JPH0968473A - 熱陰極型真空計 - Google Patents
熱陰極型真空計Info
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- JPH0968473A JPH0968473A JP22323395A JP22323395A JPH0968473A JP H0968473 A JPH0968473 A JP H0968473A JP 22323395 A JP22323395 A JP 22323395A JP 22323395 A JP22323395 A JP 22323395A JP H0968473 A JPH0968473 A JP H0968473A
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- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 39
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】エキストラクター型と呼ばれる熱陰極型真空計
において、Ｘ線の発生に伴う光電子の圧力測定への悪影
響を無くして測定精度を向上させること。 【解決手段】Ｘ線が照射しない場所にコレクター電極が
設けられ、しかもコレクター電極にイオンが衝突するよ
うに、コレクター電極に対向した位置にリペラ電極が配
置される。
において、Ｘ線の発生に伴う光電子の圧力測定への悪影
響を無くして測定精度を向上させること。 【解決手段】Ｘ線が照射しない場所にコレクター電極が
設けられ、しかもコレクター電極にイオンが衝突するよ
うに、コレクター電極に対向した位置にリペラ電極が配
置される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超高真空及び極高
真空を測定する熱陰極型真空計に関するものである。
真空を測定する熱陰極型真空計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の熱陰極型真空計の概念を図４〜図
９に示し、図４に示すものは超高真空測定に一般的に使
用される真空計の例である。図示真空計は真空容器に備
えられたフランジＡに固定するようにされたフランジＢ
上に、螺旋状に巻いたグリッドＣ、線状のフィラメント
Ｄ及び線状のコレクター電極Ｅを有し、これらの構成要
素Ｃ、Ｄ、Ｅは各々図示してない電気配線でフランジＢ
に固定されている。図４に示す従来技術の真空計の動作
を図５を用いて説明する。フィラメントＤで発生した電
子は、フィラメントＤより高い電圧が加わったグリッド
Ｃに引き寄せられてＦで示す軌道で、グリッドＣ内外を
往復する。その間、空間の気体分子と衝突して気体分子
をイオン化する。グリッドＣ内でイオン化された気体イ
オンはグリッドＣよりも低い電圧が加わったコレクター
電極Ｅに引き寄せられて衝突する。Ｇはイオンの軌道を
示す。イオンの個数、ひいてはイオン電流値は真空計が
取り付けられた真空容器の圧力に比例するので、コレク
ター電極Ｅのイオン電流を測定することによって真空容
器の圧力を知ることができる。
９に示し、図４に示すものは超高真空測定に一般的に使
用される真空計の例である。図示真空計は真空容器に備
えられたフランジＡに固定するようにされたフランジＢ
上に、螺旋状に巻いたグリッドＣ、線状のフィラメント
Ｄ及び線状のコレクター電極Ｅを有し、これらの構成要
素Ｃ、Ｄ、Ｅは各々図示してない電気配線でフランジＢ
に固定されている。図４に示す従来技術の真空計の動作
を図５を用いて説明する。フィラメントＤで発生した電
子は、フィラメントＤより高い電圧が加わったグリッド
Ｃに引き寄せられてＦで示す軌道で、グリッドＣ内外を
往復する。その間、空間の気体分子と衝突して気体分子
をイオン化する。グリッドＣ内でイオン化された気体イ
オンはグリッドＣよりも低い電圧が加わったコレクター
電極Ｅに引き寄せられて衝突する。Ｇはイオンの軌道を
示す。イオンの個数、ひいてはイオン電流値は真空計が
取り付けられた真空容器の圧力に比例するので、コレク
ター電極Ｅのイオン電流を測定することによって真空容
器の圧力を知ることができる。
【０００３】図６には超高、極高真空測定に使用される
真空計の例を示す。この真空計は螺旋状に巻いたグリッ
