JPH0973040A - Scan driving method of infrared device and scan driving device - Google Patents

Scan driving method of infrared device and scan driving device

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JPH0973040A
JPH0973040A JP22768095A JP22768095A JPH0973040A JP H0973040 A JPH0973040 A JP H0973040A JP 22768095 A JP22768095 A JP 22768095A JP 22768095 A JP22768095 A JP 22768095A JP H0973040 A JPH0973040 A JP H0973040A
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JP
Japan
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scanning
angular velocity
scanning mirror
angle
mirror
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JP22768095A
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Japanese (ja)
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Eiji Nameki
英時 行木
Yasushi Matsumoto
保志 松本
Mikiyasu Okamoto
幹泰 岡本
Kiyoshi Takenoi
清 竹野井
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 赤外線装置の走査駆動方法及び走査駆動装置
に関し、経済的に且つ高精度で走査鏡を駆動する。 【解決手段】 赤外線検知器8に赤外線を走査入力する
走査鏡2と、この走査鏡2を走査駆動する駆動モータ3
と、走査鏡2の走査位置を検出する位置センサ4と、駆
動モータ3を駆動するサーボ回路とを有し、アナログ・
サーボ方式により走査鏡2を走査駆動する赤外線装置に
於いて、走査鏡2の所定の走査角度を検出する角度セン
サ5と、この角度センサ5の検出信号により走査鏡2の
走査角速度を求め、基準走査角速度に対する誤差が零と
なるように、サーボ回路6に補正信号を加える角速度判
定回路7とを備えている。
The present invention relates to a scan driving method and a scan driving apparatus for an infrared device, and economically and highly accurately drives a scanning mirror. SOLUTION: A scanning mirror 2 for scanning and inputting infrared rays to an infrared detector 8, and a drive motor 3 for scanning and driving the scanning mirror 2.
And a position sensor 4 for detecting the scanning position of the scanning mirror 2 and a servo circuit for driving the drive motor 3,
In an infrared device that scans and drives the scanning mirror 2 by a servo system, an angle sensor 5 that detects a predetermined scanning angle of the scanning mirror 2 and a scanning angular velocity of the scanning mirror 2 are obtained from a detection signal of the angle sensor 5, An angular velocity determination circuit 7 that applies a correction signal to the servo circuit 6 is provided so that the error with respect to the scanning angular velocity becomes zero.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、赤外線検知器に赤
外線を走査入力する走査鏡を有する赤外線装置の走査駆
動方法及び走査駆動装置に関する。赤外線検知器は、検
知素子を二次元配列とした構成も知られているが、単一
素子又は一次元配列素子の構成が比較的多く採用されて
いる。このような単一又は一次元配列の検知素子からな
る赤外線検知器を用いた場合、走査鏡によって赤外線を
走査入力することになる。この場合の走査鏡の走査角度
や走査角速度が変化すると、表示画像に歪みが生じる。
従って、走査鏡の高安定度の駆動が必要となる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scan driving method and a scan driving apparatus for an infrared device having a scanning mirror for scanning and inputting infrared rays to an infrared detector. The infrared detector is also known to have a two-dimensional array of sensing elements, but a single element or a one-dimensional array element is relatively popular. When an infrared detector composed of such a single or one-dimensional array of detection elements is used, infrared rays are scanned and input by a scanning mirror. When the scanning angle or the scanning angular velocity of the scanning mirror in this case changes, the displayed image is distorted.
Therefore, it is necessary to drive the scanning mirror with high stability.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は従来例の説明図であり、アナログ
・サーボ方式による場合を示し、31は表示装置、32
は走査鏡、33は駆動モータ、34はアナログの位置セ
ンサ、36はサーボ回路、38は赤外線検知器、39は
増幅器、40は走査変換回路、41はTDI(Time D
elay and Integration)方式の要部を示し、42は多
素子の赤外線検知器、PAは前置増幅器、DLは遅延回
路である。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is an explanatory view of a conventional example, showing a case of an analog servo system, 31 is a display device, and 32 is a display device.
Is a scanning mirror, 33 is a drive motor, 34 is an analog position sensor, 36 is a servo circuit, 38 is an infrared detector, 39 is an amplifier, 40 is a scan conversion circuit, and 41 is a TDI (Time D).
The main part of the elay and integration system is shown, where 42 is a multi-element infrared detector, PA is a preamplifier, and DL is a delay circuit.

