JPH0964684A - 圧電共振子およびその製造方法 - Google Patents
圧電共振子およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH0964684A JPH0964684A JP7218537A JP21853795A JPH0964684A JP H0964684 A JPH0964684 A JP H0964684A JP 7218537 A JP7218537 A JP 7218537A JP 21853795 A JP21853795 A JP 21853795A JP H0964684 A JPH0964684 A JP H0964684A
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- Japan
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- slit
- piezoelectric resonator
- piezoelectric
- piezoelectric substrate
- vibration
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スプリアス振動の発生を低減し、小型化が可
能な圧電共振子を提供することを目的とする。 【構成】 圧電基板１の両主平面に電極２を形成し、圧
電基板１端面の電極２に最も近い部分にワイヤーソーを
用いてスリット３を形成する。
能な圧電共振子を提供することを目的とする。 【構成】 圧電基板１の両主平面に電極２を形成し、圧
電基板１端面の電極２に最も近い部分にワイヤーソーを
用いてスリット３を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば発振子、フィル
タなどを用いるエネルギー閉じ込め型の圧電共振子およ
びその製造方法に関するものである。
タなどを用いるエネルギー閉じ込め型の圧電共振子およ
びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電共振子とは、圧電基板の対向面に電
極を設けることによりその電極間共振周波数を励振する
ようにしたものである。特にエネルギー閉じ込め型圧電
共振子は圧電基板の両主表面に電極が形成されたもの
で、フィルター、発振子の分野に広く応用が可能であ
る。
極を設けることによりその電極間共振周波数を励振する
ようにしたものである。特にエネルギー閉じ込め型圧電
共振子は圧電基板の両主表面に電極が形成されたもの
で、フィルター、発振子の分野に広く応用が可能であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】エネルギー閉じ込め型
圧電共振子においては、圧電共振器の小型化に伴い圧電
基板の小型化が必要になる。素子の小型化に伴い閉じ込
め電極より漏れた振動が端面よりもとの電極部に反射す
るため主振動以外のスプリアス振動が生じる。スプリア
ス振動の発生は圧電基板の環境条件によって周波数が変
化し、共振周波数の変動の原因になる。図３に厚み縦基
本振動を利用した小型圧電基板の圧電共振子のインピー
ダンス特性を示す。図３について、厚み縦基本振動の共
振周波数は１０ＭＨｚ、反共振周波数は１１ＭＨｚであ
るが、その間に大きな寄生振動が発生していることがわ
かる。したがって、フィルタ、発振子として用いると、
発振周波数がスプリアス振動の周波数へジャンプする可
能性があり、スプリアス振動の発生の低減が課題とな
り、従来では小型共振器の設計が困難であった。
圧電共振子においては、圧電共振器の小型化に伴い圧電
基板の小型化が必要になる。素子の小型化に伴い閉じ込
め電極より漏れた振動が端面よりもとの電極部に反射す
るため主振動以外のスプリアス振動が生じる。スプリア
ス振動の発生は圧電基板の環境条件によって周波数が変
化し、共振周波数の変動の原因になる。図３に厚み縦基
本振動を利用した小型圧電基板の圧電共振子のインピー
ダンス特性を示す。図３について、厚み縦基本振動の共
振周波数は１０ＭＨｚ、反共振周波数は１１ＭＨｚであ
るが、その間に大きな寄生振動が発生していることがわ
かる。したがって、フィルタ、発振子として用いると、
発振周波数がスプリアス振動の周波数へジャンプする可
能性があり、スプリアス振動の発生の低減が課題とな
り、従来では小型共振器の設計が困難であった。
【０００４】そこで本発明はスプリアス振動の発生を低
減し、小型化が可能な圧電共振子を提供することを目的
とするものである。
減し、小型化が可能な圧電共振子を提供することを目的
とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電共振子は、圧電基板と、この圧電基板の
