JPH097141A - 磁気ヘッドの組立装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ２つのヘッドギャップを同時に観察しながら
回転ドラムに対する２つのヘッドギャップの位置を調整
することができる磁気ヘッドの組立装置を提供するこ
と。 【構成】 第１のヘッドチップ３ａから対物レンズ５ａ
を通して得られる第１の戻り光と参照鏡８ａから参照用
レンズ６ａを通して得られる第２の戻り光との干渉を起
こすための第１の干渉装置１００ａと、第２のヘッドチ
ップ３ｂから対物レンズ５ｂを通して得られる第３の戻
り光と参照鏡８ｂから参照用レンズ６ｂを通して得られ
る第４の戻り光との干渉を起こすための第２の干渉装置
１００ｂと、第２のヘッドチップ３ｂからの第３の戻り
光を得る際に、光路を変更するための反射手段４と、第
１の干渉装置１００ａを介して第１のヘッドチップの先
端部分を撮影する第１の撮影手段５０ａと、第２の干渉
装置１００ｂを介して第２のヘッドチップの先端部分を
撮影する第２の撮影手段５０ｂと、を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、第１のヘッドチップと
第２のヘッドチップを備える磁気ヘッドを、回転ドラム
に対して調整して組み立てるための磁気ヘッドの組立装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】回転磁気ヘッド装置は、ビデオテープレ
コーダ（ＶＴＲ）やデジタルオーディオテープレコーダ
（ＤＡＴ）などに用いられる。この回転磁気ヘッド装置
は、固定ドラムと、この固定ドラムに対して回転可能に
なっている回転ドラムを備えている。図２と図３は、回
転ドラムの一例を示している。回転ドラム１は、例えば
２つの磁気ヘッドＨを備えている。この磁気ヘッドＨ
は、ヘッドベース２とこのヘッドベース２に貼り付けら
れるヘッドチップ３ａ，３ｂを備えている。磁気ヘッド
には、１つのヘッドベースに対して１つのヘッドチップ
が貼り付けられている形式（１ベース１チップ）と、図
２と図３に示すように１つのヘッドベース２に対して２
つのヘッドチップ３ａ，３ｂが貼り付けられている形式
（１ベース２チップ）がある。このような１つのヘッド
ベース２に対して２つのヘッドチップ３ａ，３ｂが貼り
付けられている形式のものは、回転ドラム１に対して次
のようにして調整して取り付ける必要がある。基準側の
ヘッドチップ３ａのヘッドギャップは、回転ドラム１に
対するθ方向の角度調整と、Ｒ方向の突き出し位置の調
整をするとともに、非基準側のヘッドチップ３ｂのヘッ
ドギャップのＲ方向の突き出し位置の調整も行う必要が
ある。

【０００３】ところで、例えばＶＨＳ方式のビデオテー
プレコーダのように、基準側のヘッドチップ３ａのギャ
ップと、非基準側のヘッドチップ３ｂのギャップとのギ
ャップ間距離が１ｍｍ以下の場合には、１つの顕微鏡の
視野の中央付近を抜き去り、左右のヘッドギャップを１
台の撮像素子で撮像してモニタに写し出すことが行われ
る。この方式は、１つの顕微鏡の視野の中抜き方式と呼
ばれている。

【０００４】ところが、ギャップ間距離が１ｍｍを超え
ると、この中抜き方式では調整に必要なギャップの解像
度が得られない。そこで、図４と図５に示すような顕微
鏡回転方式が採用されている。図４は、基準側のヘッド
チップ３ａのヘッドギャップをカメラ２００で観察しな
がら、基準側のヘッドギャップの位置の調整を行う様子
を示している。図５は、非基準側のヘッドチップ３ｂの
ヘッドギャップをカメラ２００で観察しながら非基準側
のヘッドギャップの位置の調整を行う場合を示してい
る。照明装置２０９ａの光は、ビームスプリッタ２０７
ａにより反射されて対物レンズ２０５ａを介して基準側
のヘッドチップ３ａのヘッドギャップに照射される。こ
れと同時に照明装置２０９ａの光は、ビームスプリッタ
２０７ａを通して参照用レンズ２０６ａを介して鏡２０
８ａに照射される。そして基準側のヘッドチップ３ａか
らの戻り光は、対物レンズ２０５ａ及びビームスプリッ
タ２０７ａを通してカメラ２００に導かれる。参照鏡２
０８ａからの戻り光は、参照用レンズ２０６ａを通って
ビームスプリッタ２０７ａで反射してカメラ２００に導
かれる。これにより、基準側のヘッドチップ３ａからの
戻り光と、参照鏡２０８ａからの戻り光は、ビームスプ
リッタ２０７ａにおいて光の干渉が起こる。この干渉光
は、カメラ２００で観察できる。次に、非基準側のヘッ
ドチップ３ｂのヘッドギャップを観察する場合には、カ
メラ２００及び対物レンズ２０５ａなどを含む光学系を
全て、光軸ＯＰ１から光軸ＯＰ２に傾ける。つまりカメ
ラ２００及び対物レンズ２０５ａを含む光学系は、回転
ドラム１の中心ＣＰを中心として所定角度分傾けるよう
になっている。このようにするのは、顕微鏡回転方式の
組立装置が、２つのヘッドギャップを同時に観察するこ
とができないためである。