【0003】赤外線検知器38に赤外線を走査入力する
走査鏡32を、駆動モータ33の回転軸に直結し、その
回転位置を検出する位置センサ34を設け、回転位置を
示すアナログの検出信号をサーボ回路36に加える。時
間の経過に従った走査鏡32の走査位置を予め設定して
あるから、位置センサ34により検出した位置との誤差
分を求めて、駆動モータ33に加える駆動信号を補正す
る。即ち、駆動モータ33と位置センサ34とサーボ回
路36とを含むサーボ・ループにより、走査鏡32が走
査駆動される。
A scanning mirror 32 for scanning and inputting infrared rays to an infrared detector 38 is directly connected to a rotation shaft of a drive motor 33, and a position sensor 34 for detecting the rotation position thereof is provided to servo an analog detection signal indicating the rotation position. Add to circuit 36. Since the scanning position of the scanning mirror 32 according to the passage of time is set in advance, an error amount from the position detected by the position sensor 34 is obtained and the drive signal applied to the drive motor 33 is corrected. That is, the scanning mirror 32 is scan-driven by the servo loop including the drive motor 33, the position sensor 34, and the servo circuit 36.

【0004】又駆動モータ33は、例えば、ガルバノメ
ータと同様な構成を有し、サーボ回路36により、例え
ば、一方向には一定の走査角速度に従って回動され、こ
の期間の走査鏡32により赤外線検知器38に走査入力
された赤外線が電気信号に変換され、増幅器39により
増幅され、走査変換回路40により走査変換されて、表
示装置31に表示される。又他方向には高速で元の位置
に復帰し、この復帰期間が表示装置31に於ける表示の
帰線期間となる。従って、走査鏡32は鋸歯状波形に従
って駆動されることになる。この走査鏡32の走査角度
範囲は、通常は数度程度である。
The drive motor 33 has a structure similar to that of a galvanometer, for example, and is rotated by a servo circuit 36, for example, in one direction at a constant scanning angular velocity, and the scanning mirror 32 in this period causes an infrared detector. The infrared light scanned and input to 38 is converted into an electric signal, amplified by the amplifier 39, scan-converted by the scan conversion circuit 40, and displayed on the display device 31. In the other direction, it returns to the original position at a high speed, and this return period becomes the blanking period of the display on the display device 31. Therefore, the scanning mirror 32 is driven according to the sawtooth waveform. The scanning angle range of the scanning mirror 32 is usually about several degrees.

【0005】又赤外線検知器38は、単一の素子又は一
次元配列素子により構成され、単一素子の場合は、走査
鏡32による走査方向と直交する走査方向の走査鏡が設
けられて、二次元走査が行われる。又一次元配列素子の
場合は、図示のように、走査鏡32による走査が行われ
る。この赤外線検知器38からの検出信号は、増幅器3
9により増幅されて走査変換回路40に入力され、表示
装置31の表示走査に従った走査方式に変換される。そ
れによって、表示装置31に走査鏡32と赤外線検知器
38とによる撮像赤外線映像が表示される。
The infrared detector 38 is composed of a single element or a one-dimensional array element, and in the case of a single element, a scanning mirror in the scanning direction orthogonal to the scanning direction of the scanning mirror 32 is provided. A dimensional scan is performed. In the case of a one-dimensional array element, scanning by the scanning mirror 32 is performed as shown in the figure. The detection signal from the infrared detector 38 is supplied to the amplifier 3
It is amplified by 9 and input to the scan conversion circuit 40, and is converted into a scanning system according to the display scan of the display device 31. Thereby, the captured infrared image by the scanning mirror 32 and the infrared detector 38 is displayed on the display device 31.

【0006】又TDI方式は、多素子の赤外線検知器4
2の各素子対応に前置増幅器PAと遅延回路DLとを接
続し、遅延回路DLを走査方向に従った順序で接続し、
最終段の出力信号を走査変換回路40に加える。このT
DI方式に於いては、或る被写体のポイントについて、
赤外線検知器42の各素子から走査速度に従って順次同
一の検出信号が出力されるから、遅延回路DLにより走
査速度に従った遅延時間を各素子の検出信号に与えて合
成するものである。従って、解像度を低下させることな
く、S/Nを著しく向上できるものである。
Further, the TDI system is a multi-element infrared detector 4
The preamplifier PA and the delay circuit DL are connected to correspond to each element of 2, and the delay circuit DL is connected in the order according to the scanning direction,
The output signal of the final stage is applied to the scan conversion circuit 40. This T
In the DI method, about the point of a certain subject,
Since the same detection signal is sequentially output from each element of the infrared detector 42 according to the scanning speed, a delay time according to the scanning speed is given to the detection signal of each element by the delay circuit DL and combined. Therefore, the S / N can be significantly improved without lowering the resolution.