ドＨ、円形のフィラメントＩ、線状のコレクター電極
Ｊ、平板に穴を設けた引出し電極Ｋ及び半球殻に穴を設
けたリペラ電極Ｌを有し、これらの構成要素は各々図示
されていない電気配線でフランジＢに固定されている。
この真空計は真空容器に備えられたフランジＡに固定し
て用いられる。図６に示す真空計の動作について図７を
用いて説明する。この真空計は、グリッドＨからグリッ
ドＨの外側にあるコレクター電極Ｊに向かって引出し電
極Ｋを用いてイオンを引出す、エキストラクター型と呼
ばれる真空計である。フィラメントＩで発生した電子
は、フィラメントＩより高い電圧が加わったグリッドＨ
に引き寄せられてＭで示す軌道に沿って、グリッドＨ内
外を往復する。その間、空間の気体分子と衝突して気体
分子をイオン化する。グリッドＨ内でイオン化された気
体イオンはグリッドＨよりも低い電圧が加わった引出し
電極Ｋの穴を通って図の下方に飛行する。気体イオンは
リペラ電極Ｌによって軌道を曲げられてコレクター電極
Ｊに引き寄せられて衝突する。Ｎはイオンの軌道を示
す。イオンの個数、ひいてはイオン電流値は真空計が取
り付けられた真空容器の圧力に比例するのでコレクター
電極Ｊのイオン電流を測定することによって真空容器の
圧力を知ることができる。
真空計の例を示す。この真空計は螺旋状に巻いたグリッ
ドＨ、円形のフィラメントＩ、線状のコレクター電極
Ｊ、平板に穴を設けた引出し電極Ｋ及び半球殻に穴を設
けたリペラ電極Ｌを有し、これらの構成要素は各々図示
されていない電気配線でフランジＢに固定されている。
この真空計は真空容器に備えられたフランジＡに固定し
て用いられる。図６に示す真空計の動作について図７を
用いて説明する。この真空計は、グリッドＨからグリッ
ドＨの外側にあるコレクター電極Ｊに向かって引出し電
極Ｋを用いてイオンを引出す、エキストラクター型と呼
ばれる真空計である。フィラメントＩで発生した電子
は、フィラメントＩより高い電圧が加わったグリッドＨ
に引き寄せられてＭで示す軌道に沿って、グリッドＨ内
外を往復する。その間、空間の気体分子と衝突して気体
分子をイオン化する。グリッドＨ内でイオン化された気
体イオンはグリッドＨよりも低い電圧が加わった引出し
電極Ｋの穴を通って図の下方に飛行する。気体イオンは
リペラ電極Ｌによって軌道を曲げられてコレクター電極
Ｊに引き寄せられて衝突する。Ｎはイオンの軌道を示
す。イオンの個数、ひいてはイオン電流値は真空計が取
り付けられた真空容器の圧力に比例するのでコレクター
電極Ｊのイオン電流を測定することによって真空容器の
圧力を知ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術において
は、測定されるイオン電流値は正確なものではなかっ
た。すなわち、フィラメントで発生した電子は、フィラ
メントより高い電圧が加わったグリッドに引き寄せられ
てグリッド内外を往復するが、最後にはグリッドに衝突
する。衝突した電子はグリッドでＸ線を発生することが
あり、そのＸ線の一部はコレクター電極に衝突して光電
子を発生する。この光電子がコレクター電極から逃げる
ために、測定されるコレクター電流値はイオン電流値と
光電子による電流の和となり、そのために正確な圧力を
計ることができなかった。光電子の圧力測定への悪影響
の度合いは圧力が低いほど大きくなる。このことは熱陰
極型真空計の圧力測定限界いわゆるＸ線限界として知ら
れている。図８及び図９には図４及び図６に示すような
従来の技術による真空計のＸ線照射及び光電子発生の概
念を示す。Ｏ、Ｐは各々Ｘ線及び光電子を示す。図８に
示すように図４の構成の真空計では長いコレクター電極
ＥがグリッドＣの中心にあるのでＸ線に照射されやす
く、そのために、光電子の圧力測定への悪影響は大き
い。図６に示す真空計では図９に示すように、コレクタ
ー電極ＪはグリッドＨから離して、しかも短く構成され
ているので、図４の構成の真空計に比べて光電子の圧力
測定への悪影響は小さいが、圧力の正確な測定に対する
影響は避けることができない。
は、測定されるイオン電流値は正確なものではなかっ
た。すなわち、フィラメントで発生した電子は、フィラ
メントより高い電圧が加わったグリッドに引き寄せられ
てグリッド内外を往復するが、最後にはグリッドに衝突
する。衝突した電子はグリッドでＸ線を発生することが
あり、そのＸ線の一部はコレクター電極に衝突して光電