【０００５】次に、図４と図５の従来の顕微鏡回転方式
の組立装置による組立手順について図６により説明す
る。まず図４の磁気ヘッドＨは、ネジＮを用いて回転ド
ラム１に対して取り付けて調整を開始する（ステップＳ
１）。図４のようにしてカメラ２００及び対物レンズ２
０５ａを含む光学系は、基準側のヘッドチップ３ａのヘ
ッドギャップに対応して位置決めする。そして図３に示
すように基準側のヘッドギャップは、θ方向に沿って位
置を調整するとともにＲ方向に沿って移動して基準側の
ヘッドギャップの回転ドラム１に対する突き出し量を調
整する（ステップＳ２）。そして図５に示すようにカメ
ラ２００及び対物レンズ２０５ａを含む光学系は、非基
準側のヘッドチップ３ｂのヘッドギャップ側に所定角度
α回転する（ステップＳ３）。

【０００６】そして非基準側のヘッドチップ３ｂのヘッ
ドギャップは、図３のＲ方向に沿ってその回転ドラム１
に対する突き出し量の調整を行う。このようにして磁気
ヘッドＨが回転ドラム１に対して位置決めされると、ネ
ジＮにより磁気ヘッドＨは回転ドラム１に対して確実に
固定される（ステップＳ５）。再び図４に示すように顕
微鏡２００及び対物レンズ２０５ａを含む光学系は、光
軸ＯＰ１に沿って位置決めされる（ステップＳ６）。こ
の後基準側のヘッドチップ３ａのθ方向の位置及びＲ方
向の突き出し量の確認ができると（ステップＳ７）、磁
気ヘッドの組立調整が終了する（ステップＳ８）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように、基準側の
ヘッドチップ３ａの位置を調整した後に、言わば手探り
の状態で非基準側のヘッドチップ３ｂのＲ方向の突き出
し量の調整を行わなければならないので、図６の組立調
整ループを何度も繰り返す場合があり、磁気ヘッドの組
立の生産性が悪化してしまう。また磁気ヘッドの組立作
業に高い習熟度が要求される。そこで本発明は上記課題
を解消するためになされたものであり、２つのヘッドチ
ップのヘッドギャップの間隔が狭く設定されていても、
２つのヘッドギャップを同時に観察しながら回転ドラム
１に対する２つのヘッドギャップの位置を調整すること
ができる磁気ヘッドの組立装置を提供することを目的と
している。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項１の
発明にあっては、第１のヘッドチップと第２のヘッドチ
ップを備える磁気ヘッドを、回転ドラムに対して調整し
て組み立てるための磁気ヘッドの組立装置において、第
１のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照射
し、かつ光をこの対物レンズと等質な参照用レンズを通
して参照鏡に照射し、第１のヘッドチップから対物レン
ズを通して得られる第１の戻り光と、参照鏡から参照用
レンズを通して得られる第２の戻り光との干渉を起こす
ための第１の干渉装置と、第２のヘッドチップに対して
光を対物レンズを通して照射し、かつ光をこの対物レン
ズと等質な参照用レンズを通して参照鏡に照射し、第２
のヘッドチップから対物レンズを通して得られる第３の
戻り光と、参照鏡から参照用レンズを通して得られる第
４の戻り光との干渉を起こすための第２の干渉装置と、
第２の干渉装置において、第２のヘッドチップに対して
光を対物レンズを通して照射してかつ第２のヘッドチッ
プから対物レンズを通して第３の戻り光を得る際に、光
路を変更するための反射手段と、第１の干渉装置を介し
て第１のヘッドチップの先端部分を撮影するための第１
の撮影手段と、第２の干渉装置を介して第２のヘッドチ
ップの先端部分を撮影するための第２の撮影手段と、を
備える磁気ヘッドの組立装置により、達成される。請求
項２の発明にあっては、好ましくは第１の干渉装置と第
２の干渉装置は、リンニク干渉装置である。請求項３の
発明にあっては、好ましくは第１のヘッドチップが基準
側のヘッドチップであり、第２のヘッドチップが非基準
側のヘッドチップである。請求項４の発明にあっては、
好ましくは反射手段は、鏡である。