【0007】又前述の位置センサ34は、回転位置に対
応したアナログの検出信号を出力するもので、各種の構
成が知られている。又ディジタル信号として出力するロ
ータリエンコーダ等による位置センサを用い、ディジタ
ル処理により駆動モータ33を制御するディジタル・サ
ーボ方式も知られている。
The position sensor 34 described above outputs an analog detection signal corresponding to the rotational position, and various configurations are known. There is also known a digital servo system in which a position sensor such as a rotary encoder that outputs a digital signal is used and the drive motor 33 is controlled by digital processing.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】駆動モータ33によっ
て走査駆動される走査鏡32の走査角度は、光学レンズ
系の制約によって、前述のように数度程度の微小角度が
採用されている。又撮像フレームレートは、表示装置3
1の表示フレームレートと通常は一致させるものである
から、表示装置31としてテレビモニタを用いる場合、
フレームレートは約60Hzとなる。従って、走査鏡3
2は、微小角度範囲を高速走査する必要がある。その為
には、位置センサ34により走査鏡32の位置を高速度
で検出し、サーボ回路36により駆動モータ33を制御
する必要がある。
As described above, the scanning angle of the scanning mirror 32 driven by the drive motor 33 is a minute angle of about several degrees due to the limitation of the optical lens system. In addition, the imaging frame rate is the display device 3
Since the display frame rate of 1 is normally matched, when a television monitor is used as the display device 31,
The frame rate is about 60 Hz. Therefore, the scanning mirror 3
No. 2 requires high-speed scanning in a minute angle range. For that purpose, it is necessary to detect the position of the scanning mirror 32 at a high speed by the position sensor 34 and control the drive motor 33 by the servo circuit 36.

【0009】又サーボ方式としては、前述のように、デ
ィジタル・サーボ方式とアナログ・サーボ方式とがあ
り、何れか一方が採用されることになるが、ディジタル
・サーボ方式は、各種の利点があるが、高分解能で且つ
高速動作のロータリエンコーダ等の位置センサを必要と
し、このような位置センサは、大型且つ高価である欠点
がある。
As the servo system, there are the digital servo system and the analog servo system as described above, and either one of them will be adopted, but the digital servo system has various advantages. However, a position sensor such as a rotary encoder having high resolution and high speed operation is required, and such a position sensor has a drawback that it is large and expensive.

【0010】これに対して、アナログ・サーボ方式は、
アナログの検出信号を出力する位置センサが比較的小型
であり、且つ安価である利点がある。しかし、このアナ
ログの検出信号を出力する位置センサは、温度や湿度等
の環境の変化や、経年変化によって検出感度が変化する
問題がある。従って、位置センサの検出感度の変化に対
応してサーボ回路16の再調整を行うことが考えられる
が、赤外線装置としての保守作業が煩雑となる問題があ
る。又検出感度の変化を補償する感度補償回路を設ける
ことが考えられるが、それによるコストアップとなる問
題がある。
On the other hand, the analog servo system is
The position sensor that outputs an analog detection signal has the advantages of being relatively small and inexpensive. However, the position sensor that outputs this analog detection signal has a problem that the detection sensitivity changes due to changes in the environment such as temperature and humidity and changes over time. Therefore, it is conceivable to readjust the servo circuit 16 according to the change in the detection sensitivity of the position sensor, but there is a problem that the maintenance work as the infrared device becomes complicated. Further, it is conceivable to provide a sensitivity compensating circuit for compensating for the change in the detection sensitivity, but there is a problem that the cost increases due to that.

【0011】又走査鏡32の走査角度又は走査角速度が
変化すると、表示装置31に表示する赤外線画像は走査
方向に歪みが生じる。例えば、走査角度が基準値より小
さくなった時又は走査角速度が基準値より大きくなった
時は、表示装置31には、走査方向に拡大されて表示さ
れる。反対に、走査角度が基準値より大きくなった時又
は走査角速度が基準値より小さくなった時は、走査方向
に縮小されて表示される。従って、走査駆動が安定でな
い場合は、走査鏡32の走査角度又は走査角速度が変化
し、それによる表示画像の歪みの問題がある。
When the scanning angle or the scanning angular velocity of the scanning mirror 32 changes, the infrared image displayed on the display device 31 is distorted in the scanning direction. For example, when the scanning angle becomes smaller than the reference value or when the scanning angular velocity becomes larger than the reference value, the display device 31 displays the image enlarged in the scanning direction. On the contrary, when the scanning angle becomes larger than the reference value or when the scanning angular velocity becomes smaller than the reference value, the image is reduced and displayed in the scanning direction. Therefore, when the scanning drive is not stable, the scanning angle or the scanning angular velocity of the scanning mirror 32 changes, which causes a problem of distortion of the displayed image.

