JPH0961120A - 寸法測定器 - Google Patents

寸法測定器

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JPH0961120A
JPH0961120A JP22013795A JP22013795A JPH0961120A JP H0961120 A JPH0961120 A JP H0961120A JP 22013795 A JP22013795 A JP 22013795A JP 22013795 A JP22013795 A JP 22013795A JP H0961120 A JPH0961120 A JP H0961120A
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JP
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light
measuring
angle
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JP22013795A
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English (en)
Inventor
Takaaki Kishida
任晤 岸田
Atsushi Naito
敦之 内藤
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Tokai Rika Co Ltd
Original Assignee
Tokai Rika Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 水平軸回りの傾斜角度を測定し、補正処理を
施すことで正確な寸法測定を行うことができる寸法測定
器を提供する。 【構成】 被測定面20Bからの反射光が2次元CCD
センサ34により受光され被測定面20B上の輝点の軌
跡を表すデジタル信号が演算装置38により受信される
と、演算装置38はデジタル信号に基づき被測定面20
Bに形成された深さ寸法を演算する。また、角度測定機
構58により、水平軸回りの傾斜角度を測定し、これと
演算された深さ寸法とを用いて補正処理を施すことによ
り、正確な所望の部位の寸法を測定し、液晶ディスプレ
イ18に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の被測定
面にスリット光を照射し、その反射光を受光することに
よって被測定物の所望の部位の寸法を測定する寸法測定
器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、被測定物に対する所望の部位の寸
法を測定する場合には、測定装置に設けられている光源
から被測定面に向かってスリット状の光ビーム(以下、
これをスリット光という)を所定の角度で照射し、照射
したスリット光の被測定面上に映った線(以下、光切断
線という)をTVカメラを用いて撮影し、これより出力
されるビデオ信号に基づいて演算処理を施すことで、光
切断線に沿った3次元の被測定物の表面各点における座
標測定を行っていた。また、照射したスリット光の反射
光を受光して、その受光位置(水平光切断位置、垂直光
切断位置)を求める三角測量装置を用いることにより、
被測定面上の反射した点の3次元座標値を測定すること
ができる測定装置(特開昭64−78109号参照)な
どが提案されている。
【0003】しかし、上記の測定装置においては、測定
を行う度にスリット光が照射される被測定物と測定ヘッ
ド(TVカメラ)との相対位置が変化すると測定誤差が
生じる。例えば、測定ヘッドをオペレータが手持ちの状
態で測定した場合には測定ヘッドの姿勢が測定の度に変
化し、前記相対位置が変化し測定誤差が生じていた。
【0004】これに関して、測定する際にスリット光の
光束面が被測定物に対して略垂直となるように指示する
インジケータを持つ装置が本出願人から提案されている
(特願平6−260674号参照)が、この場合には測
定器の調整が煩雑で、測定作業に時間がかかるという問
題があった。なお、オペレータが手持ち状態で測定ヘッ
ドを被測定物に対してセットする場合、垂直軸回り、す
なわち左右の向きは比較的精度よく対向させることがで
きる反面、水平軸方向、すなわち上下の向きはその変位
量が大きいことが実験的に知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事実を考
慮し、少なくとも手持ちの状態で傾斜しやすい水平軸回
りの傾きを自動的に検出して、寸法測定値を補正するこ
とにより被測定面の寸法を正確に得ることのできる寸法
測定器を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、スリット光を射出する射出手段と、スリット光の反
射光を受光し、スリット光を反射した被測定物上の輝点
の軌跡を表す信号を出力する信号出力手段と、被測定物
に対向させたときの少なくとも水平軸回りの傾きを自動
的に検出する角度測定手段と、前記信号出力手段から出
力された被測定物上の輝点の軌跡を表す信号と前記角度
測定手段により測定された角度に基づいて、輝点の軌跡
を構成する線分の各々に対応する被測定物の所望の部位
の寸法を演算する演算手段と、前記演算手段による演算
結果を出力する出力手段と、を有し、これらが収納され
たケーシングを把持した状態でスリット光を被測定物の
被測定面に照射して、所望の部位の寸法を測定すること
を特徴としている。
【0007】請求項1に記載の発明によれば、射出手段
により射出されたスリット光が被測定物に照射されるよ
うにオペレータがケーシングを保持すると、信号出力手
段はこのスリット光の反射光を受光し、スリット光を反
射した被測定物上の輝点の軌跡を表す信号を出力する。
また、角度測定手段が設けられており、これにより被測
定物に対して測定装置が傾いている場合にでも、少なく
とも水平軸回りの角度を測定することができる。なお、
垂直軸回りの傾きは、公差の範囲内として無視できる。
そして、演算手段において信号出力手段から出力された
被測定物上の輝点の軌跡を表す信号と角度測定手段によ
って求められた角度に基づいて、輝点の軌跡を構成する
線分の各々の寸法を演算し、所望の部位の寸法を測定す
ることができる。
【0008】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において前記角度測定手段が水平軸回りの傾斜角
度の測定に加えて、垂直軸回りの傾きを検出することを
特徴としている。
【0009】請求項2に記載の発明によれば、寸法測定
器を手持ちの状態で被測定物の所望の部位の寸法を測定
する場合に、水平軸回りの傾斜角度を測定するのに加
え、垂直軸回りの傾斜角度を測定するため、寸法測定器
の測定精度の向上をはかることができる。但し、請求項
1に記載の寸法測定器と比較して、演算処理時間が長く
なることは否めない。
【0010】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態に係る
寸法測定器10について述べる。
【0011】なお、以下の発明の実施の形態において
は、図1に示すように側面に深さが一定の矩形状の溝部
20Aが形成されている被測定物20を対象としてい
る。この被測定物20内の溝部20Aに存在する深さ寸
法L及び幅寸法Qのうち、深さ寸法Lを測定する場合を
例にとり、説明する。
【0012】また、本発明の寸法測定器10はオペレー
タが手持ちの状態で寸法測定器10を被測定物20に対
向させ、寸法測定器10の垂直軸回り、すなわち左右の
傾きがないことを前提として測定するようになってい
る。寸法測定器10の垂直軸回りの傾きについてはこれ
を判断する手段がなくても傾きをゼロに近づけることは
オペレータの判断でほぼ正確に行うことができるが、水
平軸回りの傾きに関してはオペレータによって、かなり
の誤差がでてくる可能性があるため、本発明の寸法測定
器10では水平軸回り(図1における回転軸1−1線)
の傾斜角度を測定する。
【0013】図1には、本発明の実施の形態に係る寸法
測定器10が示されている。寸法測定器10は、略直方
体であるケーシング12によって被覆されており、この
ケーシング12にはスリット光14を射出する投光装置
22と被測定面20Bに照射したスリット光14の照射
位置を撮像する受光装置30とが同一の面に備えられて
いる。また、被測定物20の被測定面20Bに対して、
スリット光14が垂直に照射されない場合があることを
考慮し、ケーシング12内には、寸法測定器10の水平
軸回りの傾斜角度を測定する角度測定機構58が設けら
れている。寸法測定器10のスリット光14出力/入力
面と反対側の面には、液晶ディスプレイ18が設けら
れ、測定結果等の数値が表示されるようになっている。
【0014】図2には、被測定物20に対して寸法測定
器10が傾斜角度をもって設定されている状態が示され
ている。図2(A)は、図1に示す矢印2Aの方向、す
なわち上方から被測定物20と寸法測定器10を見た状
態を示し、図2(B)は、同様に図1における矢印2B
の方向から被測定物20と寸法測定器10を見た側面図
を示している。図2(B)のθが寸法測定器10の傾斜
角度である。
【0015】以下、図3を用いて本発明の実施の形態に
係る寸法測定器10の詳細構造を説明する。
【0016】投光装置22は、スリット光14を照射す
るために必要な光源としての半導体レーザー24、ビー
ムを収束させるために球面レンズで構成されたコリメー
タレンズ26、及び収束されたビームを一方向に発散さ