両主表面に設けた電極とを備え、前記圧電基板の端面に
は少なくとも１つスリットを設けたものである。
に本発明の圧電共振子は、圧電基板と、この圧電基板の
両主表面に設けた電極とを備え、前記圧電基板の端面に
は少なくとも１つスリットを設けたものである。
【０００６】
【作用】この構成によると、スリットが電極部分から漏
れた主振動を電極部分以外に反射させ、スプリアス振動
の発生を低減することができる。その結果、圧電共振子
の小型化が可能になる。
れた主振動を電極部分以外に反射させ、スプリアス振動
の発生を低減することができる。その結果、圧電共振子
の小型化が可能になる。
【０００７】
【実施例】以下に実施例を示す。
【０００８】図１は本発明の一実施例における圧電共振
子の構造を示す。チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミッ
ク材料からなる圧電基板１（５．２ｍｍ×２．５ｍｍ×
０．２４ｍｍの矩形板）の両主表面に電極２（直径０．
８ｍｍ）が互いに形成されている。これより、エネルギ
ー閉じ込め型共振子が構成される。また、圧電基板１に
対して、一方の端面中央近傍に端面に垂直にスリット３
（幅０．３ｍｍ、深さ０．５ｍｍ）を設けている。スリ
ット３はワイヤーソーを使用して設けた。スリット３の
位置は、圧電基板１の端面のうち電極２に最も近い部分
であればよい。本実施例でのスリット３の深さは圧電基
板１の端面から電極２までの距離に対する比では、深さ
５８８／１０００、幅は電極２の径０．８ｍｍに対し
０．３ｍｍである。
子の構造を示す。チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミッ
ク材料からなる圧電基板１（５．２ｍｍ×２．５ｍｍ×
０．２４ｍｍの矩形板）の両主表面に電極２（直径０．
８ｍｍ）が互いに形成されている。これより、エネルギ
ー閉じ込め型共振子が構成される。また、圧電基板１に
対して、一方の端面中央近傍に端面に垂直にスリット３
（幅０．３ｍｍ、深さ０．５ｍｍ）を設けている。スリ
ット３はワイヤーソーを使用して設けた。スリット３の
位置は、圧電基板１の端面のうち電極２に最も近い部分
であればよい。本実施例でのスリット３の深さは圧電基
板１の端面から電極２までの距離に対する比では、深さ
５８８／１０００、幅は電極２の径０．８ｍｍに対し
０．３ｍｍである。
【０００９】図２は本実施例の圧電共振子のインピーダ
ンス特性を示す。厚み縦基本振動の共振周波数は１０．
０ＭＨｚ、反共振周波数は１０．９ＭＨｚであるが、１
０．４ＭＨｚ付近のスプリアス振動は、図３に示す従来
の圧電共振子に比べて除去出来た。
ンス特性を示す。厚み縦基本振動の共振周波数は１０．
０ＭＨｚ、反共振周波数は１０．９ＭＨｚであるが、１
０．４ＭＨｚ付近のスプリアス振動は、図３に示す従来
の圧電共振子に比べて除去出来た。
【００１０】なお、スリット３の深さが、端面から電極
２までの距離に対する比で９０／１０００より大きく、
９５０／１０００以下が好ましい。９０／１０００以下
であれば、スリット３を設けた効果が著しく低下する。
９５０／１０００以上ならば、厚み縦基本振動を利用し
たエネルギー閉じ込め型の場合主振動の厚み縦振動が抑
制される。また、スリット３の幅が電極２以上の場合は
素子幅を小型化した場合と同様の効果となり、反射が大
きくなるので電極２の幅より狭い方が好ましい。
２までの距離に対する比で９０／１０００より大きく、
９５０／１０００以下が好ましい。９０／１０００以下
であれば、スリット３を設けた効果が著しく低下する。
９５０／１０００以上ならば、厚み縦基本振動を利用し
たエネルギー閉じ込め型の場合主振動の厚み縦振動が抑
制される。また、スリット３の幅が電極２以上の場合は
素子幅を小型化した場合と同様の効果となり、反射が大
きくなるので電極２の幅より狭い方が好ましい。
【００１１】スリット３の先端の形状は、丸、三角形、
四角形等任意の形状でもスプリアス振動の発生を除去で
きる。そして、先端が平面でなく、先端の幅が、端面側
の幅より狭い方が、スプリアス振動の発生を除去しやす
い。また、スリット３に凹凸を設けた場合でも同様の効
果が得られた。なお、上記の方法は両端面においても同
様の効果を示した。
四角形等任意の形状でもスプリアス振動の発生を除去で
きる。そして、先端が平面でなく、先端の幅が、端面側
の幅より狭い方が、スプリアス振動の発生を除去しやす
い。また、スリット３に凹凸を設けた場合でも同様の効
果が得られた。なお、上記の方法は両端面においても同
様の効果を示した。
【００１２】スリット３の作製については、上記実施例
では、ワイヤーソーを用いたが、スライシングマシン、
ダイシングマシン、スクライバーを使用してスリット３
を設けた場合でも図２と同様の結果が得られるとともに
効率よくスリット３を作製することができる。
