JPH0964486A - レーザ光源装置 - Google Patents
レーザ光源装置Info
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- JPH0964486A JPH0964486A JP21794195A JP21794195A JPH0964486A JP H0964486 A JPH0964486 A JP H0964486A JP 21794195 A JP21794195 A JP 21794195A JP 21794195 A JP21794195 A JP 21794195A JP H0964486 A JPH0964486 A JP H0964486A
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 59
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スレーブレーザ光源が発振可能な全範囲に
亘ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定するこ
とができるレーザ光源装置を提供する。 【解決手段】 マスタレーザ光源１と、マスタレーザ光
に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数
コム発生器２と、スレーブレーザ光源３と、スレーブレ
ーザ光と側帯波とのヘデロダイン成分を検出する光検出
器６と、検出されたヘデロダイン検波信号に基づいてス
レーブレーザ光源３の発振周波数を帰還制御する周波数
オフセットロック回路７と、スレーブレーザ光の周波数
が側帯波の周波数に近傍になったときにマスタレーザ光
源１の発振周波数をシフトさせ、また、レーブレーザ光
の周波数が隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍に
なったときに光周波数コム発生器２により発生される側
帯波の間隔を切り換えるコンピュータ８とを備える。
亘ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定するこ
とができるレーザ光源装置を提供する。 【解決手段】 マスタレーザ光源１と、マスタレーザ光
に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数
コム発生器２と、スレーブレーザ光源３と、スレーブレ
ーザ光と側帯波とのヘデロダイン成分を検出する光検出
器６と、検出されたヘデロダイン検波信号に基づいてス
レーブレーザ光源３の発振周波数を帰還制御する周波数
オフセットロック回路７と、スレーブレーザ光の周波数
が側帯波の周波数に近傍になったときにマスタレーザ光
源１の発振周波数をシフトさせ、また、レーブレーザ光
の周波数が隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍に
なったときに光周波数コム発生器２により発生される側
帯波の間隔を切り換えるコンピュータ８とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、周波数間隔一定の
側帯波をもつレーザ光を発生する光周波数コム発生器を
用いて構成した発振周波数が広範囲に亘って可変設定可
能なレーザ光源装置に関するものである。
側帯波をもつレーザ光を発生する光周波数コム発生器を
用いて構成した発振周波数が広範囲に亘って可変設定可
能なレーザ光源装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、２つのレーザ光をヘテロダイ
ン検波させてその差周波数を測定あるいは制御する場
合、その帯域は受光素子の帯域で制限され、おおむね数
十ＧＨｚ程度であるので、光周波数コム発生器を用いて
広帯域なヘテロダイン検波系を構築するようにしてい
る。光周波数コム発生器は、入射したレーザ光の側帯波
を等周波数間隔毎に数百本発生させるもので、発生され
る側帯波の周波数安定度はもとのレーザ光のそれとほぼ
同等である。そこで、この側帯波と他のレーザ光をヘテ
レロダイン検波させれば、数ＴＨｚに亘る広帯域なヘテ
ロダイン検波系を構築することができる。
ン検波させてその差周波数を測定あるいは制御する場
合、その帯域は受光素子の帯域で制限され、おおむね数
十ＧＨｚ程度であるので、光周波数コム発生器を用いて
広帯域なヘテロダイン検波系を構築するようにしてい
る。光周波数コム発生器は、入射したレーザ光の側帯波
を等周波数間隔毎に数百本発生させるもので、発生され
る側帯波の周波数安定度はもとのレーザ光のそれとほぼ
同等である。そこで、この側帯波と他のレーザ光をヘテ
レロダイン検波させれば、数ＴＨｚに亘る広帯域なヘテ
ロダイン検波系を構築することができる。
【０００３】例えば図８に示すように、周波数を安定化
させたマスタレーザ光を出射するマスタレーザ光源２１
と、上記マスタレーザ光源２１からのマスタレーザ光が
入射される光周波数コム発生器２２と、スレーブレーザ
光を出射する発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光
源２３と、上記スレーブレーザ光源２３からのスレーブ
レーザ光を外部に取り出す光カプラ２４と、上記光周波
数コム発生器２２による上記マスタレーザの各側帯波と
上記スレーブレーザ光源２３からのスレーブレーザ光を
合波する光カプラ２５と、合波により発生されたヘテロ
ダイン検波信号を検出する光検出器６と、この光検出器
２６により検出されたヘテロダイン検波信号に基づいて
上記スレーブレーザ光源２３の発振周波数を帰還制御す
るヘテロダイン信号制御回路２７とによって、発振周波
数が広範囲に亘って可変設定可能なレーザ光源装置が構
成される。
させたマスタレーザ光を出射するマスタレーザ光源２１
と、上記マスタレーザ光源２１からのマスタレーザ光が
入射される光周波数コム発生器２２と、スレーブレーザ
光を出射する発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光
源２３と、上記スレーブレーザ光源２３からのスレーブ
レーザ光を外部に取り出す光カプラ２４と、上記光周波
数コム発生器２２による上記マスタレーザの各側帯波と
上記スレーブレーザ光源２３からのスレーブレーザ光を
合波する光カプラ２５と、合波により発生されたヘテロ
ダイン検波信号を検出する光検出器６と、この光検出器
２６により検出されたヘテロダイン検波信号に基づいて
上記スレーブレーザ光源２３の発振周波数を帰還制御す
るヘテロダイン信号制御回路２７とによって、発振周波
数が広範囲に亘って可変設定可能なレーザ光源装置が構
成される。
【０００４】このレーザ光源装置では、図９に示すよう
に、マスタレーザ光の周波数をνM、上記光周波数コム
発生器２３が出力する側帯波の次数をｎ、上記側帯波の