子を発生する。この光電子がコレクター電極から逃げる
ために、測定されるコレクター電流値はイオン電流値と
光電子による電流の和となり、そのために正確な圧力を
計ることができなかった。光電子の圧力測定への悪影響
の度合いは圧力が低いほど大きくなる。このことは熱陰
極型真空計の圧力測定限界いわゆるＸ線限界として知ら
れている。図８及び図９には図４及び図６に示すような
従来の技術による真空計のＸ線照射及び光電子発生の概
念を示す。Ｏ、Ｐは各々Ｘ線及び光電子を示す。図８に
示すように図４の構成の真空計では長いコレクター電極
ＥがグリッドＣの中心にあるのでＸ線に照射されやす
く、そのために、光電子の圧力測定への悪影響は大き
い。図６に示す真空計では図９に示すように、コレクタ
ー電極ＪはグリッドＨから離して、しかも短く構成され
ているので、図４の構成の真空計に比べて光電子の圧力
測定への悪影響は小さいが、圧力の正確な測定に対する
影響は避けることができない。
【０００５】そこで、本発明は、エキストラクター型と
呼ばれる真空計に伴う上記の問題点を解決して、Ｘ線の
発生に伴う光電子の圧力測定への悪影響を無くした熱陰
極型真空計を提供することを目的としている。
呼ばれる真空計に伴う上記の問題点を解決して、Ｘ線の
発生に伴う光電子の圧力測定への悪影響を無くした熱陰
極型真空計を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による熱陰極型真空計は、引き出されるイ
オンの進行方向を反転させるリペラ電極を設け、このリ
ペラ電極と対向する位置で引出し電極のグリッド側と反
対の側にイオンを補集するコレクター電極を設けたこと
を特徴としている。すなわち、本発明による熱陰極型真
空計においては、Ｘ線が照射しない場所にコレクター電
極が設けられ、しかもコレクター電極にイオンが衝突す
るように、リペラ電極が配置される。好ましくは、引出
し電極は、中央の開口と、この開口の内周縁からコレク
ター電極の穴の縁部を覆うようにのびた円筒状部とを備
えることができる。また、リペラ電極の電位は引出し電
極及びコレクター電極の電位よりも高く維持され得る。
めに、本発明による熱陰極型真空計は、引き出されるイ
オンの進行方向を反転させるリペラ電極を設け、このリ
ペラ電極と対向する位置で引出し電極のグリッド側と反
対の側にイオンを補集するコレクター電極を設けたこと
を特徴としている。すなわち、本発明による熱陰極型真
空計においては、Ｘ線が照射しない場所にコレクター電
極が設けられ、しかもコレクター電極にイオンが衝突す
るように、リペラ電極が配置される。好ましくは、引出
し電極は、中央の開口と、この開口の内周縁からコレク
ター電極の穴の縁部を覆うようにのびた円筒状部とを備
えることができる。また、リペラ電極の電位は引出し電
極及びコレクター電極の電位よりも高く維持され得る。
【０００７】
【作用】このように構成した本発明の熱陰極型真空計に
おいては、Ｘ線が照射しない場所にコレクター電極を設
けているのでＸ線照射に伴う光電子はコレクター電極に
入らないようになる。またコレクター電極にイオンが入
るように、リペラ電極を配置しているので、コレクター
電流として測定される電流は、従来ではイオン電流と光
電子電流の和であったものがイオン電流のみとなり、圧
力測定を正確に行うことができるようになる。
おいては、Ｘ線が照射しない場所にコレクター電極を設
けているのでＸ線照射に伴う光電子はコレクター電極に
入らないようになる。またコレクター電極にイオンが入
るように、リペラ電極を配置しているので、コレクター
電流として測定される電流は、従来ではイオン電流と光
電子電流の和であったものがイオン電流のみとなり、圧
力測定を正確に行うことができるようになる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図３に示す実施例に
基き本発明の実施の形態について説明する。図１には超
高、極高真空測定に使用される本発明の真空計の一実施
例を示す。図示真空計はエキストラクター型のものであ
り、１は中心軸線上に沿って伸びる螺旋状に巻いたグリ
ッドであり、このグリッド１の軸線に方向に平行にかつ
その全高にわたって線状のフィラメント２が配置されて
いる。グリッド１及び線状のフィラメント２の下側すな
わち基部側には、穴のあいたリング状の平板コレクター