【０００９】

【作用】請求項１の発明によれば、第１の干渉装置は、
第１のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
射し、かつ光を参照用レンズを通して参照鏡に照射す
る。これにより、第１の干渉装置は、第１のヘッドチッ
プから対物レンズを通して得られる第１の戻り光と、参
照鏡から参照用レンズを通して得られる第２の戻り光と
の干渉を起こすようになっている。第２の干渉装置は、
第２のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
射し、かつ光をこの参照用レンズを通して参照鏡に照射
する。これにより、第２の干渉装置は、第２のヘッドチ
ップから対物レンズを通して得られる第３の戻り光と、
参照鏡から参照用レンズを通して得られる第４の戻り光
との干渉を起こすようになっている。

【００１０】反射手段は、第２の干渉装置において、第
２のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照射
して、かつ第２のヘッドチップから対物レンズを通して
第３の戻り光を得る際に、光路を変更することができ
る。これにより、第１のヘッドチップのヘッドギャップ
と第２のヘッドチップのヘッドギャップの間隔が狭いも
のであっても、第１の干渉装置の対物レンズと、第２の
干渉装置の対物レンズが物理的に干渉して配置できなく
なるという恐れがなくなる。第１の撮影手段は、第１の
干渉装置を介して第１のヘッドチップの先端部分を撮影
するようになっている。同様にして第２の撮影手段は、
第２の干渉装置を介して第２のヘッドチップの先端部分
を撮影するようになっている。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施例は、
本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種
々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説
明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、
これらの態様に限られるものではない。図１は、本発明
の磁気ヘッドの組立装置の好ましい実施例を示してい
る。図１において、本発明の磁気ヘッドの組立装置の実
施例は、第１の干渉装置であるリンニク干渉装置１００
ａと、第２の干渉装置であるリンニク干渉装置１００ｂ
と、反射手段である鏡４と、第１の撮影手段であるカメ
ラ５０ａと、第２の撮影手段であるカメラ５０ｂなどを
有している。磁気ヘッドの組立装置は、回転ドラム１に
対応して配置されている。回転ドラム１は、２つの磁気
ヘッドＨ，Ｈを備えている。この回転ドラム１は、例え
ばビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）の回転磁気ヘッド装
置の回転ドラムである。この回転ドラム１は、モータに
より固定ドラムに対して回転でき、例えばヘリカルスキ
ャン方式により、磁気ヘッドＨ，Ｈがビデオテープに対
して情報を記録したり或いはビデオテープの情報を再生
することができる。磁気ヘッドＨは、回転ドラム１に対
してネジＮにより着脱可能に固定される。磁気ヘッドＨ
は基準側ヘッドチップ３ａと非基準側のヘッドチップ３
ｂの合計２つのヘッドチップを備えている。即ち基準側
ヘッドチップ３ａ、非基準側ヘッドチップ３ｂは、真ち
ゅう製のヘッドベース２に対して接着剤などにより貼り
付けて固定されている。基準側ヘッドチップ３ａのヘッ
ドギャップと、非基準側ヘッドチップ３ｂのヘッドギャ
ップのヘッドギャップ間隔は、例えば約４ｍｍ離れて配
置されている。

【００１２】磁気ヘッドＨは、回転ドラム１に対して次
のような要領でその位置が調整されるようになってい
る。即ち、磁気ヘッドＨの基準側ヘッドチップ３ａの基
準側ヘッドギャップは、θ方向に沿って回転ドラム１に
おけるその姿勢方向が姿勢調整装置により調整される。
しかも基準側ヘッドチップ３ａの基準側ヘッドギャップ
の回転ドラム１に対する突き出し量は、Ｒ方向に沿って
ヘッドギャップの突き出し量調整装置により調整され
る。これに対して非基準側ヘッドチップ３ｂのヘッドギ
ャップは、その回転ドラム１に対する突き出し量のみが
Ｒ方向に沿って突き出し量調整装置により調整される。
つまり非基準側のヘッドギャップの調整では、Ｒ方向の
突き出し量調整のみを行い、θ方向の姿勢調整は行わな
い。