【0012】又TDI方式を適用した場合、走査鏡32
の走査角速度が変化すると、遅延回路DLの遅延時間に
対する誤差により、赤外線検知器42の各素子の検出信
号は被写体の同一のポイントについて合成されないこと
になり、更に隣接する素子の検出信号が含まれる場合が
あるから、S/Nの劣化と共に解像度の劣化が生じる問
題がある。本発明は、経済的に且つ高精度で走査鏡を駆
動することを目的とする。
When the TDI method is applied, the scanning mirror 32
When the scanning angular velocity changes, the detection signals of the respective elements of the infrared detector 42 are not combined for the same point of the subject due to an error with respect to the delay time of the delay circuit DL, and the detection signals of the adjacent elements are included. In some cases, there is a problem that the resolution deteriorates along with the S / N deterioration. An object of the present invention is to drive a scanning mirror economically and with high accuracy.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の赤外線装置の走
査駆動方法は、図1を参照して説明すると、(1)赤外
線検知器8に赤外線を走査入力する走査鏡2の走査位置
を、アナログの位置センサ4によって検出して、アナロ
グ・サーボ方式により走査鏡2を駆動制御する赤外線装
置の走査駆動方法に於いて、走査鏡2の所定の走査角度
を検出し、この走査角度の検出信号により角速度判定回
路7等により走査鏡2の走査角速度を求め、この走査角
速度が基準走査角速度となるように、走査鏡2を駆動制
御するものである。
A method for driving and scanning an infrared device according to the present invention will be described with reference to FIG. 1. (1) The scanning position of a scanning mirror 2 for scanning and inputting infrared rays to an infrared detector 8 In the scan driving method of the infrared device, which detects the analog position sensor 4 and drives and controls the scanning mirror 2 by the analog servo system, a predetermined scanning angle of the scanning mirror 2 is detected, and a detection signal of this scanning angle is detected. The angular velocity determination circuit 7 or the like determines the scanning angular velocity of the scanning mirror 2, and the scanning mirror 2 is drive-controlled so that the scanning angular velocity becomes the reference scanning angular velocity.

【0014】(2)又走査鏡2の所定の2個所の走査角
度を検出し、この2個所の走査角度の検出信号の時間間
隔を基に走査角速度を求め、この走査角速度が基準走査
角速度となるように、走査鏡2を駆動制御することがで
きる。
(2) Further, the scanning angle at two predetermined positions of the scanning mirror 2 is detected, the scanning angular velocity is obtained based on the time interval of the detection signal of the scanning angle at these two positions, and this scanning angular velocity is the reference scanning angular velocity. The scanning mirror 2 can be driven and controlled so that

【0015】(3)又赤外線検知器8に赤外線を走査入
力する走査鏡2と、この走査鏡2を駆動する駆動モータ
3と、走査鏡2の走査位置を検出するアナログの位置セ
ンサ4と、このアナログの位置センサ4の検出信号に基
づいて駆動モータ3を制御するサーボ回路6とを備えた
赤外線装置に於いて、走査鏡2の少なくとも2個所の走
査角度を検出する角度センサ5と、この角度センサ5の
検出信号の時間間隔によって走査鏡の走査角速度を求
め、この走査角速度が基準走査角速度となるように補正
信号をサーボ回路6に加える角速度判定回路7とを備え
ている。又1は光学系のレンズ、9は増幅器、10は走
査変換回路である。
(3) Further, a scanning mirror 2 for scanning and inputting infrared rays to the infrared detector 8, a drive motor 3 for driving the scanning mirror 2, and an analog position sensor 4 for detecting a scanning position of the scanning mirror 2. In the infrared device including the servo circuit 6 that controls the drive motor 3 based on the detection signal of the analog position sensor 4, the angle sensor 5 that detects the scanning angle of at least two positions of the scanning mirror 2 and the infrared sensor 5. An angular velocity determination circuit 7 is provided which determines the scanning angular velocity of the scanning mirror based on the time interval of the detection signal of the angle sensor 5 and applies a correction signal to the servo circuit 6 so that this scanning angular velocity becomes the reference scanning angular velocity. Reference numeral 1 is an optical system lens, 9 is an amplifier, and 10 is a scan conversion circuit.

【0016】角度センサ5は、例えば、赤外線波長とは
異なる波長の発光素子と受光素子とを含み、例えば、走
査鏡2の所定の走査角度の時に、発光素子からの光が受
光素子に反射入力する構成として、その所定の走査角度
を検出することができる。その検出信号を角速度判定回
路7に加えて、検出信号の時間間隔によって走査鏡2の
走査角速度を求め、この走査角速度と基準走査角速度と
を比較し、誤差が零となるような補正信号をサーボ回路
6に加える。それによって、サーボ回路6から駆動モー
タ3に加える駆動信号が補正され、走査角速度は基準走
査角速度となるように制御される。従って、アナログ・
サーボ方式に於ける位置センサ4の感度変化を補正し
て、走査鏡2を高精度で走査駆動することができる。
The angle sensor 5 includes, for example, a light emitting element having a wavelength different from the infrared wavelength and a light receiving element. For example, when the scanning mirror 2 has a predetermined scanning angle, the light from the light emitting element is reflected and input to the light receiving element. As a configuration, the predetermined scanning angle can be detected. The detection signal is applied to the angular velocity determination circuit 7, the scanning angular velocity of the scanning mirror 2 is obtained from the time interval of the detection signal, this scanning angular velocity is compared with the reference scanning angular velocity, and the correction signal that makes the error zero is servo-controlled. Add to circuit 6. Thereby, the drive signal applied from the servo circuit 6 to the drive motor 3 is corrected, and the scanning angular velocity is controlled to be the reference scanning angular velocity. Therefore, analog
The sensitivity change of the position sensor 4 in the servo system can be corrected, and the scanning mirror 2 can be scanned and driven with high accuracy.

