JPH097389A - 多重アクセスポートを備えたメモリの共用的冗長プログラミング - Google Patents
多重アクセスポートを備えたメモリの共用的冗長プログラミングInfo
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- G11C—STATIC STORES
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- G11C29/818—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout for an application-specific layout for dual-port memories
Landscapes
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Dram (AREA)
Abstract
冗長性とシリアル冗長性の両方を実現する。 【解決手段】 本発明の回路は、内部アドレスを記憶
し、内部アドレスによって決まる論理レベル(LL1
等)を生成するためのプログラム可能な回路(PC)を
含み、更に、第1の比較回路(CC1)と第2の比較回
路(CC2)とを含む。第1の比較回路(CC1)は内
部アドレスを表現する論理レベル(LL1等)に応答
し、また第1のアドレス信号(CA0等)に応答して、
前記内部アドレスと前記第1のアドレス信号(CA0
等)とが合致することによって決まる第1の合致信号
(CRFSN)を発生させる。第2の比較回路(CC
2)は論理レベル(LL1)と第2のアドレス信号(S
F0等)とに応答して、前記内部アドレスと前記第2の
アドレス信号(SF0等)とが合致することによって決
まる第2の合致信号(SRSJN)を発生させる。
Description
ダムアクセスメモリ(DRAM)等の集積回路メモリに
関する。更に詳細には、本発明は欠陥カラムをヒューズ
を使用して置換する方式の冗長カラムを備えた多重ポー
トメモリデバイスに対してシリアルおよびカラムの両冗
長性をプログラミングするために共用ヒューズセットを
使用することに関する。多重ポートDRAMの1つの例
はビデオランダムアクセスメモリ(VRAM)である。
VRAMはマイクロプロセッサとの間でデータの並列的
な送受信を行うための第1のポートを有し、更にビデオ
表示装置へデータを直列的に送信するための第2のポー
トを有する。多重ポートによって画像処理の性能が向上
する。
長なメモリセルカラムを含んでいる。この冗長なカラム
は欠陥セルを含むカラムを置き換えて使用されるもので
ある。欠陥セルを含むカラムは動作停止され、レーザー
ヒューズをプログラムすることによってチップ上の接続
を変更し、冗長カラムが動作することを許可される。こ
のヒューズのプログラミングは、通常、チップをカプセ
ル封入する前に行われる。この置き換えによって、さも
なければ欠陥チップのままであったチップが生き返り、
それによってプロセス歩留まりが向上する。
スにおいて、並列ポートのデータはメモリセルの各カラ
ムにつながれたセンス増幅器から取り出される。典型的
には、欠陥カラムを冗長カラムの1つによって置き換え
ることは、論理回路のプログラムを変更して欠陥カラム
のセンス増幅器から冗長カラムのセンス増幅器へ切り替
えることを要求する。VRAMでは、直列ポートの出力
は典型的にはシリアルアクセスメモリ(SAM)レジス
タから取り出される。SAMはセンス増幅器からの並列
データを受信し記憶する。もし、欠陥カラムのセンス増
幅器を冗長カラムのセンス増幅器で置換すれば、それに
付随するSAMレジスタもまたその冗長カラムのセンス
増幅器につながるSAMレジスタで置換しなければなら
ない。
7年1月27日発行の米国特許第4,639,890
号、”選択可能なカスケード型シリアルシフトレジスタ
を採用した、並列および直列アクセス方式のメモリを使
用したビデオ表示システム(Video Displa
y System Using Memory Wit
h Parallel and Serial Acc
ess Employing Selectable
Cascade Serial Shift Regi
sters)”;1987年4月21日発行の米国特許
第4,660,156号、”命令、プログラムデータ、
および表示データ用の単一のメモリ空間を備えたビデオ
システム(Video System With Si
ngleMemory Space for Inst
ruction, Program Data and
Display Data)”;1987年8月25
日発行の米国特許第4,689,741号、”転送サイ
クル中のランダムアクセスを禁止された2重ポートメモ
リを備えたビデオシステム(Video System
Having a Dual−Port Memor
y With Inhibited Random A
ccess During Transfer Cyc
les)”;1988年5月24日発行の米国特許第
4,747,081号、”カラムアドレスによって選択
されるシリアルシフトレジスタを採用した並列および直
列アクセスメモリを使用したビデオ表示システム(Vi
deoDisplay System Using M
emory With Parallel and S
erial Access Employing Se
rial Shift Registers Sele
cted by Column Address)”;
1989年2月21日発行の米国特許第4,807,1
89号、”多重カラム選択モードを有する読み出し/書
き込みメモリ(Read/Write Memory
Having a Multiple Column
Select Mode)”;1989年3月28日発
行の米国特許第4,817,058号、”多重サイクル
書き込みマスクを有する多重入力/出力読み出し/書き
込みメモリ(Multiple Input/Outp
utRead/Write Memory Havin
g a Multipl−Cycle Write M
ask)”;1989年9月12日発行の米国特許第
4,866,678号、”パイプライン化された直列出
力を有する2重ポートメモリ(Dual−Port M
emory Having Pipelined Se
rial Output)”;1990年1月2日発行
の米国特許第4,891,795号、”パイプライン化
された直列出力を有する2重ポートメモリ(Dual−
Port Memory Having Pipeli
nedSerial Output)”;1990年1
月30日発行の米国特許第4,897,818号、”転
送サイクル中のランダムアクセスを禁止された2重ポー
トメモリ(Dual−Port Memory Wit
h InhibitedRandom Access
During Transfer Cycles)”;
1991年8月20日発行の米国特許第5,042,0
14号、”パイプライン化された直列出力を有する2重
ポートメモリ(Dual−Port Memory H
aving Pipelined Serial Ou
tput)”;1992年11月10日発行の米国特許
第5,163,024号、”カラムアドレスによって選
択されるシリアルシフトレジスタを採用した並列および
直列アクセス方式メモリを使用したビデオ表示システム
(Video Display System Usi
ng Memory With Parallelan
d Serial Access Employing
SerialShift Registers Se
lected by Column Addres
s)”;1993年5月11日発行の米国特許第5,2
10,639号、”シリアルアクセスによる転送サイク
ル中のランダムアクセスを禁止された2重ポートメモリ
(Dual−Port Memory With In
hibited Random Access Dur
ing Transfer Cycles With
Serial Access)”;および1994年6
月14日発行の米国特許第5,321,665号、”パ
ルス復号方式のシリアルレジスタアクセス構成の2重ポ
ートメモリ(Dual−Port MemoryHav
ing a Serial Register Acc
essingArrangement With Pu
lsed Decoding)”に述べられている。上
記の特許はすべてテキサスインスツルメンツ社に対して
譲渡されており、ここに特に引用する。
ズセットを使用している。1つはカラム冗長性のために
センス増幅器回路をプログラムするためのもので、もう
1つはシリアル冗長性のためにSAMレジスタをプログ
ラムするためのものである。このため、チップ表面に広
いレイアウト空間が必要とされる。従来技術の別々にな
ったヒューズセットが用いられるのは、シリアル冗長回
路がシリアルヒューズで以てプログラムすべきカラムフ
ァクタ、あるいは予め復号化されたアドレス情報を必要
とする一方で、カラム冗長回路はカラムヒューズで以て
プログラムすべきカラムアドレス情報を必要とすること
のためである。
換するようになった冗長カラムを有し、シリアルアクセ
スメモリ(SAM)レジスタを有するDRAMに関し
て、カラム冗長性とシリアル冗長性の両方のために1組
のヒューズを使用している。カラムアドレス情報は共通
ヒューズセット中へプログラムされる。このカラムアド
レス情報がシリアルファクタ情報へ符号化されて、シリ
アル冗長回路において使用できるようになる。この符号
化/共通ヒューズ回路は、VRAMを含むそのような特
殊なDRAM上でカラム冗長性とシリアル冗長性とのた
めに別々のヒューズセットを使用することを不要にす
る。
の内部アドレスを表現する論理レベルを生成するための
回路を含み、更に、第1の比較回路と第2の比較回路と
を含んでいる。第1の比較回路は、前記論理レベルと第
1のアドレス信号とに応答して、前記内部アドレスと前
記第1のアドレス信号との合致によって決まる第1の合
致信号を発生する。第2の比較回路は、前記論理レベル
と第2のアドレス信号とに応答して、前記内部アドレス
と前記第2のアドレス信号との合致によって決まる第2
の合致信号を発生する。
てVRAMのカラム冗長性とシリアル冗長性の両方を実
現している。このことは、共通のヒューズセットをカラ
ムアドレス情報で以てプログラミングし、次にそのカラ
ムアドレス情報をシリアルファクタ情報へ符号化してシ
リアル冗長回路で使用できるようにすることによって実
現される。
を有するビデオランダムアクセスメモリVRAMを示し
ている。各カラムはセンス増幅器SAへつながれてい
る。センス増幅器SAからのデータはデータバスを介し
てマイクロプロセッサMPUとの間で送受信され、MP
Uはアドレスバスを介してVRAMへアドレス命令を与
える。センス増幅器SAからのデータはVRAM中でシ
リアルアクセスメモリレジスタSAMによって直列的な
形に変換される。変換されたデータはシリアルアクセス
メモリレジスタSAMからシリアルバスを介してビデオ
表示装置VDUへ送信される。
り、そこには別の1組のレーザーヒューズFと、カラム
アドレス入力CA0ないしCA5_、および冗長カラム
選択ラインを駆動するためのカラム冗長性合致出力信号
CRFSNが含まれている。(例えば、アドレス入力C
A0およびCA0_は互いに反転関係にある信号であ
る。)もし試験中に欠陥カラムが発見されれば、その欠
陥カラムのアドレスに合致させるようにいくつかのレー
ザーヒューズFが吹き飛ば(開放)される。それによ
り、デバイス動作中にメモリチップの端子に欠陥カラム
のアドレスが受信されると、冗長回路は合致信号を発生
させてノードRSY0を高レベルにし、それによって出
力CRFSNが高レベルとなって欠陥カラムを良品の冗
長カラムで以て置換させる。図2の回路はイネーブル信
号CLEN_によって駆動される。しかし、VRAMの
場合、欠陥カラムはまたシリアルアクセスメモリレジス
タSAMの回路も冗長カラムおよびセンス増幅器出力の
変更に合わせて修正されることを要求する。従来技術で
は、この修正は別のヒューズセットを有するシリアル冗
長回路によって行われている。
をする典型的な別になったシリアル冗長回路を示す。こ
のシリアル冗長回路は、1組のレーザーヒューズF、シ
リアルファクタ入力SF0ないしSF15、そして冗長
シリアルカラム選択ラインを駆動するための合致出力信
号SRSJNを含んでいる。もし欠陥カラムが存在すれ
ば、その欠陥カラムのアドレスに対応するシリアルファ
クタに合致させるようにいくつかのレーザーヒューズF
が吹き飛ば(開放)される。それにより、デバイス動作
中に、欠陥カラムのアドレスがシリアル回路に受信され
ると、この冗長回路はシリアルファクタ入力を用いて合
致信号を発生させ、それによってノードN36およびN
38を高レベルにし、それによって出力SRSJNを高
レベルにして、”欠陥”シリアルカラムを良品の冗長な
シリアルカラムで以て置換させる。図3の回路はイネー
ブル信号SRENによって駆動される。
用いられてシリアルとカラムの両方の冗長性を別々に実
現しているが、両ヒューズセットが置換するのは同じ欠
陥カラムアドレスに関するものである。
回路はプログラム可能な回路PC中に共用されるレーザ
ーヒューズFを含んでいる。カラムアドレス信号入力は
CA0、CA0_、CA1およびCA1_を含む。プロ
グラム可能な回路PCの出力における論理レベルLL1
等はヒューズFをプログラムすることによって決まり、
比較回路CC1によって比較される。比較回路CC1
は、ヒューズが吹き飛ばされているかどうかに依存し
て、カラムアドレス信号またはそれの相補信号、すなわ
ちCA0またはCA0_を通過させ、冗長カラムアドレ
スCRFS1、CRFS2等を発生させる。比較回路C
C1はNAND回路N1を含んでいる。冗長カラムアド
レスCRFS1等はNAND回路N1へ送信され、N1
はすべての冗長カラムアドレスCRFS1等が高レベル
の時、特定の冗長カラムをイネーブルするための合致信
号CRFSNを供給する。
にも用いられる。ヒューズF中にプログラミングされた
冗長カラム情報は、プログラムされたカラムアドレスに
対応するシリアルファクタをシリアル冗長回路を通して
通過させるために用いられ、それによって冗長シリアル
ファクタを発生させる。シリアルファクタ入力はSF
0、SF1、SF2、およびSF3を含む。インバータ
INVをつながれ、並列接続されたソース−ドレイント
ランジスタTPを含む第2の比較回路CC2は、プログ
ラム可能な回路PCの出力における論理レベルLL1等
(それの反転)を、対応するシリアルファクタSF0、
SF1、SF2、およびSF3等と比較して、冗長シリ
アルファクタデータSRSJ1、SRSJ2等を供給す
る。比較回路CC2はNAND回路N2を含んでいる。
N2はすべての冗長シリアルファクタデータSRSJ
1、SRSJ2等が高レベルの時、イネーブル冗長シリ
アルカラム選択信号または第2の合致信号SRSJNを
供給する。
によってアクセスされるカラムが不良品であれば、その
時は最も上のヒューズだけが吹き飛ばされる。チップの
電源投入時に制御信号パルスによってヒューズの状態が
ノードN0およびN1上へラッチされる。これによっ
て、ノードN0は低レベルに、ノードN1は高レベルに
ラッチされる。更にこれによって、信号CA0およびC
A1_がパスゲートを通過して冗長カラムアドレスが生
成される。従って、不良カラムがアドレス指定されれ
ば、すなわちCA0=1およびCA1=0ならば、CA
0=1およびCA1_=1であるため、両方の冗長カラ
ムアドレスが高レベルになる。これにより、その冗長カ
ラムがイネーブルされる。
ドN0およびN1に記憶されているヒューズ情報を使用
して、シリアル冗長回路を通して対応するシリアルファ
クタ入力を通過させる。低レベルのノードN0と高レベ
ルのノードN1とによってノードNA、NC、およびN
Dが低レベルに、そしてノードNBが高レベルに設定さ
れる。このことはSF1信号がパスゲートを通過して冗
長シリアルファクタを発生させることを許容する。事
実、SF1信号がCA0=1およびCA1=0における
同じメモリ位置をアクセスするため、このことはシリア
ル冗長性をカラム冗長性と同じカラムアドレスにプログ
ラムする。
されて、冗長性のために必要とされるアドレスすべてを
プログラムするようにされる。この回路を修正すること
によって3:8または4:16のデコーダが形成でき
る。本発明の特長はチップ上のヒューズ数が少なくてよ
く、そのため空間が節約できるということである。更
に、本発明は、カラムとシリアルの両方の冗長性を使用
することで、チップ欠陥を修正するために吹き飛ばす必
要のあるヒューズの数を減らすことができる。
データバスポートのようなメモリのアクセスポートの1
つを制御するための、接続された回路へ送信される。出
力信号または合致信号CRFSNは、シリアルバスポー
トのようなメモリの第2のアクセスポートを制御するた
めの、接続された回路へ送信される。各ポートにおける
前記接続された回路としては、入力/出力回路、復号化
回路、センス回路、タイミング回路、駆動回路、および
冗長回路が含まれるが、それらに限定されない。接続さ
れた回路は、例えば、合致信号からの命令に依存して、
標準的なセルカラムまたは冗長セルカラムのいずれかと
ポートとの間のデータ通信を制御する。
い。例えば、EPROMセルあるいは電流で吹き飛ばさ
れるヒューズを用いても構わない。
シリアルとカラムの両方の冗長性をプログラミングする
ために使用される。これは2つ以上のポートの冗長性を
プログラミングするために使用されるプログラム可能な
回路が使用されている2重または多重ポートの任意デバ
イスに適用できる。
が、この説明は限定的なものではない。本明細書の説明
を参照することによって例示実施例に対する各種の修
正、本発明のその他の実施例が当業者には思いつかれる
であろう。本発明の特許請求の範囲は本発明の範囲に含
まれるそのような修正や実施例をすべて包含する。
る。 (1)それぞれを制御するための接続された回路を有す
る少なくとも第1と第2のアクセスポートを備えたメモ
リであって、データを記憶するためにカラム状に配置さ
れたセルを含むメモリに対して、共用的に冗長性をプロ
グラミングするための回路であって、内部アドレスを記
憶するためのプログラム可能な回路、前記内部アドレス
と第1のアドレス信号とに応答して、前記内部アドレス
と前記第1のアドレス信号とが合致することによって決
まる第1の合致信号であって、前記第1のアクセスポー
トへつながれた前記接続された回路へ送信されるように
なった第1の合致信号を発生させる第1の比較回路、お
よび前記内部アドレスと第2のアドレス信号とに応答し
て、前記内部アドレスと前記第2のアドレス信号とが合
