JPH0961130A - 電子部品実装装置におけるランド・印刷マスク穴設計 形状検査装置 - Google Patents
電子部品実装装置におけるランド・印刷マスク穴設計 形状検査装置Info
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- JPH0961130A JPH0961130A JP7220461A JP22046195A JPH0961130A JP H0961130 A JPH0961130 A JP H0961130A JP 7220461 A JP7220461 A JP 7220461A JP 22046195 A JP22046195 A JP 22046195A JP H0961130 A JPH0961130 A JP H0961130A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子部品を実装する実装機や、各工程の検査
機を用いる実装工程において、検査対象となるプリント
基板のランドや印刷マスク穴の設計形状を事前に検査す
る装置を提供すること。 【解決手段】 実装機や検査機を用いた実装工程におい
て、対象となるプリント基板のランドまたは印刷マスク
穴形状を検査する装置であって、対象基板のランドまた
は印刷マスク穴形状情報を実際のプリント基板よりスキ
ャナで読み込みする読み取り部と、変換されたランド・
マスク形状情報と使用する部品形状の情報を組み合わせ
て入力する入力部と、ランドまたは印刷マスク穴設計基
準情報を記憶する記憶部と、対象基板に応じた設計基準
情報を記憶部より抽出し、入力部からのランドまたは印
刷マスク穴形状情報と比較して、対象基板上の形状が基
準内か否かを判断する判断部を備えたランド・印刷マス
ク穴設計形状検査装置。
機を用いる実装工程において、検査対象となるプリント
基板のランドや印刷マスク穴の設計形状を事前に検査す
る装置を提供すること。 【解決手段】 実装機や検査機を用いた実装工程におい
て、対象となるプリント基板のランドまたは印刷マスク
穴形状を検査する装置であって、対象基板のランドまた
は印刷マスク穴形状情報を実際のプリント基板よりスキ
ャナで読み込みする読み取り部と、変換されたランド・
マスク形状情報と使用する部品形状の情報を組み合わせ
て入力する入力部と、ランドまたは印刷マスク穴設計基
準情報を記憶する記憶部と、対象基板に応じた設計基準
情報を記憶部より抽出し、入力部からのランドまたは印
刷マスク穴形状情報と比較して、対象基板上の形状が基
準内か否かを判断する判断部を備えたランド・印刷マス
ク穴設計形状検査装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品をプリン
ト基板に実装する電子部品実装工程におけるプリント基
板のランドや印刷マスク穴の設計形状を検査する装置に
関するものである。
ト基板に実装する電子部品実装工程におけるプリント基
板のランドや印刷マスク穴の設計形状を検査する装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の、電子部品実装工程において使用
するプリント基板のランドやクリーム半田印刷マスク穴
形状の検査方法の一例を、図１０を用いて説明する。ま
ず、ＣＡＤシステムによってプリント基板設計が行なわ
れ、同時に、配線の引き回しなどのパターンルールのチ
ェックが行なわれる。
するプリント基板のランドやクリーム半田印刷マスク穴
形状の検査方法の一例を、図１０を用いて説明する。ま
ず、ＣＡＤシステムによってプリント基板設計が行なわ
れ、同時に、配線の引き回しなどのパターンルールのチ
ェックが行なわれる。
【０００３】プリント基板の設計後、ＣＡＤデータとし
て出力されると、まず基板製造部において、ＣＡＤデー
タに基づき基板製造が行なわれる。しかし、製造途中で
仕様変更などの理由により、基板の修正が行なわれるこ
とも多い。一方ＣＡＭシステムでは、ＣＡＤデータをも
とに、ＣＡＭシステム内にある部品形状や工法条件等の
各種実装条件データベースとリンクして、実装設備の動
作データであるＮＣデータが作成される。
て出力されると、まず基板製造部において、ＣＡＤデー
タに基づき基板製造が行なわれる。しかし、製造途中で
仕様変更などの理由により、基板の修正が行なわれるこ
とも多い。一方ＣＡＭシステムでは、ＣＡＤデータをも
とに、ＣＡＭシステム内にある部品形状や工法条件等の
各種実装条件データベースとリンクして、実装設備の動