【0017】[0017]

【実施の形態】図2は本発明の実施例の説明図であり、
11はレンズ、12は走査鏡、13駆動モータ、14は
アナログの位置センサ、15A,15Bは角度センサ、
16はサーボ回路、17は角速度判定回路、18は赤外
線検知器、19は増幅器、20は走査変換回路、21は
表示装置である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 2 is an explanatory view of an embodiment of the present invention.
11 is a lens, 12 is a scanning mirror, 13 is a drive motor, 14 is an analog position sensor, 15A and 15B are angle sensors,
Reference numeral 16 is a servo circuit, 17 is an angular velocity determination circuit, 18 is an infrared detector, 19 is an amplifier, 20 is a scan conversion circuit, and 21 is a display device.

【0018】走査鏡12と駆動モータ13と位置センサ
14とは従来例と同様に機械的に接続されている。又走
査鏡12の回動位置を検出した位置センサ14の検出信
号はサーボ回路16に加えられ、走査鏡12の基準走査
位置に対する誤差が零となるように、駆動モータ13の
駆動信号が制御され、駆動モータ13によって走査鏡1
2が実線と点線とで示すように回動振動のように駆動さ
れる。
The scanning mirror 12, the drive motor 13, and the position sensor 14 are mechanically connected as in the conventional example. Further, the detection signal of the position sensor 14 that detects the rotational position of the scanning mirror 12 is applied to the servo circuit 16, and the drive signal of the drive motor 13 is controlled so that the error with respect to the reference scanning position of the scanning mirror 12 becomes zero. , Scan mirror 1 by drive motor 13
2 is driven like rotational vibration as shown by the solid and dotted lines.

【0019】又赤外線検知器18からの検出信号は増幅
器19により増幅されて、走査変換回路20に入力され
る。この走査変換回路20は、例えば、増幅器19の増
幅出力信号を所定のサンプリングクロックによってサン
プリングしてディジタル信号に変換してメモリに一時格
納し、表示装置21の表示走査に従ってメモリから読出
すことにより、走査変換することができる。この走査変
換した信号を表示装置21に加えることにより、赤外線
画像が表示される。
The detection signal from the infrared detector 18 is amplified by the amplifier 19 and input to the scan conversion circuit 20. The scan conversion circuit 20, for example, samples the amplified output signal of the amplifier 19 by a predetermined sampling clock, converts it into a digital signal, temporarily stores it in a memory, and reads it from the memory according to the display scan of the display device 21. It can be scan converted. An infrared image is displayed by applying the scan-converted signal to the display device 21.

【0020】又走査鏡12の少なくとも2個所の走査角
度を検出できるように、角度センサ15A,15Bを設
ける。これらの角度センサ15A,15Bは、例えば、
赤外線とは異なる波長の光を発生する発光素子と、その
光を検出する受光素子とを組合せ、発光素子からの光を
走査鏡12に入射し、所定の走査角度に於いて走査鏡1
2から反射して受光素子に入射する構成として、所定の
走査角度を検出することができる。
Angle sensors 15A and 15B are provided so that the scanning angles of at least two positions of the scanning mirror 12 can be detected. These angle sensors 15A and 15B are, for example,
A light emitting element that emits light of a wavelength different from infrared light and a light receiving element that detects the light are combined, light from the light emitting element is incident on the scanning mirror 12, and the scanning mirror 1 at a predetermined scanning angle.
A predetermined scanning angle can be detected as a configuration in which the light is reflected from 2 and enters the light receiving element.

【0021】又この実施例に於いては、走査鏡12の赤
外線の反射面と同一の反射面を利用して所定の走査角度
を検出するものであるが、走査鏡12の裏面を利用して
走査角度を検出するように角度センサ15A,15Bを
配置することも可能である。又1個の角度センサによっ
ても走査鏡12の走査角速度を検出できるが、実施例の
ように少なくとも2個の角度センサ15A,15Bを用
いることにより、正確に且つ容易に走査角速度を求める
ことができる。
Further, in this embodiment, the same reflecting surface as the infrared reflecting surface of the scanning mirror 12 is used to detect a predetermined scanning angle, but the rear surface of the scanning mirror 12 is used. It is also possible to arrange the angle sensors 15A and 15B so as to detect the scanning angle. Further, the scanning angular velocity of the scanning mirror 12 can be detected by one angle sensor, but the scanning angular velocity can be accurately and easily obtained by using at least two angle sensors 15A and 15B as in the embodiment. .