致することによって決まる第2の合致信号であって、前
記第2のアクセスポートへつながれた前記接続された回
路へ送信されるようになった第2の合致信号を発生させ
る第2の比較回路、を含む回路。
1のアクセスポートがデータバスへつながれている回
路。
2のポートがシリアルバスへつながれている回路。
2のアドレス信号がシリアルファクタ入力である回路。
1の合致信号が前記メモリの冗長カラムと前記第1のポ
ートとの間でデータ通信を引き起こすようになった回
路。
2の合致信号が前記メモリの冗長カラムと前記第2のポ
ートとの間でデータ通信を引き起こすようになった回
路。
ートを制御するための前記接続された回路が冗長回路と
タイミング回路とを含んでいる回路。
た回路を有する少なくとも第1と第2のアクセスポート
を備えたメモリに対して、シリアルおよびカラムの両方
の冗長性をプログラミングするための方法であって、内
部アドレスを生成および記憶すること、前記内部アドレ
スを第1のアドレス信号と比較すること、前記内部アド
レスと前記第1のアドレス信号との合致によって決まる
第1の合致信号を生成し、前記第1の合致信号を前記第
1のアクセスポートへつながれた前記接続された回路へ
送信すること、前記内部アドレスを第2のアドレス信号
と比較すること、および前記内部アドレスと前記第2の
アドレス信号との合致によって決まる第2の合致信号を
生成し、前記第2の合致信号を前記第2のアクセスポー
トへつながれた前記接続された回路へ送信すること、を
含む方法。
1のアクセスポートがデータバスへつながれている方
法。
第2のポートがシリアルバスへつながれている方法。
第2のアドレス信号がシリアルファクタ入力である方
法。
第1の合致信号が前記メモリの冗長カラムと前記第1の
ポートとの間でデータ通信を引き起こすようになった方
法。
第2の合致信号が前記メモリの冗長カラムと前記第2の
ポートとの間でデータ通信を引き起こすようになった方
法。
ポートを制御するための前記接続された回路が冗長回路
とタイミング回路とを含んでいる方法。
れた手段を有する少なくとも第1と第2のアクセスポー
トを備えたメモリに対して、共用的に冗長性をプログラ
ミングするための回路であって、内部アドレスを生成
し、記憶するためのプログラム可能な手段、前記内部ア
ドレスと第1のアドレス信号とに応答して、前記内部ア
ドレスと前記第1のアドレス信号とが合致することによ
って決まる第1の合致信号であって、前記第1のアクセ
スポートへつながれた前記接続された手段へ送信される
ようになった第1の合致信号を発生させる第1の比較回
路、および前記内部アドレスと第2のアドレス信号とに
応答して、前記内部アドレスと前記第2のアドレス信号
とが合致することによって決まる第2の合致信号であっ
て、前記第2のアクセスポートへつながれた前記接続さ
れた手段へ送信されるようになった第2の合致信号を発
生させる第2の比較回路、を含む回路。
記第1のアクセスポートがデータバスへつながれている
回路。
記第2のポートがシリアルバスへつながれている回路。
記第2のアドレス信号がシリアルファクタ入力である回
路。
記第1の合致信号が前記メモリの冗長カラムと前記第1
のポートとの間でデータ通信を引き起こすようになった
回路。
記第2の合致信号が前記メモリの冗長カラムと前記第2
のポートとの間でデータ通信を引き起こすようになった
回路。
記ポートを制御するための前記接続された手段が冗長回
路とタイミング回路とを含んでいる回路。
記憶し、内部アドレスによって決まる論理レベル(LL
1等)を生成するためのプログラム可能な回路(PC)
を含み、更に、第1の比較回路(CC1)と第2の比較
回路(CC2)とを含む。第1の比較回路(CC1)は
内部アドレスを表現する論理レベル(LL1等)に応答
し、また第1のアドレス信号(CA0等)に応答して、
前記内部アドレスと前記第1のアドレス信号(CA0
等)とが合致することによって決まる第1の合致信号
(CRFSN)を発生させる。第2の比較回路(CC
2)は論理レベル(LL1)と第2のアドレス信号(S
F0等)とに応答して、前記内部アドレスと前記第2の
アドレス信号(SF0等)とが合致することによって決
まる第2の合致信号(SRSJN)を発生させる。
ながれたVRAMの簡略化された部分的ブロック図。
1組のレーザーヒューズを含む、典型的な従来技術のカ
ラム冗長回路を示す図。
AMレジスタで以て置換するための1組のレーザーヒュ
ーズを含む典型的な従来技術のシリアル冗長回路を示す
図。
1組のヒューズを使用した回路を示す模式的電気回路図
を示す図。
Claims (2)
- 【請求項1】 それぞれを制御するための接続された回
路を有する少なくとも第1と第2のアクセスポートを備