間隔をｆm 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波
数をνh とすると、上記スレーブレーザ光の発振周波数
νS は、 νS ＝νM ＋ｎ×ｆm ＋νh となる。従って、スレーブレーザ光の周波数νS は、原
理的に、上記次数ｎと差周波数νh を任意に選択するこ
とにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することで
きる。
に、マスタレーザ光の周波数をνM、上記光周波数コム
発生器２３が出力する側帯波の次数をｎ、上記側帯波の
間隔をｆm 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波
数をνh とすると、上記スレーブレーザ光の発振周波数
νS は、 νS ＝νM ＋ｎ×ｆm ＋νh となる。従って、スレーブレーザ光の周波数νS は、原
理的に、上記次数ｎと差周波数νh を任意に選択するこ
とにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することで
きる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の如き構
成の従来のレーザ光源装置では、次のような問題点があ
る。
成の従来のレーザ光源装置では、次のような問題点があ
る。
【０００６】先ず、上記光検出器２６により検出される
ヘテロダイン検波信号は、側帯波とスレーブレーザ光の
周波数が接近し過ぎると図１０に示すように１／ｆノイ
ズとレーザの発振線幅の影響を受ける。このため、上記
差周波数νh は、約１０ＭＨｚ以下とするすることがで
きない。また、図１１に示すようにスレーブレーザ光の
周波数νS を２本の側帯波νn ，νn+1 の中間付近に設
定すると、図１２に示すように低周波側の側帯波νn と
高周波側の側帯波νn+1 からの２つのヘテロダイン検波
信号が上記光検出器２６により検出されてしまい、これ
らのヘテロダイン周波数｜νS −νn ｜，｜νS −ν
n+1 ｜が接近しているのでを分離することができず、上
記スレーブレーザ光源２３の発振周波数すなわちスレー
ブレーザ光の周波数νS を上記テロダイン信号制御回路
２７により正常に帰還制御することができない。すなわ
ち、スレーブレーザ光の周波数νS は、原理的には任意
に設定可能なのであるが、実際には上述の如き１／ｆノ
イズとレーザの発振線幅の影響などによって、設定でき
ない周波数があった。
ヘテロダイン検波信号は、側帯波とスレーブレーザ光の
周波数が接近し過ぎると図１０に示すように１／ｆノイ
ズとレーザの発振線幅の影響を受ける。このため、上記
差周波数νh は、約１０ＭＨｚ以下とするすることがで
きない。また、図１１に示すようにスレーブレーザ光の
周波数νS を２本の側帯波νn ，νn+1 の中間付近に設
定すると、図１２に示すように低周波側の側帯波νn と
高周波側の側帯波νn+1 からの２つのヘテロダイン検波
信号が上記光検出器２６により検出されてしまい、これ
らのヘテロダイン周波数｜νS −νn ｜，｜νS −ν
n+1 ｜が接近しているのでを分離することができず、上
記スレーブレーザ光源２３の発振周波数すなわちスレー
ブレーザ光の周波数νS を上記テロダイン信号制御回路
２７により正常に帰還制御することができない。すなわ
ち、スレーブレーザ光の周波数νS は、原理的には任意
に設定可能なのであるが、実際には上述の如き１／ｆノ
イズとレーザの発振線幅の影響などによって、設定でき
ない周波数があった。
【０００７】そこで、本発明の目的は、１／ｆノイズな
どの影響などを回避して、発振周波数を広範囲に可変設
定可能としたレーザ光源装置を提供することにある。
どの影響などを回避して、発振周波数を広範囲に可変設
定可能としたレーザ光源装置を提供することにある。
【０００８】また、本発明の他の目的は、他の側帯波か
らのヘテロダイン信号の影響を回避して、発振周波数を
広範囲に可変設定可能としたレーザ光源装置を提供する
ことにある。
らのヘテロダイン信号の影響を回避して、発振周波数を
広範囲に可変設定可能としたレーザ光源装置を提供する
ことにある。
【０００９】さらに、本発明の目的は、スレーブレーザ
光源が発振可能な全範囲に亘ってスレーブレーザ光の発
振周波数を可変設定することができる光シンセサイザと
して機能するレーザ光源装置を提供することにある。
光源が発振可能な全範囲に亘ってスレーブレーザ光の発
振周波数を可変設定することができる光シンセサイザと
して機能するレーザ光源装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ光源
装置は、発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源
と、このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ
光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波
数コム発生器と、発振周波数が可変可能なスレーブレー
ザ光源と、上記スレーブレーザ光源から出射されたスレ
ーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生され
た側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン
検波手段と、上記ヘテロダイン検波手段により検出され
たヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ
光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロッ
ク手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレ
ーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により
発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記
マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレ
ーザ制御手段とを備えることを特徴とする。
装置は、発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源
と、このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ
光に対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波
数コム発生器と、発振周波数が可変可能なスレーブレー
ザ光源と、上記スレーブレーザ光源から出射されたスレ
ーブレーザ光と上記光周波数コム発生器により発生され
た側帯波とのヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン
検波手段と、上記ヘテロダイン検波手段により検出され
たヘデロダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ
光源の発振周波数を帰還制御する周波数オフセットロッ
ク手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレ
ーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により
発生された側帯波の周波数に近傍になったときに、上記
マスタレーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレ
ーザ制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１１】また、本発明に係るレーザ光源装置は、発
振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマス
タレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所
定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器
と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、上
記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光
と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波との
ヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、上
記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光
の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣
接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
を特徴とする。
振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマス
タレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して所
定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生器
と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、上
記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ光
と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波との
ヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、上
記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光
の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣
接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
を特徴とする。
【００１２】さらに、本発明に係るレーザ光源装置は、
発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマ
スタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して
所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生
器と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、
上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロ
ダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発
振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段
と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレ
ーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生さ
れた側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタ
レーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制
御手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレ
ーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により
発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍に
なったときに、上記光周波数コム発生器により発生され
る側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを
備えることを特徴とする。
発振周波数が安定化されたマスタレーザ光源と、このマ
スタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に対して
所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コム発生
器と、発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、
上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロ
ダイン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発
振周波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段
と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレ
ーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生さ
れた側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタ
レーザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制
御手段と、上記スレーブレーザ光源から出射されるスレ
ーブレーザ光の周波数が上記光周波数コム発生器により
発生された隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍に
なったときに、上記光周波数コム発生器により発生され
る側帯波の間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを
備えることを特徴とする。
【００１３】
【発明に実施の形態】以下、本発明の実施の形態に実施
例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】本発明に係るレーザ光源装置は、例えば図
１に示すように構成される。
１に示すように構成される。
【００１５】この図１に示したレーザ光源装置は、マス
タレーザ光を出射するマスタレーザ光源１と、上記マス
タレーザ光源１からのマスタレーザ光が入射される光周
波数コム発生器３と、スレーブレーザ光を出射する発振
周波数が可変可能なスレーブレーザ光源３と、上記スレ
ーブレーザ光源３からのスレーブレーザ光を外部に取り
出す光カプラ４と、上記光周波数コム発生器２による上
記マスタレーザの各側帯波と上記スレーブレーザ光源２
からのスレーブレーザ光を合波する光カプラ５をと、合
波により発生されたヘテロダイン検波信号を検出する光
検出器６と、この光検出器６により検出されたヘテロダ
イン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源３の発
振周波数を帰還制御する周波数オフセットロッキング回
路(FOLC:Frequency Offset Locking Circuit) ７と、こ
れらを制御するコンピュータ８などから構成されてい
る。
タレーザ光を出射するマスタレーザ光源１と、上記マス
タレーザ光源１からのマスタレーザ光が入射される光周
波数コム発生器３と、スレーブレーザ光を出射する発振
周波数が可変可能なスレーブレーザ光源３と、上記スレ
ーブレーザ光源３からのスレーブレーザ光を外部に取り
出す光カプラ４と、上記光周波数コム発生器２による上
記マスタレーザの各側帯波と上記スレーブレーザ光源２
からのスレーブレーザ光を合波する光カプラ５をと、合
波により発生されたヘテロダイン検波信号を検出する光
検出器６と、この光検出器６により検出されたヘテロダ
イン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源３の発
振周波数を帰還制御する周波数オフセットロッキング回
路(FOLC:Frequency Offset Locking Circuit) ７と、こ
れらを制御するコンピュータ８などから構成されてい
る。
【００１６】上記マスタレーザ光源１は、気体原子や分
子の吸収線によって発振周波数が安定化された第１のレ
ーザ光源１１と、この第１のレーザ光源１１が出射して
いる第１のレーザ光との差周波数を周波数オフセットロ
ッキング回路(FOLC:Frequency Offset Locking Circui
t) １７により安定化させた第２のレーザ光源１２とを
備える。すなわち、上記第１のレーザ光源１１の発振周
波数は、該第１のレーザ光源１１からの第１のレーザ光
が光吸収セル１３を介して光検出器１４により検出さ
れ、この光検出器１２による検出出力で帰還制御されて
いる。これにより、上記第１のレーザ光源１１は、その
発振周波数が気体原子や分子の吸収線によって安定化さ
れている。また、上記第２のレーザ光源１２の発振周波
数は、該第２のレーザ光源１２が出射している第２のレ
ーザ光と上記第１のレーザ光源１１が出射している第１
のレーザ光とのヘテロダイン信号が光検出器１６により
検出され、この光検出器１６による検出出力に基づいて
ＦＯＬＣ１７により帰還制御される殊によって、上記第
１のレーザ光源１１が出射している第１のレーザ光との
差周波数が安定化されている。
子の吸収線によって発振周波数が安定化された第１のレ
ーザ光源１１と、この第１のレーザ光源１１が出射して
いる第１のレーザ光との差周波数を周波数オフセットロ
ッキング回路(FOLC:Frequency Offset Locking Circui
t) １７により安定化させた第２のレーザ光源１２とを
備える。すなわち、上記第１のレーザ光源１１の発振周
波数は、該第１のレーザ光源１１からの第１のレーザ光
が光吸収セル１３を介して光検出器１４により検出さ
れ、この光検出器１２による検出出力で帰還制御されて
いる。これにより、上記第１のレーザ光源１１は、その
発振周波数が気体原子や分子の吸収線によって安定化さ
れている。また、上記第２のレーザ光源１２の発振周波
数は、該第２のレーザ光源１２が出射している第２のレ
ーザ光と上記第１のレーザ光源１１が出射している第１
のレーザ光とのヘテロダイン信号が光検出器１６により
検出され、この光検出器１６による検出出力に基づいて
ＦＯＬＣ１７により帰還制御される殊によって、上記第
１のレーザ光源１１が出射している第１のレーザ光との
差周波数が安定化されている。
【００１７】上記ＦＯＬＣ１７には、上記コンピュータ
８により発振周波数が切換設定される発振器１８から周
波数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給さ
れている。そして、上記ＦＯＬＣ１７は、この基準周波
数信号と上記光検出器１６による検出出力とを位相比較
して、その比較出力で上記第２のレーザ光源１２の駆動
電流源を制御することにより、上記第１のレーザ光との
差周波数が基準周波数信号の周波数と等しくなるように
上記第２のレーザ光源１２の発振周波数を制御する。
８により発振周波数が切換設定される発振器１８から周
波数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給さ
れている。そして、上記ＦＯＬＣ１７は、この基準周波
数信号と上記光検出器１６による検出出力とを位相比較
して、その比較出力で上記第２のレーザ光源１２の駆動
電流源を制御することにより、上記第１のレーザ光との
差周波数が基準周波数信号の周波数と等しくなるように
上記第２のレーザ光源１２の発振周波数を制御する。
【００１８】このような構成のマスタレーザ光源１で
は、上記ＦＯＬＣ１７に供給する周波数オフセットロッ
キング用の基準周波数信号の周波数すなわち上記発振器
１８の発振周波数が上記コンピュータ８により切換設定
されることによって、上記第２のレーザ光源１２の発振
周波数が切換設定される。
は、上記ＦＯＬＣ１７に供給する周波数オフセットロッ
キング用の基準周波数信号の周波数すなわち上記発振器
１８の発振周波数が上記コンピュータ８により切換設定
されることによって、上記第２のレーザ光源１２の発振
周波数が切換設定される。
【００１９】そして、このマスタレーザ光源１は、上記
第２のレーザ光源１２が出射する第２のレーザ光をマス