作データであるＮＣデータが作成される。
【０００４】そして、最終的にＮＣデータとプリント基
板を用いて、実装設備で部品実装が行なわれる。
板を用いて、実装設備で部品実装が行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ＣＡＤシステ
ムにおけるデザインチェックは、基板自体の性能を保証
するための電気的な面からのチェックが主で、部品実装
の条件となる実装条件面からのチェックは十分に行なわ
れない。これは実際の実装工程において、どのような実
装材料や工法条件が用いられるか、設計段階においては
必ずしも明らかでないためである。また、ＣＡＤ設計が
外注化されている場合などでは、チェックを行なうこと
自体が難しい場合も多い。
ムにおけるデザインチェックは、基板自体の性能を保証
するための電気的な面からのチェックが主で、部品実装
の条件となる実装条件面からのチェックは十分に行なわ
れない。これは実際の実装工程において、どのような実
装材料や工法条件が用いられるか、設計段階においては
必ずしも明らかでないためである。また、ＣＡＤ設計が
外注化されている場合などでは、チェックを行なうこと
自体が難しい場合も多い。
【０００６】また、基板製造時に基板修正が行なわれた
場合は、既に出力されているＣＡＤデータには修正デー
タが反映されないので、ＣＡＤデータと実際の基板の形
状が異なることになる。一般に、部品や実装工程別に推
奨となるランドやマスクの形状は規定されているが、こ
うした実装ノウハウに基づき適切なランドやマスク設計
が行なわれているかどうかを自動的にチェックするシス
テムがなかった。そのため、基板の実装工程においては
じめてランドやマスクの形状不良がチェックされるとい
う問題があった。
場合は、既に出力されているＣＡＤデータには修正デー
タが反映されないので、ＣＡＤデータと実際の基板の形
状が異なることになる。一般に、部品や実装工程別に推
奨となるランドやマスクの形状は規定されているが、こ
うした実装ノウハウに基づき適切なランドやマスク設計
が行なわれているかどうかを自動的にチェックするシス
テムがなかった。そのため、基板の実装工程においては
じめてランドやマスクの形状不良がチェックされるとい
う問題があった。
【０００７】
【問題を解決するための手段】この問題を解決するため
には、部品実装装置のＣＡＭシステムにおいて、実装条
件面を中心に、実装作業を実際に行なう前に、再度ラン
ド・マスク形状が適切であるかどうかをチェックする機
能が求められる。上記の目的を達するために、本発明
は、検査対象基板のランドまたは印刷マスク穴形状情報
を、実際のプリント基板もしくは印刷マスクより光学的
に読み込む入力部と、ランドまたは印刷マスク穴設計基
準情報を記憶する記憶部と、対象基板に応じた設計基準
情報を記憶部より抽出し、入力部からのランドまたは印
刷マスク穴形状情報と比較して、対象基板上の形状が基
準内か否かを判断する判断部を備える。
には、部品実装装置のＣＡＭシステムにおいて、実装条
件面を中心に、実装作業を実際に行なう前に、再度ラン
ド・マスク形状が適切であるかどうかをチェックする機
能が求められる。上記の目的を達するために、本発明
は、検査対象基板のランドまたは印刷マスク穴形状情報
を、実際のプリント基板もしくは印刷マスクより光学的
に読み込む入力部と、ランドまたは印刷マスク穴設計基
準情報を記憶する記憶部と、対象基板に応じた設計基準
情報を記憶部より抽出し、入力部からのランドまたは印
刷マスク穴形状情報と比較して、対象基板上の形状が基
準内か否かを判断する判断部を備える。
【０００８】また、記憶部がランドまたは印刷マスク穴
設計基準形状と、対応する電子部品の形状と、使用する
実装工法条件の情報の記憶領域を備える。また、入力部
がスキャナの代わりに、プリントＣＡＤ設計情報を読み
込む機能を備える。さらに、設計基準形状を自動的に構
築するために、検査機からの品質実績データをもとに、
良品となるランド及びまたはマスク形状を選択する選択
部と、選択部で選択されたランド及びまたはマスク形状
及び関連する実装工法条件情報を記憶部に登録する登録
部を備える。
設計基準形状と、対応する電子部品の形状と、使用する
実装工法条件の情報の記憶領域を備える。また、入力部
がスキャナの代わりに、プリントＣＡＤ設計情報を読み
込む機能を備える。さらに、設計基準形状を自動的に構
築するために、検査機からの品質実績データをもとに、
良品となるランド及びまたはマスク形状を選択する選択