【００１３】次に、基準側ヘッドチップ３ａの基準側ヘ
ッドギャップの観察系について説明する。基準側ヘッド
チップ３ａの基準側ヘッドギャップの観察系は、光軸Ｏ
Ｌ１に沿って配置されている。この観察系は、リンニク
干渉装置１００ａとカメラ５０ａで構成されている。リ
ンニク干渉装置１００ａは、照明装置９ａ、ビームスプ
リッタ７ａ、対物レンズ５ａ、参照用レンズ６ａ、参照
鏡８ａを有している。ビームスプリッタ７ａと対物レン
ズ５ａは、光軸ＯＬ１に沿って配置されている。照明装
置９ａの光Ｌは、ビームスプリッタ７ａにより２方向に
分割される。一方の光は、対物レンズ５ａを介して基準
側ヘッドチップ３ａの基準側ヘッドギャップ側に照射さ
れる。また他方の光は、参照用レンズ６ａを介して参照
鏡８ａに達する。対物レンズ５ａは、参照用レンズ６ａ
と等質のレンズである。

【００１４】基準側ヘッドチップ３ａの基準側ヘッドギ
ャップ及びその周辺で反射した第１の戻り光は、対物レ
ンズ５ａを通してビームスプリッタ７ａを通る。参照鏡
８ａで反射した第２の戻り光は、参照用レンズ６ａを通
してビームスプリッタ７ａで反射される。これにより、
ビームスプリッタ７ａでは、基準側ヘッドチップ３ａの
基準側ヘッドギャップ及びその周辺で反射した第１の戻
り光と、参照鏡８ａで反射した第２の戻り光とで光の干
渉がおこる。例えば基準側ヘッドチップ３ａより反射さ
れる光の位相面は円弧状であるのに対して、参照鏡８ａ
より反射される光の位相面は直線状であることから、円
弧と直線を光の進行方向に重ねたその差が半波長の偶数
倍のところでは光が強められ、半波長の奇数倍のところ
では弱められる。この光の干渉は、基準側ヘッドチップ
３ａの第１の戻り光による干渉であることから、半波長
は波長の１／４に相当する。つまり基準側ヘッドチップ
３ａの先端であるヘッドギャップ及びその周辺部分を、
光の波長ピッチで等高線表示したのと同等の干渉縞を得
ることができる。このようにして得られた干渉光は、カ
メラ５０ａで撮像されて第１モニタ６０ａに表示され
る。第１モニタ６０ａには、基準側ヘッドチップ３ａが
表示されている。基準側ヘッドチップ３ａのヘッドギャ
ップ３０ａ及びその周辺部分には、干渉縞３１ａが表示
されている。

【００１５】次に、非基準側ヘッドチップ３ｂの観察系
について説明する。特徴的なのは、非基準側ヘッドチッ
プ３ｂの付近には、反射手段である鏡４が配置されてい
ることである。この鏡４は、好ましくは表面反射型の鏡
であり、例えば光軸ＯＬ１に対して所定の角度で傾いて
配置されている。このように、表面反射型の鏡４を用い
るのは、絞った光を鏡で反射する際の収差をなくすため
である。言い換えれば、光軸ＯＬ２に対して所定の角度
βで配置されている。鏡４の付近には、カメラ５０ｂと
リンニク干渉装置１００ｂが光軸ＯＬ２に沿って配置さ
れている。光軸ＯＬ２は、光軸ＯＬ１に対して好ましく
は直交している。非基準側ヘッドチップ３ｂの基準側ヘ
ッドギャップの観察系は、光軸ＯＬ２に沿って配置され
ている。この観察系は、リンニク干渉装置１００ｂとカ
メラ５０ｂで構成されている。リンニク干渉装置１００
ｂは、照明装置９ｂ、ビームスプリッタ７ｂ、対物レン
ズ５ｂ、参照用レンズ６ｂ、参照鏡８ｂを有している。
ビームスプリッタ７ｂと対物レンズ５ｂは、光軸ＯＬ２
にそって配置されている。照明装置９ｂの光Ｌは、ビー
ムスプリッタ７ｂにより２方向に分割される。一方の光
は、対物レンズ５ｂを介して非基準側ヘッドチップ３ｂ
の基準側ヘッドギャップ側に照射される。また他方の光
は、参照用レンズ６ｂを介して参照鏡８ｂに達する。対
物レンズ５ｂは、参照用レンズ６ｂと等質のレンズであ
る。