せるロッドレンズ28を有している。また、受光装置3
0には、受光レンズ32及び2次元CCDセンサ34が
備えられている。さらに、演算装置38には本発明の実
施の形態に係る寸法測定器10を用いて測定を行う際の
開始または停止を指示するためのスイッチ40が接続さ
れている。
【0017】この寸法測定器10によれば、投光装置2
2内に設けられているロッドレンズ28から射出された
スリット光14が被測定物20の被測定面20Bに照射
されると、被測定面20B上には輝点の軌跡16(以
下、これを輝線という)が生じる。被測定面20Bに照
射されたスリット光14は、受光レンズ32を通過し
て、2次元CCDセンサ34の受光面に結像される。こ
れより、2次元CCDセンサ32の受光面には、被測定
面20B上の輝線の像36(以下、スリット像という)
が結像されることになる。また、2次元CCDセンサ3
4は、スリット像36の位置や光強度に応じた電気信号
を引き続いて処理が行われる演算装置38に出力するよ
うになっている。
【0018】図4(C)に示されるように、被測定物2
0の被測定面20Bに投光部22から射出されるスリッ
ト光14が垂直に照射された場合には、図4(D)に示
すように本来求めるべき深さ寸法と同一の寸法でスリッ
ト像36を得ることができる。しかし、図4(A)また
は図4(E)に示されるように、被測定物20の被測定
面20Bに対して、オペレータが寸法測定器10を傾け
た状態で保持し、スリット光14が被測定面20Bに対
して斜めに照射された場合には、図4(B)または図4
(F)のように受光面に結像されたスリット像36の深
さ寸法は本来の深さ寸法よりも長く、受光面に結像され
ることになる。
【0019】従って、このように寸法測定器10からス
リット光14が傾いて照射されるような場合があること
を考慮すると、寸法測定器10と被測定物20との傾斜
角度を測定する必要性がある。そこで角度測定機構58
を設け、これにより求めた角度を用いて補正処理を施
し、所望の部位(本発明の実施の形態においては深さ寸
法L)の寸法を得るようにしている。なお、角度測定機
構58については後述する。
【0020】演算装置38は、増幅回路(AMP)4
2、アナログデジタル変換器44(以下、A/D変換器
と示す)及びマイクロコンピュータ46(マイコン)を
備えている。増幅回路42の入力端は2次元CCDセン
サ34に接続されており、ここから出力された信号を所
定の増幅率で増幅して出力する。また、増幅回路42の
出力端は、A/D変換器44の入力端に接続されている
ため、増幅回路42で出力されたデータは、このA/D
変換器44に入力されることになる。さらに、A/D変
換器44の出力端は、マイコン46に接続されており、
ここで測定及び誤差補正のための演算が行われる。マイ
コンには、CPU50、ROM52、RAM54、及び
外部の装置との入出力を行う入出力ポート48が備えら
れており、これらはすべてバス56によって接続され、
データ及びコマンドのやりとりを相互に行うことができ
るようになっている。さらに、入出力ポート48にはス
リット光14の射出を開始または停止させるためのスイ
ッチ40、傾斜角度を測定する角度測定機構58及び液
晶ディスプレイ18も接続されている。
【0021】本発明の実施の形態における角度測定機構
58としては、ロータリーエンコーダを用いる(図8参
照)。
【0022】図8に示されるように、ロータリーエンコ
ーダの円板スリット62には、鉛直方向(重力方向)に
重り68が取り付けられている。この重り68は、寸法
測定器10が水平軸に対して傾斜している場合に円板ス
リット62をその他の部材に対して相対回転させ、常に
真下に位置させる作用を有している。従って、モータ6
0が駆動され、円板スリット62を回転させることによ
って生成されるパルスを検出し、これをカウントしてセ
ンサ70により、重り68の真下にあるスリット64を
検出する。検出が終了した後、駆動させていたモータ6
0を停止させ、カウント数と単位パルス角度から傾斜角
度θを求めることができる。
【0023】以下に本発明の実施の形態に係る寸法測定
器10の作用として、被測定物20Bに形成された溝部
20Aの深さ寸法Lの寸法を測定する場合について説明
する。
【0024】図1に示すように寸法測定器10のケーシ
ング12の投光装置22及び受光装置30が存在してい
る面をこれから測定しようとする被測定物20の被測定
面20Bに向けて、オペレータが手持ちの状態で保持す
る。さらに、寸法測定器10の垂直軸回りの傾きは、ほ
ぼゼロに等しいとする。これは、垂直軸回りの傾きはオ
ペレータの手作業によって傾きをほぼゼロに近い状態に
設定することができるためである。
【0025】所定の部位の測定を開始する際には、寸法
測定器10に設けられているスイッチ40をオンにす
