JPH06224682A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH06224682A JPH06224682A JP50A JP895493A JPH06224682A JP H06224682 A JPH06224682 A JP H06224682A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 895493 A JP895493 A JP 895493A JP H06224682 A JPH06224682 A JP H06224682A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrode
- input
- electrostatic breakdown
- acoustic wave
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、フィルタや発振器等に用いられる
弾性表面波装置に関するもので、静電破壊を防止するこ
とを目的とするものである。 【構成】 入、出力電極７，８に静電破壊犠牲用電極７
ａ，８ａを設けたもので、入、出力電極７，８に静電気
が印加された場合でも、まず静電破壊が起きるのは静電
破壊犠牲用電極７ａ，８ａとなるので、表面波の励振部
９ａ，１０ａの静電破壊による消失が起きない。
弾性表面波装置に関するもので、静電破壊を防止するこ
とを目的とするものである。 【構成】 入、出力電極７，８に静電破壊犠牲用電極７
ａ，８ａを設けたもので、入、出力電極７，８に静電気
が印加された場合でも、まず静電破壊が起きるのは静電
破壊犠牲用電極７ａ，８ａとなるので、表面波の励振部
９ａ，１０ａの静電破壊による消失が起きない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルタや発振器等に
用いられる弾性表面波装置に関するものである。
用いられる弾性表面波装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３はフィルタとして用いられるものを
示しており、１は圧電基板である。この圧電基板１の上
面には、入力電極２と出力電極３が設けられ、この図３
においては、これらの入、出力電極２，３間に２つの表
面波励振部４，５が設けられている。これらの表面波励
振部４，５はそれぞれ励振部４ａ，５ａとその両側に設
けた反射器４ｂ，５ｂとにより構成されている。すなわ
ち、励振部４ａ，５ａで生じた表面波がその両側の反射
器４ｂ，５ｂで反射され、共振を起こしこの共振特性を
利用してフィルタ特性を得るのである。
示しており、１は圧電基板である。この圧電基板１の上
面には、入力電極２と出力電極３が設けられ、この図３
においては、これらの入、出力電極２，３間に２つの表
面波励振部４，５が設けられている。これらの表面波励
振部４，５はそれぞれ励振部４ａ，５ａとその両側に設
けた反射器４ｂ，５ｂとにより構成されている。すなわ
ち、励振部４ａ，５ａで生じた表面波がその両側の反射
器４ｂ，５ｂで反射され、共振を起こしこの共振特性を
利用してフィルタ特性を得るのである。
【０００３】つまり、入力電極２に入力された信号は表
面波励振部４，５のフィルタ特性により選択されたもの
だけが出力電極３から出力として取り出されるのであ
る。
面波励振部４，５のフィルタ特性により選択されたもの
だけが出力電極３から出力として取り出されるのであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記励
振部４ａ，５ａは表面波の励振を起こさせるもので、そ
の電極指間は１μｍ程度と極めて細くなっているので、
入、出力電極２，３の少なくとも一方に、例えば製造時
において静電気が印加されてしまった場合には、励振部
４ａ，５ａで静電破壊が起こり、電極が消失してしまう
ことがあった。そこで本発明は、この静電破壊を防止す
ることを目的とするものである。
振部４ａ，５ａは表面波の励振を起こさせるもので、そ
の電極指間は１μｍ程度と極めて細くなっているので、
入、出力電極２，３の少なくとも一方に、例えば製造時
において静電気が印加されてしまった場合には、励振部
４ａ，５ａで静電破壊が起こり、電極が消失してしまう
ことがあった。そこで本発明は、この静電破壊を防止す
ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、入、出力電極の少なくとも一方に静電破壊
犠牲用電極を設けたものである。
に本発明は、入、出力電極の少なくとも一方に静電破壊
犠牲用電極を設けたものである。
【０００６】
【作用】上記構成とすれば、入、出力電極に静電気が印
加された場合でも、まず静電破壊が起きるのは静電破壊
犠牲用電極となるので、励振部の消失は起きないものと
なる。
加された場合でも、まず静電破壊が起きるのは静電破壊
犠牲用電極となるので、励振部の消失は起きないものと
なる。
【０００７】
【実施例】図１において、６はタンタル酸リチウム製の
厚さ０．５mmで、縦２mm横４mmの圧電基板である。この
圧電基板６の上面には入力電極７と出力電極８が設けら
れている。また入力電極７と出力電極８の間には２つの
表面波励振部９，１０が並列に設けられている。これら
の表面波励振部９，１０は各々櫛形状電極を対向させて
形成した励振部９ａ，１０ａとその両側に設けたグレー
ティング反射器９ｂ，１０ｂとにより形成されている。
また、入、出力電極７，８それぞれには、櫛形状電極を
対向させて形成した静電破壊犠牲用電極７ａ，８ａが設
けられている。
厚さ０．５mmで、縦２mm横４mmの圧電基板である。この
圧電基板６の上面には入力電極７と出力電極８が設けら
れている。また入力電極７と出力電極８の間には２つの
表面波励振部９，１０が並列に設けられている。これら
の表面波励振部９，１０は各々櫛形状電極を対向させて
形成した励振部９ａ，１０ａとその両側に設けたグレー
ティング反射器９ｂ，１０ｂとにより形成されている。
また、入、出力電極７，８それぞれには、櫛形状電極を
対向させて形成した静電破壊犠牲用電極７ａ，８ａが設
けられている。
【０００８】上記構成において、励振部９ａ，１０ａの
櫛形状電極の電極指幅は１μｍで、間隔も１μｍとなっ
ており、一方静電破壊犠牲用電極７ａ，８ａは櫛形状電
極の電極指幅が０．５μｍ、間隔も０．５μｍとなって
いる。従って、入、出力電極７，８に静電気が印加され
