JPH0969547A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は基板を保持するフィンガの位置決
め調整を精度よく確実に行えるようにした搬送装置を提
供することにある。 【解決手段】 第１、第２のア−ム体３、４の先端部に
ア−ム体の長手方向に沿ってスライド自在かつ任意のス
ライド位置で固定可能に設けられているとともにフィン
ガ２８、２９が取り付けられた取付板１６、１７と、こ
の取付板のスライド方向一端側に取付板のスライド方向
に沿って所定の位置で固定可能に設けられた調整板２
１、２２と、上記各ア−ム体の先端部に所定の間隔で設
けられ上記取付板をスライドさせることでそのスライド
方向に応じて上記取付板の他端側または上記調整板に当
接して上記フィンガを位置決めする２本で対をなす２組
の位置決めピン２５、２６とを具備したことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はフィンガの爪部を
基板の幅方向両側に係合させて上記基板を搬送する搬送
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置を製造する場
合、そのガラス基板にリソグラフィ−技術によって回路
パタ−ンを形成する工程がある。その場合、上記基板に
はレジストの塗布、露光、現像、エッチングなどの工程
が順次繰り返して行われ、エッチングが終了した基板は
レジストが除去されて洗浄工程で洗浄される。

【０００３】上記工程のうち、複数の工程を１つのライ
ンで連続して行えるようにするため、複数のプロセスチ
ャンバを隣接させて設置するということが行われてい
る。その場合、上流側のプロセスから下流側のプロセス
に上記基板を受け渡すための搬送装置が用いられてい
る。

【０００４】１つの連続したラインにおいて、上記基板
を上流側のプロセスから下流側のプロセスへ順次受け渡
す場合、上記基板は搬送方向と直交する幅方向の中心線
を基準として受け渡すことで、各プロセスにおける位置
決めがなされるようになっている。

【０００５】そのような搬送装置としては以下の構成の
ものがある。つまり、搬送装置は一対のア−ム体を有
し、各ア−ム体の先端には爪部が形成されたそれぞれ一
対のフィンガが取り付けられている。上記一対のア−ム
体は開閉駆動（逆方向にスライド駆動）され、それによ
って上記フィンガの爪部を上記基板の幅方向両側に係合
させることで上記基板を保持し、下流側のプロセスに受
け渡すようになっている。

【０００６】ところで、上記ラインに供給される液晶表
示装置のガラス基板は、そのサイズが変更になることが
ある。その場合、一対のア−ム体の先端部に設けられた
フィンガの位置を調整することで、そのサイズ変更に対
応するようにしている。具体的には、上記フィンガは取
付板に固着され、この取付板の幅方向両側には上記ア−
ム体の長手方向に沿う長孔が形成されている。

【０００７】上記取付板は上記ア−ム体の先端部に上記
長孔を介してねじによってスライド自在かつ任意のスラ
イド位置で固定できるように設けられている。したがっ
て、上記基板のサイズが変更になったならば、上記取付
板をア−ム体の長手方向に沿ってスライドさせること
で、一対のア−ム体に設けられたフィンガの間隔を調整
するようにしている。

【０００８】上記ラインに供給される基板の幅寸法が２
通りである場合、上記ア−ム体の先端部には長手方向に
沿って所定の間隔で２本で対をなす２組のピンを突設
し、基板のサイズが変更になったならば、上記取付板を
２組のピンのどちらか一方の組の２本のピンに当接する
までスライドさせ、サイズの変更に応じて一対のフィン
ガの間隔を調整するということが考えられている。つま
り、各一対の２組のピンは、２種類の基板の寸法差の２
分の１に応じた寸法で上記取付板をスライドさせること
ができる間隔で上記ア−ム体の長手方向に沿って突設さ
れている。

【０００９】ところで、上記構成の挟持搬送装置は、フ
ィンガによって基板の幅方向両側を挟持する構成である
ため、上記フィンガが設けられる一対のア−ム体の少な
くとも一方は基板の幅寸法よりも長尺になることが避け
られない。ア−ム体が長尺であると、その長さ寸法に誤
差が生じ易くなるから、ア−ム体に突設されるピンの位
置精度も低下する。

【００１０】そのような状態で、フィンガが設けられた
一対の取付板をア−ム体に突設されたピンに当接させて
位置決めしても、一対の取付板に設けられたフィンガの
間隔が基板の幅寸法（サイズ）に対して誤差が生じるこ
とになる。その結果、基板を搬送する際、各フインガに
設けられた爪部が上記基板の幅方向両側から外れたり、
確実に係合しないなどのことがあり、基板の保持状態が
不確実になる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の搬
送装置においては、基板のサイズが変更になった場合、
フィンガが設けられた取付板をア−ム体に突設されたピ
ンに当接させて位置決めするだけでは、上記基板のサイ
ズ変更に応じて一対の取付板に設けられたフィンガの間
隔を精度よく、かつ容易に設定できないということがあ
る。

【００１２】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、基板のサイズが変更にな
った場合、そのサイズ変更に応じて一対のフィンガの間
隔を容易かつ高精度に位置決めできるようにした搬送装
置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１の発明は、先端部にそれぞれフィンガが設け
られた第１のア−ム体と第２のア−ム体とを有し、これ
らア−ム体を逆方向にスライド駆動することで、上記一
対のフィンガによって基板の幅方向両側を保持して搬送
する搬送装置において、上記各ア−ム体の先端部にア−
ム体の長手方向に沿ってスライド自在かつ任意のスライ
ド位置で固定可能に設けられているとともに上記フィン
ガが取り付けられた取付板と、この取付板のスライド方
向一端側に取付板のスライド方向に沿って所定の位置で
固定可能に設けられた調整板と、上記各ア−ム体の先端
部に所定の間隔で設けられ上記取付板をスライドさせる
ことでそのスライド方向に応じて上記取付板の他端側ま
たは上記調整板に当接して上記フィンガを位置決めする
２本で対をなす２組の位置決めピンとを具備したことを
特徴とする。

【００１４】請求項１の発明によれば、取付板に対する
調整板の固定位置を調整すれば、位置決めピンにより位
置決めされる取付板の位置を調整できるから、ア−ム体
の長さや、ア−ム体に設けられるピンの位置に誤差が生
じても、その誤差を吸収してフィンガの間隔を基板のサ
イズ変更に応じて設定することができる。

【００１５】

【発明の実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。図２に乃至図４に示すこの発明の
搬送装置は矩形状のベ−ス板１を備えている。このベ−
ス板１は図示しない駆動機構によってＸ、Ｙ、Ｚの三次
元方向に駆動されるようになっている。

【００１６】上記ベ−ス板１上には図３と図４に示すよ
うに直線ガイド２が長手方向に沿って設けられている。
この直線ガイド２には第１のア−ム体３と第２のア−ム
体４とがスライド自在に設けられている。すなわち、第
１のア−ム体３と第２のア−ム体４はそれぞれ所定間隔
で平行に離間対向した２本のア−ム３ａ、４ａを有す
る。第１のア−ム体３のア−ム３ａは、第２のア−ム体
４に比べて長尺に形成されているとともに大きな間隔で
離間し、その内側に上記第２のア−ム体４が配置されて
いる。

【００１７】上記第１のア−ム体３のア−ム３ａの基端
部は長手方向に所定間隔で離間した一対の第１の連結板
５によって連結され、第２のア−ム体４の基端部は、同
じく長手方向に所定間隔で離間した一対の第２の連結板
６によって連結されている。第１のア−ム体３の第１の
連結板５の下面には上記直線ガイド２にスライド自在に
係合した第１のスライダ７が設けられ、第２のア−ム体
４の連結板６には同じく直線ガイド２にスライド自在に
係合した第２のスライダ８が設けられている。さらに、
上記直線ガイド２には末端側の第１のスライダ７と先端
側の第２のスライダ８との間に第３のスライダ９がスラ
イド自在に設けられている。

【００１８】上記第１のア−ム体３と第２のア−ム体４
とは駆動機構１１により上記直線ガイド２に沿ってスラ
イド駆動されるようになっている。つまり、上記駆動機
構１１は、図３と図５に示すように上記各ア−ム体３、
４の基端部の側方に配置された駆動源としての回転シリ
ンダ１２を有する。この回転シリンダ１２の回転軸１２
ａには回転盤１３が取り付けられている。

【００１９】上記回転盤１３にはコ字状をなした第１の
リンク１４と第２のリンク１５との一端が周方向に１８
０度ずれて枢着されている。第１のリンク１４の他端は
第１のア−ム体３の末端に設けられた上記第１の連結板
５に枢着され、第２のリンク１５の他端は第２のア−ム
体４の末端に設けられた上記第２の連結板６に枢着され
ている。上記回転シリンダ１２の回転盤１３は周方向に
９０度の範囲で回転駆動されるようになっている。

【００２０】上記回転盤１３が図５に示す状態から矢印
方向へ９０度回転駆動されると、上記第１、第２のリン
ク１４、１５が同図に実線で示す状態から鎖線で示すよ
うに変位する。それによって、第１のア−ム体３は前進
方向に駆動され、第２のア−ム体４は後退方向に駆動さ
れから、一対のア−ム体３、４の先端の間隔が増大する
ことになる。その状態から上記回転盤１３が逆方向に９
０度回転駆動されれば、第１のア−ム体３が後退し、第
２のア−ム体４が前進するから、一対のア−ム体３、４
の先端の間隔は元に戻る、つまり縮小することになる。
すなわち、一対のア−ム体３、４は上記回転盤１３の回
転によって所定のストロ−クでスライド駆動（開閉駆
動）されるようになっている。

【００２１】図６に示すように第１のア−ム体３の一対
のア−ム３ａの先端間には第１の取付板１６が取り付け
られ、第２のア−ム体４の一対のア−ム４ａの先端間に
は第２の取付板１７が取り付けられている。

【００２２】つまり、各取付板１６、１７の幅方向両側
には、図１および図６に示すように長手方向に沿う第１
の長孔１８が形成されている。この第１の長孔１８には
蝶ねじ１９が挿通され、各ア−ム体３、４のア−ム３
ａ、４ａに螺合されている。したがって、上記各取付板
１６、１７は上記第１の長孔１８が蝶ねじ１９に沿って
スライド自在、つまりア−ム３ａ、４ａの長手方向に沿
ってスライド自在であり、しかも任意のスライド位置で
上記蝶ねじ１９を締め込むことで、固定できるようにな
っている。

【００２３】各取付板１６、１７の前後方向一端側、こ
の実施形態では前端側の上面には第１、第２の調整板２
１、２２がそれぞれ上記取付板１６、１７の長手方向に
沿ってスライド自在かつ任意のスライド位置で固定可能
に設けられている。つまり、各調整板２１、２２の幅方
向両端部にはア−ム体３、４の長手方向に沿う第２の長
孔２３が形成されている。この長孔２３にはねじ２４が
挿通され、上記各取付板１６、１７に捩じ込まれてい
る。

【００２４】したがって、上記各調整板２１、２２は第
２の長孔２３が上記ねじ２４にガイドされてスライド自
在であるとともに、上記ねじ２４を締め込むことで、任
意のスライド位置で上記取付板１６、１７に固定できる
ようになっている。

【００２５】各ア−ム体３、４の２本のア−ム３ａ、４
ａの先端部分の上面には、各取付板１６、１７の長さ寸
法よりも大きな間隔で前進ピン２５と後退ピン２６とが
突設されている。つまり、各ア−ム体３、４の前進ピン
２５と後退ピン２６とはそれぞれ２本で対をなしてい
る。

【００２６】上記前進ピン２５は、各取付板１６、１７
をア−ム３ａ、４ａの先端方向（前進方向）へスライド
させたときにそれぞれ調整板２１、２２に当接してその
スライドを規制し、後退ピン２６は後退方向へスライド
させたときに上記取付板１６、１７の後端側の側辺に当
接してそのスライドを規制するようになっている。

【００２７】上記各取付板１６、１７の先端には図７に
示すように保持板２７が垂設されている。第１の取付板
１６から垂設された保持板２７の下端部の幅方向両端部
には一対の第１のフィンガ２８が設けられ、第２の取付
板１７から垂設された保持板２７の下端部の幅方向両端
部には一対の第２のフィンガ２９が設けられている。各
フィンガ２８、２９の下端部には爪部２８ａ、２９ａが
Ｌ字状に形成されている。

【００２８】各一対の第１のフィンガ２８と第２のフィ
ンガ２９との爪部２８ａ、２９ａによって図６に実線で
示す液晶用のガラス基板３１の幅方向両側が係合保持さ
れるようになっている。

【００２９】上記第１のア−ム体３と第２のア−ム体４
とは所定のストロ−クでスライドさせられる。そのた
め、上記基板３１が図６に実線で示すサイズから鎖線で
示すように幅寸法の小さなサイズの基板３１ａに変更に
なった場合には、上記第１の取付板１６と第２の取付板
１７との取付け位置を図６に矢印で示すように互いに接
近する方向へスライドさせることで、第１のフィンガ２
８と第２のフィンガ２９との間隔を上記基板３１ａの幅
寸法とほぼ同じになるよう、後述するごとく設定され
る。

【００３０】図３と図４に示すように上記第３のスライ
ダ９には受け部材３５が設けられ、この第３のスライダ
３５の後方に位置する第１のスライダ７には押圧部材３
６が設けられている。第１のア−ム体３が前進方向に駆
動されてその動きに上記第１のスライダ７が連動する
と、上記押圧部材３６が上記受け部材３５を押圧して上
記第３のスライダ９を前進方向へスライドさせる。

【００３１】上記第３のスライダ７の上面には各ア−ム
体３、４と平行に配置された一対の駆動リンク４１の一
端が枢着されている。各駆動リンク４１の他端には連動
リンク４２の一端が枢着されている。連動リンク４２は
上記駆動リンク４１に対してほぼ９０度の角度をなして
いて、その中途部は支軸４２ａによって上記ベ−ス１に
枢着されている。

【００３２】上記連動リンク４２の一端部と上記ベ−ス
１との間には上記連動リンク４２を図２に矢印で示す方
向、つまり一対の連動リンク４２の先端部を接近する方
向に付勢するばね４３が張設されている。

【００３３】上記連動リンク４２の他端には整列ア−ム
４４の基端部が取り付けられている。整列ア−ム４４は
上記各ア−ム体３、４の長手方向に沿って配置されてい
て、その先端部にはゴムなどの弾性材料からなる保持部
材４５が設けられている。

【００３４】上記第３のスライダ９が第１のスライダ７
に押圧されて前進方向にスライドし、それに駆動リンク
４１が連動することで、上記連動リンク４２の一端部を
前進方向へ押圧する。それによって、一対の連動リンク
４２はばね４３の復元力に抗して中途部の支軸４２ａを
支点とし、図２に矢印で示す方向と逆方向に回動するか
ら、連動リンク４２に基端部が固着された一対の整列ア
−ム４３は先端部が離反する方向（開方向）へ回動す
る。

【００３５】上記第３のスライダ９が後退方向へスライ
ドすると、上記連動リンク４２は上記ばね４３の復元力
によって閉じる方向へ回動する。それによって、上記第
１のフィンガ２８と第２のフィンガ２９との爪部２８
ａ、２９ａによって幅方向両側が係合保持された基板３
１、３１ａの長手方向両側に整列ア−ム４４の先端部に
設けられた保持部材４５が当接し、上記基板３１、３１
ａが長手方向にスライドするのを阻止するようになって
いる。

【００３６】上記構成の挟持搬送装置によれば、挟持搬
送する基板のサイズが変更になった場合には、第１の取
付板１６に設けられた一対の第１のフィンガ２８と、第
２の取付板１７に設けられた一対の第２のフィンガ２９
との間隔を、サイズ変更に応じた基板の幅寸法の差に応
じて変更する。

【００３７】たとえば、図１に実線で示す基板３１がそ
れよりも幅寸法の小さな基板３１ａに変更になる場合に
は、第１の取付板１６を第１のア−ム体３の基端側へス
ライドさせ、第２の取付板１７を第２のア−ム体４の先
端側へスライドさせる。各取付板１６、１７のスライド
寸法は基板３１と基板３１ａの幅寸法の２分の１とな
る。

【００３８】つまり、第１の取付板１６はその後側が後
退ピン２６に当接するまでスライドさせて固定し、第２
の取付板１７は第２の調整板２２が前進ピン２５に当接
するまで前進させる。それによって、各取付板１６、１
７に設けられた第１のフィンガ２８と第２のフィンガ２
９との間隔を基板３１ａの幅寸法とほぼ同じに設定でき
る。

【００３９】ところで、各ア−ム体３、４がそれぞれ長
尺なア−ム３ａ、４ａによって形成されているから、そ
の長さ寸法に誤差が生じ易く、また組立時にも誤差が生
じやすい。そのため、各ア−ム３ａ、４ａの先端部に突
設される前進ピン２５と後退ピン２６との位置にも誤差
が生じることがあり、そのような場合には基板３１ａの
側部に係合しないフィンガ２８、２９があり、上記基板
３１ａの保持状態が不安定になる。