タレーザ光として、上記光周波数コム発生器２に入射す
る。
第２のレーザ光源１２が出射する第２のレーザ光をマス
タレーザ光として、上記光周波数コム発生器２に入射す
る。
【００２０】上記光周波数コム発生器２には、上記コン
ピュータ８により発振周波数が切換設定される発振器９
から側帯波発生用の変調信号が供給されている。
ピュータ８により発振周波数が切換設定される発振器９
から側帯波発生用の変調信号が供給されている。
【００２１】この光周波数コム発生器２は、上記マスタ
レーザ光源１から入射されたマスタレーザ光からの差周
波数が、上記発振器９から入力された側帯波発生用の変
調信号の周波数ｆμの整数倍となる側帯波を発生する。
レーザ光源１から入射されたマスタレーザ光からの差周
波数が、上記発振器９から入力された側帯波発生用の変
調信号の周波数ｆμの整数倍となる側帯波を発生する。
【００２２】上記光周波数コム発生器２により発生され
る各側帯波の中心周波数は、上記側帯波発生用の変調信
号の周波数ｆμすなわち上記発振器９の発振周波数が上
記コンピュータ８により切換設定されることによって、
シフトされる。
る各側帯波の中心周波数は、上記側帯波発生用の変調信
号の周波数ｆμすなわち上記発振器９の発振周波数が上
記コンピュータ８により切換設定されることによって、
シフトされる。
【００２３】そして、上記光検出器６では、上記光周波
数コム発生器２により発生された各側帯波と上記スレー
ブレーザ光源３から出射されたスレーブレーザ光とのヘ
テロダイン検波信号を検出し、そのヘテロダイン検波信
号を上記ＦＯＬＣ７に供給する。
数コム発生器２により発生された各側帯波と上記スレー
ブレーザ光源３から出射されたスレーブレーザ光とのヘ
テロダイン検波信号を検出し、そのヘテロダイン検波信
号を上記ＦＯＬＣ７に供給する。
【００２４】このＦＯＬＣ７には、上記コンピュータ８
により発振周波数が切換設定される発振器１０から周波
数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給され
ている。そして、上記ＦＯＬＣ７は、この基準周波数信
号と上記光検出器６による検出出力とを位相比較して、
その比較出力で上記スレーブレーザ光源３の駆動電流源
を制御することにより、上記側帯波との差周波数が基準
周波数信号の周波数と等しくなるように上記スレーブレ
ーザ光源３の発振周波数を制御する。
により発振周波数が切換設定される発振器１０から周波
数オフセットロッキング用の基準周波数信号が供給され
ている。そして、上記ＦＯＬＣ７は、この基準周波数信
号と上記光検出器６による検出出力とを位相比較して、
その比較出力で上記スレーブレーザ光源３の駆動電流源
を制御することにより、上記側帯波との差周波数が基準
周波数信号の周波数と等しくなるように上記スレーブレ
ーザ光源３の発振周波数を制御する。
【００２５】このような構成のレーザ光源装置では、マ
スタレーザ光の周波数をνM 、上記光周波数コム発生器
２が出力する側帯波の次数をｎ、上記側帯波の間隔をｆ
m 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数をνh
とすると、上記スレーブレーザ光の周波数νS は、 νS ＝νM ＋ｎ×ｆm ＋νh となり、上記次数ｎと差周波数νh を任意に選択するこ
とにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することで
きる。上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数νh
は、上記ＦＯＬＣ７に供給される基準周波数信号の周波
数すなわち上記発振器１０の発振周波数によって決定さ
れる。
スタレーザ光の周波数をνM 、上記光周波数コム発生器
２が出力する側帯波の次数をｎ、上記側帯波の間隔をｆ
m 、上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数をνh
とすると、上記スレーブレーザ光の周波数νS は、 νS ＝νM ＋ｎ×ｆm ＋νh となり、上記次数ｎと差周波数νh を任意に選択するこ
とにより、側帯波の発生範囲内で自由に設定することで
きる。上記側帯波とスレーブレーザ光間の差周波数νh
は、上記ＦＯＬＣ７に供給される基準周波数信号の周波
数すなわち上記発振器１０の発振周波数によって決定さ
れる。
【００２６】ここで、上記光周波数コム発生器２には、
位相変調器及び光共振器にＴｉ−ＬｉＮｂＯ3 導波路を
用いた導波路型光周波数コム発生器を採用した。この光
周波数コム発生器２に採用した導波路型光周波数コム発
生器の基本性能は、共振器長＝３８ｍｍ、フリースペク
トルレンジ（ＦＳＲ）＝１．８７ＧＨｚ、フィネス＝３
０、変調指数＝２πである。上記光周波数コム発生器２
により発生させ光周波数コムの包絡線を分解能が０．１
ｎｍ（＝１３ＧＨｚ）の光スペクトラムアナライザで観
測した結果を図２に示す。光周波数コムの発生条件は、
入射レーザ光量＝１０ｍＷ、変調周波数ｆμ＝１３．０
９０ＧＨｚ（＝７ＦＳＲ）であった。この図２により明
らかなように、５．１ＴＨｚの範囲に−８０ｄＢｍ以上
のパワーを持つ側帯波を発生することができる。
位相変調器及び光共振器にＴｉ−ＬｉＮｂＯ3 導波路を
用いた導波路型光周波数コム発生器を採用した。この光
周波数コム発生器２に採用した導波路型光周波数コム発
生器の基本性能は、共振器長＝３８ｍｍ、フリースペク
トルレンジ（ＦＳＲ）＝１．８７ＧＨｚ、フィネス＝３
０、変調指数＝２πである。上記光周波数コム発生器２
により発生させ光周波数コムの包絡線を分解能が０．１
ｎｍ（＝１３ＧＨｚ）の光スペクトラムアナライザで観
測した結果を図２に示す。光周波数コムの発生条件は、
入射レーザ光量＝１０ｍＷ、変調周波数ｆμ＝１３．０
９０ＧＨｚ（＝７ＦＳＲ）であった。この図２により明
らかなように、５．１ＴＨｚの範囲に−８０ｄＢｍ以上
のパワーを持つ側帯波を発生することができる。
【００２７】また、上記マスタレーザ光とスレーブレー
ザ光の間の差周波数｜νS −νM ｜を０．６５４５７Ｔ
Ｈｚに設定したときのスペクトルを図３に示す。図３の
（ａ）は光スペクトルアナライザで測定した結果を示
し、（ｂ）は側帯波とのマスタレーザ光の関係を略図で
示したものである。さらに、１３．０８９ＧＨｚ間隔で
発生している側帯波の５０番目とヘテロダイン検波を行
った場合のヘテロダイン信号を図４に示す。ここでは、
基準信号周波数を調整とすることにより、ヘテロダイン
周波数を約１２０ＭＨｚに設定しており、上記マスタレ
ーザ光とスレーブレーザ光の間の差周波数｜νS −νM
｜ は、１３．０８９×５０＋０．１２＝６５４．５７
ＧＨｚに制御されている。
ザ光の間の差周波数｜νS −νM ｜を０．６５４５７Ｔ
Ｈｚに設定したときのスペクトルを図３に示す。図３の
（ａ）は光スペクトルアナライザで測定した結果を示
し、（ｂ）は側帯波とのマスタレーザ光の関係を略図で