部と、選択部で選択されたランド及びまたはマスク形状
及び関連する実装工法条件情報を記憶部に登録する登録
部を備える。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１〜図
９を参照しながら説明する。図１に基づき、本発明の第
１の実施例を説明する。読み取り部４において、ランド
の場合は実際のプリント基板を、マスクの場合は印刷マ
スクをスキャナで読み込み、スキャナから出力された画
像情報より、ランド・マスク形状部を形状情報として抽
出する。一方、使用している部品の形状情報を、部品形
状コードとして選択し、データ入力部１でランド・マス
ク形状情報と組み合わせて入力する。一方、記憶部２で
はランド・マスクの推奨設計形状を標準設計基準として
記憶しており、部品形状コードなどをキーに該当する設
計基準を取り出し、入力部１からのデータと判断部３で
比較しその結果を出力する。
９を参照しながら説明する。図１に基づき、本発明の第
１の実施例を説明する。読み取り部４において、ランド
の場合は実際のプリント基板を、マスクの場合は印刷マ
スクをスキャナで読み込み、スキャナから出力された画
像情報より、ランド・マスク形状部を形状情報として抽
出する。一方、使用している部品の形状情報を、部品形
状コードとして選択し、データ入力部１でランド・マス
ク形状情報と組み合わせて入力する。一方、記憶部２で
はランド・マスクの推奨設計形状を標準設計基準として
記憶しており、部品形状コードなどをキーに該当する設
計基準を取り出し、入力部１からのデータと判断部３で
比較しその結果を出力する。
【００１０】なお、実際クリーム半田を用いるようなプ
リント基板においては、ランド部以外はレジストでカバ
ーされているので、輝度や色が大きく異なり、画像情報
からランド部分を抽出することは既存の画像処理技術
で、容易に行なうことが可能である。印刷マスクの場合
においても、穴部分とそれ以外の部分では輝度や色が大
きく異なるため、穴部分を抽出することは同様に容易で
ある。
リント基板においては、ランド部以外はレジストでカバ
ーされているので、輝度や色が大きく異なり、画像情報
からランド部分を抽出することは既存の画像処理技術
で、容易に行なうことが可能である。印刷マスクの場合
においても、穴部分とそれ以外の部分では輝度や色が大
きく異なるため、穴部分を抽出することは同様に容易で
ある。
【００１１】また、部品形状コードの入力は、図１
（ｂ）のように、実装済み基板上の部品を実際に測定し
てサイズを求めるか、ＣＡＤデータから使用する部品名
称と実装位置データをもとに、あらかじめ登録されてい
る部品名称と部品形状コードの対応表より求める方法が
考えられる。次に図２〜図８に基づき、本発明の第２の
実施例を説明する。図２（ａ）はランド・マスクの標準
設計基準情報の登録例を示したものである。一般の表面
実装用のプリント基板では、ランドや印刷マスク形状は
殆ど長方形に近似して表現できるので、例えば、図２
（ｂ）のような部品のランド・マスクの標準形状は、部
品中心５からの位置ｘ，ｙ，θや各ランド・マスクのサ
イズＸ，Ｙおよび面積Ｓなどが登録される。さらに、対
象基板のランド・マスク形状値との比較の際に用いられ
る許容値も併せて登録されている。使用する半田材料や
対応する部品のリードサイズの許容値などによって、同
一設計形状でも許容値が異なる場合は異なるセル形状コ
ードとして別に登録する。
（ｂ）のように、実装済み基板上の部品を実際に測定し
てサイズを求めるか、ＣＡＤデータから使用する部品名
称と実装位置データをもとに、あらかじめ登録されてい
る部品名称と部品形状コードの対応表より求める方法が
考えられる。次に図２〜図８に基づき、本発明の第２の
実施例を説明する。図２（ａ）はランド・マスクの標準
設計基準情報の登録例を示したものである。一般の表面
実装用のプリント基板では、ランドや印刷マスク形状は
殆ど長方形に近似して表現できるので、例えば、図２
（ｂ）のような部品のランド・マスクの標準形状は、部
品中心５からの位置ｘ，ｙ，θや各ランド・マスクのサ
イズＸ，Ｙおよび面積Ｓなどが登録される。さらに、対
象基板のランド・マスク形状値との比較の際に用いられ
る許容値も併せて登録されている。使用する半田材料や
対応する部品のリードサイズの許容値などによって、同
一設計形状でも許容値が異なる場合は異なるセル形状コ
ードとして別に登録する。
【００１２】さらに、図３（ａ）は部品の形状情報の登
録例である。部品の形状種別ごとに外形サイズ、リード
