JPH0966296A

JPH0966296A - 水処理方法および水処理装置

Info

Publication number: JPH0966296A
Application number: JP7225256A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Miyamoto; 鐡也宮本; Fumio Yokoyama; 文郎横山; Tsukasa Kawamura; 宰川村
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1995-09-01
Filing date: 1995-09-01
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【課題】逆浸透装置の長期安定操業、経済性向上などを
目的に最も効率のよい水処理方法および水処理装置を提
供せんとするものである。【解決手段】（イ）極細繊維の立毛を有する布帛を濾過
材とする回転ドラム型固液分離装置を用いて、原水中か
ら、その原水に含まれている、粒径が１μｍ〜１００μ
ｍを越える不純物を除去する工程と、（ロ）中空糸膜を
濾過材とする精密濾過装置を用いて、前記工程（イ）か
ら得られる処理水から、その処理水中に含まれている、
粒径が０．０１〜１０μｍを越える不純物を除去する工
程と、（ハ）逆浸透膜を濾過材とする濾過装置を用い
て、前記工程（ロ）から得られる処理水から、その処理
水中に含まれている不純物を除去する工程、を含むこと
を特徴とする水処理方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、高水質の純水、
とくに超純水を効率よく製造する水処理方法および水処
理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子工業や製薬工業をはじめとする各種
産業においては高度の純水を大量に使用しているが、要
求される純水の水質は年々高度になり、需用量も年々大
きく増加している。これらの分野では、高水質の純水、
ことに超純水の製造には、ほとんどの場合、低分子化合
物や塩類を効率よく分離する能力のある逆浸透装置を使
用している。この他、逆浸透装置は、純水の循環利用、
造水などにも多数実用化されている。逆浸透装置が普及
するにつれ、さらに丈夫で高度の分離能を具備し、広い
用途に経済的に使用するための研究も進展した。すなわ
ち、新しい逆浸透膜や各種複合膜が開発され、分離膜の
使用形態、すなわちモジュールもスパイラル型、チュー
ブラ型など各種のものが実用化されている。

【０００３】一方、対象とする原水を、直接逆浸透膜モ
ジュールに供給すると、膜モジュール内部で、微粒子、
懸濁物、、藻類、微生物、ゴミ等により目づまりが生じ
やすくなり、膜面においてファウリングが生じ、膜の分
離性能を大きく低下させる要因となる。そこで、前処理
濾過として精密濾過膜や限外濾過膜、各種濾材等により
微粒子等の除去を行う場合が多い。また、０．１〜５μ
ｍくらいの懸濁粒子およびコロイドなどの不純物を含む
原水を逆浸透装置で処理する場合には、アルミニウムや
鉄イオンを含む電解質を凝集剤として原水に添加して微
粒子類を凝集させ、砂濾過法などを用いて凝集粒子をあ
らかじめ除去してから、被処理水を逆浸透装置に送る方
法が取られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のように前処理濾
過を行い、逆浸透装置の性能も向上して運転上のトラブ
ルも起こりにくくなり、安定して長期間使用できるよう
になった。

【０００５】しかし、逆浸透装置に対して、さらに処理
水の連続安定供給、経済性向上などの要求もあり、本発
明者らはその課題を解決する手段を種々講じてきたが、
新しい逆浸透膜やモジュールの開発のほかにシステム全
体の構築を鋭意検討することによって課題の解決が図ら
れることを知った。したがって、本発明は、逆浸透装置
の長期安定操業、経済性向上などを目的に最も効率のよ
い水処理方法および水処理装置を提供せんとするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の構成は以下の通りである。すなわち、（１）（イ）極細繊維の立毛を有する布帛を濾過材とする回転
ドラム型固液分離装置を用いて、原水中から、その原水
に含まれている、粒径が１μｍ〜１００μｍを越える不
純物を除去する工程と、（ロ）中空糸膜を濾過材とする
精密濾過装置を用いて、前記工程（イ）から得られる処
理水から、その処理水中に含まれている、粒径が０．０
１〜１０μｍを越える不純物を除去する工程と、（ハ）
逆浸透膜を濾過材とする濾過装置を用いて、前記工程
（ロ）から得られる処理水から、その処理水中に含まれ
ている不純物を除去する工程、を含むことを特徴とする
水処理方法。