示したものである。さらに、１３．０８９ＧＨｚ間隔で
発生している側帯波の５０番目とヘテロダイン検波を行
った場合のヘテロダイン信号を図４に示す。ここでは、
基準信号周波数を調整とすることにより、ヘテロダイン
周波数を約１２０ＭＨｚに設定しており、上記マスタレ
ーザ光とスレーブレーザ光の間の差周波数｜νS −νM
｜ は、１３．０８９×５０＋０．１２＝６５４．５７
ＧＨｚに制御されている。
【００２８】また、上記５０番目の側帯波とスレーブレ
ーザ光の間のヘテロダイン信号の制御時とフリーランニ
ング時における周波数揺らぎのアラン分散の平方根を図
５に示す。この図５において、●は制御時におけるアラ
ン分散の平方根を示し、また＋はフリーランニング時に
おけるアラン分散の平方根を示している。この図５から
明らかなように、フリーフリーランニング時にはσS ＝
１０-9であった差周波数変動が、周波数オフセットロッ
ク制御によってσS ＝３×１０-12τ-1まで安定化され
ている。マスタレーザ光の周波数揺らぎσM 、変調周波
数揺らぎをσμ、ｎ番目の側帯波とスレーブレーザ光の
間の差周波数揺らぎをσS とすれば、スレーブレーザの
周波数揺らぎσslave は、 σslave 2 ＝σM 2＋ｎ× σμ2＋σS 2 と表される。気体原子、分子の吸収線を周波数基準に用
いたマスタレーザの周波数揺らぎσM は、σM＝１０-10
（τ＝１秒）程度であり、σM》σSといえる。また、レ
ーザ光の周波数変動に対して変調周波数の変動は無視で
きる。従って、上記スレーブレーザ光の周波数揺らぎσ
slave は、 σslave＝σM ＝１０-10 とみることができる。
ーザ光の間のヘテロダイン信号の制御時とフリーランニ
ング時における周波数揺らぎのアラン分散の平方根を図
５に示す。この図５において、●は制御時におけるアラ
ン分散の平方根を示し、また＋はフリーランニング時に
おけるアラン分散の平方根を示している。この図５から
明らかなように、フリーフリーランニング時にはσS ＝
１０-9であった差周波数変動が、周波数オフセットロッ
ク制御によってσS ＝３×１０-12τ-1まで安定化され
ている。マスタレーザ光の周波数揺らぎσM 、変調周波
数揺らぎをσμ、ｎ番目の側帯波とスレーブレーザ光の
間の差周波数揺らぎをσS とすれば、スレーブレーザの
周波数揺らぎσslave は、 σslave 2 ＝σM 2＋ｎ× σμ2＋σS 2 と表される。気体原子、分子の吸収線を周波数基準に用
いたマスタレーザの周波数揺らぎσM は、σM＝１０-10
（τ＝１秒）程度であり、σM》σSといえる。また、レ
ーザ光の周波数変動に対して変調周波数の変動は無視で
きる。従って、上記スレーブレーザ光の周波数揺らぎσ
slave は、 σslave＝σM ＝１０-10 とみることができる。
【００２９】そして、このレーザ光源装置では、側帯波
とスレーブレーザ光の発振周波数νS が接近した場合
に、１／ｆノイズの影響を回避するために、上記コンピ
ュータ８により発振器１８の発振周波数を切換制御して
マスタレーザ光の発振周波数νM をシフトさせる。これ
により、上記光周波数コム発生器２で発生する側帯波全
体の周波数をシフトさせて、１／ｆノイズの影響を回避
して、安定に周波数オフセットロックを行うことができ
る。すなわち、図６に示すＡ領域及びＣ領域のスレーブ
レーザ光の周波数νS を設定する場合には、側帯波をシ
フトさせずに周波数オフセットロックを行い、図６に示
すＢ領域にスレーブレーザ光の周波数νSを設定する場
合には、側帯波を−２×ｆ1/f だけ周波数シフトさせて
周波数オフセットロックを行う。これにより、スレーブ
レーザ光の周波数νS をどの領域に設定させた場合に
も、ヘテロダイン周波数すなわち上記差周波数νh を常
にｆ1/f 以上ととすることができる。すなわち、上記差
周波数νh を１０ＭＨｚよりも高い周波数に設定して、
１／ｆノイズの影響を回避して、安定に周波数オフセッ
トロックを行うことができる。
とスレーブレーザ光の発振周波数νS が接近した場合
に、１／ｆノイズの影響を回避するために、上記コンピ
ュータ８により発振器１８の発振周波数を切換制御して
マスタレーザ光の発振周波数νM をシフトさせる。これ
により、上記光周波数コム発生器２で発生する側帯波全
体の周波数をシフトさせて、１／ｆノイズの影響を回避
して、安定に周波数オフセットロックを行うことができ
る。すなわち、図６に示すＡ領域及びＣ領域のスレーブ
レーザ光の周波数νS を設定する場合には、側帯波をシ
フトさせずに周波数オフセットロックを行い、図６に示
すＢ領域にスレーブレーザ光の周波数νSを設定する場
合には、側帯波を−２×ｆ1/f だけ周波数シフトさせて
周波数オフセットロックを行う。これにより、スレーブ
レーザ光の周波数νS をどの領域に設定させた場合に
も、ヘテロダイン周波数すなわち上記差周波数νh を常
にｆ1/f 以上ととすることができる。すなわち、上記差
周波数νh を１０ＭＨｚよりも高い周波数に設定して、
１／ｆノイズの影響を回避して、安定に周波数オフセッ
トロックを行うことができる。
【００３０】また、スレーブレーザ光の周波数νS が２
本の側帯波の中間付近に近づいた場合には、他の側帯波
からのヘテロダイン信号の影響を回避するために、側帯
波の間隔を変える。すなわち、側帯波の間隔ｆm は、光
周波数コム発生器の光共振器のフリースペクトルレンジ
（ＦＳＲ）の整数倍で設定可能であるから、図７のＡ領
域、Ｃ領域、Ｄ領域及びＦ領域にスレーブレーザ光の周
波数νS を設定する場合には、変調周波数ｆμ＝２×Ｆ
ＳＲとし、側帯波の中間付近であるＢ領域及びＦ領域に
スレーブレーザ光の周波数νS を設定する場合には、変
調周波数ｆμ＝４×ＦＳＲに切り換える。これにより、
最も低いヘテロダイン周波数をｆ1 、２番目に低いヘテ
ロダイン周波数をｆ2 とすると、常にｆ1 ＜２ｆ2 とな
り、フィルタによりｆ1 の信号のみを取り出して周波数
オフセットロックを行うことができる。
本の側帯波の中間付近に近づいた場合には、他の側帯波
からのヘテロダイン信号の影響を回避するために、側帯
波の間隔を変える。すなわち、側帯波の間隔ｆm は、光
周波数コム発生器の光共振器のフリースペクトルレンジ
（ＦＳＲ）の整数倍で設定可能であるから、図７のＡ領
域、Ｃ領域、Ｄ領域及びＦ領域にスレーブレーザ光の周
波数νS を設定する場合には、変調周波数ｆμ＝２×Ｆ
ＳＲとし、側帯波の中間付近であるＢ領域及びＦ領域に
スレーブレーザ光の周波数νS を設定する場合には、変
調周波数ｆμ＝４×ＦＳＲに切り換える。これにより、
最も低いヘテロダイン周波数をｆ1 、２番目に低いヘテ
ロダイン周波数をｆ2 とすると、常にｆ1 ＜２ｆ2 とな
り、フィルタによりｆ1 の信号のみを取り出して周波数
オフセットロックを行うことができる。
【００３１】従って、上述の如き構成のレーザ光源装置
は、上記スレーブレーザ光源３が発振可能な全範囲に亘
ってスレーブレーザ光の周波数νS を可変設定すること
