JPH0957003A - 洗浄液再生用減圧回分式蒸留装置 - Google Patents

洗浄液再生用減圧回分式蒸留装置

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JPH0957003A
JPH0957003A JP21496895A JP21496895A JPH0957003A JP H0957003 A JPH0957003 A JP H0957003A JP 21496895 A JP21496895 A JP 21496895A JP 21496895 A JP21496895 A JP 21496895A JP H0957003 A JPH0957003 A JP H0957003A
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JP
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distillation
liquid
cooling
fractionating column
vaporized
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Kazuhisa Karaki
和久 唐木
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  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構造の蒸留装置で蒸留原料を再生す
る。 【解決手段】 充填材3を装填した精留塔1と、この精
留塔1の下部に配置され蒸留原料を気化させる加熱手段
2と、精留塔1の上部に配置され加熱手段2によって気
化した気体の一部を冷却によって液化する還流手段4
と、精留塔1内で発生した気体を液化する冷却手段6
と、精留塔1内を減圧する減圧手段7と、を備えてい
る。精留塔1の上部に還流手段4を配置するため、高精
度で、蒸留原料の蒸留再生が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス、金属等の洗
浄を行った洗浄液を蒸留によって再生する蒸留装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】金属部品、光学部品等の洗浄用溶剤とし
ては、従来より1,1,2−トリクロロ−1,1,2−
トリフルオロエタン(以下フロン113)や、1,1,
1−トリクロロエタンが使用されている。これは、フロ
ン113が生体に対する毒性が低く、プラスチックやゴ
ム等を侵さないが、油脂等を溶解するという選択的溶解
性を有し、乾燥速度が早い、不燃性である等の優れた特
性を有するためである。また、1,1,1−トリクロロ
エタンも優れた脱脂力を有し、しかも不燃性であるとい
う特性を有するためである。しかも、これらの洗浄液は
沸点が低く、不燃性であることから大気圧下における単
蒸留で十分に蒸留再生が可能であるという特性をも有し
ている。
【0003】このような塩素系洗浄液に対して、近年、
その代替え用の洗浄液として炭化水素系溶剤等が用いら
れるようになり、この洗浄液使用の低コスト化、環境保
護の立場から洗浄液の蒸留再生装置が用いられるように
なってきた。これら溶剤系洗浄液の蒸留再生装置として
荏原インフィルコ(株)発行のカタログには真空蒸留再
生装置が記載されている。また、洗浄液の回分式蒸留装
置の還流方法として、、刊行物「蒸留工学(講談社サイ
エンティフィク)」第95頁には蒸留液の冷却部から、
その一部を戻すことが記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】トリクロロエタン、フ
ロン113等の塩素系溶剤は化学的に特に安定であるた
め、対流圏内での寿命が長く、拡散して成層圏に達し、
ここで太陽光線により分解して塩素ラジカルが発生し、
この塩素ラジカルがオゾンと連鎖反応を起こし、オゾン
層を破壊することから、これらの使用の削減が求められ
ている。
【0005】かかる塩素系溶剤の代替としては、水系洗
浄液、非水系洗浄液とに大きく区分されているが、塩素
系溶剤とその使用法がさほど変わらない非水系洗浄液の
方が多用されている。この非水系洗浄液としては、石油
原料から精製された炭化水素系が多く使用されている。
これらの非水系洗浄液はフロン、トリクロロエタンと同
様に、蒸留再生による再生が可能であり、これにより洗
浄液の再利用を行っている。
【0006】この再生にあって、フロン等の塩素系溶剤