本数、リードの形状分類やサイズなどの情報が登録され
ている。図３（ｂ）は部品の実形状情報の登録例であ
る。また、図４は実装工法条件の登録例である。対象部
品形状と実装時の工法条件から最適のランド・マスク形
状であるセルメニューの形状コードが決められている。
録例である。部品の形状種別ごとに外形サイズ、リード
本数、リードの形状分類やサイズなどの情報が登録され
ている。図３（ｂ）は部品の実形状情報の登録例であ
る。また、図４は実装工法条件の登録例である。対象部
品形状と実装時の工法条件から最適のランド・マスク形
状であるセルメニューの形状コードが決められている。
【００１３】実基板や印刷マスクを計測した場合、実装
前の基板及び印刷マスクから、実際のランド・マスク形
状が決められる。図２（ｂ）のような実際の画像情報か
ら位置、角度、サイズ、面積などの特徴量を算出して、
図７（ｂ）のようなデータが得られる。また、実装済み
のテスト基板を計測した場合は、図３（ｂ）や図６
（ｂ）のような実形状データが得られる。まず図３
（ｂ）と図３（ａ）を比較して、図３（ｂ）にある部品
実形状コードと同じ形状と思われる部品を図３（ａ）よ
り検索し、部品実形状コードを部品形状コードに置き換
える。このとき、図３（ｂ）にある部品形状の計測値
は、計測誤差や部品毎のばらつき誤差が影響して、多少
カタログ設計値と差が生じることがあるので、この誤差
範囲を考慮する必要がある。
前の基板及び印刷マスクから、実際のランド・マスク形
状が決められる。図２（ｂ）のような実際の画像情報か
ら位置、角度、サイズ、面積などの特徴量を算出して、
図７（ｂ）のようなデータが得られる。また、実装済み
のテスト基板を計測した場合は、図３（ｂ）や図６
（ｂ）のような実形状データが得られる。まず図３
（ｂ）と図３（ａ）を比較して、図３（ｂ）にある部品
実形状コードと同じ形状と思われる部品を図３（ａ）よ
り検索し、部品実形状コードを部品形状コードに置き換
える。このとき、図３（ｂ）にある部品形状の計測値
は、計測誤差や部品毎のばらつき誤差が影響して、多少
カタログ設計値と差が生じることがあるので、この誤差
範囲を考慮する必要がある。
【００１４】次に、置換された部品形状コードに基づ
き、図４からセルメニュー形状コードが決まる。このセ
ルメニュー形状コードにより、図２（ａ）から標準設計
基準が求められる。この図２（ａ）の基準サイズと図７
（ｂ）の実際の設計サイズを比較し、その差が許容値以
内かどうかを判断する。部品名称と実装位置情報のファ
イルを別途入手できるときは、図６（ｂ）の代わりに図
６（ａ）のようなファイルとなる。このときは、通常図
５にあるように各部品名称の部品がどの形状であるかが
別途管理されており、図５から部品名称をキーに部品形
状コードが得られる。
き、図４からセルメニュー形状コードが決まる。このセ
ルメニュー形状コードにより、図２（ａ）から標準設計
基準が求められる。この図２（ａ）の基準サイズと図７
（ｂ）の実際の設計サイズを比較し、その差が許容値以
内かどうかを判断する。部品名称と実装位置情報のファ
イルを別途入手できるときは、図６（ｂ）の代わりに図
６（ａ）のようなファイルとなる。このときは、通常図
５にあるように各部品名称の部品がどの形状であるかが
別途管理されており、図５から部品名称をキーに部品形
状コードが得られる。
【００１５】次に、入力部１で入力されるランド・マス
ク形状情報がＣＡＤデータの場合は、図６（ａ）及び図
７（ａ）のようになる。図５から部品名称をキーに部品
形状コードが得られ、これと、実装ラインから決まる工
法条件コードに基づいて、図４からセルメニュー形状コ
ードが決まり、このコードにより図２（ａ）から標準設
計基準が求められる。この図２（ａ）の基準サイズと図
７（ａ）の実際の設計サイズを比較し、その差が許容値
以内かどうかを判断する。
ク形状情報がＣＡＤデータの場合は、図６（ａ）及び図
７（ａ）のようになる。図５から部品名称をキーに部品
形状コードが得られ、これと、実装ラインから決まる工
法条件コードに基づいて、図４からセルメニュー形状コ
ードが決まり、このコードにより図２（ａ）から標準設
計基準が求められる。この図２（ａ）の基準サイズと図
７（ａ）の実際の設計サイズを比較し、その差が許容値
以内かどうかを判断する。
【００１６】次に、図８〜図９で、他の実施例を説明す
る。すでに作成された動作データに基づき検査装置が動
作し、検査品質データが出力される。この品質データを
もとに、良品ランド・マスク選択部６でデータを選択
