に配
    置され、第２の構造は可動ベースの移動によって動くメ
    カニカル光スイッチの製造方法。
JP8145433A 1995-06-07 1996-06-07 自己整列式メカニカル光スイッチ Pending JPH095653A (ja)

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