JPH0963003A - 磁気再生装置及び磁気再生用スタイラスの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高密度記録を達成しつつ、高速データ転送レ
ートでのデータの再生を行うことを目的とする。 【構成】 トンネル電流を利用して磁性体３４と磁気記
録媒体１との間隔の制御を行いつつ、磁気記録媒体１と
磁性体３４とを通る磁路中に設けられた磁気インダクタ
ンス素子３５に誘起する電圧を検出し、その検出された
電圧の変化を読み取ることにより、磁気記録媒体１に記
録されている信号を再生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スタイラスを用いた磁
気再生装置に関し、また当該磁気再生装置に用いる磁気
再生用スタイラスの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録媒体を用いた磁気再生装
置において、針状の形状をしており磁気記録及び再生に
用いる導電性の磁性体であるスタイラスを用い、記憶密
度を大幅に向上したものが開発されつつある。例えばそ
の技術は特開平３−５２１０２号公報に記載されてい
る。それは以下に示すようにして磁気記録媒体から磁化
信号を検出する。先ず、電圧の印加された導電性スタイ
ラスを、磁気記録媒体の表面に１０Ａｎｇｓｔｒｏｍ
（以下、Ａと略す。）近傍まで近づけるとスタイラスに
トンネル電流が流れ始める。一方、前記磁気記録媒体上
に磁化部分が存在すると、そこから発生する磁束を横切
ることによって、磁性体であるスタイラスが磁化され
る。すると当該スタイラスは、磁気記録媒体上の磁気よ
り力を受け、磁気記録媒体とスタイラスとの間隔が変化
しようとする。そこで、磁気記録媒体とスタイラスとの
間隔を一定になるようにするため、トンネル電流を一定
に保つようにスタイラスの位置を制御すると、その制御
電圧が磁気記録媒体上の磁化信号の強さに応じて変化す
る。その制御電圧の変化を検出することによって、磁気
記録媒体上の磁化信号の強さを検出できる。この技術に
よれば、微細な磁気信号を読み取ることができるので、
磁気記録媒体の記録密度を大幅に向上させることができ
る。

【０００３】また、前述の技術と同様に導電性のスタイ
ラスを用いて、記憶密度を大幅に向上させた別の技術と
して、「日本応用磁気学会誌 VOL16 NO3 1992 P532-P5
40」に記載されている技術がある。それは、以下のよう
にして磁化信号を検出する。磁性スタイラスを先端に設
けた磁気記録及び再生に用いるカンチレバーを有してお
り、そのカンチレバーを振動させる。その振動している
カンチレバーを磁気記録媒体に近づけると、磁気記録媒
体上に記録された磁化信号から力を受け、そのカンチレ
バーの振動の振幅が変化する。このカンチレバーの振幅
の変化を、レーザー光によって検出することにより磁気
記録媒体上に記録された磁化信号を読み取ることができ
る。この技術によって、微細な磁気信号を読み取り、５
００Ａ径以下／ビットの高密度記録を達成する試みが提
案されている。

【０００４】また、従来のスタイラスの製造方法として
は以下に示すようなものがある。即ち、タングステンワ
イヤー等を、電解エッチングすることによって先端を鋭
くし、その上にコバルトCo,鉄Fe,ニッケルNi系の強磁性
合金を鍍金やスパッタによって製造することが試みられ
ている。その他、フォトリソ技術を用いて、窒素シリコ
ンSiNを先端がピラミッド型になるように形成し、その
上に強磁性体を形成することにより製造することが試み
られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前者の磁気
再生装置における技術では、記録密度を大幅に向上させ
ることができるものの、スタイラスが設けられているヘ
ッド部分が必ずある程度の質量を持つため、高い周波数
で記録されている磁気信号に追随して信号を再生するこ
とが出来ない。そのため、高速データ転送レートでのデ
ータの再生を行うことが出来ないという問題があった。

【０００６】一方、後者の磁気再生装置における技術で
も、記録密度は大幅に向上できるものの、カンチレバー
の機械的共振の限界のため、データの読み出しの転送レ
ートは高くても３０Kbps程度であり、高速なデータ転送
レートでのデータの再生を行うことが出来ないという問
題があった。また、従来のスタイラスの製造方法では、
スタイラスの製造にコストがかかるという問題があっ
た。

