JPH0966512A - セラミック基板用グリーンシートの製造装置 - Google Patents

セラミック基板用グリーンシートの製造装置

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JPH0966512A
JPH0966512A JP22555295A JP22555295A JPH0966512A JP H0966512 A JPH0966512 A JP H0966512A JP 22555295 A JP22555295 A JP 22555295A JP 22555295 A JP22555295 A JP 22555295A JP H0966512 A JPH0966512 A JP H0966512A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
green sheet
heating
film
drying chamber
slurry liquid
Prior art date
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Pending
Application number
JP22555295A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyohiro Isogawa
清浩 五十川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 フィルム1の上面に塗布したスラリー液9を
加熱乾燥室3内で加熱乾燥してグリーンシート10にし
たのち、このグリーンシートから前記フィルムを剥離す
る場合に、前記グリーンシートに伸び変形が発生するこ
とを、装置を大型化することなく、低減する。 【構成】 前記加熱乾燥室3の出口側に、大気空気を前
記グリーンシート10に対して当該グリーンシートの移
送方向に噴出するようにした空気噴出部16を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、サーマルプリントヘッ
ド等の電子部品に使用されるセラミック基板の素材であ
るところのグリーンシートを製造するための装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、サーマルプリントヘッド等の電
子部品に使用されるセラミック基板は、未だ柔らかいグ
リーンシートの状態で、その表面及び裏面のうちいずれ
か一方又は両方にブレイク溝を刻設したのち、高い温度
で焼成することによって製造される。
【0003】そして、従来、前記グリーンシートの製造
に際しては、広幅の合成樹脂フィルムを、その長手方向
に適宜速度で移送しながら、その上面に、原料粉末と有
機溶媒とを混合したスラリー液を、一定の厚さに塗布散
布し、次いで、このフィルムの上面におけるスラリー液
を、加熱乾燥室において、当該スラリー液中の有機溶媒
を蒸発すると言う加熱乾燥を行うことによって、広幅の
グリーンシートにし、次いで、このグリーンシートを、
前記フィルムから剥離したのち、その長手方向に沿って
複数本の帯状グリーンシートに裁断し、この各帯状グリ
ーンシートの各々をリールに巻き取ると言う方法を採用
している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記加熱乾燥
室での加熱乾燥するに際しての最終温度は約110℃で
あって、乾燥後のグリーンシートは、この最終温度の近
い状態で、前記加熱乾燥室から出て来ることにより、乾
燥後のグリーンシートが可成り温かくて柔らかい状態
で、当該グリーンシートからのフィルムの剥離を行うこ
とになるから、この剥離に際しグリーンシートが伸び変
形して、その厚さの寸法精度が低下するばかりか、グリ
ーンシートの全体が波うち状に面歪みすることになる。
【0005】このために、前記加熱乾燥室の出口からフ
ィルムの剥離までの間に可成りの距離を隔てることによ
り、グリーンシートが充分に冷めてからフィルムの剥離
を行うように構成しなければならないから、装置全体の
全長が大幅に長くなるという問題があった。また、従来
の装置では、広幅のグリーンシートから裁断された各帯
状グリーンシートを、その各々に対するリールにて巻き
取るに際し、前記各リールを、一つのトクルモータにて
一斉に駆動回転するように構成していることにより、前
記各帯状グリーンシートの巻取りに直径差に起因して強
弱ができるのを避けることができないから、各帯状グリ
ーンシートの相互間に伸び変形のバラツキが発生し、そ
の厚さ及び幅の寸法精度が低下するばかりか、各帯状グ
リーンシートの全体が波うち状に面歪みすると言う問題
もあった。
【0006】本発明は、これらの問題を解消した装置を
提供することを技術的課題とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明の「請求項1」は、「上面にスラリー液を
塗布散布したフィルムの移送経路に沿って、前記スラリ
ー液を加熱乾燥してグリーンシートにするための加熱乾
燥室と、前記フィルムをグリーンシートから剥離するた