る。スイッチ40をオンにすると、光源である投光装置
22からスリット光14が射出され、被測定物20の被
測定面20Bに照射される。これによって、被測定面2
0B上には輝線16が現れることになる。被測定面20
Bで反射されたスリット光14は、受光レンズ32を通
過して2次元CCDセンサ34の受光面に、被測定面2
0B上の凹凸に応じて変化する輝線16の像(スリット
像36)が結像される。さらに、2次元CCDセンサ3
4は、このスリット像36の位置及び光強度に応じた電
気信号を演算装置38に出力する。
【0026】演算装置38に入力されたスリット像36
の電気信号は、まず、増幅回路42によって所定の増幅
率で増幅されてA/D変換器44に入力される。続いて
A/D変換器44によって所定時間毎にサンプリングさ
れ、デジタル信号に変換された後にマイコン46に出力
される。
【0027】デジタル信号がマイコン46に入力される
と、これをCPU50が検出することになっており、こ
の検出が終了すると図6に示すようなCPU50による
制御ルーチンが開始される。
【0028】以下、この制御ルーチンの流れを説明す
る。まず、ステップ100において2次元CCDセンサ
34によって出力されたスリット像36の位置及び光強
度に応じた電気信号(検出信号)を演算装置38内で増
幅、及びアナログデジタル変換した信号を取り込む。
【0029】続いて、ステップ102では、スリット像
36に基づいて深さ寸法を測定する演算を行う。これに
ついて、以下に詳しく説明する。
【0030】2次元CCDセンサ34の受光面に結像さ
れたスリット像36は、図5(A)に示すように被測定
面20Bの中央部に形成された凹部に対応して、Y軸方
向に沿った中央部のみZ軸の負方向に変位した像とな
る。さらに、そのZ軸の負方向の変位量は上記の凹部の
深さ寸法の大きさと相関があることがわかっている。
【0031】一方、受光面のZ軸方向に対応する任意の
走査線37A、37Bの出力信号は、図5(B)、
(C)に示したようになる。2次元CCDセンサ34
は、このような信号を演算装置38に出力する。この出
力信号の振幅の大きい部位が走査線上のスリット部分、
すなわちスリット像36の位置になる。
【0032】従って、入力された信号に基づいて演算装
置38により受光面上のすべての走査線上のスリット像
36の位置を求め、その求めた位置からスリット像36
におけるZ軸の負方向の変位量と上記の凹部の深さ寸法
との相関関係に基づいて、被測定面20Bの深さ寸法を
求めることができる。ここで測定された深さ寸法を仮に
Mとする。
【0033】続いて、ステップ104において、ケーシ
ング12内に設けられている角度測定機構58によって
寸法測定器10の水平方向に対する傾斜角度を測定す
る。水平軸回りの角度のみを測定するのは前述のとお
り、垂直軸回りの傾斜角度をゼロに近づけるのはオペレ
ータの手作業によって容易に行うことができるためであ
る。この傾斜角度の測定を行うために、図7に示す測定
ルーチンが実行される。
【0034】まず、ステップ200において、カウント
数Nをゼロに初期設定する。引き続き、ステップ202
においては、この角度測定機構58に設けられているモ
ータ60が駆動され、ステップ204において、円板ス
リット62が回転することによって生成されるパルスを
検出する。ここでパルスが検出されるとステップ206
にうつり、カウント数Nを1ずつ加算していく。さら
に、ステップ208では、センサ70により重り68の
真下にあるスリット64を検出する。ここで、上記ステ
ップ204、206の処理をセンサ70がスリット64
を検出するまで実行される。この検出が終了すると、ス
テップ210において、モータの駆動が停止され、ステ
ップ212において、前記処理によって得られたカウン
ト数Nと単位パルス角度から求めるべき傾斜角度θを得
ることになっている。
【0035】また、傾斜角度θは水平軸を0°とした場
合、−90°〜90°の範囲内に収まると考えられる。
この範囲外である場合は、スリット光14が被測定物2
0の被測定面20Bに全く照射されていないことになる
ので除外する。
【0036】以上のような測定ルーチンの実行が終了す
ると、制御ルーチンのステップ106に戻り、ステップ
104、すなわち測定ルーチンにおいて測定された角度
θとステップ102で測定された深さ寸法を利用して下
に示す式に代入して最適な深さ寸法を求める。
【0037】L=M×cosθ ・・・(1) L : 求めるべき深さ寸法 M : 深さ寸法の測定値 θ : 寸法測定器の傾斜角度 ここで、寸法測定器10の傾斜角度がゼロ、すなわち傾
斜していなかった場合には、補正処理を施さなくても制
御ルーチンのステップ102において測定された値が本
来求めるべき深さ寸法Lの寸法として得られるわけであ
るが、この場合、測定ルーチンにおいて、傾斜角度θが