電極３が中心軸線に対して垂直な方向に配置されてい
る。このリング状の平板コレクター電極３とグリッド１
及び線状のフィラメント２の下端との間には、中央に開
口を備えた引出し電極４が設けられ、この引出し電極４
は、その中央の開口の端部から平板コレクター電極３の
穴のレベル付近までのびた円筒状部4aを備えている。さ
らにリング状の平板コレクター電極３の下側には、円盤
状リペラ電極５が設けられ、このリペラ電極５はその周
端からリング状の平板コレクター電極３の周端に向かっ
てのびる円筒状部5aと中央から平板コレクター電極３の
穴及び引出し電極４の中央の開口へ向かってのびる針状
または棒状突起部5bとを備えている。このようにして組
立てられた各構成要素は図示してない電気配線を介して
フランジ６に固定されて真空計を構成している。そして
グリッド１にはフィラメント２より高い電圧が印加さ
れ、またリペラ電極５の電位は、引出し電極４及びコレ
クター電極３の電位よりも高く維持されるようにされて
いる。この真空計は、フランジ６を真空容器に設けられ
た取付用フランジ７に固定することにより使用される。
基き本発明の実施の形態について説明する。図１には超
高、極高真空測定に使用される本発明の真空計の一実施
例を示す。図示真空計はエキストラクター型のものであ
り、１は中心軸線上に沿って伸びる螺旋状に巻いたグリ
ッドであり、このグリッド１の軸線に方向に平行にかつ
その全高にわたって線状のフィラメント２が配置されて
いる。グリッド１及び線状のフィラメント２の下側すな
わち基部側には、穴のあいたリング状の平板コレクター
電極３が中心軸線に対して垂直な方向に配置されてい
る。このリング状の平板コレクター電極３とグリッド１
及び線状のフィラメント２の下端との間には、中央に開
口を備えた引出し電極４が設けられ、この引出し電極４
は、その中央の開口の端部から平板コレクター電極３の
穴のレベル付近までのびた円筒状部4aを備えている。さ
らにリング状の平板コレクター電極３の下側には、円盤
状リペラ電極５が設けられ、このリペラ電極５はその周
端からリング状の平板コレクター電極３の周端に向かっ
てのびる円筒状部5aと中央から平板コレクター電極３の
穴及び引出し電極４の中央の開口へ向かってのびる針状
または棒状突起部5bとを備えている。このようにして組
立てられた各構成要素は図示してない電気配線を介して
フランジ６に固定されて真空計を構成している。そして
グリッド１にはフィラメント２より高い電圧が印加さ
れ、またリペラ電極５の電位は、引出し電極４及びコレ
クター電極３の電位よりも高く維持されるようにされて
いる。この真空計は、フランジ６を真空容器に設けられ
た取付用フランジ７に固定することにより使用される。
【０００９】このように構成した図示真空計の動作につ
いて図２を参照して説明する。フィラメント２で発生し
た電子は、フィラメント２より高い電圧が印加されたグ
リッド１に引き寄せられて８で示す軌道に沿って、グリ
ッド１の内外を往復する。その間、空間の気体分子と衝
突して気体分子をイオン化する。グリッド１内の空間で
イオン化された気体イオンはグリッド１よりも低い電圧
が印加された引出し電極４の開口を通って下方に飛行す
る。そして気体イオンは軌道９で示すようにリペラ電極
５によって軌道を反転させられ、コレクター電極３に引
き寄せれて衝突する。イオンの個数、ひいてはイオン電
流値は真空計の取付けられた真空容器の圧力に比例する
ので、コレクター電極３のイオン電流を測定することに
よって真空容器内の圧力を知ることができる。
いて図２を参照して説明する。フィラメント２で発生し
た電子は、フィラメント２より高い電圧が印加されたグ
リッド１に引き寄せられて８で示す軌道に沿って、グリ
ッド１の内外を往復する。その間、空間の気体分子と衝
突して気体分子をイオン化する。グリッド１内の空間で
イオン化された気体イオンはグリッド１よりも低い電圧
が印加された引出し電極４の開口を通って下方に飛行す
る。そして気体イオンは軌道９で示すようにリペラ電極
５によって軌道を反転させられ、コレクター電極３に引
き寄せれて衝突する。イオンの個数、ひいてはイオン電
流値は真空計の取付けられた真空容器の圧力に比例する
ので、コレクター電極３のイオン電流を測定することに
よって真空容器内の圧力を知ることができる。
【００１０】図３は図１の真空計におけるＸ線照射及び
光電子発生の概念図である。図面において10、11は各々
Ｘ線及び光電子を示す。グリッド１で発生したＸ線10は
円筒状部4aを備えた引出し電極４により遮られ、リング
状の平板コレクター電極３には照射しない。その結果、
コレクター電極３にはＸ線に伴う光電子電流は流れな
い。またグリッド１で発生したＸ線10の一部は平板コレ
クター電極３の穴及び引出し電極４の中央の開口を通っ
てリペラ電極５を照射するが、リペラ電極５で発生した
光電子11は、リペラ電極５の電位が、引出し電極４及び
コレクター電極３の電位よりも高いためにリペラ電極５
に戻りコレクター電極３に達することはなく、従ってコ
レクター電極３によるイオン電流値の測定に悪影響を与
えることはない。
光電子発生の概念図である。図面において10、11は各々
Ｘ線及び光電子を示す。グリッド１で発生したＸ線10は
円筒状部4aを備えた引出し電極４により遮られ、リング
状の平板コレクター電極３には照射しない。その結果、
コレクター電極３にはＸ線に伴う光電子電流は流れな
い。またグリッド１で発生したＸ線10の一部は平板コレ
クター電極３の穴及び引出し電極４の中央の開口を通っ
てリペラ電極５を照射するが、リペラ電極５で発生した
光電子11は、リペラ電極５の電位が、引出し電極４及び
コレクター電極３の電位よりも高いためにリペラ電極５
に戻りコレクター電極３に達することはなく、従ってコ
レクター電極３によるイオン電流値の測定に悪影響を与
えることはない。
【００１１】このように本発明による真空計では、従来
技術が図６に示されたように、コレクター電極に入るＸ
線をできるだけ少なくするよう工夫されていたのに対し
てＸ線がコレクター電極３に入らないようにしており、
またＸ線が入らないように設置されたコレクター電極３
にイオンが入るようにリペラ電極５でイオン軌道を反転
させてコレクター電極３に集めるようにしている。従っ
て、イオンが反転してコレクター電極３に入るように機
能するリペラ電極であれば、その形状は図１のものに限
定されるものではなく、例えばリペラ電極はメッシュで
もよい。またリペラ電極の突起部は半球状でもコーン状
でも構わない。また、リペラ電極周端の円筒状部5aは、
イオンがリペラ電極とコレクター電極の間を通って逃げ
るのを防ぐために設けたものである。リペラ電極とコレ
クター電極の間の隙間が小さい場合や、リペラ電極の電
圧が高く、イオンが逃げにくいようであれば円筒状部5a
はなくても構わない。さらにコレクター電極についても
イオンが入りかつＸ線照射がないような形状であれば円
盤状以外の形状に構成することもできる。
技術が図６に示されたように、コレクター電極に入るＸ
線をできるだけ少なくするよう工夫されていたのに対し
てＸ線がコレクター電極３に入らないようにしており、
またＸ線が入らないように設置されたコレクター電極３
にイオンが入るようにリペラ電極５でイオン軌道を反転
させてコレクター電極３に集めるようにしている。従っ
て、イオンが反転してコレクター電極３に入るように機
能するリペラ電極であれば、その形状は図１のものに限
定されるものではなく、例えばリペラ電極はメッシュで
もよい。またリペラ電極の突起部は半球状でもコーン状
でも構わない。また、リペラ電極周端の円筒状部5aは、
イオンがリペラ電極とコレクター電極の間を通って逃げ
るのを防ぐために設けたものである。リペラ電極とコレ
クター電極の間の隙間が小さい場合や、リペラ電極の電
圧が高く、イオンが逃げにくいようであれば円筒状部5a
はなくても構わない。さらにコレクター電極についても
イオンが入りかつＸ線照射がないような形状であれば円
盤状以外の形状に構成することもできる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明してきたように本発明による真
空計においては、Ｘ線が照射しない場所にコレクター電
極を設けてＸ線照射に伴う光電子がコレクター電極に入
らないようにすると共に、コレクター電極にはイオンが
入るように、リペラ電極を配置して、コレクター電極電
流として測定される電流が従来技術ではイオン電流と光
電子電流の和であったものをイオン電流のみにすること
ができ、その結果圧力測定を正確に行うことができるよ
うになる。
空計においては、Ｘ線が照射しない場所にコレクター電
極を設けてＸ線照射に伴う光電子がコレクター電極に入