【０００７】（２）（イ）繊維を有孔芯に巻き付けてなるフィルターカート
リッジを濾過材とする濾過装置を用いて、原水中から、
その原水に含まれている、粒径が１μｍ〜１００μｍを
越える不純物を除去する工程と、（ロ）中空糸膜を濾過
材とする精密濾過装置を用いて、前記工程（イ）から得
られる処理水から、その処理水中に含まれている、粒径
が０．０１〜１０μｍを越える不純物を除去する工程
と、（ハ）逆浸透膜を濾過材とする濾過装置を用いて、
前記工程（ロ）から得られる処理水から、その処理水中
に含まれている不純物を除去する工程、を含むことを特
徴とする水処理方法。

【０００８】（３）（イ）中空糸膜を濾過材とする精密濾過装置を用いて、
原水中から、その原水に含まれている、粒径が０．０１
〜１０μｍを越える不純物を除去する工程と、（ロ）中
空糸膜を濾過材とする限外濾過装置を用いて、前記工程
（イ）から得られる処理水から、その処理水中に含まれ
ている、粒径が０．００１〜１μｍを越える不純物を除
去する工程と、（ハ）逆浸透膜を濾過材とする濾過装置
を用いて、前記工程（ロ）から得られる処理水から、そ
の処理水中に含まれている不純物を除去する工程、を含
むことを特徴とする水処理方法。

【０００９】（４）工程（イ）の後に、活性炭を用い
た吸着処理を施すことを特徴とする前記（１）〜（３）
のいずれかに記載の水処理方法。

【００１０】（５）工程（イ）の前に、原水に砂濾過
による粗濾過を施すことを特徴とする前記（１）〜
（４）のいずれかに記載の水処理方法。

【００１１】（６）砂濾過による濾過水の生成処理の
前に、原水内の汚濁成分を凝集フロック化する凝集反応
を施すことを特徴とする前記（５）に記載の水処理方
法。

【００１２】（７）回転ドラム型固液分離装置を用い
る工程（イ）の前に、原水内の汚濁成分を凝集フロック
化する凝集反応を施すことを特徴とする前記（１）また
は（４）に記載の水処理方法。

【００１３】（８）精密濾過装置および／または限外
濾過装置の中空糸膜濾過材を処理水を用いて逆洗するこ
とを特徴とする前記（１）〜（７）のいずれかに記載の
水処理方法。

【００１４】（９）逆洗水を原水中に還流させること
を特徴とする前記（８）に記載の水処理方法。

【００１５】（１０）工程（ハ）から得られる濃縮水
を原水中に還流させることを特徴とする前記（１）〜
（９）のいずれかに記載の水処理方法。

【００１６】（１１）原水導入管と、この原水導入管
に入側を接続して設けた、粒径が１μｍ以上の不純物を
除去する極細繊維の立毛を有する布帛を濾過材とする回
転ドラム型固液分離装置（１次）と、この回転ドラム型
固液分離装置の処理水出側に入側を接続して設けた、粒
径が０．０１以上の不純物を除去する中空糸膜を濾過材
とする精密濾過装置（２次）と、この精密膜濾過装置の
出側に入側を接続して設けた、逆浸透膜を濾過材とする
濾過装置とを備えていることを特徴とする水処理装置。

【００１７】（１２）原水導入管と、この原水導入管
に入側を接続して設けた、粒径が１μｍ以上の不純物を
除去する繊維を有孔芯に巻き付けてなるフィルターカー
トリッジの濾過装置（１次）と、このフィルターカート
リッジの濾過装置の出側に入側を接続して設けた、粒径
が０．０１以上の不純物を除去する中空糸膜を濾過材と
する精密濾過装置（２次）と、この精密濾過装置の出側
に入側を接続して設けた、逆浸透膜を濾過材とする濾過
装置とを備えていることを特徴とする水処理装置。