ゼロと測定されることになり、このゼロを上記式に代入
して補正処理を施すことになるが、ゼロを代入したとし
てもステップ102において測定された値と同様の結果
を得ることができるので、寸法測定器10が傾斜してい
るか否かにかかわらず、制御ルーチン及び測定ルーチン
を実行させる。
【0038】上記の式を用いて補正処理を施すことによ
って、求めるべき深さ寸法Lの正確な測定値を得ること
ができる。続いて、寸法測定器10に備えられているス
イッチ40をオフにする。すると、制御ルーチンの実行
が停止されると同時に、投光装置22内の半導体レーザ
ー24からのレーザービームの射出も停止される。以上
の処理によって所望の部位(本発明の実施の形態におい
ては深さ寸法L)を測定した演算結果は出力手段である
液晶ディスプレイ18に表示され、所望の部位の寸法測
定処理が終了したことになる。
【0039】また、寸法測定器10の垂直軸回りの傾斜
角度はオペレータの手作業によって、ほぼゼロにあわせ
ることができるが、より精度の高い寸法測定器を得るた
めに水平軸回りの傾斜角度を測定する角度測定機構58
に加えて、垂直軸(図9における回転軸2−2線)回り
の傾斜を調整する傾斜調整指示部19が設けられていて
もよい。
【0040】これは、図9に示すように投光装置22及
び受光装置30が備えられている面と反対側の面、すな
わち液晶ディスプレイ18が設置されているのと同一の
面に設けられている。この傾斜調整指示部19は、ケー
シング12の姿勢を右方向へ調整するように指示する右
ランプ19A、ケーシング12の姿勢を現状のまま維持
するように指示する中央ランプ19B、ケーシング12
の姿勢を左方向へ調整するように指示する左ランプ19
Cを備えている。
【0041】従って、垂直軸回りの傾斜をなくすために
は傾斜調整指示部19の中央ランプ19Bが点灯するよ
うに調整すればよい。この調整作業を測定開始を指示す
るスイッチ40をオンにした直後に行い、これに続いて
前述の処理を進めていくことにする。これにより、垂
直、水平の両軸回りの傾斜角度を補正することができる
ので、より正確な寸法測定を行うことができる。
【0042】以上説明したように本発明の実施の形態に
係る寸法測定器10は、スリット光14の光束面が被測
定物10の被測定物20Bに対して垂直であるかを判定
する必要がなく、垂直であるか否かにかかわらず、寸法
測定器10の水平軸回りの傾斜角度θを求め、これを用
いて補正処理を施すことができるので、従来、生じてい
た問題点を解消し、正確な寸法を測定することができ
る。しかし、これは、被測定物20が平面に対して垂直
に置かれており、寸法測定器10のみが傾いている場合
であって、被測定物20と寸法測定器10の両方が互い
に傾いていた場合には被測定物20の重心方向(水平軸
回り)に対する傾斜角度のデータを予め、マイコン46
に登録しておく必要がある。
【0043】なお、本発明の実施の形態では被測定面の
深さ寸法を測定する例を示したが、本発明の寸法測定器
10はこれ以外の局部的な部位の寸法等を測定すること
もできる。
【0044】本発明の実施の形態では、ロッドレンズを
利用することでスリット状の光を得る例について説明し
たが、スリット状の光を得る素子としてシリンドリカル
レンズ、シリンドリカルミラー等を用いることもでき、
回転多面鏡等のレーザービームをスキャンすることによ
りスリット状の光を得ることもできる。
【0045】また、本発明の実施の形態では受光素子と
して2次元CCDセンサを用いた場合について説明した
が、2次元CCDセンサに限定されるものではなく、1
次元CCDセンサや撮像管を用いたテレビジョンシステ
ムによる位置検出方法を用いてセンサ上で2次元の位置
を出力することのできる素子を利用してもよい。
【0046】さらに、本発明の実施の形態においては、
角度測定手段としてロータリーエンコーダに重りをつけ
て角度を測定する方法を例にとり説明したが、ロータリ
ーエンコーダーを用いるのではなく、これに代わって光
ファイバー式ジャイロセンサを用いて測定する方法があ
る。この光ファイバ式ジャイロセンサとは、例として位
相変調方式の場合には、角速度をωとするとSIN関数
となる出力が得られる。これより、角速度ωがゼロ付近
の感度が向上し、回転方向を求めることができるもので
あり、本発明の寸法測定器10内の角度測定機構として
これを用いて、測定に必要な角度を求めることも可能で
ある。また、寸法測定器のスリット光が射出される投光
装置が設けられている面と反対側の面にダイヤルを設け
てオペレータがこれを回すことによって角度を測定する
方法も考えられる。
【0047】また、深さ寸法の出力手段として、本発明
の実施の形態においては液晶ディスプレイを用いる場合
を例にとり説明したが、液晶ディスプレイに限定される
ものではなく、これ以外にもプリンタ等により紙等の記