らないようにすると共に、コレクター電極にはイオンが
入るように、リペラ電極を配置して、コレクター電極電
流として測定される電流が従来技術ではイオン電流と光
電子電流の和であったものをイオン電流のみにすること
ができ、その結果圧力測定を正確に行うことができるよ
うになる。
【図１】 本発明の真空計の一実施例を示す概略線図。
【図２】 図１に示す真空計の動作説明図。
【図３】 図１に示す真空計におけるＸ線照射及び光電
子発生の概念を示す説明図。
子発生の概念を示す説明図。
【図４】 従来の熱陰極型真空計を示す概略線図。
【図５】 図４の真空計の動作説明図。
【図６】 従来のエキストラクター型の熱陰極型真空計
を示す概略線図。
を示す概略線図。
【図７】 図６の真空計の動作説明図。
【図８】 図４に示す真空計におけるＸ線照射及び光電
子発生の概念を示す説明図。
子発生の概念を示す説明図。
【図９】 図６に示す真空計におけるＸ線照射及び光電
子発生の概念を示す説明図。
子発生の概念を示す説明図。
１：グリッド ２：フィラメント ３：コレクター電極 ４：引出し電極 ５：リペラ電極 ６：フランジ ７：真空容器のフランジ ８：電子の軌道 ９：イオンの軌道 10：Ｘ線 11：光電子
Claims (3)
- 【請求項１】 グリッドからコレクター電極に向かって
引出し電極によりイオンを引出すようにしたエキストラ
クター型の熱陰極真空計において、引き出されるイオン
の進行方向を反転させるリペラ電極を設け、このリペラ
電極と対向する位置で引出し電極のグリッド側と反対の
側にイオンを補集するコレクター電極を設けたことを特
徴とする熱陰極型真空計。 - 【請求項２】 引出し電極が中央の開口と、この開口の
内周縁からコレクター電極の穴の縁部を覆うようにのび
た円筒状部とを備えている請求項１に記載の熱陰極型真
空計。 - 【請求項３】 リペラ電極の電位が引出し電極及びコレ
クター電極の電位よりも高く維持されている請求項１に
記載の熱陰極型真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22323395A JPH0968473A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 熱陰極型真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22323395A JPH0968473A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 熱陰極型真空計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0968473A true JPH0968473A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16794891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22323395A Pending JPH0968473A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 熱陰極型真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0968473A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998050768A1 (en) * | 1997-05-09 | 1998-11-12 | The Fredericks Company | Bayard-alpert vacuum gauge with neutralization of x-ray effect |
| JP2005062167A (ja) * | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Varian Spa | 電離真空計 |
| JP2005062176A (ja) * | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Varian Spa | 電離真空計 |
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