JPH0973993A

JPH0973993A - 除電方法及びその装置

Info

Publication number: JPH0973993A
Application number: JP22821295A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Mizushima; 茂水島; Kazunori Sugafuji; 和則菅藤; Naoyuki Oishi; 尚幸大石
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 1995-09-05
Filing date: 1995-09-05
Publication date: 1997-03-18
Anticipated expiration: 2015-09-05
Also published as: JP3720422B2

Abstract

(57)【要約】【課題】１つのイオン発生器によって静電気が帯電し
た物品を連続的に除電することが可能な除電方法及びそ
の装置を提供することにある。【解決手段】水平方向に設けられた被処理物を載置す
る複数の載置ゾーンに沿ってクリーンエアを送り、被処
理物を各載置ゾーンに間欠的にリフトアンドキャリー式
の移送装置で移送し、クリーンエアの給気側でコロナ放
電により発生されたイオンをクリーンエアで搬送しなが
ら被処理物に帯電している静電気を除去する。入出部を
有するダクト状の処理室と、この処理室内に水平方向に
設けられ被処理物を載置する複数の載置ゾーンと、被処
理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリフトアンドキ
ャリー式の移送装置と、処理室の上流側に設けられたク
リーンエア給気手段と、処理室の下流側に設けられたク
リーンエア排気手段と、クリーンエア給気手段に設けら
れたイオン発生器とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リフトアンドキャ
リー式の移送装置を利用して物品に帯電している静電気
を除去する方法及びその装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば液晶用ガラス基板等の物品
に帯電している静電気を除去する方法としては、イオナ
イザを用いて中和する方法が採用されている。イオナイ
ザは、針状電極（エミッタ）のコロナ放電により発生し
たイオンを室内の一様流によって搬送し、帯電体上の電
荷を逆極性のイオンで中和するものである。

【０００３】イオナイザは、例えば、特開平２−２５４
４１７号公報、特開平３−３４４２４号公報、特開平５
−２４３２００号公報等に開示されている。又、特開平
７−７３９９１号公報の図５には、ローラコンベヤ上の
除電対象物にイオンを含んだ気流をスリットノズルから
高速で吹き付けるスリットノズル式イオナイザが開示さ
れている。

【０００４】処で、このスリットノズル式イオナイザで
は、次のような不具合がある。ローラコンベヤの速度に
よっては、十分な除電ができない。高速気流により塵埃
の巻上等の気流乱れが生じる。上から吹き付けるため、
物品の形状が限定される。図３４は、従来の除電装置の
概要を示す説明図である。図において、１はクリーンル
ームを表す。クリーンルーム１は、天井側にＨＥＰＡフ
ィルタ等の高性能フィルタ２を設け、床側にグレーチン
グ板等の床板３を設け、天井空間４と床下空間５とをセ
ントラル空調機６によって連絡することにより、クリー
ンエアを垂直ダウンフローによって循環供給できるよう
になっている。

【０００５】クリーンルーム１内には、２種類の生産装
置７、８がローラコンベヤ９を挟んで配置されている。
そして、ローラコンベヤ９の上方には、約１ｍ程度の長
さの吊り下げ型イオナイザ１０が配置されている。従っ
て、２種類の生産装置７、８間に配置されたローラコン
ベヤ９及びを吊り下げ型イオナイザ１０によって除電処
理領域１２が形成されている。

【０００６】尚、ローラコンベヤ９での搬送時に、作業
者等からのゴミが除電処理領域１２内に侵入しないよう
に、上部には開放フード１３が設けてある。この従来例
では、図３４に示すように、生産装置７で加工された液
晶用ガラス基板１１が、ローラコンベヤ９にて次の生産
装置８へ搬入される過程で吊り下げ型イオナイザ１０か
らコロナ放電により発生されるイオンによって静電気を
除去するものである。

【０００７】処が、図３４では、垂直ダウンフローのク
リーンルーム１内で、１台の吊り下げ型イオナイザ１０
によってスポット的に除電するので、吊り下げ型イオナ
イザ１０から放電されるイオンは、垂直ダウンフローに
よって床下空間５へ搬送され、図３５に示すように吊り
下げ型イオナイザ１０直下のみが除電される。而も、吊
り下げ型イオナイザの長さが約１ｍ程度であるため、ロ
ーラコンベヤ９の速度が０．５ｍ／ｓｅｃ程度で処理さ
れる上記従来の除電方法では、液晶用ガラス基板１１が
吊り下げ型イオナイザの下を２秒で通過してしまい、除
電能力が不十分である。

【０００８】又、液晶用ガラス基板１１が、複数枚を積
み込むカセット式となった場合には、下側の液晶用ガラ
ス基板１１は除電できにくかった。そこで、図３６及び
３７に示すように、複数個の吊り下げ型イオナイザ１０
をローラコンベヤ９の流れ方向に配置することが考えら
れる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】処が、図３６に示すよ
うに、複数個の吊り下げ型イオナイザ１０をローラコン
ベヤ９の流れ方向に配置しても、クリーンルーム１が垂
直ダウンフローであるから、液晶用ガラス基板１１が、
複数枚を積み込むカセット式となった場合には、下側の
液晶用ガラス基板１１は除電できにくかった。