【0022】図3は本発明の実施例の動作説明図であ
り、上側は横軸を時間、縦軸を角度として示し、走査鏡
12は、実線のS1の特性で走査駆動される場合を基準
とすると、位置センサ14の感度が高くなると、位置セ
ンサ14のアナログの検出信号レベルは、所定の角度位
置以前に於いて所定の角度位置に到達した場合と同一の
レベルとなるから、サーボ回路16は、一点鎖線のS2
の特性で走査駆動することになる。反対に、位置センサ
14の感度が低くなると、位置センサ14のアナログの
検出信号レベルは、所定の角度位置を超えた時に所定の
角度位置に到達した場合と同一のレベルとなるから、サ
ーボ回路16は、点線のS3の特性で走査駆動すること
になる。
FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the embodiment of the present invention. The upper side shows the horizontal axis as time and the vertical axis as angle, and the scanning mirror 12 is based on the case of being driven by scanning with the characteristic of solid line S1. Then, when the sensitivity of the position sensor 14 becomes high, the analog detection signal level of the position sensor 14 becomes the same level as when the position sensor 14 reaches the predetermined angular position before the predetermined angular position. Is the dashed-dotted line S2
The scanning drive is performed with the characteristic of. On the contrary, when the sensitivity of the position sensor 14 becomes low, the analog detection signal level of the position sensor 14 becomes the same level as when the position sensor 14 reaches the predetermined angular position when it exceeds the predetermined angular position. Will be scan driven with the characteristics of the dotted line S3.

【0023】そこで、中心から−θの角度位置を所定の
走査角度として、角度センサ15Aにより検出するよう
に構成し、又中心から+θの角度位置も所定の走査角度
として、角度センサ15Bにより検出するように構成す
る。即ち、所定の2個所の走査角度を検出する。
Therefore, the angle position of −θ from the center is set as the predetermined scanning angle and detected by the angle sensor 15A, and the angle position of + θ from the center is also set as the predetermined scanning angle and detected by the angle sensor 15B. To configure. That is, the scanning angles at two predetermined positions are detected.

【0024】実線S1の基準特性で走査鏡12が走査駆
動される場合、角度センサ15AによりA1で示すよう
に検出信号が得られ、又角度センサ15BによりB1で
示すように検出信号が得られる。その場合の所定の走査
角度の検出信号の時間間隔はT1となる。又この時の走
査角を基準走査角とする。
When the scanning mirror 12 is driven to scan with the reference characteristic of the solid line S1, the angle sensor 15A obtains a detection signal as indicated by A1 and the angle sensor 15B obtains a detection signal as indicated by B1. In that case, the time interval of the detection signal of the predetermined scanning angle is T1. Further, the scanning angle at this time is set as a reference scanning angle.

【0025】又位置センサ14の感度が高くなり、走査
鏡12が一点鎖線S2の特性で走査駆動される場合、角
度センサ15AによりA2で示すように検出信号が得ら
れ、又角度センサ15BによりB2で示すように検出信
号が得られ、このA2,B2の検出信号の時間間隔はT
2(>T1)となる。この場合、検出信号レベルが高く
なる傾向であるから、走査角は小となる。
When the sensitivity of the position sensor 14 is increased and the scanning mirror 12 is driven to scan with the characteristic of the alternate long and short dash line S2, the angle sensor 15A obtains a detection signal as indicated by A2, and the angle sensor 15B outputs B2. A detection signal is obtained as shown by, and the time interval between the detection signals of A2 and B2 is T
2 (> T1). In this case, since the detection signal level tends to increase, the scanning angle becomes small.

【0026】反対に、位置センサ14の感度が低くな
り、走査鏡12が点線S3の特性で走査駆動される場
合、角度センサ15AによりA3で示すように検出信号
が得られ、又角度センサ15BによりB3で示すように
検出信号が得られる。このA3,B3の検出信号の時間
間隔はT3(<T1)となる。この場合、検出信号レベ
ルが低くなる傾向であるから、走査角は大となる。
On the contrary, when the sensitivity of the position sensor 14 becomes low and the scanning mirror 12 is driven to scan with the characteristic of the dotted line S3, the angle sensor 15A obtains a detection signal as indicated by A3, and the angle sensor 15B gives a detection signal. A detection signal is obtained as indicated by B3. The time interval of the detection signals of A3 and B3 is T3 (<T1). In this case, since the detection signal level tends to be low, the scanning angle becomes large.