ができ、光シンセサイザとして機能する。
は、上記スレーブレーザ光源３が発振可能な全範囲に亘
ってスレーブレーザ光の周波数νS を可変設定すること
ができ、光シンセサイザとして機能する。
【００３２】
【発明の効果】本発明に係るレーザ光源装置では、スレ
ーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波
数が光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波
数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の発振周波
数をシフトさせることによって、１／ｆノイズの影響を
回避して、スレーブレーザ光源の発振周波数を安定に周
波数オフセットロックを行うことができ、スレーブレー
ザ光の周波数を広範囲に可変設定することができる。
ーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の周波
数が光周波数コム発生器により発生された側帯波の周波
数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の発振周波
数をシフトさせることによって、１／ｆノイズの影響を
回避して、スレーブレーザ光源の発振周波数を安定に周
波数オフセットロックを行うことができ、スレーブレー
ザ光の周波数を広範囲に可変設定することができる。
【００３３】また、本発明に係るレーザ光源装置では、
スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の
周波数が光周波数コム発生器により発生された隣接する
側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記
光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切
り換えることによって、他の側帯波からのヘテロダイン
信号の影響を回避して、スレーブレーザ光源の発振周波
数を安定に周波数オフセットロックを行うことができ、
スレーブレーザ光の周波数を広範囲に可変設定すること
ができる。
スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光の
周波数が光周波数コム発生器により発生された隣接する
側帯波の中間付近の周波数に近傍になったときに、上記
光周波数コム発生器により発生される側帯波の間隔を切
り換えることによって、他の側帯波からのヘテロダイン
信号の影響を回避して、スレーブレーザ光源の発振周波
数を安定に周波数オフセットロックを行うことができ、
スレーブレーザ光の周波数を広範囲に可変設定すること
ができる。
【００３４】さらに、本発明に係るレーザ光源装置で
は、スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が光周波数コム発生器により発生された側帯
波の周波数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の
発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段と、上
記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光
の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣
接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
によって、１／ｆノイズ及び他の側帯波からのヘテロダ
イン信号の影響を回避して、スレーブレーザ光の周波数
を広範囲に可変設定することができる。
は、スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が光周波数コム発生器により発生された側帯
波の周波数に近傍になったときに、マスタレーザ光源の
発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手段と、上
記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ光
の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された隣
接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
によって、１／ｆノイズ及び他の側帯波からのヘテロダ
イン信号の影響を回避して、スレーブレーザ光の周波数
を広範囲に可変設定することができる。
【００３５】従って、本発明によれば、スレーブレーザ
光と側帯波間のヘテロダイン信号検出可能な全範囲に亘
ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定すること
ができる光シンセサイザとして機能するレーザ光源装置
を提供することができる。
光と側帯波間のヘテロダイン信号検出可能な全範囲に亘
ってスレーブレーザ光の発振周波数を可変設定すること
ができる光シンセサイザとして機能するレーザ光源装置
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るレーザ光源装置の構成を示すブロ
ックである。
ックである。
【図２】上記レーザ光源装置の光周波数コム発生器に採
用した導波路型光周波数コム発生器により発生した光周
波数コムの包絡線の観測結果を示す図である。
用した導波路型光周波数コム発生器により発生した光周
波数コムの包絡線の観測結果を示す図である。
【図３】上記レーザ光源装置における上記光周波数コム
発生器が発生した側帯波とスレーブレーザ光の関係を示
すスペクトル図である。
発生器が発生した側帯波とスレーブレーザ光の関係を示
すスペクトル図である。
【図４】上記側帯波とスレーブレーザ光の間のヘテロダ
イン信号を示す図である。
イン信号を示す図である。
【図５】上記側帯波とスレーブレーザ光の間の差周波数
のアラン分散の平方根を示す図である。
のアラン分散の平方根を示す図である。
【図６】上記スレーブレーザ光の周波数とヘテロダイン
周波数の関係を示す図である。
周波数の関係を示す図である。
【図７】上記スレーブレーザ光の設定周波数とヘテロダ
イン検波させる側帯波の関係を示す図である。
イン検波させる側帯波の関係を示す図である。
【図８】従来のレーザ光源装置の構成を示すブロックで
ある。
ある。
【図９】従来のレーザ光源装置におけるマスタレーザ光
の周波数νM 、側帯波の次数ｎ及びスレーブレーザ光の
周波数νS の関係を示す図である。
の周波数νM 、側帯波の次数ｎ及びスレーブレーザ光の
周波数νS の関係を示す図である。
【図１０】従来のレーザ光源装置において光検出器で検
出されるヘテロダイン信号の周波数特性を示す図であ