【００１０】一方、イオナイザは、その電極にゴミが付
着しやすく、そのゴミが落下し、被処理物に付着する虞
があるので、このゴミ落下防止のためのメンテナンスが
必要とされている。そこで、図３６のように、複数個の
吊り下げ型イオナイザ１０を用いる場合には、各吊り下
げ型イオナイザ１０の電極に付着したゴミの落下を防止
するためのメンテナンスを、１つの吊り下げ型イオナイ
ザを用いた図３４の除電装置に比し頻繁に行わなければ
ならないという問題があった。

【００１１】本発明は斯かる従来の問題点を解決するた
めに為されたもので、その目的は、１つのイオン発生器
によって静電気が帯電した物品を連続的に除電すること
が可能な除電方法及びその装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、水平
方向に設けられた被処理物を載置する複数の載置ゾーン
に沿ってクリーンエアを送り、被処理物を各載置ゾーン
に間欠的にリフトアンドキャリー式の移送装置で移送
し、クリーンエアの給気側でコロナ放電により発生され
たイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電
している静電気を除去することを特徴とするものであ
る。

【００１３】請求項２の発明は、入出部を有するダクト
状の処理室内に被処理物を載置する複数の載置ゾーンを
水平方向に配置すると共に被処理物を各載置ゾーンに間
欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置を配
置し、処理室の上流側で供給するクリーンエアを処理室
の下流側で吸引することによって、処理室内の水平方向
にクリーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給部で
コロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオンを
クリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している静
電気を除去することを特徴とするものである。

【００１４】請求項３の発明は、入出部を有するダクト
状の処理室内に被処理物を載置する複数の載置ゾーンを
水平方向に配置すると共に被処理物を各載置ゾーンに間
欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置を配
置し、処理室の上流側の上部側から供給するクリーンエ
アを処理室の下流側の下部側で吸引することによって、
処理室内の水平方向にクリーンエアを流し、処理室のク
リーンエア供給部でコロナ放電によりイオンを発生し、
発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理
物に帯電している静電気を除去することを特徴とするも
のである。

【００１５】請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３
の何れか１項において、クリーンルーム内の清浄空気を
導入し、浄化したクリーンエアを用いるものであること
を特徴とするものである。請求項５の発明は、入出部を
有するダクト状の処理室と、この処理室内に水平方向に
設けられ被処理物を載置する複数の載置ゾーンと、被処
理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリフトアンドキ
ャリー式の移送装置と、処理室の上流側に設けられたク
リーンエア給気手段と、処理室の下流側に設けられたク
リーンエア排気手段と、クリーンエア給気手段に設けら
れたイオン発生器とを備えたことを特徴とするものであ
る。

【００１６】請求項６の発明は、請求項５において、ク
リーンエア給気手段が処理室の天井部に設けられ、クリ
ーンエア排気手段が処理室の床部に設けられていること
を特徴とするものである。請求項７の発明は、請求項５
において、クリーンエア給気手段とクリーンエア排気手
段が、処理室の天井部に設けられていることを特徴とす
るものである。

【００１７】請求項８の発明は、請求項５乃至請求項７
の何れか１項において、クリーンエア給気手段及びクリ
ーンエア排気手段が、高性能フィルタとファンとで構成
されていることを特徴とするものである。請求項９の発
明は、請求項５乃至請求項７の何れか１項において、ク
リーンエア給気手段及びクリーンエア排気手段が、循環
ファンに連絡する吹出口と吸込口とで構成されているこ
とを特徴とするものである。

【００１８】請求項１０の発明は、請求項５において、
処理室の入出部には、天井側にクリーンエア流れ制御機
構が設けられていることを特徴とするものである。請求
項１１の発明は、請求項５において、イオン発生器は、
クリーンエア給気手段の吹出部に設けられていることを
特徴とする除電装置。請求項１２の発明は、請求項９に
おいて、イオン発生器は、吹出口に設けられていること
を特徴とするものである。

【００１９】

【作用】請求項１の発明においては、水平方向に設けら
れた被処理物を載置する複数の載置ゾーンに沿ってクリ
ーンエアを送りながら、被処理物をリフトアンドキャリ
ー式の移送装置により上流側の載置ゾーンから下流側の
載置ゾーンに向かって間欠的に移送し、クリーンエアの
給気側でコロナ放電により発生されたイオンをクリーン
エアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除
去することができる。

【００２０】請求項２の発明においては、処理室の上流
側で供給するクリーンエアを処理室の下流側で吸引する
ことによって、処理室内にクリーンエアを水平方向に流
し、被処理物をリフトアンドキャリー式の移送装置によ
り上流側の載置ゾーンから下流側の載置ゾーンに向かっ
て間欠的に移送し、クリーンエアの給気側でコロナ放電
により発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら
被処理物に帯電している静電気を除去することができ
る。

【００２１】請求項３の発明においては、処理室の上流
側の上部側から供給するクリーンエアを処理室の下流側
の下部側で吸引することによって、処理室内にクリーン
エアを水平方向に流し、被処理物をリフトアンドキャリ
ー式の移送装置により上流側の載置ゾーンから下流側の
載置ゾーンに向かって間欠的に移送し、クリーンエアの
給気側でコロナ放電により発生されたイオンをクリーン
エアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除
去することができる。

【００２２】請求項４の発明においては、クリーンルー
ム内の清浄空気が、給気側のファン等によって吸引され
た後、高性能フィルタによって所定のクリーン度に浄化
されて処理室の上流側へ吹き出される。請求項５の発明
においては、入出部を有するダクト状の処理室内に水平
方向に被処理物を載置する複数の載置ゾーンを設け、リ
フトアンドキャリー式の移送装置により被処理物を上流
側から下流側に向かって各載置ゾーンに間欠的に移送
し、処理室の上流側に設けられたクリーンエア供給手段
から供給されるクリーンエアを処理室の下流側に設けら
れたクリーンエア排気手段で吸引することによって、処
理室内に沿ってクリーンエアを流し、処理室のクリーン
エア給気手段に設けられたイオン発生器でコロナ放電に
よりイオンを発生し、発生されたイオンを被処理物に帯
電している静電気を除去することができる。

【００２３】請求項６の発明においては、処理室の上流
側に設けられたクリーンエア給気手段から供給されるク
リーンエアを、処理室の床部に設けられたクリーンエア
排気手段によって吸引することができる。請求項７の発
明においては、処理室の上流側に設けられたクリーンエ
ア給気手段から供給されるクリーンエアを、処理室の天
井部に設けられたクリーンエア排気手段によって吸引す
ることができる。

【００２４】請求項８の発明においては、ファンで吸引
された空気が、高性能フィルタによって浄化されて吹き
出される。請求項９の発明においては、循環ファンによ
ってクリーンエアが吹出口から吹き出され、循環ファン
によってクリーンエアが吸込口から吸い込まれる。請求
項１０の発明においては、処理室の入口側では、処理室
の上流側に設けられたクリーンエア給気手段から供給さ
れるクリーンエアが、入口側へ漏洩しないように制御す
ると共に下流側へ流れやすくし、処理室の出口側では、
処理室の下流側に設けられたクリーンエア排気手段によ
って処理室内を流れてくるクリーンエアを吸引しやすく
する。

【００２５】請求項１１に発明においては、クリーンエ
ア給気手段から吹き出されるクリーンエアにイオンを放
出することができる。請求項１２の発明においては、吹
出口から吹き出されるクリーンエアにイオンを放出する
ことができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。

【００２７】図１は、本発明の第１実施例に係る除電装
置をクリーンルーム内に設置した例を示す。図におい
て、２１はクリーンルームを表す。クリーンルーム２１
は、天井２３側にＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ
２４を敷設し、床側にグレーチング板等の床板２５を設
け、天井２３側の空間２２と床下空間２６とをセントラ
ル空調機２７によって連絡することにより、クリーンエ
アを垂直ダウンフローによって循環供給できるようにな
っている。

【００２８】クリーンルーム２１内には、２種類の生産
装置２８、２９を挟んで、除電装置３０が配置されてい
る。この除電装置３０は、図２乃至図１２に示すよう
に、前後に入出部３２、３３を備えたダクト状の処理室
３１と、この処理室３１内に水平方向に設けられ液晶用
ガラス基板（被処理物）４４を載置する３つの載置ゾー
ン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃと、液晶用ガラス基板（被処
理物）４４を各載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに間
欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置６０
と、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けられたファ
ン３６とＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ３７を組
み合わせたファンフィルタユニット（クリーンエア給気
手段）３５と、処理室３１の下流側の床板３１ｂに設け
られたファン３９とＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィル
タ４０を組み合わせたファンフィルタユニット（クリー
ンエア排気手段）３８と、ファンフィルタユニット（ク
リーンエア給気手段）３５の下面に設けられたイオン発
生器（イオナイザ）４１とを備えている。

【００２９】ここで、処理室３１は、図１及び図４に示
すように、入出口３２、３３以外は、閉鎖されている。
即ち、天井３１ａ、床板３１ｂ、側板３１ｃで囲われて
いる。又、この除電装置３０の入出口３２、３３の天井
側には、図１及び図１２に示すように、垂れ壁４２、４
３が設けてある。更に、除電装置３０には、図２に示す
ように、脚３０ａが設けてある。

【００３０】次に、図１乃至図１１に基づいて、処理室
３１内に水平方向に設けられた３つの載置ゾーン３４
Ａ、３４Ｂ、３４Ｃと、液晶用ガラス基板（被処理物）
４４を各載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに間欠的に
移送するリフトアンドキャリー式の移送装置６０につい
て説明する。３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ
は、図１乃至図４に示すように、処理室３１の壁面３１
ｃ、３１ｃに８本の棒状の受座６１を対向するように配
置したものである。受座６１は、先端が小径となり、液
晶用ガラス基板（被処理物）４４の端部を載置しやすく
してある。

【００３１】３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ
は、図３に示すように、夫々に液晶用ガラス基板（被処
理物）４４が載置されたときに、各液晶用ガラス基板
（被処理物）４４が干渉しないような間隔が維持できる
ように、隙間Ｓが設けてある。この隙間Ｓとしては、１
本の受座６１を取り付ける間隔に相当する。次に、リフ
トアンドキャリー式の移送装置６０について説明する。

【００３２】リフトアンドキャリー式の移送装置６０
は、図１乃至図３に示すように、３つの載置ゾーン３４
Ａ、３４Ｂ、３４Ｃを形成する受座６１、６１間に処理
室３１の長手方向に設置されている。リフトアンドキャ
リー式の移送装置６０は、昇降ユニット７０と、移送装
置９０と、制御手段（シーケンサ）とで構成されてい
る。

【００３３】図４乃至図８に示すように、昇降ユニット
７０は、矩形状の受座ベース７１と、この受座ベース７
１の両側部に設けた棒状のガラス基板受座ベース７２
と、両ガラス基板受座ベース７２の両端部に設けた吸着
キャップ７３と、この吸着キャップ７３に連絡するチュ
ーブ７４と、矩形状の受座ベース７１の下面に取り付け
た受座取付ブラケット７５と、この受座取付ブラケット
７５に取り付けたほぼＬ字型の取付ブラケット７６と、
この取付ブラケット７６を介して受座取付ブラケット７
５を昇降させるエアシリンダ７７と、このエアシリンダ
７７を取り付けるほぼＬ字型の取付ブラケット７８と、
この取付ブラケット７８を取り付けるベース７９と、取
付ブラケット７６に取り付けられエアシリンダ７７の伸
縮に伴ってこのベース７９に設けた孔８０を挿通するガ
イド８１と、ベース７９の下面に取り付けられた走行用
のガイド８２と、ベース７９に設けた直方体状のストラ
イカ８３とを備えている。

【００３４】エアシリンダ７７には、図７に示すよう
に、エアポートイン７７ａとエアポートアウト７７ｂと
が設けてある。又、エアシリンダ７７に連結するチュー
ブ７４には、図示しない開閉弁が取り付けられており、
真空ポンプに連絡している。図１乃至図４、図５乃至図
１１に示すように、移送装置９０は、処理室３１の床板
３１ｂに取り付けられ昇降ユニット７０の走行用のガイ
ド８２を案内するレール９１と、昇降ユニット７０の走
行用のガイド８２に押さえ金具９４を介して取り付けら
れるエンドレスのタイミングベルト９２と、処理室３１
の床板３１ｂに取り付けられタイミングベルト９２を駆
動するタイミングプーリ９３と、処理室３１の床板３１
ｂに取り付けられタイミングベルト９２を回転自在に支
持するタイミングプーリ９４と、処理室３１の床板３１
ｂの下面側に取り付けられ駆動側のタイミングプーリ９
３を正転・逆転させるサーボモータ９５とで構成されて
いる。

【００３５】サーボモータ９５は、エンコーダを取り付
けることによって、昇降ユニット７０の進む距離をこの
エンコーダのパルス数で決定するようにしてある。例え
ば、エンコーダが１０００パルスで駆動部のタイミング
プーリ９３が１回転するというように、エンコーダのパ
ルス数で調整する。本実施例では、３００００パルスに
設定し、水平に２．４秒で５００ｍｍ移動するようにし
てある。

【００３６】タイミングベルト９３は、図９乃至図１１
に示すように、ベルトクランプ９６、９７をボルトナッ
ト９９で締付することによって無端状とされている。図
３、図４、図６に示すように、制御手段（シーケンサ）
は、移送装置９０のレール９１の両端に設けたオーバラ
ン防止用の近接センサ１０１と、３つの載置ゾーン３４
Ａ、３４Ｂ、３４Ｃの夫々の中央に設けた基板感知用フ
ァイバーセンサ１０２と、受座７１に設けた基板感知用
ファイバーセンサ１０３と、各基板感知用ファイバーセ
ンサ１０２と対向して設けた原点感知用光センサ１０４
とで構成されている。

【００３７】ここで、基本的には本装置は、後述するよ
うにサーボモータ９５にエンコーダを設け、エンコーダ
に設定されたパルス数だけ移動するようにされているの
で、オーバランしないものであるが、重量物を搬送した
場合にオーバーランを起こす虞があるので、オーバラン
防止用の近接センサ１０１が設けてある。更に、昇降装
置７０及び移送装置９０は、図４に示すように、隔壁１
１０によって囲われている。

【００３８】昇降装置９０の受座取付ブラケット７５の
位置で、受座取付ブラケット７５の幅より広幅の溝１１
１が長手方向に形成されている。又、タイミングプーリ
９３、９４の近傍の床板３１ｂには、駆動部排気口１１
２が設けてある。この駆動部排気口１１２には排気ファ
ン１１３が設けてある。これによって、駆動部門１３０
が処理室３１から分離される。

【００３９】更に、駆動部門１３０の両側には、図４に
示すように、パンチング板１２０が取り付けられ、処理
室３１内の空気をファンフィルタユニット（クリーンエ
ア排気手段）３８で排気できるようにレターンシャフト
１２１が形成されている。次に、本実施例の作用を説明
する。このように構成された本実施例によれば、図１に
示すように、クリーンルーム２１では天井２３側の空間
２２から供給されるクリーンエアは、床下空間２６に向
かって垂直ダウンフローとして流下していく。

【００４０】これによって、クリーン度をクラス１０に
することができる。一方、除電装置３０では、処理室３
１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニッ
ト（クリーンエア給気手段）３５では、クリーンルーム
２１内のクリーンエアをファン３６で吸引した後、高性
能フィルタ３７で浄化して処理室３１内に吹き出し、同
時に、処理室３１の下流側の床板３１ｂに設けたファン
フィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８におい
て、処理室３１内のクリーンエアをファン３９で吸引し
た後、高性能フィルタ４０で浄化してクリーンルーム２
１内に吹き出している。

【００４１】これによって、処理室３１の上流側の天井
３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア
給気手段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリー
ンエアは、処理室３１の下流側の床板３１ｂに設けたフ
ァンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８に
よって吸引されるため、処理室３１内に水平方向に配置
された３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに沿っ
て流れる。

【００４２】この際、処理室３１の上流側の天井３１ａ
に設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手
段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエア
は、図２に示すように、生産装置２８方向へ、垂れ壁４
２が設けてあるため、生産装置２８側への流れが低減さ
れ、処理室３１の下流側へ流れるようになる。又、処理
室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユ
ニット（クリーンエア給気手段）３５の下面に設けたイ
オン発生器（イオナイザ）４１からコロナ放電により発
生されたイオンは、上述のように処理室３１内を３つの
載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに沿って流れるクリ
ーンエアによって搬送される。

【００４３】一方、処理室３１における下流側において
も、処理室３１内のクリーンエアの生産装置２９への両
量を低減するために、図１２に示すように、垂れ壁４３
を設ける。この垂れ壁４２、４３によって、処理室３１
の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット
（クリーンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き
出されたクリーンエアを搬送物に沿った効果的な水平方
向の流れとすることができる。この状態において、生産
装置２８で加工された液晶用ガラス基板４４は、最初の
載置ゾーン３４Ａに載せられる。

【００４４】上述したように、処理室３１内では、その
上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット
（クリーンエア給気手段）３５の下面に設けたイオン発
生器（イオナイザ）４１からコロナ放電により発生され
たイオンが、処理室３１内を３つの載置ゾーン３４Ａ、
３４Ｂ、３４Ｃに沿って流れるクリーンエアによって搬
送されているので、その上下面４４ａ、４４ｂを含む表
面がクリーンエアによって搬送されるイオンと接触し、
除電される。

【００４５】このように、生産装置２８で加工された液
晶用ガラス基板４４が、最初の載置ゾーン３４Ａに載せ
られると、制御装置（シーケンサ）の指令により、載置
ゾーン３４Ａの基板感知センサ１０２が液晶用ガラス基
板４４を感知する。ここで、基板感知センサ１０２は、
処理室３１の天井面３１ａに向かって感知部位が向けら
れている。

【００４６】そして、最初の載置ゾーン３４Ａの基板感
知センサ１０２が液晶用ガラス基板４４を感知すると、
制御装置（シーケンサ）の指令により、サーボモータ９
５が駆動し、リフトアンドキャリー式の移送装置６０の
移送装置９０が、図２及び図３における右方向へ移動
し、基板感知用ファイバーセンサ１０２と対向して設け
た原点感知用光センサ１０４からの光を昇降ユニット７
０のストライカ８３が遮光すると、制御装置（シーケン
サ）の指令により、サーボモータ９５に停止指令が出さ
れ、最初の載置ゾーン３４Ａの指定位置で昇降ユニット
７０が停止する。

【００４７】これによって、昇降ユニット７０は、最初
の載置ゾーン３４Ａに乗せられている液晶用ガラス基板
４４の真下に位置する。次いで、昇降装置７０の受座ヘ
ッド７１に設けた基板感知用ファイバーセンサ１０３
が、液晶用ガラス基板４４が昇降装置７０上にあること
を感知すると、制御装置（シーケンサ）の指令により、
吸着キャップ７３に連絡する開閉弁を開く。これによっ
て、吸着キャップ７３からはエアが吸引される。そし
て、制御装置（シーケンサ）の指令により、昇降装置７
０のエアシリンダ７７に連絡する圧縮空気弁を開き、そ
のラム７７ｃが伸長し、受座ヘッド７１を上昇させ、液
晶用ガラス基板４４に吸着キャップ７３を当接させ、同
時に液晶用ガラス基板４４を吸着キャップ７３で吸着し
て、エアシリンダ７７のラム７７ｃの長さだけ伸長さ
せ、液晶用ガラス基板４４を最初の載置ゾーン３４Ａの
受座６１より上方に持ち上げる。ここでは、ラム７７Ｃ
の長さを１６ｍｍとした。

【００４８】次いで、制御装置（シーケンサ）の指令に
より、サーボモータ９５のモータ９５を正転させ、吸着
キャップ７３で液晶用ガラス基板４４を吸着した昇降装
置７０を次の載置ゾーン３４Ｂへ水平移送する。ここ
で、エンコーダからのパルス数が３００００になると、
２．４秒で５００ｍｍ移動するように設定してある。次
の載置ゾーン３４Ｂでは、基板感知用ファイバーセンサ
１０２と対向して設けた原点感知用光センサ１０４から
の光を昇降ユニット７０のストライカ８３が遮光する
と、制御装置（シーケンサ）の指令により、サーボモー
タ９５に停止指令が出され、次の載置ゾーン３４Ｂの指
定位置で昇降ユニット７０が停止する。