【００１８】（１３）原水導入管と、この原水導入管
に入側を接続して設けた、粒径が０．０１以上の不純物
を除去する中空糸膜を濾過材とする精密濾過装置（１
次）と、この精密濾過装置の出側に入側を接続して設け
た、粒径が０．００１以上の不純物を除去する中空糸膜
を濾過材とする限外濾過装置（２次）と、この限外濾過
装置の出側に入側を接続して設けた、逆浸透膜を濾過材
とする濾過装置とを備えていることを特徴とする水処理
装置。

【００１９】（１４）１次の分離または濾過装置の後
に、活性炭による吸着処理を施す活性炭吸着手段を付設
したことを特徴とする前記（１１）〜（１３）のいずれ
かに記載の水処理装置。

【００２０】（１５）１次の分離または濾過装置の前
に、原水に砂濾過による粗濾過を施す粗濾過手段を付設
したことを特徴とする前記（１１）〜（１４）のいずれ
かに記載の水処理装置。

【００２１】（１６）砂濾過による粗濾過手段の前
に、原水内の汚濁成分を凝集フロック化する凝集反応処
理を施す凝集反応手段を付設したことを特徴とする前記
（１５）に記載の水処理装置。

【００２２】（１７）回転ドラム型固液分離装置の前
に、原水内の汚濁成分を凝集フロック化する凝集反応を
施す凝集反応手段を付設したことを特徴とする前記（１
１）または（１４）〜（１６）のいずれかに記載の水処
理装置。

【００２３】（１８）精密濾過装置および／または限
外濾過装置は、処理水を用いて中空糸膜濾過材を逆洗す
る機構を備えたことを特徴とする前記（１１）〜（１
７）のいずれかに記載の水処理装置。

【００２４】（１９）２次の逆洗水を原水中に還流さ
せる配管を備えたことを特徴とする前記（１１）〜（１
７）のいずれかに記載の水処理装置。

【００２５】（２０）３次の逆浸透装置の濃縮水を原
水中に還流させる配管を備えている前記（１１）〜（１
９）のいずれかに記載の水処理装置。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明をさらに詳しく説明
する。

【００２７】（１）および（１１）の発明は、回転ドラ
ム型固液分離装置による濾過工程（装置）と、精密濾過
工程（装置）と、逆浸透工程（装置）を含む水処理方法
（装置）である。

【００２８】回転ドラム型固液分離装置（１次）は、例
えば織物または編物の基材が起毛され、太さ０．０５〜
２０μｍなどの極細繊維の立毛が横たわって基材の表面
を覆ってなる濾過材を装着している。したがって、この
濾材は緻密な濾過層が形成され、１μｍ〜１００μｍ程
度の汚濁物質がこの緻密濾過層で好適に濾過分離され
る。

【００２９】回転ドラム型固液分離装置は、例えば、特
開平７−１３６４１８号公報などに記載されたものが適
用できる。

【００３０】精密濾過装置（２次）は、糸の断面が中空
でその壁面に例えば、０．０１〜１μｍの孔が形成され
た中空糸を束ねたものを濾過材としている。したがっ
て、回転ドラム型固液分離装置（１次）で分離できなか
ったコンマμｍ程度の微細な汚濁物質が好適に濾過分離
される。なお、精密濾過装置（２次）に供給される水に
粗大な汚濁成分が含まれていると、中空糸膜精密濾過装
置の濾過材が目詰まりし易いが、本発明では、回転ドラ
ム型固液分離装置（１次）で１μｍ〜１００μｍ程度の
汚濁物質を濾過分離した後、精密濾過装置で濾過するの
で、精密濾過装置の濾過材は目詰まりし難い。つまり、
回転ドラム型固液分離装置（１次）は精密濾過装置（２
次）の保護と不純物の分離効率を高める作用を、精密濾
過装置（２次）はその次の逆浸透装置の保護と不純物の
分離効率を高める作用をする。

【００３１】精密濾過装置は、特に逆浸透膜にトラブル
を引き起こしたり、透過効率を損なう藻類などの微生物
や粒径が１μｍ以下の懸濁粒子などを除去するのに有効
である。全濾過方式でもクロスフロー方式でもよいが逆
洗水または濃縮水は原水に還流することが好ましい。

【００３２】逆浸透装置は、前記の濾過装置を通過し、
処理水中に残存する不純物、例えば溶解塩分や有機物な
どを分離する。逆浸透膜には酢酸セルロース系、ポリア
ミド系、ポリエチレンイミド系、ポリエチレンオキシド
系、ポリエーテル系などの非対象膜、複合膜を用いるこ
とができる。モジュールもスパイラル型、プリーツ型、
中空糸型など、いずれでもよい。

【００３３】（２）および（１２）の発明は、フィルタ
ーカートリッジ濾過工程（装置）と、精密濾過工程（装
置）と、逆浸透工程（装置）を含む水処理方法（装置）
であり、（１）（１１）の発明の、回転ドラム型固液分
離装置（１次）にかえてフィルターカートリッジ濾過工
程（装置）を採用した。

【００３４】フィルターカートリッジ濾過装置（１次）
は、回転ドラム型固液分離装置（１次）と同様の作用を
なすもので、この濾過装置でも１μｍ〜１００μｍ程度
の汚濁物質が濾過分離される。

【００３５】フィルターカートリッジ濾過装置は、繊維
を有孔芯に巻き付けてなるフィルターカートリッジを濾
過材とする濾過装置を用いるものである。

【００３６】（３）および（１３）の発明は、精密濾過
工程（装置）と、限外濾過工程（装置）と、逆浸透工程
（装置）を含む水処理方法（装置）であり、粗大な汚濁
成分が少ない水に適用されるものである。

【００３７】中空糸膜を濾過材とする限外濾過装置は、
糸の断面が中空で、例えば、その壁面に０．００１〜
０．０１μｍの孔が形成された中空糸を束ねたものを濾
材としたものであって、処理水にコロイド粒子やそれに
近いタンパク質など溶存高分子が多量に存在する場合
に、逆浸透装置の負荷を軽減し保護することができる。

【００３８】（４）および（１４）の発明は、濾過装置
（１次）および濾過装置（２次）で除去し難い着色成分
や溶解成分を吸着除去するため、前記（１）〜（３）お
よび（１１）〜（１３）の発明における濾過装置（１
次）の後に、活性炭吸着手段を付設したものである。

【００３９】（５）および（１５）の発明は、粗大な汚
濁成分が多い水に適用されるもので、濾過装置（１次）
の負荷軽減と分離効率の向上を図るため、前記（１）〜
（３）および（１１）〜（１３）の発明における濾過装
置（１次）の前に、原水に砂濾過による粗濾過を施す粗
濾過手段を付設したものである。砂濾過は圧力式でも重
力式でもよく、通常、平均粒径が０．３〜３mmの濾材を
単層または多層にして使用する。

【００４０】なお、吸着処理と砂濾過とは、両方を併せ
て施すこともできる。

【００４１】さらに、砂濾過による粗濾過を行なわない
場合には、回転ドラム型固液分離装置の前に、原水内の
汚濁成分を凝集フロック化する凝集反応処理を施すこと
ができる。

【００４２】すなわち、（６）（７）および（１６）
（１７）の発明は、原水中に懸濁粒子およびコロイドな
どが多い水で単なる繊維集合体の濾材を用いた回転ドラ
ム式連続濾過装置や砂濾過による粗濾過手段だけで目的
の不純物を十分に分離できない場合に適用される。これ
らによる濾過の前に、原水内の汚濁成分を凝集フロック
化する凝集反応処理を施す凝集反応手段を付設したもの
である。使用する凝集剤としては、硫酸アルミニウム、
電解アルミニウム、ポリ塩化アルミニウムなどがあげら
れる。その他、ｐＨ調整剤として硫酸や水酸化ナトリウ
ムなどを添加することができる。

【００４３】（８）（９）（１０）および（１８）（１
９）（２０）の発明については、濾過材の目詰まり防
止、処理水の回収率向上など、実運転時の経済効果を目
的としたものであり、前記２次の精密濾過装置および限
外濾過装置における中空糸膜濾過材の膜寿命を延ばすた
めに、それぞれの処理水で中空糸膜濾過材を逆洗するこ
とができ、前記工程（ロ）から得られる逆洗水および前
記工程（ハ）から得られる濃縮水は、処理水の回収率を
あげるために、いずれも原水中に還流させることができ
る。