めの手段とを配設して成るグリーンシートの製造装置に
おいて、前記加熱乾燥室の出口側に、大気空気を前記グ
リーンシートに対して当該グリーンシートの移送方向に
噴出するようにした空気噴出部を設ける。」と言う構成
にした。
【0008】また、本発明の「請求項2」は、「上面に
スラリー液を塗布散布したフィルムの移送経路に沿っ
て、前記スラリー液を加熱乾燥してグリーンシートにす
るための加熱乾燥室と、前記フィルムをグリーンシート
から剥離するための手段と、前記グリーンシートを複数
本の帯状グリーンシートに裁断するためのスリッター
と、前記各帯状グリーンシートの各々に対する巻取りリ
ールとを配設して成るグリーンシートの製造装置におい
て、前記各巻取りリールを、その各々に対するトルクモ
ータにて回転駆動する。」と言う構成にした。
【0009】
【発明の作用・効果】前記「請求項1」のように、加熱
乾燥室の出口側に、大気空気を前記グリーンシートに対
して当該グリーンシートの移送方向に噴出するようにし
た空気噴出部を設けることにより、加熱乾燥室にて加熱
乾燥の終わったグリーンシートは、空気噴出部から噴出
する大気空気によって、常温の近い温度まで直ちに冷や
されることになるから、このグリーンシートからのフィ
ルムの剥離に際して発生するグリーンシートの伸び変形
を、前記加熱乾燥室からフィルムの剥離部までの距離を
増大することなく、確実に低減でき、グリーンシートに
おける厚さの寸法精度を大幅に向上できると共に、グリ
ーンシートにおける波うち状の面歪みを大幅に低減でき
るのである。
【0010】この場合において、グリーンシートに対す
る大気空気の噴出を、グリーンシートの移送方向にした
ことにより、大気空気のグリーンシートに対する接触長
さが増大して、短い距離で効果的に冷やすことができる
と共に、大気空気の噴出によって、グリーンシートの表
面を傷めることを回避できるのであり、しかも、この噴
出した大気空気が、加熱乾燥室内に流入し、加熱乾燥室
内における温度を低下する等、加熱乾燥に悪影響を及ぼ
すことがないのである。
【0011】また、前記「請求項2」のように、広幅の
グリーンシートから裁断した各帯状グリーンシートの各
々に対する巻取りリールを、その各々に対するトルクモ
ータにて回転駆動するように構成したことにより、前記
各帯状グリーンシートの各々を、一定のトクルにて巻き
取ることができ、各帯状グリーンシートの巻取りに強弱
が発生することを確実に防止できるから、各帯状グリー
ンシートにおける厚さ及び幅の寸法精度を大幅に向上で
きると共に、各帯状グリーンシートにおける波うち状の
面歪みを大幅に低減できるのである。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図1〜図3の図面
について説明する。この図において符号1は、巻きリー
ル2から繰り出されるポリエステル等の合成樹脂製のフ
ィルムを示し、このフィルム1は、ガイドローラ8を経
て加熱乾燥室3内を適宜速度で通過したのちガイドロー
ラ4を経て巻取りリール5に巻き取られるように構成さ
れている。
【0013】前記フィルム1の上面のうち繰り出しリー
ル2側の部位には、ドクターパイプ6と囲い枠型のダム
部材7とが配設され、このダム部材7内にスラリー液
を、前記ドクターパイプ6の下面よりフィルム1の上面
に流出して、前記フィルム1の上面にスラリー液9を一
定の厚さに形成し、このスラリー液9を、前記加熱乾燥
室3内において加熱乾燥することにより、広幅のグリー
ンシート10にする一方、前記フィルム1を、前記ガイ
ドローラ4の箇所において前記広幅のグリーンシート1
0から剥離したのち巻取りリール5に巻き取るように構
成する。
【0014】符号11は、前記ガイドローラ4よりも移
送方向の後方側に設けたスリッターを示し、このスリッ
ター11にて、前記広幅のグリーンシート10を、複数
本(本実施例では、4本)の帯状グリーンシート10
a,10b,10c,10dに裁断するように構成す
る。次いで、前記各帯状グリーンシート10a,10
b,10c,10dを、前記スリッター11よりも移送
方向の後方側に配設した複数個のリール12,13,1
4,15にて順次巻き取るようにように構成する。
【0015】そして、前記加熱乾燥室3の出口側には、
大気空気を図示しないフアン等にて吹き込むようにした
空気噴出ボックス16を配設し、この空気噴出ボックス
16内に塵埃を除去するためのフイルター17を、その
下部には、傾斜羽根式のルーバー18を設けることによ
り、大気空気を前記グリーンシート10に対して、当該
グリーンシート10の移送方向に噴出するように構成す
る。
【0016】また、前記各帯状グリーンシート10a,
10b,10c,10dの各々に対する巻取り用のリー
ル12,13,14,15を、図3に示すように、その
各々に対するトルクモータ19,20,21,22から
のベルト伝動により回転駆動するように構成する。前記
加熱乾燥室3にて加熱乾燥されたグリーンシート10
は、加熱乾燥室3を出た所で、空気噴出ボックス16の
傾斜羽根式のルーバー18から噴出する大気空気によっ
て、常温の近い温度まで直ちに冷やされることになるか
ら、このグリーンシート10からのフィルム1の剥離に