憶媒体に印刷することによって測定値を出力する方法
や、スピーカー等の音声出力装置によって測定値を音声
出力する方法なども考えられる。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る寸法測
定器は、これを保持しているオペレータの手振れが原因
で所望の部位の寸法を正確に測定することができないと
いう問題を解消するとともに、測定する際にオペレータ
がスリット光の光束面を被測定物に対して垂直とするた
めの煩雑な調整作業などを行う必要がなく、寸法測定器
が傾斜して配置されている場合にも、その傾斜角度を利
用して補正処理を施すことで所望の部位の正確な測定値
を得ることができる。
【0049】また、水平軸回りの傾斜角度測定に加え
て、垂直軸回りの傾斜がなくなるように調整すること
で、より精度の高い寸法測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る寸法測定器の外観を
示す斜視図である。
【図2】(A)は図1における矢印2Aの方向からみた
状態を、(B)は図1における矢印2Bの方向からみた
被測定物と寸法測定器の側面図である。
【図3】本発明の実施の形態に係る寸法測定器の概略構
成を示すブロック図である。
【図4】(A)及び(E)はスリット光が被測定物の被
測定面に対して傾いている状態を、(C)はスリット光
が被測定物の被測定面に対して垂直である状態を示す模
式図であり、(B)、(D)、(F)はそれぞれ
(A)、(C)、(E)の場合の2次元CCDセンサの
受光面における反射光の照射状態を示す線図である。
【図5】(A)は2次元CCDセンサの受光面において
レーザービームが照射されたときの状態を、(B)及び
(C)は2次元CCDセンサからの出力信号を示す線図
である。
【図6】マイクロコンピュータによる制御ルーチンを示
すフローチャートである。
【図7】角度測定機構による測定ルーチンを示すフロー
チャートである。
【図8】角度測定機構の一例として、ロータリーエンコ
ーダに重りをつけて用いた場合の側面図である。
【図9】傾斜調整指示部として、インジケータを設けた
寸法測定器の外観を示す斜視図である。
【符号の簡単な説明】
10 寸法測定器 12 ケーシング 14 スリット光 16 輝点の軌跡(輝線) 18 液晶ディスプレイ(出力手段) 19 傾斜調整指示部(指示手段) 20 被測定物 22 投光部(投光装置)(射出手段) 30 受光部(受光装置) 34 2次元CCDセンサ(信号出力手段) 36 スリット像 38 演算装置 40 スイッチ 46 マイクロコンピュータ 58 角度測定機構(角度測定手段) 60 モータ 62 円板スリット 64 スリット 68 重り 70 センサ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スリット光を射出する射出手段と、 スリット光の反射光を受光し、スリット光を反射した被
    測定物上の輝点の軌跡を表す信号を出力する信号出力手
    段と、 被測定物に対向させたときの少なくとも水平軸回りの傾
    きを自動的に検出する角度測定手段と、 前記信号出力手段から出力された被測定物上の輝点の軌
    跡を表す信号と前記角度測定手段により測定された角度
    に基づいて、輝点の軌跡を構成する線分の各々に対応す
    る被測定物の所望の部位の寸法を演算する演算手段と、 前記演算手段による演算結果を出力する出力手段と、 を有し、これらが収納されたケーシングを把持した状態
    でスリット光を被測定物の被測定面に照射して、所望の
    部位の寸法を測定する寸法測定器。
  2. 【請求項2】 前記角度測定手段が水平軸回りの傾斜角
    度の測定に加えて、垂直軸回りの傾きを検出することを
    特徴とする請求項1に記載の寸法測定器。
JP22013795A 1995-08-29 1995-08-29 寸法測定器 Pending JPH0961120A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008503746A (ja) * 2004-06-21 2008-02-07 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー スケール及び読み取りヘッド装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008503746A (ja) * 2004-06-21 2008-02-07 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー スケール及び読み取りヘッド装置

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