【0027】角速度判定回路17は、角度センサ15
A,15Bの検出信号の時間間隔T1,T2,T3を基
に走査鏡12の走査角速度を求めることができる。そし
て、T1を基準走査角速度とすると、位置センサ14の
感度が高くなった場合は、ΔT=T2−T1>0の誤差
が生じる。そこで、ΔT→0となるような補正信号を形
成してサーボ回路16に加える。それによって、サーボ
回路16は、位置センサ14の感度が高くなっても、基
準値の場合の同様な走査角度及び走査角速度で走査鏡1
2を走査駆動することができる。
The angular velocity determination circuit 17 includes an angle sensor 15
The scanning angular velocity of the scanning mirror 12 can be obtained based on the time intervals T1, T2, T3 of the detection signals of A and 15B. When T1 is the reference scanning angular velocity, an error of ΔT = T2−T1> 0 occurs when the sensitivity of the position sensor 14 becomes high. Therefore, a correction signal such that ΔT → 0 is formed and added to the servo circuit 16. As a result, even if the sensitivity of the position sensor 14 is increased, the servo circuit 16 causes the scanning mirror 1 to have the same scanning angle and scanning angular velocity in the case of the reference value.
2 can be scan driven.

【0028】又位置センサ14の感度が低くなった場合
は、ΔT=T3−T1<0の誤差が生じる。そこで、Δ
T→0となるような補正信号を形成してサーボ回路16
に加える。従って、サーボ回路16は、位置センサ14
の感度が低くなっても、基準値の場合と同様な走査角度
及び走査角速度で走査鏡12を走査駆動することができ
る。
When the sensitivity of the position sensor 14 becomes low, an error of ΔT = T3−T1 <0 occurs. Then, Δ
The servo circuit 16 is formed by forming a correction signal such that T → 0.
Add to Therefore, the servo circuit 16 uses the position sensor 14
Even if the sensitivity becomes low, the scanning mirror 12 can be driven to scan at the same scanning angle and scanning angular velocity as in the case of the reference value.

【0029】前述の角速度判定回路17は、例えば、角
度センサ15Aの検出信号によって起動するタイマ、又
はクロックのカウントを開始するカウンタを設け、角度
センサ15Bの検出信号によってタイマによる時間計
測、又はカウンタのカウント内容による時間計測によ
り、時間間隔T1,T2,T3を求め、予め基準値Tを
設定し、その基準値との差分を求める比較回路等を設
け、その差分に対応した補正信号をサーボ回路16に加
える比較的簡単な論理回路によって構成とすることがで
きる。或いは、プロセッサの演算機能によって実現する
ことも可能である。
The above-described angular velocity determination circuit 17 is provided with, for example, a timer activated by a detection signal of the angle sensor 15A or a counter for starting the counting of a clock, and the time measurement by the timer is performed by the detection signal of the angle sensor 15B or the counter is started. A time interval T1, T2, T3 is obtained by time measurement based on the count content, a reference value T is set in advance, a comparison circuit for obtaining a difference from the reference value is provided, and a correction signal corresponding to the difference is provided to the servo circuit 16 It can be configured by a relatively simple logic circuit added to. Alternatively, it can be realized by the arithmetic function of the processor.

【0030】又前述の実施例は2個の角度センサ15
A,15Bを設けた場合を示すが、3個以上の角度セン
サを設けて、走査鏡12の走査角速度を更に細かく判定
することも可能である。又赤外線の反射面を利用し、赤
外線検知器18の検出感度の赤外線波長と異なる波長の
光を利用して、走査鏡12の所定の走査角度を検出する
場合を示すが、赤外線の反射面と反対側を利用する場合
は、赤外線を含む任意の波長の光を利用することができ
る。又角度センサ15A,15Bは、発光素子と受光素
子との句合わせ構成した場合を示すが、この構成の角度
センサを利用することも勿論可能である。
In the above embodiment, two angle sensors 15 are used.
The case where A and 15B are provided is shown, but it is also possible to provide three or more angle sensors to more finely determine the scanning angular velocity of the scanning mirror 12. In addition, a case where a predetermined scanning angle of the scanning mirror 12 is detected by using a light having a wavelength different from the infrared wavelength of the detection sensitivity of the infrared detector 18 by using the infrared reflecting surface will be described. When the opposite side is used, light of any wavelength including infrared can be used. Further, although the angle sensors 15A and 15B show the case where the light emitting element and the light receiving element are matched with each other, it is of course possible to use the angle sensor having this structure.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、アナロ
グ・サーボ方式により走査鏡2の走査駆動を行うことに
より、小型且つ安価な位置センサ4を用いることが可能
となり、走査鏡2の走査駆動装置の小型化と経済化とを
図ることができる利点がある。又走査鏡2の所定の角度
位置を角度サンサ5により検出し、角速度判定回路7に
より走査鏡2の角速度を求め、基準走査角速度との誤差
に対応した補正信号をサーボ回路6に加えることによ
り、位置センサ4の感度変化を補償し、常に正確且つ安
定に走査鏡2を駆動することができるから、表示される
赤外線画像の歪みを抑圧できる利点がある。又TDI方
式を適用した場合も、位置センサ4の感度変化によるS
/Nの劣化及び解像度の劣化を回避できる。従って、高
品質の赤外線画像を安定に表示できる利点がある。
As described above, according to the present invention, it is possible to use the small and inexpensive position sensor 4 by performing the scanning drive of the scanning mirror 2 by the analog servo system, and the scanning of the scanning mirror 2 can be performed. There is an advantage that the drive device can be downsized and economical. Further, by detecting a predetermined angular position of the scanning mirror 2 by the angle sensor 5, the angular velocity determination circuit 7 obtains the angular velocity of the scanning mirror 2, and a correction signal corresponding to an error from the reference scanning angular velocity is added to the servo circuit 6, Since the sensitivity change of the position sensor 4 can be compensated and the scanning mirror 2 can always be driven accurately and stably, there is an advantage that distortion of the displayed infrared image can be suppressed. Even when the TDI method is applied, S due to the sensitivity change of the position sensor 4
It is possible to avoid deterioration of / N and resolution. Therefore, there is an advantage that a high quality infrared image can be stably displayed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の原理説明図である。FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention.