際して発生するグリーンシート10の伸び変形を、前記
加熱乾燥室3からフィルムの剥離用ガイドローラ4まで
の距離を増大することなく、確実に低減できるのであ
る。
【0017】この場合において、前記空気噴出ボックス
16からのグリーンシート10に対する大気空気の噴出
を、傾斜羽根式のルーバー18にて、グリーンシート1
0の移送方向にしたことにより、大気空気のグリーンシ
ート10に対する接触長さが増大して、短い距離で効果
的に冷やすことができると共に、大気空気の噴出によっ
て、グリーンシート10の表面を傷めることを回避でき
るのであり、しかも、この噴出した大気空気が、加熱乾
燥室3内に流入し、加熱乾燥室3内における温度を低下
することを回避できるのである。
【0018】また、広幅のグリーンシート10から裁断
した各帯状グリーンシート10a,10b,10c,1
0dの各々に対する巻取りリール12,13,14,1
5を、前記したように、その各々に対するトルクモータ
19,20,21,22からのベルト伝動により回転駆
動するように構成したことにより、前記各帯状グリーン
シート10a,10b,10c,10dの各々を、一定
のトクルにて巻き取ることができるから、各帯状グリー
ンシート10a,10b,10c,10dの巻取りに強
弱が発生することを確実に防止できるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す縦断正面図である。
【図2】図1のII−II視拡大平面図である。
【図3】図1のIII −III 視拡大平断面図である。
【符号の説明】
1 フィルム 2 巻きリール 3 加熱乾燥室 4 剥離用ガイドレール 5 巻取りリール 6 ドクターパイプ 7 ダム部材 9 スラリー液 10 グリーンシート 10a,10b,10c,10d 帯状グリーンシー
ト 11 スリッター 12,13,14,15 巻取り用リール 16 空気噴出ボックス 17 フイルター 18 ルーバー 19,20,21,22 トルクモータ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】上面にスラリー液を塗布したフィルムの移
    送経路に沿って、前記スラリー液を加熱乾燥してグリー
    ンシートにするための加熱乾燥室と、前記フィルムをグ
    リーンシートから剥離するための手段とを配設して成る
    グリーンシートの製造装置において、前記加熱乾燥室の
    出口側に、大気空気を前記グリーンシートに対して当該
    グリーンシートの移送方向に噴出するようにした空気噴
    出部を設けたことを特徴とするセラミック基板用グリー
    ンシートの製造装置。
  2. 【請求項2】上面にスラリー液を塗布散布したフィルム
    の移送経路に沿って、前記スラリー液を加熱乾燥してグ
    リーンシートにするための加熱乾燥室と、前記フィルム
    をグリーンシートから剥離するための手段と、前記グリ
    ーンシートを複数本の帯状グリーンシートに裁断するた
    めのスリッターと、前記各帯状グリーンシートの各々に
    対する巻取りリールとを配設して成るグリーンシートの
    製造装置において、前記各巻取りリールを、その各々に
    対するトルクモータにて回転駆動するように構成したこ
    とを特徴とするセラミック基板用グリーンシートの製造
    装置。
JP22555295A 1995-09-01 1995-09-01 セラミック基板用グリーンシートの製造装置 Pending JPH0966512A (ja)

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JP (1) JPH0966512A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002057011A (ja) * 2000-08-10 2002-02-22 Rohm Co Ltd チップ型抵抗器の製造方法
JP2002057012A (ja) * 2000-08-10 2002-02-22 Rohm Co Ltd チップ型抵抗器の製造方法
JP2002057013A (ja) * 2000-08-10 2002-02-22 Rohm Co Ltd チップ型抵抗器の製造方法
JP2013082094A (ja) * 2011-10-06 2013-05-09 Kyoritsu Elex Co Ltd セラミックグリーンテープおよびセラミックシートの製造方法

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JP2002057011A (ja) * 2000-08-10 2002-02-22 Rohm Co Ltd チップ型抵抗器の製造方法
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JP2002057013A (ja) * 2000-08-10 2002-02-22 Rohm Co Ltd チップ型抵抗器の製造方法
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