は不燃性であり、沸点も低いことから、分離対象物であ
る切削油等と充分な沸点差があり、大気圧中で蒸留でき
ることから、蒸留機の構造もシンプルで簡単な単蒸留で
充分な精度を求めることができた。しかしながら、非水
系溶剤は消防法の関係から第4類、第2又は第3石油類
が用いられるため、沸点が170℃以上となり、大気圧
下での蒸留は不可能となる。このため、減圧下で沸点を
下げて、蒸留再生を行っている。この場合、蒸留精度的
にも分離対象物との沸点差が小さくなるため、蒸留精度
を高度に要求した場合、装置が大規模になりがちであ
る。
【0007】蒸留の方法としては、連続式と回分式に大
別されるが、連続式蒸留の場合、蒸留精度は高い反面、
装置が大きく、簡易的な使用には適さない。回分式の場
合、簡易的な装置となるが、蒸留精度が99%レベルで
あり、精密洗浄に用いる再生には適さない。なお、回分
式蒸留機では精度を向上させるため、還流を行えばよい
が、この還流では蒸留留出液の冷却部から還流液を供給
するため、冷却部の設置場所が制限される問題を有して
いる。
【0008】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たものであり、回分式で再生するのに際して、99.9
%レベルの精度の高い洗浄液再生を簡易に行うことが可
能な洗浄液再生用回分式蒸留装置を提供することを目的
とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、精留塔内を減圧して蒸留原料を
気化させ、精留塔内に装填した充填材を通過させた後
に、気化した蒸留原料を冷却手段で凝縮させて洗浄液を
再生する蒸留装置において、前記気化された蒸留原料の
一部を液化して精留塔に戻す還流手段を精留塔の上部に
設けたことを特徴とする。
【0010】この蒸留装置では、精留塔内を減圧するこ
とで蒸発原料が気化し、精留塔内に設けた充填材の作用
で、蒸留効果を得、揮発成分が精留塔の上部に達する。
この揮発成分は精留塔上部に設けた還流手段によって、
その一部が液化して精留塔内に戻され、最も揮発性に富
んだ成分が蒸留留分として得られる。このため沸点差が
小さい蒸留留分とすることができ、精度の高い再生を行
うことができる。
【0011】請求項2の発明は、上記還流手段として、
気化した蒸留原料を冷却することにより還流量を制御す
る温調手段を用いることを特徴とする。この温調手段は
その冷却度合を調整することで、気化した蒸留原料の液
化量を調整でき、このため蒸留原料の還流比を変化させ
ることができる。
【0012】請求項3の発明は、前記精留塔を減圧する
手段として、前記蒸留原料からの留出液と同質の溶剤を
作動流体とした液封ポンプを用いることを特徴とする。
これにより蒸留原料からの留出液によって真空ポンプを
作動することができ、真空ポンプの作動流体と留出液と
分離する手段が不要となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)図1は本発明の実施の形態1を示し、
1は精留塔である。この精留塔1の下部には加熱管2が
配置され、この加熱管2の上部に充填物3が装填され、
充填物3の上部に還流手段としての冷却管4が配置され
ている。また、精留塔1に下面にはドレンバルブ5が取
り付けられている。この精留塔1には汚液タンク11が
連通しており、汚液タンク11から蒸留用原液(汚液)
が精留塔1内に供給される。汚液タンク11内には、レ
ベルセンサー12が配置され、このレベルセンサー12
が汚液の下限を検知すると、補給バルブ13が開いて汚
液が補給され、汚液の上限を検知すると、補給バルブ1
3が閉じるようになっている。
【0014】6は精留塔1の上部に連結され、精留塔1
からの留出液を冷却するための冷却部である。この冷却
部6には流量計15及びリーク弁14を介して、精留塔
1を減圧する手段としてのエゼクタ7及びエゼクタポン
プ8が連結されており、冷却部6で冷却されて液化した
留出液はエゼクタ7及びエゼクタポンプ8によって取り
出される。エゼクタポンプ8は封液タンク9に貯められ
た蒸留液により循環され、封液タンク9からオーバーフ
ローしたものが蒸留液として装置外へ取り出される。封
液タンク9内は冷却管10によって冷却されている。
【0015】以上の構成では、精留塔1、冷却部6、汚
液タンク11が連結されており、これらがエゼクタ7に
よって減圧されている。この減圧により精留塔1内の汚
液が気化すると共に、汚液タンク11内の汚液が精留塔
1内に吸引される。
【0016】このような装置に使用される汚液として
