JPH0973675A - 光磁気記録媒体用基板の製造方法とその方法を用いた光磁気記録媒体用基板 - Google Patents
光磁気記録媒体用基板の製造方法とその方法を用いた光磁気記録媒体用基板Info
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Abstract
た光磁気記録ディスク用の基板であるポリカーボネート
の射出成形においては、スタンパからポリカーボネート
基板へのグルーブの転写率が低いために、グルーブの底
部分のコーナーとランドのコーナーでの曲率半径が大き
くなっていた。また、従来条件では、グルーブの底部分
のコーナーとランドのコーナーでの曲率半径が小さく、
ポリカーボネート基板の複屈折が小さく、且つその周方
向の変動が小さいポリカーボネート基板は得られなかっ
た。これが結果的に再生時のRF信号のエンベロープの
変動を大きくし、記録,再生におけるCN比を小さくし
ていた。これは、グルーブの形成幅を示すトラックピッ
チを1.4μmから0.8μmと狭くした時に、より顕
著であった。 【解決手段】従来よりポリカーボネート基板の射出成形
時の金型温度と加熱筒温度を高くし、型締圧力を強く
し、樹脂射出速度を速くし、さらに、冷却時間を長くし
た。
Description
気記録媒体用基板の製造方法と、その製造方法により成
形した光磁気記録媒体用基板に関する。
去及び再生は、基板上に形成した希土類−遷移金属アモ
ルファス層に、ビーム径を1〜1.5μm程度に絞った
レーザビームを照射して熱磁気効果により行っている。
希土類−遷移金属アモルファス層はスパッタ法,イオン
プレーティング法等により形成され、ガラス板、アクリ
ル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アルミニウム,シリコ
ンウェハのような金属等が基板として提案されている
が、ディスクの特性、取扱性、機能性、信頼性等を考慮
した結果、現在では、殆どポリカーボネートが使用され
ているのが現状である。
ボネート基板を成形する必要があるが、この基板の成形
は一般に、図1に示す射出成形(射出圧縮成形を含む。
以下同じ)によって行っている。図1(a)に示すよう
にペレット状のポリカーボネート樹脂を加熱筒温度4t
が300〜350℃に設定された加熱筒4に入れて溶解
樹脂3を作製する。次に、図1(b)に示すように、型
締シリンダ5を用いて、圧力2pでスタンパ1’を金型
1に圧縮させた状態で加熱筒4を金型1にタッチさせ、
スクリュ3cにより溶解樹脂3を金型1に充填する。最
後に、図1(c)に示すように材料をチャージし、金型
を開いて製品2を取り出す。これが、一般的な射出成形
の工程であり、この工程においては、金型1の温度1
t,溶解樹脂3の射出速度3’,スタンパ1’を圧縮す
る型締圧力2p,加熱筒温度4t及び、冷却時間が基板
の成形にとって重要なファクターとなる。
ィスクを射出成形により作製する場合は、情報を凹凸の
ピットで記録するコンパクトディスクなどの再生専用型
光ディスクに比べ、ピットではなくグルーブを形成する
のが一般的であるが、このグルーブのポリカーボネート
への転写はピットの場合より困難である。例えば、コン
パクトディスクの場合は、金型温度90℃,型締圧力3
0kg/cm2(印加する圧力を成形するディスクの面積
で除したものを型締圧力として定義する。以下同じ),
加熱筒温度335℃,射出速度150mm/s,冷却時
間3.8秒の条件でピットを90%以上で転写できる
が、同一条件でグルーブを転写しようとすると、殆ど転
写されない。そこで、主に金型温度を高くし、型締圧力
を強くし、さらに冷却時間を長くした金型温度110
℃,型締圧力100kg/cm2,加熱筒温度350℃,
射出速度150mm/s,冷却時間7秒の条件で射出成
形すると、図2に示すようなグルーブを有したポリカー
ボネート基板を成形することができる。図2は成形した
基板の表面を原子間力顕微鏡(AFM)で測定した結果
である。図2(b)のデータからグルーブの底部分のコ
ーナーとランドのコーナーでの曲率半径を計算すると1
00nmと大きい。このポリカーボネート基板上に希土
類−遷移金属アモルファスを記録層に用いた光磁気ディ
スクを作製し、この光磁気ディスクに記録した情報をD
C結合で再生した結果、図3に示すようにRF信号のエ
ンベロープの変動が大きく、信号/雑音比(CN比)が
42.1dBと小さかった。このように、RF信号のエ