【００１６】非基準側ヘッドチップ３ｂの基準側ヘッド
ギャップ及びその周辺で反射した第３の戻り光は、対物
レンズ５ｂを通してビームスプリッタ７ｂを通る。参照
鏡８ｂで反射した第４の戻り光は、参照用レンズ６ｂを
通してビームスプリッタ７ｂで反射される。これによ
り、ビームスプリッタ７ｂは、基準側ヘッドチップ３ｂ
の基準側ヘッドギャップ及びその周辺で反射した第３の
戻り光と、参照鏡８ｂで反射した第４の戻り光とで光の
干渉がおこる。例えば基準側ヘッドチップ３ｂより反射
される光の位相面は円弧状であるのに対して、参照鏡８
ｂより反射される光の位相面は直線状であることから、
円弧と直線を光の進行方向に重ねたその差が半波長の偶
数倍のところでは光が強められ、半波長の奇数倍のとこ
ろでは弱められる。この光の干渉は、基準側ヘッドチッ
プ３ｂの第３の戻り光による干渉であることから、半波
長は波長の１／４に相当する。つまり基準側ヘッドチッ
プ３ｂの先端であるヘッドギャップ及びその周辺部分
を、光の波長ピッチで等高線表示したのと同等の干渉縞
を得ることができる。このようにして得られた干渉光
は、カメラ５０ｂで撮像されて第２モニタ６０ｂに表示
される。第２モニタ６０ｂには、非基準側ヘッドチップ
３ｂが表示されている。非基準側ヘッドチップ３ｂのヘ
ッドギャップ３０ｂは及びその周辺部分には、干渉縞３
１ｂが表示されている。

【００１７】次に上述した磁気ヘッドの組立装置による
磁気ヘッドの組立調整方法の例を説明する。まず図１の
回転ドラム１は、一方の磁気ヘッドＨが光軸ＯＬ１に対
して所定の角度ｘで傾いた状態で保持される。この状態
では、基準側ヘッドチップ３ａのヘッドギャップ３０ａ
及びその付近が、照明装置９ａの光Ｌにより照射できる
位置にある。しかも非基準側のヘッドチップ３ｂのヘッ
ドギャップ３０ｂは、リンニク干渉装置１００ｂの照明
装置９ｂの光Ｌが照射できる位置でもある。

【００１８】このように、リンニク干渉装置１００ａ，
１００ｂを２つ用いているので、リンニク干渉装置１０
０ａの対物レンズ５ａが、もう１つのリンニク干渉装置
１００ｂの対物レンズ５ｂに位置的に干渉を起こして設
定できなくなる恐れを回避するために、鏡４がその機能
を発揮している。即ち鏡４は、リンニク干渉装置１００
ｂからの光Ｌを所定角度（例えば９０°より大きい角
度）で折り曲げて、非基準側ヘッドチップ３ｂのヘッド
ギャップ側に照射し、しかも鏡４はヘッドギャップ及び
その周辺部分からの反射した第３の戻り光をその鏡４を
介してリンニク干渉装置１００ｂ側に戻すことができ
る。鏡４を非基準側ヘッドチップ３ｂ側に対応して配置
することにより、例え２つのヘッドギャップ間の間隔が
約４ｍｍ程度と小さい場合であっても対物レンズ５ａ，
ｂ同士が物理的な干渉をするということが無くなり、２
つのヘッドギャップは、光軸ＯＬ１，ＯＬ２に沿って、
同時に観察することができる。しかも、基準側のヘッド
チップ３ａのヘッドギャップが、カメラ５０ａにより直
接観察するのは次の理由による。つまり、基準側ヘッド
チップ３ａのヘッドギャップ３０ａのθ方向の姿勢調整
には、高い精度が要求されるので、基準側ヘッドギャッ
プ３０ａは、カメラ５０ａにより直接、つまり鏡などで
反射させることなしに観察するのが望ましい訳である。

【００１９】これに対して、非基準側ヘッドチップ３ｂ
のヘッドギャップ３０ｂの調整では、Ｒ方向に沿った突
き出し量の調整のみでよく、θ方向の姿勢調整は行わな
い。そのために、鏡４を非基準側ヘッドギャップ３０ｂ
の観察用に用いることにより、２つのヘッドギャップ３
０ａ，３０ｂが同時にしかも高精度に観察できる。