た場合、まず電極指幅が細く、間隔も狭い静電破壊犠牲
用電極７ａ，８ａ部分で静電破壊が起こり、その部分が
消失し、この結果として励振部９ａ，１０ａの静電破壊
は起こらない。なお、本実施例において静電破壊犠牲用
電極７ａ，８ａは、グレーティング反射器９ｂ，１０ｂ
に対して直交する方向に設けているので、この部分で生
じる振動が励振部９ａ，１０ａで発生する振動を阻害す
ることはない。図２は本発明の他の実施例を示し、本実
施例においては、先の尖った電極を対向させることによ
り、静電破壊犠牲用電極７ａ，８ａを構成したものであ
る。すなわち、このように先の尖った電極を接近して対
向させれば、よりスムーズに静電破壊が起き、静電破壊
犠牲用電極としての効果が高まるものである。
櫛形状電極の電極指幅は１μｍで、間隔も１μｍとなっ
ており、一方静電破壊犠牲用電極７ａ，８ａは櫛形状電
極の電極指幅が０．５μｍ、間隔も０．５μｍとなって
いる。従って、入、出力電極７，８に静電気が印加され
た場合、まず電極指幅が細く、間隔も狭い静電破壊犠牲
用電極７ａ，８ａ部分で静電破壊が起こり、その部分が
消失し、この結果として励振部９ａ，１０ａの静電破壊
は起こらない。なお、本実施例において静電破壊犠牲用
電極７ａ，８ａは、グレーティング反射器９ｂ，１０ｂ
に対して直交する方向に設けているので、この部分で生
じる振動が励振部９ａ，１０ａで発生する振動を阻害す
ることはない。図２は本発明の他の実施例を示し、本実
施例においては、先の尖った電極を対向させることによ
り、静電破壊犠牲用電極７ａ，８ａを構成したものであ
る。すなわち、このように先の尖った電極を接近して対
向させれば、よりスムーズに静電破壊が起き、静電破壊
犠牲用電極としての効果が高まるものである。
【０００９】
【発明の効果】以上のように本発明は、入、出力電極の
少なくとも一方に静電破壊犠牲用電極を設けたもので、
入、出力電極に静電気が印加された場合でも、まず静電
破壊が起きるのは静電破壊犠牲用電極となるので、表面
波の励振部の消失の起きない優れた弾性表面波装置を提
供することができるものである。
少なくとも一方に静電破壊犠牲用電極を設けたもので、
入、出力電極に静電気が印加された場合でも、まず静電
破壊が起きるのは静電破壊犠牲用電極となるので、表面
波の励振部の消失の起きない優れた弾性表面波装置を提
供することができるものである。
【図１】本発明の一実施例における弾性表面波装置の平
面図
面図
【図２】本発明の他の実施例における弾性表面波装置の
平面図
平面図
【図３】従来の弾性表面波装置の平面図
６ 圧電基板 ７ 入力電極 ７ａ，８ａ 静電破壊犠牲用電極 ８ 出力電極 ９ 表面波励振部 １０ 表面波励振部
Claims (2)
- 【請求項１】圧電基板と、この圧電基板の表面に設けた
入、出力電極と、前記圧電基板の表面の入、出力電極間
に設けた表面波励振部とを備え、前記入、出力電極の少
なくとも一部に、静電破壊犠牲用電極を設けた弾性表面
波装置。 - 【請求項２】静電破壊犠牲用電極は、先の尖った２つの
電極を対向させて形成した請求項１記載の弾性表面波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06224682A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06224682A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06224682A true JPH06224682A (ja) | 1994-08-12 |
Family
ID=11707070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50A Pending JPH06224682A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06224682A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19910889C2 (de) * | 1998-09-11 | 2002-04-11 | Hitachi Media Electron Kk | Oberflächenwellenvorrichtung |
| US7385468B2 (en) | 2003-12-24 | 2008-06-10 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
| US7388456B2 (en) | 2003-12-19 | 2008-06-17 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
| JP2008306757A (ja) * | 2008-07-29 | 2008-12-18 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1993
- 1993-01-22 JP JP50A patent/JPH06224682A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19910889C2 (de) * | 1998-09-11 | 2002-04-11 | Hitachi Media Electron Kk | Oberflächenwellenvorrichtung |
| US7388456B2 (en) | 2003-12-19 | 2008-06-17 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
| US7385468B2 (en) | 2003-12-24 | 2008-06-10 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
| EP1548936B1 (en) * | 2003-12-24 | 2008-07-23 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter |
| JP2008306757A (ja) * | 2008-07-29 | 2008-12-18 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 弾性表面波装置 |
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