ンベロープの変動が大きく、CN比が小さくなる要因を
調べた結果、上記のコーナーでの曲率半径が大きいこと
の他に、ポリカーボネート基板の複屈折が大きく(60
nm)、複屈折の周方向の変動も大きい(30nm)こ
とがわかった。
類−遷移金属アモルファスを記録層に用いた光磁気記録
ディスク用の基板であるポリカーボネートの射出成形に
おいては、スタンパからポリカーボネート基板へのグル
ーブの転写率が低いために、グルーブの底部分のコーナ
ーとランドのコーナーでの曲率半径が大きくなってい
た。また、従来条件では、グルーブの底部分のコーナー
とランドのコーナーでの曲率半径が小さく、ポリカーボ
ネート基板の複屈折が小さく、且つその周方向の変動が
小さいポリカーボネート基板は得られなかった。これが
結果的に再生時のRF信号のエンベロープの変動を大き
くし、記録,再生におけるCN比を小さくしていた。ま
た、この問題は、グルーブの形成幅を示すトラックピッ
チを1.4μmから0.8μmと狭くした時に、より顕
著な問題となっていた。
時に顕著になる上記の問題点を解決するためにコーナー
での曲率半径が小さく、ポリカーボネート基板の複屈折
が小さく、且つその周方向での変動が小さいポリカーボ
ネート基板の製造方法を提供し、この製造方法で成形し
たポリカーボネート基板を用いた光磁気記録ディスクに
おいて、記録、再生時のCN比が大きく、再生時のRF
信号のエンベロープの変動を小さくすることを明確にす
るものである。
ために、従来よりポリカーボネート基板の射出成形時の
金型温度と加熱筒温度を高くし、型締圧力を強くし、樹
脂射出速度を速くし、さらに、冷却時間を長くした。
説明する。ポリカーボネート基板の射出成形には、図1
に示すように金型温度1t、型締圧力2p、樹脂射出速
度3’、加熱筒温度4t、及び冷却時間が大きな影響を
与えるが、本実施例では、トラックピッチを1.4μ
m,グルーブとランドの幅を1:1とし、表1の実施例
1の条件で成形した。成形した基板の転写率をスタンパ
のグルーブ深さに対するポリカーボネート基板のグルー
ブの深さの比で表すと、90%以上と高い転写率が得ら
れた。この基板の表面状態をAFMで測定した結果を図
4に示す。図4(b)のAFMデータよりグルーブとラ
ンドのコーナーでの曲率半径を算出した結果、35nm
であった。また、この基板の複屈折を波長633nmの
He−Neレーザを用いて測定した結果、絶対値の最大
値は22nm(ダブルパス)であり、且つ、周方向の変
動は8nm以下であった。
構造の光磁気記録ディスク20を作製した。即ち、基板
6上に保護層としてSiN7を1100Å、GdDyF
eCoアモルファス垂直磁化膜8を300Å、保護層と
してSiN9を500Å、反射層兼熱拡散層としてAl
Ti10を500Å、紫外線硬化型樹脂からなるオーバ
ーコート層11を10μm、順次、堆積した構造であ
る。また、SiN7,9、GdDyFeCoアモルファ
ス垂直磁化膜8、AlTi10の各層は、いずれもスパ
ッタ法により堆積し、オーバーコート層11はスピンコ
ートにより形成した。保護層としてのSiN7,9、G
dDyFeCoアモルファス垂直磁化膜8、AlTi1
0の各層のスパッタ条件を表1に示す。今回、示した条
件で作製した光磁気ディスクにおいては、ポリカーボネ
ート基板の表面状態を反映して各層が堆積することを、
グルーブの底部分のコーナーとランドのコーナーでの曲
率半径等から確認している。
30nm,記録線速度2m/s,記録レーザーパワー
4.0mW,キャリア周波数500kHz,トラックピ
ッチ1.4μmの条件で光磁気記録を行い、その情報を
DC結合で再生したRF出力の出力波形は図6に示すよ
うに均一なエンベロープ波形が得られ、その変動割合
は、5%以内であった。また、CN比は45.2dB
で、光磁気記録に十分使用できる値である。
0.8μmとした場合について示す。ポリカーボネート
基板の作製条件は、トラックピッチが1.2,1.0,
0.8μmに対して、それぞれ、表2の実施例2,実施
例3,実施例4が対応する。成形したポリカーボネート
基板においては、いずれの場合も実施例1と同様に90
%以上の高い転写率であった。各条件で作成したポリカ
ーボネート基板上に実施例1と同様の条件で保護層7,
9、GdDyFeCoアモルファス垂直磁化膜8、Al
Ti10等を形成し、曲率半径、CN比等の物性を測定
した結果、表3に示すように、いずれの場合も、曲率半
径は50nm以下、複屈折は25nm以下、複屈折の周