【００２０】本発明の実施例では、２つのヘッドギャッ
プ３０ａ，３０ｂは、同時に観察しながら調整できるの
で、磁気ヘッドの位置決め調整作業が容易である。また
従来の顕微鏡回転方式で必要であった顕微鏡の回転時間
が省略できるので、作業時間が短縮できる。しかも本発
明の実施例は、顕微鏡の回転が無く、固定式なので、観
察精度は向上する。基準側ヘッドチップのヘッドギャッ
プの位置はカメラ５０ａにより直接観察することができ
るので、精度の高い調整が行われる。本発明の実施例
は、ヘッドギャップの間隔が狭く、たとえば１ｍｍ程度
より広く、対物レンズの直径より狭い場合でも、２つの
ヘッドギャップを同時に観察できる。なお、上述したリ
ンニク干渉装置１００ａ，１００ｂは、超長作動距離タ
イプの顕微鏡であり、これらは、干渉顕微鏡である。と
ころで本発明は上記実施例に限定されない。図１の反射
鏡４は、反射手段として用いられているが、これに限ら
ずプリズム或いはその他の光学部品であっても勿論構わ
ない。また上述した回転ドラム及びその磁気ヘッドは、
ビデオテープレコーダに適用するためのものであるが、
これに限らずデジタルオーディオテープレコーダやデー
タストリーマなどの他の領域の機種に用いられる磁気ヘ
ッドに対しても本発明は適用することができる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、たとえ２つのヘッ
ドチップのヘッドギャップの間隔が狭く設定されていて
も、２つのヘッドギャップを同時に観察しながら２つの
ヘッドギャップの位置を調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドの組立装置の好ましい実施
例を示す図。

【図２】回転ドラムの例を示す側面図。

【図３】回転ドラムの底面図。

【図４】従来の磁気ヘッドの組立装置における基準側ヘ
ッドギャップの調整時の位置を示す図。

【図５】図４の従来の磁気ヘッドの組立装置における非
基準側ヘッドチップの調整時の位置を示す図。

【図６】従来の磁気ヘッドチップの組立手順を示す図。

【符号の説明】

１ 回転ドラム ２ ヘッドベース ３ａ 基準側ヘッドチップ ３ｂ 非基準側ヘッドチップ ３０ａ 基準側ヘッドギャップ ３０ｂ 非基準側ヘッドギャップ ５０ａ カメラ（第１の撮影手段） ５０ｂ カメラ（第２の撮影手段） １００ａ リンニク干渉装置（第１の干渉装置） １００ｂ リンニク干渉装置（第２の干渉装置） Ｈ 磁気ヘッド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のヘッドチップと第２のヘッドチッ
   プを備える磁気ヘッドを、回転ドラムに対して調整して
   組み立てるための磁気ヘッドの組立装置において、 第１のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
   射し、かつ光をこの対物レンズと等質な参照用レンズを
   通して参照鏡に照射し、第１のヘッドチップから対物レ
   ンズを通して得られる第１の戻り光と、参照鏡から参照
   用レンズを通して得られる第２の戻り光との干渉を起こ
   すための第１の干渉装置と、 第２のヘッドチップに対して光を対物レンズを通して照
   射し、かつ光をこの対物レンズと等質な参照用レンズを
   通して参照鏡に照射し、第２のヘッドチップから対物レ
   ンズを通して得られる第３の戻り光と、参照鏡から参照
   用レンズを通して得られる第４の戻り光との干渉を起こ
   すための第２の干渉装置と、 第２の干渉装置において、第２のヘッドチップに対して
   光を対物レンズを通して照射してかつ第２のヘッドチッ
   プから対物レンズを通して第３の戻り光を得る際に、光
   路を変更するための反射手段と、 第１の干渉装置を介して第１のヘッドチップの先端部分
   を撮影するための第１の撮影手段と、 第２の干渉装置を介して第２のヘッドチップの先端部分
   を撮影するための第２の撮影手段と、を備えることを特
   徴とする磁気ヘッドの組立装置。
2. 【請求項２】 第１の干渉装置と第２の干渉装置は、リ
   ンニク干渉装置である請求項１に記載の磁気ヘッドの組
   立装置。
3. 【請求項３】 第１のヘッドチップが基準側のヘッドチ
   ップであり、第２のヘッドチップが非基準側のヘッドチ
   ップである請求項１に記載の磁気ヘッドの組立装置。
4. 【請求項４】 反射手段は、鏡である請求項１に記載の
   磁気ヘッドの組立装置。