【図2】本発明の実施例の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of an example of the present invention.

【図3】本発明の実施例の動作説明図である。FIG. 3 is an operation explanatory diagram of the embodiment of the present invention.

【図4】従来例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レンズ 2 走査鏡 3 駆動モータ 4 位置センサ 5 角度センサ 6 サーボ回路 7 角速度判定回路 8 赤外線検知器 9 増幅器 10 走査変換回路 1 Lens 2 Scanning Mirror 3 Drive Motor 4 Position Sensor 5 Angle Sensor 6 Servo Circuit 7 Angular Velocity Judgment Circuit 8 Infrared Detector 9 Amplifier 10 Scan Conversion Circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡本 幹泰 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 竹野井 清 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Mikiyasu Okamoto 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited (72) Inventor Kiyo Takenoi, 1015, Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 赤外線検知器に赤外線を走査入力する走
査鏡の走査位置を検出して、アナログ・サーボ方式によ
り該走査鏡を駆動制御する赤外線装置の走査駆動方法に
於いて、 前記走査鏡の所定の走査角度を検出し、該走査角度の検
出信号により該走査鏡の走査角速度を求め、該走査角速
度が基準走査角速度となるように、前記走査鏡を駆動制
御することを特徴とする赤外線装置の走査駆動方法。
1. A scan driving method of an infrared device for detecting a scanning position of a scanning mirror for scanning and inputting infrared rays to an infrared detector, and drivingly controlling the scanning mirror by an analog servo system. An infrared device characterized in that a predetermined scanning angle is detected, a scanning angular velocity of the scanning mirror is obtained from a detection signal of the scanning angle, and the scanning mirror is drive-controlled so that the scanning angular velocity becomes a reference scanning angular velocity. Scan driving method.
【請求項2】 前記走査鏡の所定の2個所の走査角度を
検出し、該走査角度の検出信号の時間間隔を基に走査角
速度を求め、該走査角速度が基準走査角速度となるよう
に、前記走査鏡を駆動制御することを特徴とする請求項
1記載の赤外線装置の走査駆動方法。
2. A scanning angle at two predetermined positions of the scanning mirror is detected, a scanning angular velocity is obtained based on a time interval of a detection signal of the scanning angle, and the scanning angular velocity becomes a reference scanning angular velocity. The method of driving a scan of an infrared device according to claim 1, wherein the scan mirror is driven and controlled.
【請求項3】 赤外線検知器に赤外線を走査入力する走
査鏡と、該走査鏡を駆動する駆動モータと、該走査鏡の
走査位置を検出するアナログ位置センサと、該アナログ
位置センサの検出信号に基づいて前記駆動モータを制御
するサーボ回路とを備えた赤外線装置に於いて、 前記走査鏡の少なくとも2個所の走査角度を検出する角
度センサと、 該角度センサの検出信号の時間間隔によって前記走査鏡
の走査角速度を求め、該走査角速度が基準走査角速度と
なるように補正信号を前記サーボ回路に加える角速度判
定回路とを備えたことを特徴とする赤外線装置の走査駆
動装置。
3. A scanning mirror for scanning and inputting infrared rays to an infrared detector, a drive motor for driving the scanning mirror, an analog position sensor for detecting a scanning position of the scanning mirror, and a detection signal of the analog position sensor. In an infrared device including a servo circuit for controlling the drive motor based on the above, an angle sensor for detecting a scanning angle of at least two positions of the scanning mirror, and the scanning mirror according to a time interval of a detection signal of the angle sensor. And an angular velocity determination circuit that applies a correction signal to the servo circuit so that the scanning angular velocity becomes the reference scanning angular velocity.
JP22768095A 1995-09-05 1995-09-05 Scan driving method of infrared device and scan driving device Withdrawn JPH0973040A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003084225A (en) * 2001-09-11 2003-03-19 Sumitomo Heavy Ind Ltd Method and device for controlling galvanoscanner, and the galvanoscanner

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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