JPH0969350A - 走査電子顕微鏡の光軸合わせ装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡の光軸合わせ装置Info
- Publication number
- JPH0969350A JPH0969350A JP7222991A JP22299195A JPH0969350A JP H0969350 A JPH0969350 A JP H0969350A JP 7222991 A JP7222991 A JP 7222991A JP 22299195 A JP22299195 A JP 22299195A JP H0969350 A JPH0969350 A JP H0969350A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- center
- image
- optical axis
- electron beam
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】表示されている画像の絞り４の中心を自動的に
検出し、電子線１が絞り４の中心を通過するようにする
光軸合わせの手段５，６を設けた。また、画像の絞り４
の中心を指定する手段を設けた。 【効果】走査電子顕微鏡及び類似装置で、電子線が絞り
中心を通過するようにする光軸合わせの自動化が可能と
なる。
検出し、電子線１が絞り４の中心を通過するようにする
光軸合わせの手段５，６を設けた。また、画像の絞り４
の中心を指定する手段を設けた。 【効果】走査電子顕微鏡及び類似装置で、電子線が絞り
中心を通過するようにする光軸合わせの自動化が可能と
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査電子顕微鏡の光軸合
わせ装置に関する。
わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子線を絞り中心を通過させる方法は、
絞りを直接移動させるか、電気的手段による軸合わせ方
法が用いられているが、最終確認は目視により行われて
いる。
絞りを直接移動させるか、電気的手段による軸合わせ方
法が用いられているが、最終確認は目視により行われて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】走査電子顕微鏡で、電
子線の軸合わせは必要不可欠であり、目視で軸合わせを
行うことは画像結果がオペレータにより異なり信頼性が
低下し、さらに操作の全自動化の妨げになる。
子線の軸合わせは必要不可欠であり、目視で軸合わせを
行うことは画像結果がオペレータにより異なり信頼性が
低下し、さらに操作の全自動化の妨げになる。
【０００４】本発明の目的は画像の絞り中心を検出し自
動的に光軸合わせすることにある。
動的に光軸合わせすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は表示されている画像の絞り中心を自動的に
検出し、電子線が絞り中心を通過するようにする手段と
画像の絞り中心を指定する手段とを設けた。
に、本発明は表示されている画像の絞り中心を自動的に
検出し、電子線が絞り中心を通過するようにする手段と
画像の絞り中心を指定する手段とを設けた。
【０００６】
【作用】表示されている画像の絞り中心を自動的に検出
し、自動的に電子線が絞り中心を通過するようにするこ
とにより操作性及び信頼性が向上する。
し、自動的に電子線が絞り中心を通過するようにするこ
とにより操作性及び信頼性が向上する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図１から図４を用いて説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明を実施する装置のブロック図
である。電子線１は、走査コイル３ｘ，３ｙにより絞り
４上をＸ，Ｙ方向に走査される。走査コイル３ｘ，３ｙ
には水平走査信号発生部７，垂直走査信号発生部８から
の走査信号が供給される。走査像表示に用いるＣＲＴ１
０の走査コイル９ｘ，９ｙには水平走査信号発生部７，
垂直走査信号発生部８からの走査信号が供給される。ま
た、検出器１１で検出された検出信号が、画像メモリ１
２及びＣＲＴ１０に輝度信号として供給されるのでＣＲ
Ｔ１０に走査像が表示される。ＣＰＵ１３は画像メモリ
１２に取り込まれた走査像を解析し絞り中心を検出し、
水平偏向信号発生部５，垂直偏向信号発生部６を制御
し、偏向コイル２ｘ，２ｙへ偏向信号を供給することに
より、電子線１を絞り４の中心位置で通過させることが
できる。
である。電子線１は、走査コイル３ｘ，３ｙにより絞り
４上をＸ，Ｙ方向に走査される。走査コイル３ｘ，３ｙ
には水平走査信号発生部７，垂直走査信号発生部８から
の走査信号が供給される。走査像表示に用いるＣＲＴ１
０の走査コイル９ｘ，９ｙには水平走査信号発生部７，
垂直走査信号発生部８からの走査信号が供給される。ま
た、検出器１１で検出された検出信号が、画像メモリ１
２及びＣＲＴ１０に輝度信号として供給されるのでＣＲ
Ｔ１０に走査像が表示される。ＣＰＵ１３は画像メモリ
１２に取り込まれた走査像を解析し絞り中心を検出し、
水平偏向信号発生部５，垂直偏向信号発生部６を制御
し、偏向コイル２ｘ，２ｙへ偏向信号を供給することに
より、電子線１を絞り４の中心位置で通過させることが
できる。
【０００９】図２は絞り中心を自動的に検出する一実施
例を示す説明図である。電子線１は絞り４上を走査する
ため、ＣＲＴ画像は図３（Ａ）となり、垂直座標ｙｉに
対する画像メモリの信号強度は図３（Ｂ）となる。電子
線１が絞り４上の孔の直径を走査するとき輝度が最大と
なるため、ＣＵＰ１３は画像メモリ１２の水平座標に対
する垂直方向の輝度が最大となる水平座標を求め、か
つ、垂直座標に対する水平方向の輝度が最大となる垂直
座標を求める。求めた座標を絞り４の中心座標とし、画
像中心との差から偏向量を求め、水平偏向信号発生部
５，垂直偏向信号発生部６に偏向信号を供給することに
より、電子線１が絞り４の中心を通過するように光軸合
わせができ、ＣＲＴ画像は図３（Ｃ）となる。
例を示す説明図である。電子線１は絞り４上を走査する
ため、ＣＲＴ画像は図３（Ａ）となり、垂直座標ｙｉに