【００４９】次に、制御装置（シーケンサ）の指令によ
り、吸着キャップ７３に連絡する開閉弁を閉じる。そし
て、制御装置（シーケンサ）の指令により、昇降装置７
０のエアシリンダ７７に連絡する圧縮空気弁を閉じ、そ
のラム７７ｃを収縮させ、受座ヘッド７１を下降させ、
液晶用ガラス基板４４を次の載置ゾーン３４Ｂの受座６
１上に載せ、昇降ユニット７０は更に下方へ移動する。

【００５０】以下同様にして、最終の載置ゾーン３４Ｃ
へ送られ、次の生産装置２９へ搬出される。図１３は、
以上の動作を表したものである。本実施例では、最初の
載置ゾーン３４Ａの中心点から次の載置ゾーン３４Ｂの
中心点までの距離を５００ｍｍ、次の載置ゾーン３４Ｂ
の中心点から最後の載置ゾーン３４Ｃの中心点までの距
離を５００ｍｍと設定し、この最初の載置ゾーン３４Ａ
の中心点から最後の載置ゾーン３４Ｃの中心点までの距
離を搬送速度０．１ｍ／ｓで搬送するようにしたもので
ある。即ち、１０００ｍｍを大凡１２秒で搬送できるよ
うにした。

【００５１】そのため、最初の載置ゾーン３４Ａ及び次
の載置ゾーン３４Ｂでの待ち時間を１秒、リフトアップ
時間及びリフトダウン時間を夫々１秒、リフト後のスト
ップ時間を０．３秒、５００ｍｍの移動時間を２．４
秒、移動後のストップ時間を０．３秒とした。尚、以上
の処理過程においては、各載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、
３４Ｃは勿論のこと、リフトアンドキャリー式の移送装
置６０による移送過程においても、液晶用ガラス基板４
４は、その上下面４４ａ、４４ｂを含む表面がクリーン
エアによって搬送されるイオンと接触し、除電される。

【００５２】その後、液晶用ガラス基板４４は、次の生
産装置２９へ搬送される。以上のように、本実施例によ
れば、水平方向に設けられた液晶用ガラス基板（被処理
物）４４を載置する３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、
３４Ｃに沿ってクリーンエアを送りながら、液晶用ガラ
ス基板（被処理物）４４をリフトアンドキャリー式の移
送装置６０により上流側の載置ゾーン３４Ａから下流側
の載置ゾーン３４Ｃに向かって間欠的に移送し、クリー
ンエアの給気側でコロナ放電により発生されたイオンを
クリーンエアで搬送しながら液晶用ガラス基板（被処理
物）４４に帯電している静電気を除去することができ
る。

【００５３】特に、イオン発生器（イオナイザ）４１か
らコロナ放電により発生されたイオンは、従来のように
垂直ダウンフローではなく、処理室３１の上流側から下
流側へほぼ水平方向に流れるクリーンエアによって搬送
されるため、３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ
上及び移送中の液晶用ガラス基板（被処理物）４４との
接触時間が格段に長くなり、液晶用ガラス基板４４に帯
電された静電気は、確実に除去される。

【００５４】又、液晶用ガラス基板（被処理物）４４
は、３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ上に載置
されているときは勿論のこと、移送中においても、常時
クリーンエア及びこれによって搬送されるイオンに接触
するため、その上面４４ａは勿論のこと下面４４ｂ側も
除電される。

【００５５】図１４乃至図２２は、処理室３１の上流側
の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリー
ンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き出された
クリーンエアが、生産装置２８方向へ流れる量を低減
し、且つ処理室３１内の水平方向の流れを速やかに形成
するため、ファンフィルタユニット（クリーンエア給気
手段）３５の下面側にクリーンエア流れ制御機構を設け
た例を示す。

【００５６】図１４では、下面側の開口率を側面側の開
口率より小さくして、下流側へ向かう流れを作れるよう
にしたパンチング板４５を配した例を示す。この例で
は、垂れ壁４２が設けてあった位置は、閉鎖されてあ
る。又、パンチング板４５には、開口率の大きい側面側
にイオン発生器（イオナイザ）４１が設けてある。

【００５７】図１５は、図１４におけるパンチング板４
５の側面が楕円形状にした例、図１６は、図１４におけ
るパンチング板４５の側面が半円形状にした例を示す。
図１７は、図１４におけるパンチング板４５に代えてほ
ぼＬ字状に折れ曲がる抵抗板４６とした例を示す。この
抵抗板４６によって、処理室３１の上流側の天井３１ａ
に設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手
段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエア
は、下流側へ向かう流れに変えられる。

【００５８】図１８は、図１７における抵抗板４６に水
平方向に延びる板体４６ａを追加した例を示す。図１９
は、図１７における抵抗板４６の傾斜部４６ｂをパンチ
ングにした例を示す。図２０は、図１８における抵抗板
４６に傾斜部４６ｂと水平方向に延びる板体４６ａをパ
ンチングにした例を示す。