えたメモリであって、データを記憶するためにカラム状
に配置されたセルを含むメモリに対して、共用的に冗長
性をプログラミングするための回路であって、 内部アドレスを記憶するためのプログラム可能な回路、 前記内部アドレスと第1のアドレス信号とに応答して、
前記内部アドレスと前記第1のアドレス信号とが合致す
ることによって決まる第1の合致信号であって、前記第
1のアクセスポートへつながれた前記接続された回路へ
送信されるようになった第1の合致信号を発生させる第
1の比較回路、および前記内部アドレスと第2のアドレ
ス信号とに応答して、前記内部アドレスと前記第2のア
ドレス信号とが合致することによって決まる第2の合致
信号であって、前記第2のアクセスポートへつながれた
前記接続された回路へ送信されるようになった第2の合
致信号を発生させる第2の比較回路、を含む回路。 - 【請求項2】 それぞれを制御するための接続された回
路を有する少なくとも第1と第2のアクセスポートを備
えたメモリに対して、シリアルおよびカラムの両方の冗
長性をプログラミングするための方法であって、 内部アドレスを生成および記憶すること、 前記内部アドレスを第1のアドレス信号と比較するこ
と、 前記内部アドレスと前記第1のアドレス信号との合致に
よって決まる第1の合致信号を生成し、前記第1の合致
信号を前記第1のアクセスポートへつながれた前記接続
された回路へ送信すること、 前記内部アドレスを第2のアドレス信号と比較するこ
と、および前記内部アドレスと前記第2のアドレス信号
との合致によって決まる第2の合致信号を生成し、前記
第2の合致信号を前記第2のアクセスポートへつながれ
た前記接続された回路へ送信すること、を含む方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/489,973 US5787091A (en) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | Shared redundancy programming of memory with plural access ports |
| US489973 | 1995-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH097389A true JPH097389A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=23946056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8151397A Pending JPH097389A (ja) | 1995-06-13 | 1996-06-12 | 多重アクセスポートを備えたメモリの共用的冗長プログラミング |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5787091A (ja) |
| JP (1) | JPH097389A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5970003A (en) * | 1997-05-26 | 1999-10-19 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memory device |
Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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| JPH05242693A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
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-
1996
- 1996-06-12 JP JP8151397A patent/JPH097389A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5970003A (en) * | 1997-05-26 | 1999-10-19 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memory device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5787091A (en) | 1998-07-28 |
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