【００４４】原水中の不純物の種類や懸濁物質の大き
さ、純水の使用目的などに応じ、濾過装置の保護と不純
物の分離効率を勘案して、これらのシステムの中から最
も適切な水処理方法および装置を選択することができ
る。

【００４５】

【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を
説明する。

【００４６】図１は、この発明の実施態様の一例を示す
概略フロー図である。

【００４７】図１の実施態様は、織物または編物の基材
が起毛され、太さ０．０５〜２０μｍの極細繊維の立毛
が横たわって基材の表面を覆ってなる濾過材を装着した
回転ドラム型固液分離装置１（“トレローム”（登録商
標）ＲＤ１５００−Ａ６Ｓ東レ（株）製）と、中空糸膜
を濾過材とする精密濾過装置２（トレキューブＴＣ逆洗
機能付東レ（株）製）と、逆浸透膜を濾過材とする濾
過装置３（メンブラＳＵ−７２０東レ（株）製）より
構成された水処理装置に、ポリ塩化アルミニウムによる
凝集反応手段５を付設したものである。

【００４８】まず、供給水ポンプ７により、原水導入配
管４より砂濾過装置５へ原水が送られる。ここで濾過さ
れた処理水は貯槽６に入り、次の供給水ポンプ７により
回転ドラム型固液分離装置１に送られる。ここで濾過さ
れた処理水は次の貯槽６に入り、さらに次の供給水ポン
プ７により精密濾過装置２に送られる。ここで濾過され
た処理水はさらに次の貯槽６に入り、保安フィルター８
を経て高圧ポンプ９で逆浸透装置３に送られる。処理水
は純水送出配管１０より取り出される。回転ドラム型固
液分離装置における濾過材の洗浄水は濃縮水排出管１５
を経て系外に排出される。精密濾過装置の逆洗水および
逆浸透装置の濃縮水は配管１１，１２を経て原水中に還
流される。

【００４９】この実施例の場合は、原水のＦＩ値（ＡＳ
ＴＭＤ４１８９に記載の方法に準拠して測定した値）
が５．５〜６．３の工業用水に硫酸を添加してｐＨ６に
調整し、凝集剤としてポリ塩化アルミニウムが５ｐｐｍ
になるように凝集剤を凝集材添加配管１４を通じて添加
した。生じたフロックを含む原水を回転ドラム式連続濾
過装置で濾過した。この濾過水のＦＩ値は、２．９〜
３．８となった。凝集処理しない場合はＦＩ値４．０〜
５．０であり、明らかに凝集処理により回転ドラム式連
続濾過装置の分離効率の向上が認められる。この濾過水
をさらに膜精密濾過装置で濾過した。この濾過水のＦＩ
値は、０．３〜０．９となった。使用した中空糸膜は、
孔径０．０１μｍのポリスルホン中空糸膜である。この
精密濾過装置の濾過水を逆浸透装置で処理した。なお、
精密濾過装置から排出される逆洗水および逆浸透装置か
ら排出される濃縮水は原水に還流した。得られた純水量
は９６ｍ³ ／ｈで、回収率は９０％で安定して長期間使
用できた。

【００５０】逆浸透膜のクエン酸洗浄は１年に１回で、
逆浸透膜の平均寿命は２４月であった。従来の水処理方
法では、砂濾過した後、直接逆浸透装置に送水し純水を
製造していたが、同程度の原水のＦＩ値で純水量８０ｍ
³ ／ｈ、回収率は７５％で安定使用するには２月に１回
のクエン酸洗浄が必要であった。しかも逆浸透膜の平均
寿命は１２月程度であったから、実施例では卓越した効
果をあげることができた。

【００５１】図２は、この発明の実施態様を示す別の概
略フロー図である。

【００５２】図２の実施態様は、繊維を有孔芯に巻き付
けてなるフィルターカートリッジを濾過材とする濾過装
置１６と、中空糸膜を濾過材とする精密濾過装置２（ト
レキューブＴＣ逆洗機能付き東レ（株）製）と、逆
浸透膜を濾過材とする濾過装置３（メンブランＳＵ−７
２９東レ（株）製）より構成された水処理装置であ
る。