では、ワイヤーソーを用いたが、スライシングマシン、
ダイシングマシン、スクライバーを使用してスリット３
を設けた場合でも図２と同様の結果が得られるとともに
効率よくスリット３を作製することができる。
【００１３】なお、上記実施例においては、厚み縦振動
の基本波を例に挙げて説明したが、本発明はそのモード
についてのみ初期の効果を奏するのではなく、例えば厚
みすべり、厚み縦振動について、基本波を含む高調波を
利用した振動モードについても同様の効果を得ることが
できる。
の基本波を例に挙げて説明したが、本発明はそのモード
についてのみ初期の効果を奏するのではなく、例えば厚
みすべり、厚み縦振動について、基本波を含む高調波を
利用した振動モードについても同様の効果を得ることが
できる。
【００１４】また、上記実施例では共振周波数が１０Ｍ
Ｈｚ帯の厚み縦基本振動について説明したが、本発明は
このモードのみの効果には留まらず、例えば厚みすべ
り、厚み縦振動の高調波振動についても同様の効果が得
られた。また、実施例の共振周波数は１０ＭＨｚである
が、本発明の使用周波数は１０ＭＨｚに限定されない。
Ｈｚ帯の厚み縦基本振動について説明したが、本発明は
このモードのみの効果には留まらず、例えば厚みすべ
り、厚み縦振動の高調波振動についても同様の効果が得
られた。また、実施例の共振周波数は１０ＭＨｚである
が、本発明の使用周波数は１０ＭＨｚに限定されない。
【００１５】
【発明の効果】以上本発明によると、スリットが電極部
分から漏れた主振動を電極部分以外に反射させ、スプリ
アス振動の発生を低減することができる。その結果、圧
電共振子の小型化が可能になる。
分から漏れた主振動を電極部分以外に反射させ、スプリ
アス振動の発生を低減することができる。その結果、圧
電共振子の小型化が可能になる。
【図１】本発明の一実施例における圧電共振子の斜視図
【図２】本発明の一実施例における圧電共振子のインピ
ーダンス特性を示す特性曲線図
ーダンス特性を示す特性曲線図
【図３】従来の圧電共振子のインピーダンス特性を示す
特性曲線図
特性曲線図
１ 圧電基板 ２ 電極 ３ スリット
Claims (8)
- 【請求項１】 圧電基板と、この圧電基板の両主表面に
設けた電極とを備え、前記圧電基板の端面には少なくと
も１つスリットを設けた圧電共振子。 - 【請求項２】 スリットの深さは、端面から電極までの
距離に対する比で、９０／１０００より大きく、９５０
／１０００以下である請求項１記載の圧電共振子。 - 【請求項３】 スリットは圧電基板端面と電極との距離
が最短となる部分に設けられた請求項１記載の圧電共振
子。 - 【請求項４】 スリットの幅は電極の幅よりも狭い請求
項１記載の圧電共振子。 - 【請求項５】 圧電基板のスリットを設けた部分に凹凸
を有する請求項１記載の圧電共振子。 - 【請求項６】 スリットの幅は圧電基板端面側よりも先
端側の方が狭い請求項１記載の圧電共振子。 - 【請求項７】 スリットの先端は非平面である請求項１
記載の圧電共振子。 - 【請求項８】 スライシングマシン、ダイシングマシ
ン、ワイヤーソー、スクライバーのいずれかを用いて、
両主面に電極を設けた圧電基板の端面にスリットを設け
る圧電共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7218537A JPH0964684A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 圧電共振子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7218537A JPH0964684A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 圧電共振子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0964684A true JPH0964684A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16721489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7218537A Pending JPH0964684A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 圧電共振子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0964684A (ja) |
-
1995
- 1995-08-28 JP JP7218537A patent/JPH0964684A/ja active Pending
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