対する画像メモリの信号強度は図３（Ｂ）となる。電子
線１が絞り４上の孔の直径を走査するとき輝度が最大と
なるため、ＣＵＰ１３は画像メモリ１２の水平座標に対
する垂直方向の輝度が最大となる水平座標を求め、か
つ、垂直座標に対する水平方向の輝度が最大となる垂直
座標を求める。求めた座標を絞り４の中心座標とし、画
像中心との差から偏向量を求め、水平偏向信号発生部
５，垂直偏向信号発生部６に偏向信号を供給することに
より、電子線１が絞り４の中心を通過するように光軸合
わせができ、ＣＲＴ画像は図３（Ｃ）となる。
【００１０】絞り４の中心座標の代わりに、図４（Ａ）
に示すようにマーク１４で座標を指定することにより、
前述と同様に、電子線１が絞り４の中心を通過するよう
に光軸合わせができ、ＣＲＴ画像は図４（Ｂ）となる。
に示すようにマーク１４で座標を指定することにより、
前述と同様に、電子線１が絞り４の中心を通過するよう
に光軸合わせができ、ＣＲＴ画像は図４（Ｂ）となる。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、走査電子顕微鏡及び類
似装置で、電子線を絞りの中心で通過するようにする光
軸合わせの自動化が可能となる。
似装置で、電子線を絞りの中心で通過するようにする光
軸合わせの自動化が可能となる。
【図１】本発明を実施する装置のブロック図。
【図２】自動光軸合わせの説明図。
【図３】ＣＲＴ像と信号強度の関係の説明図。
【図４】座標指定光軸合わせの説明図。
１…電子線、２ｘ，２ｙ…偏向コイル、３ｘ，３ｙ…走
査コイル、４…絞り、５…水平偏向信号発生部、６…垂
直偏向信号発生部、７…水平走査信号発生部、８…垂直
走査信号発生部、９ｘ，９ｙ…ＣＲＴの走査コイル、１
０…ＣＲＴ、１１…検出器、１２…画像メモリ、１３…
ＣＰＵ、１４…座標を指定するマーク。
査コイル、４…絞り、５…水平偏向信号発生部、６…垂
直偏向信号発生部、７…水平走査信号発生部、８…垂直
走査信号発生部、９ｘ，９ｙ…ＣＲＴの走査コイル、１
０…ＣＲＴ、１１…検出器、１２…画像メモリ、１３…
ＣＰＵ、１４…座標を指定するマーク。
Claims (3)
- 【請求項１】電子線を絞り上で走査する手段と、前記電
子線の走査に同期して画像を表示する表示手段と、直交
する電子線偏向手段と、偏向信号発生手段、前記偏向信
号発生手段の出力を変化させ供給する手段を備え、前記
偏向信号の出力を変化させて前記電子線を偏向できるよ
うに構成した走査電子顕微鏡において、表示されている
画像の絞り中心を検出し、前記偏向信号の出力を変化さ
せ、前記電子線が絞り中心を通過するようにする機能を
備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡の光軸合わせ装
置。 - 【請求項２】請求項１において、前記画像の輝度信号の
変化を検出して絞り中心を検出する手段を設けた走査電
子顕微鏡の光軸合わせ装置。 - 【請求項３】請求項２において、前記検出すべき絞り中
心を画像上で指定できるようにした走査電子顕微鏡の光
軸合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222991A JPH0969350A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 走査電子顕微鏡の光軸合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222991A JPH0969350A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 走査電子顕微鏡の光軸合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0969350A true JPH0969350A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16791098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7222991A Pending JPH0969350A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 走査電子顕微鏡の光軸合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0969350A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8026491B2 (en) * | 2006-03-08 | 2011-09-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus and method for charged particle beam adjustment |
| JP2020526872A (ja) * | 2017-06-29 | 2020-08-31 | ケーエルエー コーポレイション | 走査電子顕微鏡対物レンズ較正 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP7222991A patent/JPH0969350A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8026491B2 (en) * | 2006-03-08 | 2011-09-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus and method for charged particle beam adjustment |
| JP2020526872A (ja) * | 2017-06-29 | 2020-08-31 | ケーエルエー コーポレイション | 走査電子顕微鏡対物レンズ較正 |
| EP3635468A4 (en) * | 2017-06-29 | 2021-03-10 | Kla-Tencor Corporation | CALIBRATING A LENSING LENS OF A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |