JPH097141A - Magnetic head assembly equipment - Google Patents

Magnetic head assembly equipment

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Publication number
JPH097141A
JPH097141A JP17824995A JP17824995A JPH097141A JP H097141 A JPH097141 A JP H097141A JP 17824995 A JP17824995 A JP 17824995A JP 17824995 A JP17824995 A JP 17824995A JP H097141 A JPH097141 A JP H097141A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
head chip
objective lens
light
interference
Prior art date
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Pending
Application number
JP17824995A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Yasukochi
裕之 安河内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH097141A publication Critical patent/JPH097141A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 2つのヘッドギャップを同時に観察しながら
回転ドラムに対する2つのヘッドギャップの位置を調整
することができる磁気ヘッドの組立装置を提供するこ
と。 【構成】 第1のヘッドチップ3aから対物レンズ5a
を通して得られる第1の戻り光と参照鏡8aから参照用
レンズ6aを通して得られる第2の戻り光との干渉を起
こすための第1の干渉装置100aと、第2のヘッドチ
ップ3bから対物レンズ5bを通して得られる第3の戻
り光と参照鏡8bから参照用レンズ6bを通して得られ
る第4の戻り光との干渉を起こすための第2の干渉装置
100bと、第2のヘッドチップ3bからの第3の戻り
光を得る際に、光路を変更するための反射手段4と、第
1の干渉装置100aを介して第1のヘッドチップの先
端部分を撮影する第1の撮影手段50aと、第2の干渉
装置100bを介して第2のヘッドチップの先端部分を
撮影する第2の撮影手段50bと、を備える。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To provide a magnetic head assembling apparatus capable of adjusting the positions of two head gaps with respect to a rotating drum while simultaneously observing the two head gaps. [Structure] First head chip 3a to objective lens 5a
Through the first return light obtained through the reference mirror 8a and the second return light obtained through the reference lens 6a, and the second head chip 3b through the objective lens 5b. Through a second interference device 100b for causing an interference between the third return light obtained through the reference mirror 8b and the fourth return light obtained through the reference lens 6b from the reference mirror 8b, and the third interference from the second head chip 3b. To obtain the return light, the first reflection means 4 for changing the optical path, the first photographing means 50a for photographing the tip portion of the first head chip via the first interference device 100a, and the second photographing means 50a. The second imaging unit 50b for imaging the tip portion of the second head chip via the interference device 100b.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、第1のヘッドチップと
第2のヘッドチップを備える磁気ヘッドを、回転ドラム
に対して調整して組み立てるための磁気ヘッドの組立装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head assembling apparatus for adjusting and assembling a magnetic head having a first head chip and a second head chip with respect to a rotary drum.

【0002】[0002]

【従来の技術】回転磁気ヘッド装置は、ビデオテープレ
コーダ(VTR)やデジタルオーディオテープレコーダ
(DAT)などに用いられる。この回転磁気ヘッド装置
は、固定ドラムと、この固定ドラムに対して回転可能に
なっている回転ドラムを備えている。図2と図3は、回
転ドラムの一例を示している。回転ドラム1は、例えば
2つの磁気ヘッドHを備えている。この磁気ヘッドH
は、ヘッドベース2とこのヘッドベース2に貼り付けら
れるヘッドチップ3a,3bを備えている。磁気ヘッド
には、1つのヘッドベースに対して1つのヘッドチップ
が貼り付けられている形式(1ベース1チップ)と、図
2と図3に示すように1つのヘッドベース2に対して2
つのヘッドチップ3a,3bが貼り付けられている形式
(1ベース2チップ)がある。このような1つのヘッド
ベース2に対して2つのヘッドチップ3a,3bが貼り
付けられている形式のものは、回転ドラム1に対して次
のようにして調整して取り付ける必要がある。基準側の
ヘッドチップ3aのヘッドギャップは、回転ドラム1に
対するθ方向の角度調整と、R方向の突き出し位置の調
整をするとともに、非基準側のヘッドチップ3bのヘッ
ドギャップのR方向の突き出し位置の調整も行う必要が
ある。
2. Description of the Related Art A rotary magnetic head device is used in a video tape recorder (VTR), a digital audio tape recorder (DAT) and the like. The rotary magnetic head device includes a fixed drum and a rotary drum rotatable with respect to the fixed drum. 2 and 3 show an example of the rotary drum. The rotary drum 1 includes, for example, two magnetic heads H. This magnetic head H
Includes a head base 2 and head chips 3a and 3b attached to the head base 2. In the magnetic head, one head chip is attached to one head base (one base / one chip), and one head base 2 is attached to one head base 2 as shown in FIGS. 2 and 3.
There is a type in which two head chips 3a and 3b are attached (1 base 2 chips). In such a type in which two head chips 3a and 3b are attached to one head base 2, it is necessary to adjust and attach to the rotary drum 1 as follows. The head gap of the reference side head chip 3a is adjusted in the θ direction with respect to the rotary drum 1 and the protruding position in the R direction, and the head gap of the non-reference side head chip 3b is adjusted in the R direction. Adjustments also need to be made.

【0003】ところで、例えばVHS方式のビデオテー
プレコーダのように、基準側のヘッドチップ3aのギャ
ップと、非基準側のヘッドチップ3bのギャップとのギ
ャップ間距離が1mm以下の場合には、1つの顕微鏡の
視野の中央付近を抜き去り、左右のヘッドギャップを1
台の撮像素子で撮像してモニタに写し出すことが行われ
る。この方式は、1つの顕微鏡の視野の中抜き方式と呼
ばれている。
By the way, when the gap distance between the gap of the reference side head chip 3a and the gap of the non-reference side head chip 3b is 1 mm or less as in a VHS video tape recorder, one Remove the area near the center of the microscope's field of view and set the left and right head gaps to 1
An image is picked up by an image pickup device of a table and displayed on a monitor. This method is called a hollowing-out method of the field of view of one microscope.

【0004】ところが、ギャップ間距離が1mmを超え
ると、この中抜き方式では調整に必要なギャップの解像
度が得られない。そこで、図4と図5に示すような顕微
鏡回転方式が採用されている。図4は、基準側のヘッド
チップ3aのヘッドギャップをカメラ200で観察しな
がら、基準側のヘッドギャップの位置の調整を行う様子
を示している。図5は、非基準側のヘッドチップ3bの
ヘッドギャップをカメラ200で観察しながら非基準側
のヘッドギャップの位置の調整を行う場合を示してい
る。照明装置209aの光は、ビームスプリッタ207
aにより反射されて対物レンズ205aを介して基準側
のヘッドチップ3aのヘッドギャップに照射される。こ
れと同時に照明装置209aの光は、ビームスプリッタ
207aを通して参照用レンズ206aを介して鏡20
8aに照射される。そして基準側のヘッドチップ3aか
らの戻り光は、対物レンズ205a及びビームスプリッ
タ207aを通してカメラ200に導かれる。参照鏡2
08aからの戻り光は、参照用レンズ206aを通って
ビームスプリッタ207aで反射してカメラ200に導
かれる。これにより、基準側のヘッドチップ3aからの
戻り光と、参照鏡208aからの戻り光は、ビームスプ
リッタ207aにおいて光の干渉が起こる。この干渉光
は、カメラ200で観察できる。次に、非基準側のヘッ
ドチップ3bのヘッドギャップを観察する場合には、カ
メラ200及び対物レンズ205aなどを含む光学系を
全て、光軸OP1から光軸OP2に傾ける。つまりカメ
ラ200及び対物レンズ205aを含む光学系は、回転
ドラム1の中心CPを中心として所定角度分傾けるよう
になっている。このようにするのは、顕微鏡回転方式の
組立装置が、2つのヘッドギャップを同時に観察するこ
とができないためである。
However, when the distance between the gaps exceeds 1 mm, the resolution of the gap required for adjustment cannot be obtained by this hollowing method. Therefore, the microscope rotation method as shown in FIGS. 4 and 5 is adopted. FIG. 4 shows how the position of the reference-side head gap is adjusted while observing the head gap of the reference-side head chip 3a with the camera 200. FIG. 5 shows a case where the position of the head gap on the non-reference side is adjusted while observing the head gap of the head chip 3b on the non-reference side with the camera 200. The light from the illumination device 209a is emitted from the beam splitter 207.
It is reflected by a and is irradiated onto the head gap of the reference-side head chip 3a via the objective lens 205a. At the same time, the light from the illuminating device 209a passes through the beam splitter 207a and the reference lens 206a to the mirror 20.
8a is irradiated. Then, the return light from the reference-side head chip 3a is guided to the camera 200 through the objective lens 205a and the beam splitter 207a. Reference mirror 2
The return light from 08a passes through the reference lens 206a, is reflected by the beam splitter 207a, and is guided to the camera 200. As a result, the return light from the reference-side head chip 3a and the return light from the reference mirror 208a interfere with each other in the beam splitter 207a. This interference light can be observed by the camera 200. Next, when observing the head gap of the head chip 3b on the non-reference side, all the optical systems including the camera 200 and the objective lens 205a are tilted from the optical axis OP1 to the optical axis OP2. That is, the optical system including the camera 200 and the objective lens 205a is tilted by a predetermined angle with the center CP of the rotating drum 1 as the center. This is because the microscope rotation type assembling apparatus cannot observe the two head gaps at the same time.

【0005】次に、図4と図5の従来の顕微鏡回転方式
の組立装置による組立手順について図6により説明す
る。まず図4の磁気ヘッドHは、ネジNを用いて回転ド
ラム1に対して取り付けて調整を開始する(ステップS
1)。図4のようにしてカメラ200及び対物レンズ2
05aを含む光学系は、基準側のヘッドチップ3aのヘ
ッドギャップに対応して位置決めする。そして図3に示
すように基準側のヘッドギャップは、θ方向に沿って位
置を調整するとともにR方向に沿って移動して基準側の
ヘッドギャップの回転ドラム1に対する突き出し量を調
整する(ステップS2)。そして図5に示すようにカメ
ラ200及び対物レンズ205aを含む光学系は、非基
準側のヘッドチップ3bのヘッドギャップ側に所定角度
α回転する(ステップS3)。
Next, an assembling procedure by the conventional microscope rotating type assembling apparatus shown in FIGS. 4 and 5 will be described with reference to FIG. First, the magnetic head H shown in FIG. 4 is attached to the rotary drum 1 using the screw N and adjustment is started (step S).
1). As shown in FIG. 4, the camera 200 and the objective lens 2
The optical system including 05a is positioned corresponding to the head gap of the head chip 3a on the reference side. As shown in FIG. 3, the reference-side head gap is adjusted in position along the θ direction and is moved along the R-direction to adjust the protrusion amount of the reference-side head gap with respect to the rotary drum 1 (step S2). ). Then, as shown in FIG. 5, the optical system including the camera 200 and the objective lens 205a rotates a predetermined angle α toward the head gap side of the non-reference side head chip 3b (step S3).

【0006】そして非基準側のヘッドチップ3bのヘッ
ドギャップは、図3のR方向に沿ってその回転ドラム1
に対する突き出し量の調整を行う。このようにして磁気
ヘッドHが回転ドラム1に対して位置決めされると、ネ
ジNにより磁気ヘッドHは回転ドラム1に対して確実に
固定される(ステップS5)。再び図4に示すように顕
微鏡200及び対物レンズ205aを含む光学系は、光
軸OP1に沿って位置決めされる(ステップS6)。こ
の後基準側のヘッドチップ3aのθ方向の位置及びR方
向の突き出し量の確認ができると(ステップS7)、磁
気ヘッドの組立調整が終了する(ステップS8)。
The head gap of the head chip 3b on the non-reference side is the rotary drum 1 along the R direction in FIG.
Adjust the amount of protrusion to. When the magnetic head H is thus positioned with respect to the rotating drum 1, the magnetic head H is reliably fixed to the rotating drum 1 with the screw N (step S5). Again, as shown in FIG. 4, the optical system including the microscope 200 and the objective lens 205a is positioned along the optical axis OP1 (step S6). After that, if the position of the reference-side head chip 3a in the θ direction and the protrusion amount in the R direction can be confirmed (step S7), the assembly adjustment of the magnetic head ends (step S8).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】このように、基準側の
ヘッドチップ3aの位置を調整した後に、言わば手探り
の状態で非基準側のヘッドチップ3bのR方向の突き出
し量の調整を行わなければならないので、図6の組立調
整ループを何度も繰り返す場合があり、磁気ヘッドの組
立の生産性が悪化してしまう。また磁気ヘッドの組立作
業に高い習熟度が要求される。そこで本発明は上記課題
を解消するためになされたものであり、2つのヘッドチ
ップのヘッドギャップの間隔が狭く設定されていても、
2つのヘッドギャップを同時に観察しながら回転ドラム
1に対する2つのヘッドギャップの位置を調整すること
ができる磁気ヘッドの組立装置を提供することを目的と
している。
In this way, after adjusting the position of the reference-side head chip 3a, the protrusion amount of the non-reference-side head chip 3b in the R direction must be adjusted in a groping state, so to speak. Therefore, the assembly adjustment loop shown in FIG. 6 may be repeated many times, which deteriorates the productivity of assembling the magnetic head. Further, a high degree of proficiency is required for the magnetic head assembly work. Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and even if the head gaps of two head chips are set to be narrow,
An object of the present invention is to provide a magnetic head assembling apparatus capable of adjusting the positions of the two head gaps with respect to the rotary drum 1 while simultaneously observing the two head gaps.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項1の
発明にあっては、第1のヘッドチップと第2のヘッドチ
ップを備える磁気ヘッドを、回転ドラムに対して調整し
て組み立てるための磁気ヘッドの組立装置において、第
1のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照射
し、かつ光をこの対物レンズと等質な参照用レンズを通
して参照鏡に照射し、第1のヘッドチップから対物レン
ズを通して得られる第1の戻り光と、参照鏡から参照用
レンズを通して得られる第2の戻り光との干渉を起こす
ための第1の干渉装置と、第2のヘッドチップに対して
光を対物レンズを通して照射し、かつ光をこの対物レン
ズと等質な参照用レンズを通して参照鏡に照射し、第2
のヘッドチップから対物レンズを通して得られる第3の
戻り光と、参照鏡から参照用レンズを通して得られる第
4の戻り光との干渉を起こすための第2の干渉装置と、
第2の干渉装置において、第2のヘッドチップに対して
光を対物レンズを通して照射してかつ第2のヘッドチッ
プから対物レンズを通して第3の戻り光を得る際に、光
路を変更するための反射手段と、第1の干渉装置を介し
て第1のヘッドチップの先端部分を撮影するための第1
の撮影手段と、第2の干渉装置を介して第2のヘッドチ
ップの先端部分を撮影するための第2の撮影手段と、を
備える磁気ヘッドの組立装置により、達成される。請求
項2の発明にあっては、好ましくは第1の干渉装置と第
2の干渉装置は、リンニク干渉装置である。請求項3の
発明にあっては、好ましくは第1のヘッドチップが基準
側のヘッドチップであり、第2のヘッドチップが非基準
側のヘッドチップである。請求項4の発明にあっては、
好ましくは反射手段は、鏡である。
According to the invention of claim 1, the above object is to adjust and assemble a magnetic head having a first head chip and a second head chip with respect to a rotary drum. In the apparatus for assembling a magnetic head, the first head chip is irradiated with light through an objective lens, and the light is irradiated onto a reference mirror through a reference lens that is equivalent in quality to the objective lens. The first return light obtained through the objective lens and the second return light obtained from the reference mirror through the reference lens are caused to interfere with each other, and light is emitted to the second head chip. Irradiating through the objective lens, and irradiating light to the reference mirror through the reference lens which is of the same quality as this objective lens;
A second interfering device for causing interference between a third returning light obtained from the head chip through the objective lens and a fourth returning light obtained through the reference lens from the reference mirror;
In the second interference device, a reflection for changing the optical path when irradiating the second head chip with light through the objective lens and obtaining the third return light from the second head chip through the objective lens Means for imaging the tip portion of the first head chip via the first interference device.
And a second photographing means for photographing the tip portion of the second head chip via the second interference device. In the invention of claim 2, preferably, the first interference device and the second interference device are Linnik interference devices. In the invention of claim 3, preferably, the first head chip is a reference side head chip, and the second head chip is a non-reference side head chip. According to the invention of claim 4,
Preferably the reflecting means is a mirror.

【0009】[0009]

【作用】請求項1の発明によれば、第1の干渉装置は、
第1のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
射し、かつ光を参照用レンズを通して参照鏡に照射す
る。これにより、第1の干渉装置は、第1のヘッドチッ
プから対物レンズを通して得られる第1の戻り光と、参
照鏡から参照用レンズを通して得られる第2の戻り光と
の干渉を起こすようになっている。第2の干渉装置は、
第2のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
射し、かつ光をこの参照用レンズを通して参照鏡に照射
する。これにより、第2の干渉装置は、第2のヘッドチ
ップから対物レンズを通して得られる第3の戻り光と、
参照鏡から参照用レンズを通して得られる第4の戻り光
との干渉を起こすようになっている。
According to the invention of claim 1, the first interfering device is
Light is emitted to the first head chip through the objective lens, and light is emitted to the reference mirror through the reference lens. As a result, the first interference device causes interference between the first return light obtained from the first head chip through the objective lens and the second return light obtained from the reference mirror through the reference lens. ing. The second interfering device is
Light is emitted to the second head chip through the objective lens, and light is emitted to the reference mirror through the reference lens. As a result, the second interference device causes the third return light obtained from the second head chip through the objective lens,
It causes interference with the fourth return light obtained from the reference mirror through the reference lens.

【0010】反射手段は、第2の干渉装置において、第
2のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照射
して、かつ第2のヘッドチップから対物レンズを通して
第3の戻り光を得る際に、光路を変更することができ
る。これにより、第1のヘッドチップのヘッドギャップ
と第2のヘッドチップのヘッドギャップの間隔が狭いも
のであっても、第1の干渉装置の対物レンズと、第2の
干渉装置の対物レンズが物理的に干渉して配置できなく
なるという恐れがなくなる。第1の撮影手段は、第1の
干渉装置を介して第1のヘッドチップの先端部分を撮影
するようになっている。同様にして第2の撮影手段は、
第2の干渉装置を介して第2のヘッドチップの先端部分
を撮影するようになっている。
In the second interference device, the reflecting means irradiates the second head chip with light through the objective lens and obtains the third return light from the second head chip through the objective lens. , The optical path can be changed. As a result, even if the gap between the head gap of the first head chip and the head gap of the second head chip is narrow, the objective lens of the first interference device and the objective lens of the second interference device are physically arranged. There is no fear that they will not be able to be placed due to physical interference. The first photographing means is adapted to photograph the tip portion of the first head chip via the first interference device. Similarly, the second photographing means
The tip portion of the second head chip is photographed via the second interference device.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施例は、
本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種
々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説
明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、
これらの態様に限られるものではない。図1は、本発明
の磁気ヘッドの組立装置の好ましい実施例を示してい
る。図1において、本発明の磁気ヘッドの組立装置の実
施例は、第1の干渉装置であるリンニク干渉装置100
aと、第2の干渉装置であるリンニク干渉装置100b
と、反射手段である鏡4と、第1の撮影手段であるカメ
ラ50aと、第2の撮影手段であるカメラ50bなどを
有している。磁気ヘッドの組立装置は、回転ドラム1に
対応して配置されている。回転ドラム1は、2つの磁気
ヘッドH,Hを備えている。この回転ドラム1は、例え
ばビデオテープレコーダ(VTR)の回転磁気ヘッド装
置の回転ドラムである。この回転ドラム1は、モータに
より固定ドラムに対して回転でき、例えばヘリカルスキ
ャン方式により、磁気ヘッドH,Hがビデオテープに対
して情報を記録したり或いはビデオテープの情報を再生
することができる。磁気ヘッドHは、回転ドラム1に対
してネジNにより着脱可能に固定される。磁気ヘッドH
は基準側ヘッドチップ3aと非基準側のヘッドチップ3
bの合計2つのヘッドチップを備えている。即ち基準側
ヘッドチップ3a、非基準側ヘッドチップ3bは、真ち
ゅう製のヘッドベース2に対して接着剤などにより貼り
付けて固定されている。基準側ヘッドチップ3aのヘッ
ドギャップと、非基準側ヘッドチップ3bのヘッドギャ
ップのヘッドギャップ間隔は、例えば約4mm離れて配
置されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. Note that the embodiments described below are
Since it is a preferred specific example of the present invention, various technically preferable limitations are attached, but the scope of the present invention is, unless otherwise stated to limit the present invention, in the following description.
It is not limited to these modes. FIG. 1 shows a preferred embodiment of the magnetic head assembling apparatus of the present invention. In FIG. 1, an embodiment of a magnetic head assembling apparatus according to the present invention is a Linnik interference apparatus 100 which is a first interference apparatus.
a and a Linnik interference device 100b that is a second interference device
And a mirror 4 which is a reflecting means, a camera 50a which is a first photographing means, a camera 50b which is a second photographing means, and the like. The magnetic head assembling apparatus is arranged corresponding to the rotary drum 1. The rotary drum 1 includes two magnetic heads H and H. The rotary drum 1 is, for example, a rotary drum of a rotary magnetic head device of a video tape recorder (VTR). The rotary drum 1 can be rotated with respect to a fixed drum by a motor, and the magnetic heads H and H can record information on the video tape or reproduce information on the video tape by a helical scan method, for example. The magnetic head H is detachably fixed to the rotary drum 1 with a screw N. Magnetic head H
Is the reference side head chip 3a and the non-reference side head chip 3
It has a total of two head chips of b. That is, the reference-side head chip 3a and the non-reference-side head chip 3b are fixed by being attached to the brass head base 2 with an adhesive or the like. The head gap of the reference side head chip 3a and the head gap of the non-reference side head chip 3b are arranged, for example, about 4 mm apart.

【0012】磁気ヘッドHは、回転ドラム1に対して次
のような要領でその位置が調整されるようになってい
る。即ち、磁気ヘッドHの基準側ヘッドチップ3aの基
準側ヘッドギャップは、θ方向に沿って回転ドラム1に
おけるその姿勢方向が姿勢調整装置により調整される。
しかも基準側ヘッドチップ3aの基準側ヘッドギャップ
の回転ドラム1に対する突き出し量は、R方向に沿って
ヘッドギャップの突き出し量調整装置により調整され
る。これに対して非基準側ヘッドチップ3bのヘッドギ
ャップは、その回転ドラム1に対する突き出し量のみが
R方向に沿って突き出し量調整装置により調整される。
つまり非基準側のヘッドギャップの調整では、R方向の
突き出し量調整のみを行い、θ方向の姿勢調整は行わな
い。
The position of the magnetic head H is adjusted with respect to the rotary drum 1 in the following manner. That is, the reference side head gap of the reference side head chip 3a of the magnetic head H is adjusted by the posture adjusting device in the posture direction of the rotary drum 1 along the θ direction.
Moreover, the protrusion amount of the reference-side head gap of the reference-side head chip 3a with respect to the rotating drum 1 is adjusted by the head-gap protrusion amount adjusting device along the R direction. On the other hand, the head gap of the non-reference side head chip 3b is adjusted only by the protrusion amount with respect to the rotary drum 1 by the protrusion amount adjusting device along the R direction.
That is, in adjusting the head gap on the non-reference side, only the protrusion amount adjustment in the R direction is performed, and the attitude adjustment in the θ direction is not performed.

【0013】次に、基準側ヘッドチップ3aの基準側ヘ
ッドギャップの観察系について説明する。基準側ヘッド
チップ3aの基準側ヘッドギャップの観察系は、光軸O
L1に沿って配置されている。この観察系は、リンニク
干渉装置100aとカメラ50aで構成されている。リ
ンニク干渉装置100aは、照明装置9a、ビームスプ
リッタ7a、対物レンズ5a、参照用レンズ6a、参照
鏡8aを有している。ビームスプリッタ7aと対物レン
ズ5aは、光軸OL1に沿って配置されている。照明装
置9aの光Lは、ビームスプリッタ7aにより2方向に
分割される。一方の光は、対物レンズ5aを介して基準
側ヘッドチップ3aの基準側ヘッドギャップ側に照射さ
れる。また他方の光は、参照用レンズ6aを介して参照
鏡8aに達する。対物レンズ5aは、参照用レンズ6a
と等質のレンズである。
Next, an observation system of the reference side head gap of the reference side head chip 3a will be described. The observation system of the reference-side head gap of the reference-side head chip 3a has an optical axis O
It is arranged along L1. This observation system is composed of a Linnik interference device 100a and a camera 50a. The Linnik interference device 100a includes an illumination device 9a, a beam splitter 7a, an objective lens 5a, a reference lens 6a, and a reference mirror 8a. The beam splitter 7a and the objective lens 5a are arranged along the optical axis OL1. The light L of the illumination device 9a is split into two directions by the beam splitter 7a. One light is applied to the reference side head gap side of the reference side head chip 3a via the objective lens 5a. The other light reaches the reference mirror 8a via the reference lens 6a. The objective lens 5a is a reference lens 6a.
And a lens of the same quality.

【0014】基準側ヘッドチップ3aの基準側ヘッドギ
ャップ及びその周辺で反射した第1の戻り光は、対物レ
ンズ5aを通してビームスプリッタ7aを通る。参照鏡
8aで反射した第2の戻り光は、参照用レンズ6aを通
してビームスプリッタ7aで反射される。これにより、
ビームスプリッタ7aでは、基準側ヘッドチップ3aの
基準側ヘッドギャップ及びその周辺で反射した第1の戻
り光と、参照鏡8aで反射した第2の戻り光とで光の干
渉がおこる。例えば基準側ヘッドチップ3aより反射さ
れる光の位相面は円弧状であるのに対して、参照鏡8a
より反射される光の位相面は直線状であることから、円
弧と直線を光の進行方向に重ねたその差が半波長の偶数
倍のところでは光が強められ、半波長の奇数倍のところ
では弱められる。この光の干渉は、基準側ヘッドチップ
3aの第1の戻り光による干渉であることから、半波長
は波長の1/4に相当する。つまり基準側ヘッドチップ
3aの先端であるヘッドギャップ及びその周辺部分を、
光の波長ピッチで等高線表示したのと同等の干渉縞を得
ることができる。このようにして得られた干渉光は、カ
メラ50aで撮像されて第1モニタ60aに表示され
る。第1モニタ60aには、基準側ヘッドチップ3aが
表示されている。基準側ヘッドチップ3aのヘッドギャ
ップ30a及びその周辺部分には、干渉縞31aが表示
されている。
The first return light reflected by the reference side head gap of the reference side head chip 3a and its periphery passes through the beam splitter 7a through the objective lens 5a. The second return light reflected by the reference mirror 8a is reflected by the beam splitter 7a through the reference lens 6a. This allows
In the beam splitter 7a, light interference occurs between the first return light reflected by the reference head gap of the reference head chip 3a and its periphery and the second return light reflected by the reference mirror 8a. For example, the phase plane of the light reflected from the reference-side head chip 3a has an arc shape, while the reference mirror 8a
Since the phase plane of the reflected light is linear, the light is strengthened when the difference between the circular arc and the straight line in the traveling direction of the light is even multiples of half wavelength, and at the odd multiples of half wavelength. Is weakened. Since this light interference is due to the first return light of the reference-side head chip 3a, the half wavelength corresponds to 1/4 of the wavelength. That is, the head gap, which is the tip of the reference-side head chip 3a, and its peripheral portion are
It is possible to obtain the interference fringes equivalent to those displayed in contour lines at the wavelength pitch of light. The interference light thus obtained is captured by the camera 50a and displayed on the first monitor 60a. The reference-side head chip 3a is displayed on the first monitor 60a. Interference fringes 31a are displayed on the head gap 30a of the reference side head chip 3a and its peripheral portion.

【0015】次に、非基準側ヘッドチップ3bの観察系
について説明する。特徴的なのは、非基準側ヘッドチッ
プ3bの付近には、反射手段である鏡4が配置されてい
ることである。この鏡4は、好ましくは表面反射型の鏡
であり、例えば光軸OL1に対して所定の角度で傾いて
配置されている。このように、表面反射型の鏡4を用い
るのは、絞った光を鏡で反射する際の収差をなくすため
である。言い換えれば、光軸OL2に対して所定の角度
βで配置されている。鏡4の付近には、カメラ50bと
リンニク干渉装置100bが光軸OL2に沿って配置さ
れている。光軸OL2は、光軸OL1に対して好ましく
は直交している。非基準側ヘッドチップ3bの基準側ヘ
ッドギャップの観察系は、光軸OL2に沿って配置され
ている。この観察系は、リンニク干渉装置100bとカ
メラ50bで構成されている。リンニク干渉装置100
bは、照明装置9b、ビームスプリッタ7b、対物レン
ズ5b、参照用レンズ6b、参照鏡8bを有している。
ビームスプリッタ7bと対物レンズ5bは、光軸OL2
にそって配置されている。照明装置9bの光Lは、ビー
ムスプリッタ7bにより2方向に分割される。一方の光
は、対物レンズ5bを介して非基準側ヘッドチップ3b
の基準側ヘッドギャップ側に照射される。また他方の光
は、参照用レンズ6bを介して参照鏡8bに達する。対
物レンズ5bは、参照用レンズ6bと等質のレンズであ
る。
Next, the observation system of the non-reference side head chip 3b will be described. What is characteristic is that the mirror 4, which is a reflecting means, is arranged in the vicinity of the non-reference side head chip 3b. The mirror 4 is preferably a surface reflection type mirror, and is arranged, for example, at a predetermined angle with respect to the optical axis OL1. As described above, the surface reflection type mirror 4 is used in order to eliminate aberration when the focused light is reflected by the mirror. In other words, they are arranged at a predetermined angle β with respect to the optical axis OL2. A camera 50b and a Linnik interference device 100b are disposed near the mirror 4 along the optical axis OL2. The optical axis OL2 is preferably orthogonal to the optical axis OL1. The observation system of the reference side head gap of the non-reference side head chip 3b is arranged along the optical axis OL2. This observation system includes a Linnik interference device 100b and a camera 50b. Linnik interference device 100
Reference symbol b includes an illumination device 9b, a beam splitter 7b, an objective lens 5b, a reference lens 6b, and a reference mirror 8b.
The beam splitter 7b and the objective lens 5b have an optical axis OL2.
It is arranged along with. The light L of the illumination device 9b is split into two directions by the beam splitter 7b. One of the light beams passes through the objective lens 5b and the non-reference side head chip 3b.
The reference side head gap side is irradiated. The other light reaches the reference mirror 8b via the reference lens 6b. The objective lens 5b is a lens of the same quality as the reference lens 6b.

【0016】非基準側ヘッドチップ3bの基準側ヘッド
ギャップ及びその周辺で反射した第3の戻り光は、対物
レンズ5bを通してビームスプリッタ7bを通る。参照
鏡8bで反射した第4の戻り光は、参照用レンズ6bを
通してビームスプリッタ7bで反射される。これによ
り、ビームスプリッタ7bは、基準側ヘッドチップ3b
の基準側ヘッドギャップ及びその周辺で反射した第3の
戻り光と、参照鏡8bで反射した第4の戻り光とで光の
干渉がおこる。例えば基準側ヘッドチップ3bより反射
される光の位相面は円弧状であるのに対して、参照鏡8
bより反射される光の位相面は直線状であることから、
円弧と直線を光の進行方向に重ねたその差が半波長の偶
数倍のところでは光が強められ、半波長の奇数倍のとこ
ろでは弱められる。この光の干渉は、基準側ヘッドチッ
プ3bの第3の戻り光による干渉であることから、半波
長は波長の1/4に相当する。つまり基準側ヘッドチッ
プ3bの先端であるヘッドギャップ及びその周辺部分
を、光の波長ピッチで等高線表示したのと同等の干渉縞
を得ることができる。このようにして得られた干渉光
は、カメラ50bで撮像されて第2モニタ60bに表示
される。第2モニタ60bには、非基準側ヘッドチップ
3bが表示されている。非基準側ヘッドチップ3bのヘ
ッドギャップ30bは及びその周辺部分には、干渉縞3
1bが表示されている。
The third return light reflected at the reference side head gap of the non-reference side head chip 3b and its periphery passes through the beam splitter 7b through the objective lens 5b. The fourth return light reflected by the reference mirror 8b is reflected by the beam splitter 7b through the reference lens 6b. As a result, the beam splitter 7b moves to the reference side head chip 3b.
Light interference occurs between the third return light reflected by the reference side head gap and the periphery thereof and the fourth return light reflected by the reference mirror 8b. For example, the phase plane of the light reflected from the reference-side head chip 3b has an arc shape, whereas the reference mirror 8
Since the phase plane of the light reflected from b is linear,
The difference between the circular arc and the straight line superposed in the traveling direction of the light is strengthened at an even multiple of a half wavelength and weakened at an odd multiple of a half wavelength. Since this light interference is due to the third return light of the reference side head chip 3b, the half wavelength corresponds to ¼ of the wavelength. That is, it is possible to obtain an interference fringe equivalent to that in which the head gap, which is the tip of the reference-side head chip 3b, and the peripheral portion thereof are displayed in contour lines at the wavelength pitch of light. The interference light thus obtained is captured by the camera 50b and displayed on the second monitor 60b. The non-reference side head chip 3b is displayed on the second monitor 60b. The interference fringes 3 are formed in the head gap 30b of the non-reference side head chip 3b and the peripheral portion thereof.
1b is displayed.

【0017】次に上述した磁気ヘッドの組立装置による
磁気ヘッドの組立調整方法の例を説明する。まず図1の
回転ドラム1は、一方の磁気ヘッドHが光軸OL1に対
して所定の角度xで傾いた状態で保持される。この状態
では、基準側ヘッドチップ3aのヘッドギャップ30a
及びその付近が、照明装置9aの光Lにより照射できる
位置にある。しかも非基準側のヘッドチップ3bのヘッ
ドギャップ30bは、リンニク干渉装置100bの照明
装置9bの光Lが照射できる位置でもある。
Next, an example of a method of assembling and adjusting a magnetic head by the above-described magnetic head assembling apparatus will be described. First, the rotary drum 1 of FIG. 1 is held in a state where one magnetic head H is tilted at a predetermined angle x with respect to the optical axis OL1. In this state, the head gap 30a of the reference side head chip 3a is
And its vicinity are at positions where the light L of the illumination device 9a can irradiate. Moreover, the head gap 30b of the head chip 3b on the non-reference side is also a position where the light L of the illumination device 9b of the Linnik interference device 100b can be emitted.

【0018】このように、リンニク干渉装置100a,
100bを2つ用いているので、リンニク干渉装置10
0aの対物レンズ5aが、もう1つのリンニク干渉装置
100bの対物レンズ5bに位置的に干渉を起こして設
定できなくなる恐れを回避するために、鏡4がその機能
を発揮している。即ち鏡4は、リンニク干渉装置100
bからの光Lを所定角度(例えば90°より大きい角
度)で折り曲げて、非基準側ヘッドチップ3bのヘッド
ギャップ側に照射し、しかも鏡4はヘッドギャップ及び
その周辺部分からの反射した第3の戻り光をその鏡4を
介してリンニク干渉装置100b側に戻すことができ
る。鏡4を非基準側ヘッドチップ3b側に対応して配置
することにより、例え2つのヘッドギャップ間の間隔が
約4mm程度と小さい場合であっても対物レンズ5a,
b同士が物理的な干渉をするということが無くなり、2
つのヘッドギャップは、光軸OL1,OL2に沿って、
同時に観察することができる。しかも、基準側のヘッド
チップ3aのヘッドギャップが、カメラ50aにより直
接観察するのは次の理由による。つまり、基準側ヘッド
チップ3aのヘッドギャップ30aのθ方向の姿勢調整
には、高い精度が要求されるので、基準側ヘッドギャッ
プ30aは、カメラ50aにより直接、つまり鏡などで
反射させることなしに観察するのが望ましい訳である。
Thus, the Linnik interference device 100a,
Since two 100b are used, the Linnik interference device 10
In order to avoid the possibility that the objective lens 5a of 0a interferes with the objective lens 5b of the other Linnik interference device 100b in a positional manner and cannot be set, the mirror 4 exerts its function. That is, the mirror 4 is the Linnik interference device 100.
The light L from b is bent at a predetermined angle (for example, an angle larger than 90 °) and irradiated on the head gap side of the non-reference side head chip 3b, and the mirror 4 reflects the third light reflected from the head gap and its peripheral portion. It is possible to return the return light of the above to the Linnik interference device 100b side via the mirror 4. By disposing the mirror 4 corresponding to the non-reference side head chip 3b side, even if the distance between the two head gaps is as small as about 4 mm, the objective lens 5a,
b will not interfere with each other physically, and
The two head gaps are along the optical axes OL1 and OL2,
Can be observed at the same time. Moreover, the head gap of the head chip 3a on the reference side is directly observed by the camera 50a for the following reason. In other words, since high accuracy is required for the attitude adjustment of the head gap 30a of the reference side head chip 3a in the θ direction, the reference side head gap 30a is observed directly by the camera 50a, that is, without being reflected by a mirror or the like. Is desirable.

【0019】これに対して、非基準側ヘッドチップ3b
のヘッドギャップ30bの調整では、R方向に沿った突
き出し量の調整のみでよく、θ方向の姿勢調整は行わな
い。そのために、鏡4を非基準側ヘッドギャップ30b
の観察用に用いることにより、2つのヘッドギャップ3
0a,30bが同時にしかも高精度に観察できる。
On the other hand, the non-reference side head chip 3b
In the adjustment of the head gap 30b, the adjustment of the protrusion amount along the R direction is only necessary, and the attitude adjustment in the θ direction is not performed. Therefore, the mirror 4 is attached to the non-reference side head gap 30b.
By using it for the observation of the two head gaps 3
0a and 30b can be observed simultaneously and with high accuracy.

【0020】本発明の実施例では、2つのヘッドギャッ
プ30a,30bは、同時に観察しながら調整できるの
で、磁気ヘッドの位置決め調整作業が容易である。また
従来の顕微鏡回転方式で必要であった顕微鏡の回転時間
が省略できるので、作業時間が短縮できる。しかも本発
明の実施例は、顕微鏡の回転が無く、固定式なので、観
察精度は向上する。基準側ヘッドチップのヘッドギャッ
プの位置はカメラ50aにより直接観察することができ
るので、精度の高い調整が行われる。本発明の実施例
は、ヘッドギャップの間隔が狭く、たとえば1mm程度
より広く、対物レンズの直径より狭い場合でも、2つの
ヘッドギャップを同時に観察できる。なお、上述したリ
ンニク干渉装置100a,100bは、超長作動距離タ
イプの顕微鏡であり、これらは、干渉顕微鏡である。と
ころで本発明は上記実施例に限定されない。図1の反射
鏡4は、反射手段として用いられているが、これに限ら
ずプリズム或いはその他の光学部品であっても勿論構わ
ない。また上述した回転ドラム及びその磁気ヘッドは、
ビデオテープレコーダに適用するためのものであるが、
これに限らずデジタルオーディオテープレコーダやデー
タストリーマなどの他の領域の機種に用いられる磁気ヘ
ッドに対しても本発明は適用することができる。
In the embodiment of the present invention, since the two head gaps 30a and 30b can be adjusted while observing at the same time, the magnetic head positioning adjustment work is easy. Further, since the rotation time of the microscope, which is required in the conventional microscope rotation method, can be omitted, the working time can be shortened. Moreover, in the embodiment of the present invention, since the microscope does not rotate and is fixed, the observation accuracy is improved. Since the position of the head gap of the reference side head chip can be directly observed by the camera 50a, highly accurate adjustment is performed. In the embodiment of the present invention, two head gaps can be observed at the same time even when the gap between the head gaps is narrow, for example, wider than about 1 mm and narrower than the diameter of the objective lens. The Linnik interference devices 100a and 100b described above are ultra-long working distance type microscopes, and these are interference microscopes. The present invention is not limited to the above embodiment. Although the reflecting mirror 4 in FIG. 1 is used as the reflecting means, the reflecting mirror 4 is not limited to this and may be a prism or other optical parts. The rotary drum and its magnetic head described above are
Although it is applied to video tape recorders,
The present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to magnetic heads used in models in other areas such as digital audio tape recorders and data streamers.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように、たとえ2つのヘッ
ドチップのヘッドギャップの間隔が狭く設定されていて
も、2つのヘッドギャップを同時に観察しながら2つの
ヘッドギャップの位置を調整することができる。
As described above, the positions of the two head gaps can be adjusted while observing the two head gaps simultaneously, even if the gaps between the head gaps of the two head chips are set to be narrow. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドの組立装置の好ましい実施
例を示す図。
FIG. 1 is a view showing a preferred embodiment of a magnetic head assembling apparatus of the present invention.

【図2】回転ドラムの例を示す側面図。FIG. 2 is a side view showing an example of a rotary drum.

【図3】回転ドラムの底面図。FIG. 3 is a bottom view of the rotary drum.

【図4】従来の磁気ヘッドの組立装置における基準側ヘ
ッドギャップの調整時の位置を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a position at the time of adjusting a reference side head gap in a conventional magnetic head assembling apparatus.

【図5】図4の従来の磁気ヘッドの組立装置における非
基準側ヘッドチップの調整時の位置を示す図。
FIG. 5 is a view showing a position at the time of adjusting a non-reference side head chip in the conventional magnetic head assembling apparatus of FIG. 4;

【図6】従来の磁気ヘッドチップの組立手順を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a procedure for assembling a conventional magnetic head chip.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 回転ドラム 2 ヘッドベース 3a 基準側ヘッドチップ 3b 非基準側ヘッドチップ 30a 基準側ヘッドギャップ 30b 非基準側ヘッドギャップ 50a カメラ(第1の撮影手段) 50b カメラ(第2の撮影手段) 100a リンニク干渉装置(第1の干渉装置) 100b リンニク干渉装置(第2の干渉装置) H 磁気ヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 rotating drum 2 head base 3a reference side head chip 3b non-reference side head chip 30a reference side head gap 30b non-reference side head gap 50a camera (first photographing means) 50b camera (second photographing means) 100a Linnik interference device (First interference device) 100b Linnik interference device (second interference device) H Magnetic head

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1のヘッドチップと第2のヘッドチッ
プを備える磁気ヘッドを、回転ドラムに対して調整して
組み立てるための磁気ヘッドの組立装置において、 第1のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
射し、かつ光をこの対物レンズと等質な参照用レンズを
通して参照鏡に照射し、第1のヘッドチップから対物レ
ンズを通して得られる第1の戻り光と、参照鏡から参照
用レンズを通して得られる第2の戻り光との干渉を起こ
すための第1の干渉装置と、 第2のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
射し、かつ光をこの対物レンズと等質な参照用レンズを
通して参照鏡に照射し、第2のヘッドチップから対物レ
ンズを通して得られる第3の戻り光と、参照鏡から参照
用レンズを通して得られる第4の戻り光との干渉を起こ
すための第2の干渉装置と、 第2の干渉装置において、第2のヘッドチップに対して
光を対物レンズを通して照射してかつ第2のヘッドチッ
プから対物レンズを通して第3の戻り光を得る際に、光
路を変更するための反射手段と、 第1の干渉装置を介して第1のヘッドチップの先端部分
を撮影するための第1の撮影手段と、 第2の干渉装置を介して第2のヘッドチップの先端部分
を撮影するための第2の撮影手段と、を備えることを特
徴とする磁気ヘッドの組立装置。
1. A magnetic head assembling apparatus for adjusting and assembling a magnetic head comprising a first head chip and a second head chip with respect to a rotating drum, wherein a light is emitted to the first head chip. The first return light obtained through the objective lens from the first head chip through the objective lens, and the reference mirror having the same quality as the objective lens, and the reference mirror, and the reference light from the reference mirror. A first interferometer for causing interference with a second return light obtained through the second head chip, and irradiating the second head chip with light through the objective lens, and the light for reference which is of the same quality as the objective lens. Interference between the third return light emitted from the second head chip through the objective lens and the fourth return light obtained through the reference lens by irradiating the reference mirror through the lens. A second interfering device for raising the light, and in the second interfering device, irradiates the second head chip with light through the objective lens and obtains the third return light from the second head chip through the objective lens. At this time, a reflecting means for changing the optical path, a first photographing means for photographing the tip portion of the first head chip via the first interference device, and a first photographing means for photographing the tip part of the first head chip via the second interference device. And a second photographing means for photographing the tip portion of the head chip of No. 2, and a magnetic head assembling apparatus.
【請求項2】 第1の干渉装置と第2の干渉装置は、リ
ンニク干渉装置である請求項1に記載の磁気ヘッドの組
立装置。
2. The magnetic head assembling apparatus according to claim 1, wherein the first interference device and the second interference device are Linnik interference devices.
【請求項3】 第1のヘッドチップが基準側のヘッドチ
ップであり、第2のヘッドチップが非基準側のヘッドチ
ップである請求項1に記載の磁気ヘッドの組立装置。
3. The magnetic head assembling apparatus according to claim 1, wherein the first head chip is a reference side head chip and the second head chip is a non-reference side head chip.
【請求項4】 反射手段は、鏡である請求項1に記載の
磁気ヘッドの組立装置。
4. The magnetic head assembling apparatus according to claim 1, wherein the reflecting means is a mirror.
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