は、切削油が混入した非水系洗浄剤があり、この汚液を
蒸留して非水系洗浄剤を再生する。非水系洗浄剤に切削
油が混入した汚液は補給バルブ13を開くことにより、
汚液タンク11、精留塔1に供給される。精留塔1と汚
液タンク11は、パイプで連結されているために液面は
同一であり、これらの液面の高さがレベルセンサー12
で検知可能である。
【0017】エゼクタポンプ8を稼働させ装置内を減圧
させる。所定減圧度を達成したところで加熱管2を加熱
する。加熱方法としてはボイラー蒸気等によって行う。
加熱されて気化した非水系溶剤は充填物3の作用で蒸留
効果を得て揮発成分が精留塔1の上部に達する。この揮
発成分は精留塔1上部の冷却部4によって一部が液化し
て精留塔内に戻され、揮発性に最も富んだ成分が冷却部
6で冷却され、これにより蒸留成分として得られる。
【0018】冷却部4における冷却は冷却水量を制御す
ることによって精留塔への還流量を制御することができ
る。液化した蒸留分はエゼクタ7により取り出され、封
液タンク9に貯められ、オーバーフローにより再生液と
なる。エゼクタ7はエゼクタポンプ8によって高速循環
させたときに生ずる負圧を利用して、減圧と減圧下から
の溶剤の取り出しを行うものである。本発明では、この
エゼクタ7とエグゼクタポンプ8との組み合わせの他、
使用する溶剤をそのまま封液として使用できる封液ポン
プの使用も可能である。
【0019】精留塔1内の汚液は、蒸留工程が進行する
につれて減少し、これにより汚液タンク11のレベルセ
ンサー12の下限で新たに汚液が供給される。この汚液
は加熱されて供給された方が蒸留操作への移行がスムー
ズとなるため、予備加熱器を設置することも可能であ
る。
【0020】また、精留塔1内には汚液の供給によって
切削油等の汚れが蓄積され続けていくために、排出工程
が必要となってくる。排出する判断としては、精留塔1
の沸点上昇による温度上昇の感知、流量計15による流
量低下の感知、汚液供給回数による設定等があるが、本
発明ではいずれの工程をも用いることが可能である。
【0021】(実施の態様2)図2は蒸留装置の実施の
態様2を示し、図1と同一の要素は同一の符号を付して
対応させてある。この態様では精留塔1内を減圧する手
段として、液封ポンプ18が使用されている。この液封
ポンプ18は封液タンク9から作動流体が供給されるこ
とで作動し、精留塔1、冷却部6及び汚液タンク11内
を減圧する。封液タンク9には精留塔1における蒸留で
得られる留出液と同質の溶剤が供給され、この溶剤が液
封ポンプ18と封液タンク9とを循環することで液封ポ
ンプ18が作動する。この液封ポンプ18の作動流体の
入口には、電磁弁17及び圧力制御弁19が連結されて
おり、これにより液封ポンプ18の圧力を一定に保つよ
うになっている。
【0022】これに加えて、精留塔1上部の冷却管4に
は、冷却水切り替えバルブ16が取り付けられている。
この冷却水切り替えバルブ16は冷却管4に供給する冷
却水の量を制御するものであり、これにより、還流比を
変化させることが可能となっている。回分式蒸留の場
合、精留塔1内部の液組成が蒸留の進行に従って変化す
る。このため還流を行う場合においても、還流比は刻々
と変化している。従って、蒸留開始時から汚液供給まで
に冷却部4の冷却流量を増していくことが望ましい。こ
の冷却水切り替えバルブ16による制御はタイムスケジ
ュールによって行う。この冷却量の制御によって蒸留留
分の組成を一定の範囲に留めることができ、精度の良い
再生が可能となる。
【0023】
【実施例】
(実施例1)本実施例は図1に示す蒸留装置を用いて再
生を行うものである。非水系洗浄剤として、シリコーン
系材料の溶剤である商品名「EE−3110(オリンパ
ス光学工業(社)製)」を用い、汚れ成分として、金属
切削加工用の切削油である商品名「ダフニーカットTC
−11(出光興産(株)製)」を5重量%を混入させて
汚液を作製し、この汚液を再生した。
【0024】精留塔1は直径400mm、高さ1200
mmとし、加熱高さを300mm、充填物3高さを80
0mm、冷却部6を100mmとした。加熱管2は直径
15mmのステンレス製の蛇管を配置した。充填物3と
してはグッドロール(東京特殊金網(株)製)を使用し
た。このグッドロールはSUS製の細ワイヤーを編み上
げたもので、H.E.T.P(相当理論段高:Heig
ht Equivalent to a Teoret
ical Pl−ate)が大きい蒸留塔用の充填物で
ある。冷却管4は直径10mmのステンレス管を用い
た。エゼクタ7はクリーンテック(株)製を、エゼクタ