し、その選択結果に基づいて検査装置から出力される対
象基板のランド・マスク形状や使用した実装条件データ
のうち、良品部品のデータをデータ登録部７で記憶部２
に登録する。
る。すでに作成された動作データに基づき検査装置が動
作し、検査品質データが出力される。この品質データを
もとに、良品ランド・マスク選択部６でデータを選択
し、その選択結果に基づいて検査装置から出力される対
象基板のランド・マスク形状や使用した実装条件データ
のうち、良品部品のデータをデータ登録部７で記憶部２
に登録する。
【００１７】図９は検査品質データの一例を示したもの
である。対象基板別で不良部品の位置を示す回路番号別
に不良部品のみ不良種別を示す不良コードが出力され
る。さらに、ランドもしくはマスク別に不良が発生して
いるときには、そのランドもしくはマスク番号と不良コ
ードが出力される。従って、適当な期間で複数枚の基板
を対象にこのデータを集計することにより、不良発生度
合の少ない部品を抽出することができる。
である。対象基板別で不良部品の位置を示す回路番号別
に不良部品のみ不良種別を示す不良コードが出力され
る。さらに、ランドもしくはマスク別に不良が発生して
いるときには、そのランドもしくはマスク番号と不良コ
ードが出力される。従って、適当な期間で複数枚の基板
を対象にこのデータを集計することにより、不良発生度
合の少ない部品を抽出することができる。
【００１８】一方、検査機から出力される対象基板の情
報は、基板計測時のデータと同様で、ランド・マスク形
状は図７（ｂ）、使用した実装条件のデータは図３
（ｂ）や図６（ｂ）のような形になる。従って、図７
（ｂ）の内容をそのまま図２（ａ）の表へ登録すればよ
い。但し、許容値は品質結果データや他の類似セルメニ
ュー形状を考慮して追加入力する。
報は、基板計測時のデータと同様で、ランド・マスク形
状は図７（ｂ）、使用した実装条件のデータは図３
（ｂ）や図６（ｂ）のような形になる。従って、図７
（ｂ）の内容をそのまま図２（ａ）の表へ登録すればよ
い。但し、許容値は品質結果データや他の類似セルメニ
ュー形状を考慮して追加入力する。
【００１９】なお、本実施例では標準設計基準情報を縦
横のサイズや面積といった、ランドやマスク形状の特徴
を示す尺度による設計ルールとしたが、設計基準形状そ
のものを登録して実際の形状と図形形状同士のパターン
マッチングとして比較する方法をとってもよい。
横のサイズや面積といった、ランドやマスク形状の特徴
を示す尺度による設計ルールとしたが、設計基準形状そ
のものを登録して実際の形状と図形形状同士のパターン
マッチングとして比較する方法をとってもよい。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、電子部品を実装する実
装機や各工程の検査機を用いる実装工程において、実際
の基板もしくはＣＡＤデータから対象基板のランドやマ
スク形状情報を得て、標準設計基準と比較し検査対象と
なるプリント基板のランドや印刷マスク穴の設計形状を
事前にチェックする装置を提供することにより、実際の
設備で動作させる前に対象基板の設計品質を確認するこ
とができる。
装機や各工程の検査機を用いる実装工程において、実際
の基板もしくはＣＡＤデータから対象基板のランドやマ
スク形状情報を得て、標準設計基準と比較し検査対象と
なるプリント基板のランドや印刷マスク穴の設計形状を
事前にチェックする装置を提供することにより、実際の
設備で動作させる前に対象基板の設計品質を確認するこ
とができる。
【００２１】これにより、品質不良を事前に防止して品
質の向上を図ることができる。
質の向上を図ることができる。
【図１】本発明の第１実施例におけるランド・マスク検
査装置の構成を示した図である。
査装置の構成を示した図である。
【図２】記憶部のランド・マスクの標準形状情報例を示
した図である。
した図である。
【図３】部品形状情報例を示した図である。
【図４】記憶部の標準設計基準情報例を示した図であ
る。
る。
【図５】記憶部の部品名称と部品形状の関連情報例を示
した図である。
した図である。
【図６】部品実装位置情報例を示した図である。
【図７】入力されるランド・マスク形状情報例を示した
図である。
図である。
【図８】本発明の第２実施例におけるランド・マスク検
査装置の構成を示した図である。
査装置の構成を示した図である。
【図９】検査機による品質検査データ例を示した図であ
る。
る。
【図１０】従来のランド・マスク検査装置の構成を示し
た図である。