【００４０】しかしながら、上記各取付板１６、１７に
は調整板２１、２２が位置決め調整自在に設けられてい
る。そのため、予め、上記調整板２１、２２の上記各取
付板１６、１７に対する取付け位置を調整しておくこと
で、上述した種々の誤差を吸収して各一対の第１のフィ
ンガ２８と第２のフィンガ２９との間隔を、基板３１あ
るいは基板３１ａの幅寸法とほぼ同じに設定することが
できる。つまり、各フィンガ２８、２９の爪部２８ａ、
２９ａを基板３１、３１ａの両側に確実に係合させるこ
とが可能となる。

【００４１】すなわち、第１の取付板１６に対する第１
の調整板２１の取付け位置を調整することで、この第１
の調整板２１を前進ピン２５に当接位置決めし、第２の
取付板１７を後退ピン２６に当接位置決めした状態で基
板３１を保持するときのフィンガ２８、２９の間隔を精
密に設定することができる。

【００４２】また、第２の取付板１７に対する第２の調
整板２２の取付け位置を調整することで、この第２の調
整板２２を前進ピン２５に当接位置決めし、第１の調整
板２１を後退ピン２６に当接位置決めした状態で基板３
１ａを保持するときのフィンガ２７、２９の間隔を精密
に設定することができる。

【００４３】したがって、各取付板１６、１７に調整板
２１、２２を位置決め調整自在に設けるという簡単な構
成で、基板３１、３１ａをフィンガ２８、２９によって
確実に、係合保持することができる。

【００４４】しかも、各調整板２１、２２は各ア−ム体
３、４の長さ方向だけでなく、長さ方向と交差する傾き
方向の位置決めも行えるから、一対のフィンガ２８また
は２９の傾き方向の調整を行うこともできる。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように請求項１に記載された
発明は、フィンガが取り付けられる取付板をア−ム体の
長手方向に沿ってスライド自在かつ任意の位置で固定で
きるように設けるとともに、上記取付板には調整板を取
付板のスライド方向に沿って所定の位置で固定可能に設
け、上記ア−ム体の先端部に突設されたピンに上記取付
板または上記調整板を当接させることで、上記フィンガ
を位置決めするようにした。

【００４６】そのため、ア−ム体の長さ寸法や組立精度
などから生じる誤差によって上記ピンの位置に誤差が生
じても、基板のサイズ変更によってフィンガの間隔を変
える場合に、上記取付板に対する調整板の取付け位置を
調整することで、上記誤差を吸収し、フィンガの間隔を
高精度に位置決めできる。それによって、上記フィンガ
による基板の保持状態が不確実になるのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態を示すア−ム体の先端部
の斜視図。

【図２】同じく一対のア−ム体の概略的構成を示す平面
図。

【図３】同じくア−ム体の基端側の部分の構成を示す平
面図。

【図４】同じく側面図。

【図５】同じく図３のＶ−Ｖ線に沿う駆動機構の側面
図。

【図６】同じくア−ム体の先端部分の平面図。

【図７】同じく側面図。

【符号の説明】

３…第１のア−ム体、４…第２のア−ム体、１６…第１
の取付板、１７…第２の取付板、２１…第１の調整板、
２２…第２の調整板、２５…前進ピン（位置決めピ
ン）、２６…後退ピン（位置決めピン）、２８…第１の
フィンガ、２９…第２のフィンガ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 先端部にそれぞれフィンガが設けられた
   第１のア−ム体と第２のア−ム体とを有し、これらア−
   ム体を逆方向にスライド駆動することで、上記一対のフ
   ィンガによって基板の幅方向両側を保持して搬送する搬
   送装置において、 上記各ア−ム体の先端部にア−ム体の長手方向に沿って
   スライド自在かつ任意のスライド位置で固定可能に設け
   られているとともに上記フィンガが取り付けられた取付
   板と、 この取付板のスライド方向一端側に取付板のスライド方
   向に沿って所定の位置で固定可能に設けられた調整板
   と、 上記各ア−ム体の先端部に所定の間隔で設けられ上記取
   付板をスライドさせることでそのスライド方向に応じて
   上記取付板の他端側または上記調整板に当接して上記フ
   ィンガを位置決めする２本で対をなす２組の位置決めピ
   ンとを具備したことを特徴とする搬送装置。