【０００７】そこで、本願発明は、高密度記録を達成し
つつ、高速データ転送レートでのデータの再生を行う磁
気再生装置を提供することを目的とする。また、本願発
明の他の目的は、コストがかからないスタイラスの製造
方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１における発明では、前記磁性体とは電気的
に絶縁状態で、前記磁気記録媒体と前記磁性体とを通る
磁路中に設けられた磁気インダクタンス素子と、前記磁
気インダクタンス素子に円周磁界が生ずるように高周波
電圧を前記磁気インダクタンス素子に印加する高周波電
圧印加手段と、前記磁気記録媒体の磁化部分から生ずる
磁束が前記磁性体を通じて前記磁気インダクタンス素子
に印加された際に、前記磁気インダクタンス素子に誘起
する前記磁束の変化に依存した電圧を検出する電圧検出
手段と、前記電圧検出手段で検出された電圧の変化を読
み取ることにより、前記磁気記録媒体に記録されている
信号を再生する再生手段とを備えたことを特徴とする。

【０００９】請求項２の発明では、前記磁気インダクタ
ンス素子は、前記磁性体と絶縁膜を介して接着されてい
ることを特徴とする。請求項３の発明では、前記磁性体
は、薄膜状であり、その磁性体が前記磁気記録媒体と垂
直でかつ再生方向と平行となるように配置されたことを
特徴とする。請求項４の発明では、複数の金属磁性体の
線材を有機物質よりなる接着剤で規則的に束ねてスタイ
ラスとほぼ同等長ブロックを形成するブロック形成ステ
ップと、当該ブロックを金属磁性体の線材の長手方向と
垂直な面で二つに切断するブロック切断ステップと、切
断した第１の切断ブロックの両端に少なくとも絶縁膜を
形成する膜形成ステップと、残りの第２の切断ブロック
において、その切断面と対向する面側の各金属磁性体の
線材の先端に機械加工を施して突起を形成する機械加工
ステップと、前記第１の切断ブロックの一端の膜面と前
記第２の切断ブロックの切断面とを、ガラスなどの無機
物質からなる接着膜で接着するブロック接着ステップ
と、前記第２の切断ブロックにおいて、機械加工により
形成された各金属磁性体の線材の先端の突起をエッチン
グして針状に加工するエッチングステップと、各金属磁
性体の線材を束ねている接着剤を溶剤に溶かすことによ
り除去する接着材除去ステップと、各金属磁性体の線材
間に存在する絶縁膜を除去して、各金属磁性体の線材を
スタイラスとして取り出すスタイラス取り出しステップ
とを有することを特徴とする。

【００１０】

【作用】上記請求項１の発明によれば、トンネル電流を
利用して磁性体と磁気記録媒体との間隔の制御を行いつ
つ、磁気記録媒体と磁性体とを通る磁路中に設けられた
磁気インダクタンス素子に誘起する電圧の変化を検出す
る。再生手段は、電圧検出手段で検出された電圧の変化
を読み取ることにより、磁気記録媒体に記録されている
信号を再生する。

【００１１】請求項２の発明によれば、磁性体と磁気イ
ンダクタンス素子とは、絶縁膜を介して接着されてい
る。請求項３の発明によれば、磁性体は、薄膜状であ
り、その薄膜の面が磁気記録媒体と垂直でかつ再生方向
と平行になるように配置されている。請求項４の発明に
よれば、複数の金属磁性体の線材を有機物質よりなる接
着剤で規則的に束ねてスタイラスとほぼ同等長ブロック
を形成した後、そのブロックを二つに切断する。次に切
断した第１の切断ブロックの両端に少なくとも絶縁膜を
形成する。残りの第２の切断ブロックにおいて、その切
断面と対向する面側の各金属磁性体の線材の先端に機械
加工を施して突起を形成する。前記第１の切断ブロック
の一端の膜面と前記第２の切断ブロックの切断面とを、
ガラスなどの無機物質からなる接着膜で接着する。前記
第２の切断ブロックにおいて、機械加工により形成され
た各金属磁性体の線材の先端の突起をエッチングして針
状に加工する。各金属磁性体の線材を束ねている接着剤
を溶剤に溶かすことにより除去する。各金属磁性体の線
材間に存在する絶縁膜を除去して、各金属磁性体の線材
をスタイラスとして取り出す。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明の一実施例による磁気再生装
置を示す構成図である。当該磁気再生装置は、磁気記録
媒体１と、スタイラス２と、トンネル電流増幅器３と、
関数変換器４と、サーボ回路５と、制御信号増幅器６
と、信号源７と、増幅器８と、定電圧源９と、ピエゾ素
子１０と、ピエゾ駆動用電源１１と、磁気コア１２と、
巻線１３と、ホルダ１４とからなる。

【００１３】磁気記録媒体１は、当該磁気記録媒体１の
面に垂直に磁化され、磁気信号を記録する媒体である。
詳細には後述する。スタイラス２は、鉄（Ｆｅ）、コバ
ルト（Ｃｏ）、シリコン（Ｓｉ）、ボロン（Ｂ）等から
なる磁歪が負のアモルファス合金線等の金属磁性体で構
成され磁気信号を磁気記録媒体１に記録し、再生する場
合に用いる。詳細には、後述する。

【００１４】トンネル電流増幅器３は、スタイラス２が
磁気記録媒体１を走査した際に発生したトンネル電流を
増幅する。関数変換器４は、トンネル電流増幅器３で増
幅したトンネル電流を対数スケールに変換する。サーボ
回路５は、関数変換器４の出力を受け、後述するピエゾ
素子１０の制御量を決定し、制御量に基づく制御信号を
出力する。

【００１５】制御信号増幅器６は、関数変換器４が出力
した制御信号を増幅する。信号源７は、磁気記録媒体１
に記録する信号を出力する。増幅器８は、信号源７が出
力した信号を増幅する。定電圧源９は、スタイラスにか
ける電圧であるスタイラス電圧を発生する。ピエゾ素子
１０は、磁気記録媒体１とスタイラス２との間隔を微調
整する微調整用圧電素子である。当該ピエゾ素子１０
は、ピエゾ素子１０自身をｘ方向又はｙ方向に駆動する
ための電極１０１、１０１’と、電極１０３、１０３’
と、ｚ方向に駆動するための電極１０２、１０２’とを
備えている。

【００１６】ピエゾ駆動用電源１１は、サーボ回路５か
ら出力された制御信号によりピエゾ素子１０をｚ方向に
駆動するための電源である。磁気コア１２は、フェライ
トなどの磁性体からなる。磁気記録媒体１に対して対面
する面積が充分大きく構成されている。巻線１３は、磁
気コア１２に巻かれた巻線である。

【００１７】ホルダ１４は、スタイラス２を支持する。
図２は、スタイラス２を含む磁気ヘッド及び磁気記録媒
体１の構成図である。本図は、磁気記録媒体１と、スタ
イラス２と、磁気コア１２と、巻線１３と、高周波信号
源４６とからなる。磁気記録媒体１は、垂直膜３１と、
軟磁性膜３２と、非磁性基板３３とからなる。垂直膜３
１は、コバルトークロム（Ｃｏ−Ｃｒ）などからなり、
信号が磁気記録される。軟磁性膜３２は、パーマロイな
どからなる。非磁性基板３３は、ガラスやアルミニウム
（Ａｌ）などからなり、ポリッシングされその表面が３
０Ａ以下になっている。当該非磁性基板３３の材料とし
ては、表面性の良好なガラス以外にセラミックス、アル
ミなどの合金、カーボン、シリコン（Ｓｉ）基板も有効
である。

【００１８】スタイラス２は、第１の磁性体３４と、第
２の磁性体３５とからなる。第１の磁性体３４と第２の
磁性体３５は共に、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、シ
リコン（Ｓｉ）、ボロン（Ｂ）等からなる磁歪が負のア
モルファス合金線等の金属磁性体で構成される。第１の
磁性体３４は、先端が尖っており、後述する端子４０を
有する。当該第１の磁性体３４は、定電圧源９から端子
４０を通じて電圧が印加され、当該第１の磁性体３４と
磁気記録媒体１間にトンネル電流が流れる。第２の磁性
体３５は、円柱状であり、磁気インダクタンス素子（以
下、ＭＩ素子という。）として機能する。ＭＩ素子と
は、円周方向に磁気容易軸を有し、両端に高周波電圧を
かけたときに生ずる円周方向の磁束の時間変化による電
圧が、外部印加磁界によって変化する性質を有する素子
である。さらに具体的には、特開平６−１７６９３０に
記載されている。この第２の磁性体３５の両端には、以
下に示す薄膜が形成されている。接着層４１は、当該第
２の磁性体３５と磁気コア１２とを接着し、又は当該第
２の磁性体３５と第１の磁性体３４とを接着する接着層
であり、ガラス等の無機物質からなる。絶縁膜４２は、
ＳｉＯ2などの無機物質からなる。この絶縁膜４２は、
第２の磁性体３５に流れる後述する高周波電流が、第１
の磁性体３４や磁気コア１２に流れないようにするため
に設けられている。電極膜４３は、アルミ（Ａｌ）、銅
（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）などがスパッタ蒸
着などの手段により形成された薄膜である。当該電極膜
４３には、端子４４、４５が接続されている。

【００１９】なお、第１の磁性体３４は、第２の磁性体
３５と同一な材料を用いたが、必ずしも同一の材料を用
いなくてもよい。例えばパーマロイを用いても良く、ま
た耐磨耗性の観点から、センダストやコバルトニオブジ
ルコニウム（ＣｏＮｂＺｒ）等のアモルファスなどを用
いてもよい。また、第１の磁性体３４の形状は薄膜状で
も良い。その際、磁気記録媒体１に対し第２の磁性体３
４の面が垂直であり、かつ走行方向平行になるように配
置する。記録、再生はその第１の磁性体３４が垂直な状
態で行う。また、第１の磁性体３４は、再生時には、接
触点が頂点となる三角形の薄膜状に形成するとより高密
度に記録された磁化信号を読み出すことができる。

【００２０】高周波信号源４６は、前述の第１の磁性体
に高周波電圧を、端子４４、４５を介して印加する。高
周波信号源４６と端子４４間には、抵抗Ｒ４７が設けら
れている。次に、当該実施例のおける磁気再生装置の動
作について図１、図２を用いて説明する。先ず、磁気信
号の記録動作は以下の通りである。

【００２１】まず、磁気記録媒体１上にスタイラス２を
配備する。次に定電圧源９から磁気記録媒体１とスタイ
ラス２の先端である第１の磁性体３４との間に、スタイ
ラス電圧を図２に示す端子４０を通じて印加する。この
第１の磁性体３４を垂直膜３１の表面に１０Ａまで近ず
けるとトンネル電流が流れ始める。このトンネル電流を
一定になるように制御することによって、第１の磁性体
３４と磁気記録媒体１との間が常に一定間隔を保たれ
る。この状態で、スタイラス２により磁気記録媒体１上
を走査する。このようにして磁気記録媒体１を走査し、
図１に示す信号源７からの信号を増幅器８を通じて増幅
し、その信号を磁気コア１２上に配備した巻線１３に印
加することによって第１の磁性体３４の先端に強い磁界
を発生せしめ、磁気記録媒体１の垂直膜３１を磁化する
ことにより信号を磁気記録する。

【００２２】図２に示すように、当該スタイラス２を図
の右方の向かって走行させるにつれ、磁化の軌跡５０が
形成される。図１においては、磁化の軌跡２０が形成さ
れる。記録に際して、発生した磁束は、軟磁性膜３２、
磁気コア１２、第１の磁性体３４、及び第２の磁性体３
５とで形成された閉磁路を通過するようにしたので、微
少電流でも能率よく記録することができる。

【００２３】次に磁気信号の再生動作について説明す
る。磁性体であるスタイラス２が、記録した垂直膜３１
の磁化部分より発生する磁界を横切ることによって、磁
気記録媒体１の磁化表面から発生する磁束５１がスタイ
ラス２（第２の磁性体３５及び第１の磁性体３４からな
る。）、磁気コア１２、及び磁気記録媒体１の軟磁性膜
３２を通過する閉磁路を構成している。従って、この閉
磁路により第２の磁性体３５に磁束が効率よく導かれる
ことになる。

【００２４】次に第２の磁性体３５の端子４４および４
５に、抵抗Ｒ４７を介して高周波信号源４６より高周波
電圧を印加する。第１の磁性体の両端の電圧(e)は、ア
モルファス合金線の抵抗による電圧降下と、アモルファ
ス合金線に高周波電流を流すことによって円周方向に磁
束φが流れたために生じるdφ/dtの電圧降下との和とな
る。このアモルファス合金線の長手方向に磁界を印加す
ると円周方向の磁化が影響され、第２の磁性体３５の両
端の電圧(e)が印加した磁界の強弱、即ち信号磁界の強
弱によって変化する。この第２の磁性体３５の両端の電
圧（e）の変化を読み取ることにより、記録されている
磁化信号を読み取ることができる。

【００２５】また、再生するに際しては、スタイラスを
２と磁気記録媒体１との間隔を一定に保つ必要があり、
これは、磁気記録媒体１と第１の磁性体３４との間に流
れるトンネル電流を一定になるよう制御することによっ
て、スタイラス２と磁気記録媒体１との間隔を一定に保
っている。具体的には、以下の通りである。先ず、トン
ネル電流をトンネル電流増幅器３により増幅する。次に
トンネル電流は微少な間隔の変化に対してきわめて敏感
に変化するため、増幅されたトンネル電流を関数変換器
４によって対数スケールに変換する。その後、サーボ回
路５によって、ピエゾ素子１０の制御量を決定され、そ
の制御量の基づく制御信号が出力される。この制御信号
が制御信号増幅器６により増幅され、その増幅された制
御信号に基づいて、ピエゾ駆動用電源１１は、ピエゾ素
子１０の両面に配備した一対の電極１０２と電極１０２
´に対し電圧を印加して、ピエゾ素子１０を垂直方向２
４（ｚ軸方向）に所定量駆動し、磁気記録媒体１とスタ
イラス２との間隔が一定にする。また、スタイラス２の
ｘ方向２３、ｙ方向２５に対する駆動は、ピエゾ素子１
０上にそれぞれ配備されたｘおよびｙ方向駆動微調整用
の各対の電極１０１，１０１´および１０３，１０３´
の端子２１，２２に対して、所定間隔のパルス信号から
なる駆動電圧を印加することによって行われる。

【００２６】また、図には示していないが、粗動の制御
は、ｘ，ｙ，ｚのピエゾ素子の自由端をともに固定した
キャリッジをリニアモータやステップモータとの組合せ
で行ってもよい。なお、上記のスタイラス２によって書
き込まれた磁化領域の寸法は、ｘおよびｙ方向駆動微調
整用のピエゾ素子上のそれぞれ一対の電極１０１，１０
１´および１０３，１０３´の端子２１，２２に駆動電
圧を印加することによって、ｘ方向２３、ｙ方向２５の
移動させて測定した。

【００２７】以上の様に、ＭＩ素子を用いているので、
高速データ転送レートでのデータの再生を行うことがで
きる。具体的には、ＭＩ素子に周波数が１５０ＭＨｚの
高周波電流を流すことにより、８０ＭＨｚの信号磁界ま
で良好なＳ／Ｎで再生することができる。従って、ハー
ドディスク並の８０Ｍｂｐｓのデータ転送レートで磁気
再生を行うことができ、従来の技術のデータ転送レート
よりも３桁分、高速なデータの再生ができることを意味
する。