【００５９】図２１は、図１７におけるほぼＬ字状に折
れ曲がる抵抗板４６を円弧状にした例を示す。図２２
は、図２に示す垂れ壁４２と同様の効果を奏するよう
に、ファンフィルタユニット３５の高性能フィルタ３７
の形状を水平部３７ａとこれに連設する円弧状部３７ｂ
とすると共に、通気抵抗を水平部３７ａが大きく、円弧
状部３７ｂが小さくなるようにした例を示す。

【００６０】この例によれば、ファン３６から送られる
空気は、水平部３７ａでは低速、円弧状部３７ｂでは高
速となって給気される。図２３は、処理室３１における
下流側の垂れ壁４３に代えて円弧状の気流案内板４７を
設けた例を示す。この例によれば、処理室３１内のクリ
ーンエアの流れを垂れ壁４３と同様に変更させることが
できると共に、垂れ壁４３に比してその変更をスムーズ
に行うことができる。

【００６１】図２４は、本発明の第２実施例に係る除電
装置を示す。本実施例と図１に示す実施例との相違は、
ファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８
が処理室３１の下流側の天井３１ａに設けてある点にあ
る。本実施例においても、図１に示す実施例と同様の作
用効果を奏することができる。

【００６２】ファンフィルタユニット３５から吹き出さ
れたクリーンエアは、処理室３１の下流側に設けたファ
ンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８によ
って吸引されるため、処理室３１内に水平方向に配置さ
れたローラコンベヤ３４に沿って流れる。図２５は、本
発明の第３実施例に係る除電装置を示す。

【００６３】本実施例と図１に示す実施例との相違は、
処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィル
タユニット（クリーンエア給気手段）３５と処理室３１
の下流側の床板３１ｂに設けたファンフィルタユニット
（クリーンエア排気手段）３８とが、吹出口１５１と吸
込口１５２に置き換わると共に、吹出口１５１と吸込口
１５２をダクト１５３を介して循環ファン１５０により
連結し、循環ファン１５０でクリーンエアを循環させる
ようにしたものである。

【００６４】図２６は、本発明の第４実施例に係る除電
装置を示す。図２５に示す実施例における吸込口１５２
を処理室３１の下流側の天井３１ａに設けたものであ
る。本実施例においても、図２５に示す実施例と同様の
作用効果を奏することができる。

【００６５】図２７乃至図３３は、本発明の第５実施例
に係る除電装置を示す。本実施例では、図３１乃至図３
３に示すキャリアケース１６０にて複数の液晶用ガラス
基板４４を複数枚収容し、除電するものである。処理室
３１では、キャリアケース１６０を載置するために、受
座６１の先端にレール８５を取り付け、矩形状の受座ベ
ース７１の両側部に設けた棒状のガラス基板受座ベース
７２及び吸着キャップ７３を廃止し、受座ベース７１の
両端に立上がり部７１ａを設け、この立上がり部７１ａ
でキャリアケース１６０を受け止めるようにしたもので
ある。

【００６６】このキャリアケース１６０は公知であり、
枠１６１に液晶用ガラス基板４４を１枚ずつ収容する段
部１６１が形成されており、上下左右からクリーンエア
が流通できる隙間があり、一側部側から液晶用ガラス基
板４４を段部１６１に沿って移動させながら収容するよ
うになっている。その他の構成は、図１に示す実施例と
同様である。

【００６７】本実施例でも図１に示す実施例と同様の効
果を奏することができる。次に、本実施例による作用を
説明する。図２８において、キャリアケース１６０は、
高さが約３００ｍｍで、枠１６１に液晶用ガラス基板４
４を１枚ずつ収容する段部１６１が１６個形成されてお
り、上下左右からクリーンエアが流通できる隙間があ
り、一側部側から液晶用ガラス基板４４を段部１６２に
沿って移動させながら収容するようになっている。

【００６８】このキャリアケース１６０の最上位（枠１
６１の上面から約５０ｍｍ下の位置）と中間（最上位か
ら約１００ｍｍ下の位置）と最下位（中間から約１００
ｍｍした後で、枠１６１の下面から約５０ｍｍの位置）
に液晶用ガラス基板４４を１枚ずつ収容した後、処理室
３１内の流速を０．５ｍ／ｓｅｃ、温度２３℃、湿度５
５％の条件で、最上位、中間及び最下位の液晶用ガラス
基板４４の除電特性を帯電プレートモニタにより測定し
た。試験した液晶用ガラス基板４４の静電気の帯電量は
−１８００Ｖであった。

【００６９】その結果は、次の通りである。最上位の液
晶用ガラス基板４４は、２５秒後に静電気の帯電量が−
１００Ｖとなった。中間の液晶用ガラス基板４４は、５
２秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。

【００７０】最下位の液晶用ガラス基板４４は、６０秒
後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。比較のため
に、垂直ダウンフローのクリーンルーム内で、上記と同
様に最上位、中間及び最下位の液晶用ガラス基板４４の
除電特性を帯電プレートモニタにより測定した。試験し
た液晶用ガラス基板４４の静電気の帯電量は−１８００
Ｖあった。尚、垂直ダウンフローの流速は０．５ｍ／
ｓ、温度２３℃、湿度５５％であった。