【００５３】まず、供給ポンプ７により、原水導入管４
より濾過装置１６へ原水が送られる。ここで全量濾過さ
れて、次の精密濾過装置２に送られる。ここで濾過され
た処理水は貯槽６に入り、保安フィルター８を経て高圧
ポンプ９で濾過装置３に送られる。処理水は純水送出管
１０より取り出される。精密濾過装置の逆洗水は配管１
１を経て原水中に還流される。

【００５４】この実施例の場合は、濾過装置１６に逆洗
機能がないため、濾過材の目詰まりによるフィルターカ
ートリッジの交換が必要となるので、原水の性状をよく
勘案して適用する必要がある。

【００５５】

【発明の効果】本発明の水処理方法および水処理装置を
利用すれば、従来、逆浸透装置にトラブルを引き起こし
負担を増大させていた原水中の不純物が除去され、しか
も不純物の粒径の大きなものから少なくとも２段階の前
処理装置を経るため、各前処理装置の負担を軽減して分
離効率を向上することが出来た。その結果、逆浸透膜の
目詰まりは激減して膜の洗浄が殆ど必要でなくなり、逆
浸透膜の平均寿命が長くなる。さらに、処理量を増加さ
せることができて経済的な効果も大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施態様の一例を示す概略フロー図
である。