【００２８】次に、図３の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、
（Ｄ）及び（Ｅ）を用いて、本発明におけるスタイラス
２の製造方法につき説明する。先ず、図３（Ａ）に示す
ように、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、シリコン（Ｓ
ｉ）、ボロン（Ｂ）などからなる磁歪が負(-1×10-7)の
アモルファス合金線などの金属磁性体を規則的に複数束
ねて配列し、有機系の接着剤６１を当該アモルファス合
金線６０間に浸透させて接着し、直方体状のブロック６
３を作成する。次にそのブロック６３の端面Ｓ１及びＳ
３と平行な面Ｓ２で切断することにより、図３（Ｂ）に
示すような第２の磁性体のブロック６４と第１の磁性体
のブロック６５を作成する。その後、研磨装置によって
各部ブロック６４、６５のＳ１、Ｓ２ー１、Ｓ２−２、
Ｓ３面の表面の粗さを１００Ａ以下に研磨する。次に、
第２の磁性体のブロック６４の上面Ｓ１及び下面Ｓ２−
１上にスパッタ蒸着法によって、順次、アルミ(Al)の膜
６６、酸化珪素(SiO2)の膜６７とをそれぞれ５００Ａず
つ形成する。上面Ｓ１の酸化珪素(SiO2)の膜６７上に、
作業点が４８０℃の鉛系ガラス６８の膜を形成し、次
に、同様に、下面Ｓ２−１上の酸化珪素(SiO2)の膜６７
上に作業点が４００℃の鉛系ガラス６８’の膜を５００
Ａの厚みで形成する。ここで上面と下面とで作業温度の
異なるガラスを使用している理由は、上面での接着作業
を終えた後に、下面での接着作業を行う際、上面の鉛系
ガラスと同じ作業点で接着作業を行うと、既に接着した
上端の鉛系ガラスの接着面がゆるむおそれがあり、これ
を防ぐためである。次に、第２の磁性体のブロック６４
と第１の磁性体のブロック６５とを接着するため、面Ｓ
２−１と面Ｓ２−２とを密接し、窒素（Ｎ2)が充填され
た電気炉でで４００℃で３時間加熱した後、自然冷却す
ることにより２つのブロック６４、６５を接着する。

【００２９】次に、図３（Ｃ）に示すように、接着され
たブロック６４、６５の面Ｓ３に対し、各々ab-a'b、cd
-c'd'、… 間、及びこれらのラインと直角方向の hi-h'
i'、jk-j'k'…に一定の溝をいれることにより、個々の
アモルファス合金線の中央部に突起６９を形成する。こ
のとき、個々のアモルファス合金線は、図３（Ｄ）に示
すように、第１の磁性体と第２の磁性体とが結合し、下
部の突起６９が形成された形状となっている。

【００３０】次に、燐酸水溶液あるいは塩酸水溶液を用
いて第２のブロック６５をエッチングすることにより、
下部の突起６９の先端を針状にした後、アセトン溶液に
その全ブロック６４、６５を浸す。すると、有機系の接
着剤６１が溶け、束ねられた複数のアモルファス合金線
がバラバラとなり、図３（Ｅ）に示すような、先端が針
状のスタイラス２が製造される。当該スタイラス２は、
第１の磁性体３４と、第２の磁性体３５とからなる。こ
のスタイラス２の第１の磁性体３４の先端の直径は５０
０Ａであった。

【００３１】

【発明の効果】上記請求項１の発明によれば、トンネル
電流を利用して磁性体と磁気記録媒体との間隔の制御を
行いつつ、磁気記録媒体と磁性体とを通る磁路中に設け
られた磁気インダクタンス素子に誘起する電圧の変化を
検出することにより信号を再生するので、極めて微細な
磁化信号を検出でき、高速データ転送レートでのデータ
の再生を行うことができる。

【００３２】請求項２の発明によれば、磁性体と磁気イ
ンダクタンス素子とは、絶縁膜を介して接着されている
構成であるので、製造が容易であり、また、外部からの
磁束を効率よく磁気インダクタンス素子に印加すること
ができる。請求項３の発明によれば、磁性体は、薄膜状
であり、その薄膜の面が磁気記録媒体と垂直でかつ再生
方向と平行になるように配置されているので、微細な磁
気信号を検出でき、高速データ転送レートでのデータの
再生を行うことができる。