方向の変動は10nm以下であり、実施例1の場合と同
様の結果が得られた。また、記録、再生特性を表すCN
比は従来の値より大きなCN比が得られ、RF変動も5
%以下と小さい。
ことにより、表3に示すようにトラックピッチの狭い領
域0.8〜1.4μmにおいて初期の目的を達成するこ
とができた。また、表3はスタンパのグルーブの深さが
約70nmの場合について示したが、スタンパのグルー
ブの深さが50〜140nmの範囲で表2の条件は有効
である。
表2の条件以外にも検討した。その結果を表4に示す。
表4中の評価の欄で○はグルーブの底部分とランドのコ
ーナーでの曲率半径が50nm以下、ポリカーボネート
基板の複屈折が40nm以下、その複屈折の周方向の変
動が10nm以下であることを同時に満たすことを示
す。また、×は曲率半径が50nm以下、複屈折が40
nm以下、その複屈折の変動が10nm以下であること
のうち1つでも基準値を越える事を示す。金型温度が1
35℃,樹脂射出速度が150mm/s,冷却時間が1
0秒の場合には、型締圧力が200,250kg/cm
2では、曲率半径が50nm以下,複屈折が40nm以
下,その複屈折の変動が10nm以下を同時に満たさ
ず、300kg/cm2で、曲率半径が50nm以下,
複屈折が40nm以下,その複屈折の変動が10nm以
下を同時に満たす。しかし、この条件でも、樹脂射出速
度を150mm/sから300mm/sに速くすると曲
率半径が50nm以下,複屈折が40nm以下,その複
屈折の変動が10nm以下を同時に満たさなくなる。ま
た、金型温度が130℃,樹脂射出速度が150mm/
s,冷却時間が9秒の場合には、金型温度が135℃の
時、曲率半径が50nm以下,複屈折が40nm以下,
その複屈折の変動が10nm以下を同時に満たさなかっ
た250kg/cm2の型締圧力でも曲率半径が50n
m以下,複屈折が40nm以下,その複屈折の変動が1
0nm以下を同時に満たす。しかし、この場合も、樹脂
射出速度を150mm/sから200,300mm/s
と速くすると曲率半径が50nm以下,複屈折が40n
m以下,その複屈折の変動が10nm以下を同時に満た
さなくなる。さらに、金型温度が120℃,樹脂射出速
度が150mm/s,冷却時間が11秒の場合には、金
型温度130℃の時、曲率半径が50nm以下,複屈折
が40nm以下,その複屈折の変動が10nm以下を同
時に満たさなかった200kg/cm2の型締圧力でも
曲率半径が50nm以下,複屈折が40nm以下,その
複屈折の変動が10nm以下を同時に満たすようにな
る。この条件では、冷却時間を11秒から9秒に短縮し
ても曲率半径が50nm以下,複屈折が40nm以下,
その複屈折の変動が10nm以下を同時に満たすが、冷
却時間をさらに8.5秒に短縮すると型締圧力を25
0,300kg/cm2と強くしても曲率半径が50n
m以下,複屈折が40nm以下,その複屈折の変動が1
0nm以下を同時に満たさなくなる。金型温度が120
℃,樹脂射出速度が150mm/s,冷却時間が9秒の
条件において、樹脂射出速度を150mm/sから25
0mm/sと速くしても曲率半径が50nm以下,複屈
折が40nm以下,その複屈折の変動が10nm以下を
同時に満たす。現在、金型温度110℃においては、曲
率半径が50nm以下,複屈折が40nm以下,その複
屈折の変動が10nm以下を同時に満たす条件はない。
ク内での均一性が重要となる。そこで、ディスクの特性
に大きく影響を与えるポリカーボネート基板成形時の転
写率の均一性について調べた。用いたディスクの直径は
120mmΦである。本発明における転写率について
は、半径22mmで周方向のばらつきは3.0%,半径
38mmで周方向のばらつきは3.1%,半径50mm
で周方向のばらつきは2.9%であり、半径方向のばら
つきは、半径25〜55mmの範囲で5%以下であっ
た。次に、本発明と従来例におけるポリカーボネート基
板の複屈折の各半径における周方向の変動を表5に示
す。表5で変動の値は、ある半径において周方向の8点
で測定して変動値を求めた。本発明では、半径23〜5
4mmの領域で変動が11nm以下と従来例の約半分に
なることがわかった。
リカーボネート基板を射出成形することができる。
ファスを記録層に用いた光磁気記録ディスクの記録、再
生時のCN比を大きくし、再生時のRF信号のエンベロ
ープの変動を小さくするために必要であるグルーブの底
部分のコーナーとランドのコーナーでの曲率半径が50
nm以下、ポリカーボネート基板の複屈折が40nm以
下、且つその周方向での変動が10nm以下であるポリ
カーボネート基板をトラックピッチ0.8〜1.4μm
の範囲で製造することができる。また、本発明によるポ
リカーボネート基板を用いた光磁気記録ディスクにおい
て、記録、再生時のCN比を大きくし、再生時のRF信
号のエンベロープの変動を小さくすることができる。さ
らに、均一性に優れた直径120mmΦのディスク用ポ
リカーボネート基板を射出成形することができる。
定結果である。
を表す図である。
測定結果である。
を表す図である。
RF信号を表す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 グルーブ形成用のスタンパと、ポリカー
ボネートを溶融する加熱筒と、溶融した樹脂を射出する
射出口と、型締をするための型締圧力を加える手段とか
ら成る射出成形装置を用いて光磁気記録媒体用基板を成
形する方法において、 金型温度を118〜135℃、 型締圧力を200〜300kg/cm2、 樹脂射出速度を150〜200mm/s、 加熱筒温度を310〜340℃、 冷却時間を9〜16秒、としたことを特徴とする光磁気
記録媒体用基板の製造方法。 - 【請求項2】 グルーブ形成用のスタンパと、ポリカー
ボネートを溶融する加熱筒と、溶融した樹脂を射出する
射出口と、型締をするための型締圧力を加える手段とか
ら成る射出成形装置を用いて光磁気記録媒体用基板を成
形する方法において、 金型温度を118〜135℃、 型締圧力を200〜300kg/cm2、 樹脂射出速度を150〜200mm/s、 加熱筒温度を310〜340℃、 冷却時間を9〜16秒、とした光磁気記録媒体用基板の
製造方法を用いて成形したことを特徴とする光磁気記録
媒体用基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7224394A JPH0973675A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 光磁気記録媒体用基板の製造方法とその方法を用いた光磁気記録媒体用基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7224394A JPH0973675A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 光磁気記録媒体用基板の製造方法とその方法を用いた光磁気記録媒体用基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0973675A true JPH0973675A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16813069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7224394A Pending JPH0973675A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 光磁気記録媒体用基板の製造方法とその方法を用いた光磁気記録媒体用基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0973675A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012514280A (ja) * | 2008-12-25 | 2012-06-21 | バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト | 高速光ディスク用基板材料 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP7224394A patent/JPH0973675A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012514280A (ja) * | 2008-12-25 | 2012-06-21 | バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト | 高速光ディスク用基板材料 |
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