【図２】この発明の別の実施態様を示す概略フロー図で
ある。

【符号の説明】

１：回転ドラム型固液分離装置２：中空糸膜を濾過材とする精密濾過装置３：逆浸透膜を濾過材とする濾過装置４：原水導入配管５：砂濾過装置６：貯槽７：供給水ポンプ８：保安フィルター９：高圧ポンプ１０：純水送出配管１１：膜精密濾過装置の逆洗水を原水中に還流する配管１２：逆浸透装置の濃縮水を原水中に還流する配管１３：排水用配管１４：凝集剤添加用配管１５：濃縮水排出配管１６：フィルターカートリッジ濾過装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ０１Ｄ 39/08 Ｂ０１Ｄ 61/02 61/02 61/14 61/14 33/18 Ａ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（イ）極細繊維の立毛を有する布帛を濾過
材とする回転ドラム型固液分離装置を用いて、原水中か
ら、その原水に含まれている、粒径が１μｍ〜１００μ
ｍを越える不純物を除去する工程と、（ロ）中空糸膜を濾過材とする精密濾過装置を用いて、
前記工程（イ）から得られる処理水から、その処理水中
に含まれている、粒径が０．０１〜１０μｍを越える不
純物を除去する工程と、（ハ）逆浸透膜を濾過材とする濾過装置を用いて、前記
工程（ロ）から得られる処理水から、その処理水中に含
まれている不純物を除去する工程、を含むことを特徴と
する水処理方法。
【請求項２】（イ）繊維を有孔芯に巻き付けてなるフィ
ルターカートリッジを濾過材とする濾過装置を用いて、
原水中から、その原水に含まれている、粒径が１μｍ〜
１００μｍを越える不純物を除去する工程と、（ロ）中空糸膜を濾過材とする精密濾過装置を用いて、
前記工程（イ）から得られる処理水から、その処理水中
に含まれている、粒径が０．０１〜１０μｍを越える不
純物を除去する工程と、（ハ）逆浸透膜を濾過材とする濾過装置を用いて、前記
工程（ロ）から得られる処理水から、その処理水中に含
まれている不純物を除去する工程、を含むことを特徴と
する水処理方法。
【請求項３】（イ）中空糸膜を濾過材とする精密濾過装
置を用いて、原水中から、その原水に含まれている、粒
径が０．０１〜１０μｍを越える不純物を除去する工程
と、（ロ）中空糸膜を濾過材とする限外濾過装置を用いて、
前記工程（イ）から得られる処理水から、その処理水中
に含まれている、粒径が０．００１〜１μｍを越える不
純物を除去する工程と、（ハ）逆浸透膜を濾過材とする濾過装置を用いて、前記
工程（ロ）から得られる処理水から、その処理水中に含
まれている不純物を除去する工程、を含むことを特徴と
する水処理方法。
【請求項４】工程（イ）の後に、活性炭を用いた吸着処
理を施すことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記
載の水処理方法。
【請求項５】工程（イ）の前に、原水に砂濾過による粗
濾過を施すことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに
記載の水処理方法。
【請求項６】砂濾過による濾過水の生成処理の前に、原
水内の汚濁成分を凝集フロック化する凝集反応を施すこ
とを特徴とする請求項５に記載の水処理方法。
【請求項７】回転ドラム型固液分離装置を用いる工程
（イ）の前に、原水内の汚濁成分を凝集フロック化する
凝集反応を施すことを特徴とする請求項１または４に記
載の水処理方法。
【請求項８】精密濾過装置および／または限外濾過装置
の中空糸膜濾過材を処理水を用いて逆洗することを特徴
とする請求項１〜７のいずれかに記載の水処理方法。
【請求項９】逆洗水を原水中に還流させることを特徴と
する請求項８に記載の水処理方法。
【請求項１０】工程（ハ）から得られる濃縮水を原水中
に還流させることを特徴とする請求項１〜９のいずれか
に記載の水処理方法。
【請求項１１】原水導入管と、この原水導入管に入側を
接続して設けた、粒径が１μｍ以上の不純物を除去する
極細繊維の立毛を有する布帛を濾過材とする回転ドラム
型固液分離装置（１次）と、この回転ドラム型固液分離
装置の処理水出側に入側を接続して設けた、粒径が０．
０１以上の不純物を除去する中空糸膜を濾過材とする精
密濾過装置（２次）と、この精密膜濾過装置の出側に入
側を接続して設けた、逆浸透膜を濾過材とする濾過装置
とを備えていることを特徴とする水処理装置。
【請求項１２】原水導入管と、この原水導入管に入側を
接続して設けた、粒径が１μｍ以上の不純物を除去する
繊維を有孔芯に巻き付けてなるフィルターカートリッジ
の濾過装置（１次）と、このフィルターカートリッジの
濾過装置の出側に入側を接続して設けた、粒径が０．０
１以上の不純物を除去する中空糸膜を濾過材とする精密
濾過装置（２次）と、この精密濾過装置の出側に入側を
接続して設けた、逆浸透膜を濾過材とする濾過装置とを
備えていることを特徴とする水処理装置。
【請求項１３】原水導入管と、この原水導入管に入側を
接続して設けた、粒径が０．０１以上の不純物を除去す
る中空糸膜を濾過材とする精密濾過装置（１次）と、こ
の精密濾過装置の出側に入側を接続して設けた、粒径が
０．００１以上の不純物を除去する中空糸膜を濾過材と
する限外濾過装置（２次）と、この限外濾過装置の出側
に入側を接続して設けた、逆浸透膜を濾過材とする濾過
装置とを備えていることを特徴とする水処理装置。
【請求項１４】１次の分離または濾過装置の後に、活性
炭による吸着処理を施す活性炭吸着手段を付設したこと
を特徴とする請求項１１〜１３のいずれかに記載の水処
理装置。
【請求項１５】１次の分離または濾過装置の前に、原水
に砂濾過による粗濾過を施す粗濾過手段を付設したこと
を特徴とする請求項１１〜１４のいずれかに記載の水処
理装置。
【請求項１６】砂濾過による粗濾過手段の前に、原水内
の汚濁成分を凝集フロック化する凝集反応処理を施す凝
集反応手段を付設したことを特徴とする請求項１５に記
載の水処理装置。
【請求項１７】回転ドラム型固液分離装置の前に、原水
内の汚濁成分を凝集フロック化する凝集反応を施す凝集
反応手段を付設したことを特徴とする請求項１１または
１４〜１６のいずれかに記載の水処理装置。
【請求項１８】精密濾過装置および／または限外濾過装
置は、処理水を用いて中空糸膜濾過材を逆洗する機構を
備えたことを特徴とする請求項１１〜１７のいずれかに
記載の水処理装置。
【請求項１９】２次の逆洗水を原水中に還流させる配管
を備えたことを特徴とする請求項１１〜１７のいずれか
に記載の水処理装置。
【請求項２０】３次の逆浸透装置の濃縮水を原水中に還
流させる配管を備えている請求項１１〜１９のいずれか
に記載の水処理装置。