ポンプ8は二国機械(株)製を用いて、減圧と溶剤回収
を同時に行った。加熱管2の加熱方法としては水蒸気ボ
イラー(三浦工業(株)製)を用いた。
【0025】エゼタクポンプ8を稼働させ、蒸留装置全
体を80mmHgになるまで減圧した。減圧終了後、精
留塔1内のEE−3110とダフニーカットTC−11
の混合汚液を加熱した。加熱蒸気圧力は1.2kgf/
cm2 とした。冷却管4には15℃の冷却水を1リット
ル/minの流量で流した。
【0026】精留塔1内の温度が85℃でEE−311
0が留出を開始した。充填物3を経て気化したEE−3
110成分は1部が冷却管4で液化して、充填物3に戻
され、再度蒸発して冷却部6に回収され、蒸留留分とし
て得られた。精留塔1内の液量が5リットルになったと
ころで、フロートスイッチ12の下限となり、新たな汚
液が供給された。この供給では加熱管2の廃熱を利用し
て、汚液を70℃程度に加熱して行った。
【0027】蒸留量を計測したところ、1時間平均で2
0リットル/hrであった。蒸留終了後、リークバルブ
14を開いて蒸留装置内を大気圧に戻した。蒸留後の留
分をガスクマロトグラフィーで測定したところ、ダフニ
ーカットTC−11に起因するピークは0.1%であっ
た。蒸留結果を表1に示す。同表から判るように、回分
式蒸発装置としては高い精度の蒸留液として再生するこ
とができた。
【0028】(実施例2)本実施例では図2に示す蒸留
装置を用いて再生を行った。非水系洗浄液として石油系
溶剤洗浄剤である商品名「NSクリーン100(ジャパ
ンエナジー(株)製)」、汚れ成分として切削油である
商品名「スピードCF−15(昭和シェル石油(株)
製)」を5重量%を混入させて汚液を調整し、この汚液
からNSクリーン100を再生させた。
【0029】図2に示す精留塔1は直径400mm、高
さ1200mmとし、加熱高さを300mm、充填物高
さを800mm、冷却管高さを100mmとした。加熱
管2は直径15mmのステンレス製の蛇管を使用した。
充填物3としてはグッドロール(東京特殊金網(株)
製)が充填されている。冷却管4は1/2インチのカッ
トフレキシブル管を用い、冷却水切替えバルブ16を装
備して冷却水のON,OFFを可能とした。液封ポンプ
18として二国機械(株)製を用いて、減圧と溶剤回収
を同時に行い、また電磁弁17と圧力制御弁19によっ
て圧力を一定に保持した。加熱管2の加熱方法としては
水蒸気ボイラー(三浦工業(株)製)を用いた。
【0030】液封ポンプ18を稼働させ圧力制御弁19
を調製して、蒸留装置全体を60mmHgになるまで減
圧した。減圧終了後、精留塔1内のNSクリーン100
とスピードCF−15の混合汚液を加熱した。加熱蒸気
圧は1.5kgf/cm2 とした。冷却管4にはON時
2リットル/minの設定の冷却水を流し、15sec
をONとし、45secをOFFとした。このような冷
却水の冷却時間を設定することは冷却水の液温を変化さ
せることなく、冷却水量の変化と同様の作用がある。
【0031】精留塔1内の温度90℃でNSクリーン1
00が留出を開始した。充填物3を経て蒸気化したNS
クリーン100成分は1部が冷却管4部分で液化して、
充填物3に戻され、再度蒸発した。冷却水OFF時に
は、そのまま冷却部6に回収され蒸留留分として得られ
た。精留塔1内の液量が5リットルとなったところでフ
ロートスイッチ12の下限となり、新たな汚液を供給し
た。この場合、加熱管2の廃熱を利用して、汚液を70
℃程度に加熱してから供給した。
【0032】この操作を5回繰り返したところで液封ポ
ンプ18を停止し、リーク弁15を開き、大気を導入し
て精留塔内の汚液を排出した。排出終了後、再び液封ポ
ンプ18を稼働させて再び蒸留を開始した。蒸留量を計
測したところ平均で20リットル/hrであった。蒸留
後の留分をガスクロマトグラフィーで測定したところス
ピードCF−15に起因するピークは0.1%であっ
た。結果を表2に示す。同表から判るように、還流用の
冷却管4の冷却時間を設定することによって、目的とす
る再生精度に合わせた蒸留が簡易的に行うことができ
た。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】以上の説明では、以下に記載する態様を付
記することができる。 (1) 充填材を装填した精留塔と、この精留塔の下部
に配置され蒸留原料を気化させる加熱手段と、前記精留
塔の上部に配置され前記加熱手段によって気化した気体
の一部を液化する還流手段と、前記精留塔内で発生した
気体を液化する冷却手段と、前記精留塔内を減圧する減