【００３３】請求項４の発明によれば、複数の金属磁性
体の線材が有機物質よりなる接着剤で規則的に束ねられ
たブロックに、加工を施した後、各金属磁性体の線材を
束ねている接着剤を除去することにより各金属磁性体の
線材をそれぞれスタイラスとして分離するので、一度に
大量のスタイラスを製造でき、スタイラスの製造コスト
を下げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による磁気再生装置を示す構
成図である。

【図２】スタイラス２を含む磁気ヘッド及び磁気記録媒
体１の構成図である。

【図３】本発明のスタイラスの製造工程を示す構成図で
ある。

【符号の説明】

１ 磁気記録媒体 ２ スタイラス ３ トンネル電流増幅器 ４ 関数変換器 ５ サーボ回路 ６ 制御信号増幅器 ７ 信号源 ８ 増幅器 ９ 定電圧源 １０ ピエゾ素子 １１ ピエゾ駆動用電源 １２ 磁気コア １３ 巻線 １４ ホルダ ３４ 第１の磁性体 ３５ 第２の磁性体 ４６ 高周波信号源

フロントページの続き (72)発明者 楠本 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも先端が導電性の磁性体を用
   い、電圧が印加された当該磁性体と表面が導電性の磁気
   記録媒体との間に流れるトンネル電流を一定に制御する
   ことによって、当該磁性体と磁気記録媒体との間隔を一
   定に保ちつつ磁気記録媒体に記録された信号を再生する
   磁気再生装置であって、 前記磁性体とは電気的に絶縁状態で、前記磁気記録媒体
   と前記磁性体とを通る磁路中に設けられた磁気インダク
   タンス素子と、 前記磁気インダクタンス素子に円周磁界が生ずるように
   高周波電圧を前記磁気インダクタンス素子に印加する高
   周波電圧印加手段と、 前記磁気記録媒体の磁化部分から生ずる磁束が前記磁性
   体を通じて前記磁気インダクタンス素子に印加された際
   に、前記磁気インダクタンス素子に誘起する前記磁束の
   変化に依存した電圧を検出する電圧検出手段と、 前記電圧検出手段で検出された電圧の変化を読み取るこ
   とにより、前記磁気記録媒体に記録されている信号を再
   生する再生手段とを備えたことを特徴とする磁気再生装
   置。
2. 【請求項２】 前記磁気インダクタンス素子は、 前記磁性体と絶縁膜を介して接着されていることを特徴
   とする請求項１記載の磁気再生装置。
3. 【請求項３】 前記磁性体は、 薄膜状であり、その磁性体が前記磁気記録媒体と垂直で
   かつ再生方向と平行となるように配置されたことを特徴
   とする請求項１記載の磁気再生装置。
4. 【請求項４】 磁性体と磁気インダクタンス素子とが絶
   縁膜を介して接着している磁気記録再生用スタイラスの
   製造方法であって、 複数の金属磁性体の線材を有機物質よりなる接着剤で規
   則的に束ねてスタイラスとほぼ同等長ブロックを形成す
   るブロック形成ステップと、 当該ブロックを金属磁性体の線材の長手方向と垂直な面
   で二つに切断するブロック切断ステップと、 切断した第１の切断ブロックの両端に少なくとも絶縁膜
   を形成する膜形成ステップと、 残りの第２の切断ブロックにおいて、その切断面と対向
   する面側の各金属磁性体の線材の先端に機械加工を施し
   て突起を形成する機械加工ステップと、 前記第１の切断ブロックの一端の膜面と前記第２の切断
   ブロックの切断面とを、ガラスなどの無機物質からなる
   接着膜で接着するブロック接着ステップと、 前記第２の切断ブロックにおいて、機械加工により形成
   された各金属磁性体の線材の先端の突起をエッチングし
   て針状に加工するエッチングステップと、 各金属磁性体の線材を束ねている接着剤を溶剤に溶かす
   ことにより除去する接着材除去ステップと、 各金属磁性体の線材間に存在する絶縁膜を除去して、各
   金属磁性体の線材をスタイラスとして取り出すスタイラ
   ス取り出しステップとを有することを特徴とする磁気記
   録再生用スタイラスの製造方法。