る。
出されるヘテロダイン信号の周波数特性を示す図であ
る。
【図１１】従来のレーザ光源装置においてスレーブレー
ザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態
を示す図である。
ザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態
を示す図である。
【図１２】従来のレーザ光源装置においてスレーブレー
ザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態
でのヘテロダイン信号を示す図である。
ザ光の周波数νS を側帯波間の中央付近に設定した状態
でのヘテロダイン信号を示す図である。
１ マスタレーザ光源 ２ 光周波数コム発生器 ３ スレーブレーザ光源 ４，５ 光カップラ ６，１４，１６ 光検出器 ７，１７ 周波数オフセットロック回路 ８ コンピュータ ９，１０，１８ 発振器 １１ 第１のレーザ光源 １２ 第２のレーザ光源 １３ 光吸収セル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 崇記 神奈川県厚木市林381−１ コーポエメラ ルド201
Claims (5)
- 【請求項１】 発振周波数が安定化されたマスタレーザ
光源と、 このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に
対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コ
ム発生器と、 発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、 上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、 上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレー
ザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手
段とを備えることを特徴とするレーザ光源装置。 - 【請求項２】 上記マスタレーザ光源は、気体原子又は
分子の吸収線を周波数基準として発振周波数が安定化さ
れた第１のレーザ光源と、周波数オフセットロック手段
により上記第１のレーザ光源から出射された第１のレー
ザ光との差周波数が安定化された第１のレーザ光をマス
タレーザ光として出射する第２のレーザ光源とからな
り、 上記マスタレーザ制御手段は、上記周波数オフセットロ
ック手段により安定化される上記第１のレーザ光源から
出射された第１のレーザ光との差周波数を切換設定する
ことを特徴とする請求項１記載のレーザ光源装置。 - 【請求項３】 発振周波数が安定化されたマスタレーザ
光源と、 このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に
対して所定周波数ｆｍ間隔毎に側帯波を発生する光周波
数コム発生器と、 発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、 上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、 上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
を特徴とするレーザ光源装置。 - 【請求項４】 発振周波数が安定化されたマスタレーザ
光源と、 このマスタレーザ光源から入射されるマスタレーザ光に
対して所定周波数間隔毎に側帯波を発生する光周波数コ
ム発生器と、 発振周波数が可変可能なスレーブレーザ光源と、 上記スレーブレーザ光源から出射されたスレーブレーザ
光と上記光周波数コム発生器により発生された側帯波と
のヘデロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段
と、 上記ヘテロダイン検波手段により検出されたヘデロダイ
ン検波信号に基づいて上記スレーブレーザ光源の発振周
波数を帰還制御する周波数オフセットロック手段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
側帯波の周波数に近傍になったときに、上記マスタレー
ザ光源の発振周波数をシフトさせるマスタレーザ制御手
段と、 上記スレーブレーザ光源から出射されるスレーブレーザ
光の周波数が上記光周波数コム発生器により発生された
隣接する側帯波の中間付近の周波数に近傍になったとき
に、上記光周波数コム発生器により発生される側帯波の
間隔を切り換える光周波数コム制御手段とを備えること
を特徴とするレーザ光源装置。 - 【請求項５】 上記マスタレーザ光源は、気体原子又は
分子の吸収線を周波数基準として発振周波数が安定化さ
れた第１のレーザ光源と、周波数オフセットロック手段
により上記第１のレーザ光源から出射された第１のレー
ザ光との差周波数が安定化された第１のレーザ光をマス
タレーザ光として出射する第２のレーザ光源とからな
り、 上記マスタレーザ制御手段は、上記周波数オフセットロ
ック手段により安定化される上記第１のレーザ光源から
出射された第１のレーザ光との差周波数を切換設定する
ことを特徴とする請求項４記載のレーザ光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21794195A JP3570581B2 (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | レーザ光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| JP2002043685A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-08 | Anritsu Corp | 周波数可変光源 |
| JP2011203550A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Neoark Corp | ヘテロダイン光源、並びに、それを用いた光吸収／光損失計測装置及び分光分析装置 |
| JP2021118258A (ja) * | 2020-01-27 | 2021-08-10 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 光周波数掃引レーザ光源 |
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1995
- 1995-08-25 JP JP21794195A patent/JP3570581B2/ja not_active Expired - Fee Related
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