圧手段と、を備えていることを特徴とする洗浄液再生用
減圧回分式蒸留装置。 (2) 前記(1)項における還流手段は、気化した気
体を冷却することにより、還流量を制御する温調手段で
ある洗浄液再生用減圧回分式蒸留装置。 (3) 前記(1)項における減圧手段は前記蒸留原料
からの留出液と同質の溶剤を作動流体として用いる液封
ポンプである洗浄液再生用減圧回分式蒸留装置。
【0036】
【発明の効果】請求項1の発明は精留塔の上部に還流手
段を配置するため、従来の簡易蒸留再生装置では求めら
れなかった精度で、蒸留原料の蒸留再生が可能になっ
た。請求項2の発明は、還流手段が還流量を制御するた
め、還流比の設定を変更することができる。請求項3の
発明は、液封ポンプの作動流体として、蒸留原料の留出
液と同質の溶剤を用いるため、液封ポンプの作動を簡易
に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の態様1の回路図である。
【図2】本発明の実施の態様2の回路図である。
【符号の説明】
1 精留塔 2 加熱管 3 充填材 4 冷却管 6 冷却部 7 エゼクタ 9 封液タンク

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 精留塔内を減圧して蒸留原料を気化さ
    せ、精留塔内に装填した充填材を通過させた後に、気化
    した蒸留原料を冷却手段で凝縮させて洗浄液を再生する
    蒸留装置において、 前記気化された蒸留原料の一部を液化して精留塔に戻す
    還流手段を精留塔の上部に設けたことを特徴とする洗浄
    液再生減圧回分式蒸留装置。
  2. 【請求項2】 前記還流手段は気化した蒸留原料を冷却
    することにより還流量を制御する温調手段であることを
    特徴とする請求項1記載の洗浄液再生用減圧分式蒸留装
    置。
  3. 【請求項3】 前記精留塔を減圧する手段は、前記蒸留
    原料からの留出液と同質の溶剤を作動流体とした液封ポ
    ンプであることを特徴とする請求項1記載の洗浄液再生
    用減圧分式蒸留装置。
JP21496895A 1995-08-23 1995-08-23 洗浄液再生用減圧回分式蒸留装置 Withdrawn JPH0957003A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004085192A (ja) * 2002-08-23 2004-03-18 Boc Group Inc:The 精製液体を製造する方法及び装置
CN102861451A (zh) * 2012-09-04 2013-01-09 吴国存 内冷式减压短程蒸馏器
CN102872607A (zh) * 2012-09-04 2013-01-16 吴国存 高位供料低位收集减压蒸馏器
JP2015003307A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 アクトファイブ株式会社 洗浄液再生方法及び装置
JP2015113480A (ja) * 2013-12-10 2015-06-22 アクトファイブ株式会社 洗浄方法及び洗浄装置
CN104998432A (zh) * 2015-06-30 2015-10-28 中复神鹰碳纤维有限责任公司 一种化纤用低浓度废油剂回收方法及装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004085192A (ja) * 2002-08-23 2004-03-18 Boc Group Inc:The 精製液体を製造する方法及び装置
CN102861451A (zh) * 2012-09-04 2013-01-09 吴国存 内冷式减压短程蒸馏器
CN102872607A (zh) * 2012-09-04 2013-01-16 吴国存 高位供料低位收集减压蒸馏器
JP2015003307A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 アクトファイブ株式会社 洗浄液再生方法及び装置
JP2015113480A (ja) * 2013-12-10 2015-06-22 アクトファイブ株式会社 洗浄方法及び洗浄装置
CN104998432A (zh) * 2015-06-30 2015-10-28 中复神鹰碳纤维有限责任公司 一种化纤用低浓度废油剂回收方法及装置

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