た図である。
１ データ入力部 ２ 標準設計情報記憶部 ３ 形状良否判断部 ４ 読み取り部 ５ 部品中心位置定義 ６ 良品ランド・マスク選択部 ７ データ登録部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 健一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 プリント基板のランドまたは印刷マスク
穴形状を検査する装置を備えた電子部品実装装置におい
て、検査対象基板のランドまたは印刷マスク穴形状情報
を実際のプリント基板もしくは印刷マスクより光学的に
読み込む読み取り部と、読み取り部から抽出されたラン
ド・マスク形状情報と使用する部品形状の情報を組み合
わせて入力する入力部と、ランドまたは印刷マスク穴設
計基準情報を記憶する記憶部と、設計基準情報を記憶部
より抽出し、入力部からのランドまたは印刷マスク穴形
状情報と比較して、その結果を出力し対象基板上の形状
が基準内か否かを判断する判断部を備えたことを特徴と
するランド・印刷マスク穴設計形状検査装置。 - 【請求項２】 記憶部が、ランドまたは印刷マスク穴設
計基準形状と、対応する電子部品の形状と、使用する実
装工法条件の情報の記憶領域を備えたことを特徴とする
請求項１記載のランド・印刷マスク穴設計形状検査装
置。 - 【請求項３】 読み取り部が、対象基板上の部品毎の部
品名称及び対応するランドまたは印刷マスク穴設計情報
からなるＣＡＤ設計情報を読み込む機能を備えたことを
特徴とする請求項１、または２のいずれかに記載のラン
ド・印刷マスク穴設計形状検査装置。 - 【請求項４】 検査機からの品質実績データをもとに、
良品となるランドまたは印刷マスク穴形状を選択する選
択部と、選択部で選択されたランド及びまたは印刷マス
ク穴形状及び関連する実装工法条件情報を記憶部に登録
する登録部を備えたことを特徴とする請求項１または２
のいずれかに記載のランド・印刷マスク穴設計形状検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7220461A JPH0961130A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 電子部品実装装置におけるランド・印刷マスク穴設計 形状検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7220461A JPH0961130A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 電子部品実装装置におけるランド・印刷マスク穴設計 形状検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961130A true JPH0961130A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16751488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7220461A Pending JPH0961130A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 電子部品実装装置におけるランド・印刷マスク穴設計 形状検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961130A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298462A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Pioneer Electronic Corp | 印刷マスクの検査装置、及び印刷マスクの検査方法 |
-
1995
- 1995-08-29 JP JP7220461A patent/JPH0961130A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298462A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Pioneer Electronic Corp | 印刷マスクの検査装置、及び印刷マスクの検査方法 |
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