【００７１】最上位の液晶用ガラス基板４４は、５０秒
後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。中間の液晶
用ガラス基板４４は、２６０秒後に静電気の帯電量が−
１００Ｖとなった。

【００７２】最下位の液晶用ガラス基板４４は、１６０
秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。本実施例
では、液晶用ガラス基板４４の上下面から除電するの
で、従来例のように液晶用ガラス基板４４の上面からの
除電に比して短時間に除電できたものと思われる。

【００７３】尚、上記実施例では、３つの載置ゾーン３
４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃを設けた場合について説明した
が、被処理物及び処理規模によって増減することは任意
である。又、被処理物として液晶用ガラス基板について
説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、半導体で
あっても良い。更に、天井全面に高性能フィルタを用い
たクリーンルームに適用した場合について説明したが、
コンベンショナルタイプのクリーンルームとしたものと
しても良い。

【００７４】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、水平方
向に設けられた被処理物を載置する複数の載置ゾーンに
沿ってクリーンエアを送りながら、被処理物をリフトア
ンドキャリー式の移送装置により上流側の載置ゾーンか
ら下流側の載置ゾーンに向かって間欠的に移送し、クリ
ーンエアの給気側でコロナ放電により発生されたイオン
をクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している
静電気を除去するので、被処理物に対し長時間に亘って
イオンを接触させることが可能となり、静電気を確実に
除去することができる。

【００７５】又、水平方向に設置した複数の載置ゾーン
に沿ってクリーンエアを送ることができるので、上流側
に１つのイオン発生器を設置するだけで、連続的に被処
理物に帯電する静電気を確実に除去することができるの
で、複数のイオナイザを必要とせず、メンテナンスが容
易である。更に、水平方向に設置した複数の載置ゾーン
に沿って流れるクリーンエアでイオンを搬送するので、
被処理物に対し上下面にイオンを接触させることが可能
となり、ガラス基板等を複数枚積み込むカセット式であ
っても、被処理物の上下面に帯電する静電気を確実に除
去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る除電装置をクリーン
ルーム内に設置した例を示す説明図である。

【図２】図１の除電装置の正面図である。

【図３】図１の除電装置の平面図である。

【図４】図１の除電装置の断面図である。

【図５】図１の昇降ユニットの受座の平面図である。

【図６】図１の昇降ユニットの一部切欠き側面図であ
る。

【図７】図１の昇降ユニットの要部を示す側面図であ
る。

【図８】図１の昇降ユニットと移送装置との関係を示す
側面図である。

【図９】図１の移送装置のタイミングベルトの平面図で
ある。

【図１０】図９の移送装置のタイミングベルトの結合部
の詳細を示す平面図である。

【図１１】図１０の移送装置のタイミングベルトの結合
部の詳細を示す側面図である。

【図１２】図１の除電装置のクリーンエアの排気部にお
けるクリーンエアの流れを示す説明図である。

【図１３】図１の除電装置の実施例における処理工程を
示す説明図である。

【図１４】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１５】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１６】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１７】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１８】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１９】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図２０】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図２１】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図２２】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図２３】図１の除電装置における下流側の垂れ壁に代
えて円弧状の気流案内板を設けた例を示す説明図であ
る。

【図２４】本発明の第２実施例に係る除電装置を示す説
明図である。

【図２５】本発明の第３実施例に係る除電装置を示す説
明図である。

【図２６】本発明の第４実施例に係る除電装置を示す説
明図である。

【図２７】本発明の第５実施例に係る除電装置を示す平
面図である。

【図２８】図２７の除電装置の断面図である。

【図２９】図２７の除電装置の昇降ユニットの平面図で
ある。

【図３０】図２７の除電装置の昇降ユニットの側面図で
ある。

【図３１】図２７の除電方法に用いられる液晶用ガラス
基板を複数枚収容し、搬送するキャリアケースの正面図
である。

【図３２】図３１に示すキャリアケースの側面図であ
る。

【図３３】図３１に示すキャリアケースの背面図であ
る。

【図３４】従来の除電装置の概要を示す説明図である。

【図３５】図３４における従来の除電装置のイオナイザ
とローラコンベヤ上の被処理物との関係を示す説明図で
ある。

【図３６】従来の除電装置の概要を示す説明図である。

【図３７】図３６における従来の除電装置のイオナイザ
とローラコンベヤ上の被処理物との関係を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

２１クリーンルーム２２ファンフィルタユニット２８、２９生産装置３０除電装置３１処理室３２、３３入出口３４ローラコンベヤ３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ載置ゾーン３５ファンフィルタユニット（クリーンエア給気手
段）３８ファンフィルタユニット（クリーンエア排気手
段）４１イオン発生器（イオナイザ）４２、４３垂れ壁４４液晶用ガラス基板６０リフトアンドキャリー式の移送装置６１受座７０昇降ユニット７３吸着キャップ７７エアシリンダ８３ストライカ９０移送装置９１レール９２タイミングベルト９３、９４タイミングプーリ９５サーボモータ１０２基板感知用ファイバーセンサ１０３基板感知用ファイバーセンサ１０４原点感知用光センサ１１０隔壁１１１溝

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水平方向に設けられた被処理物を載置す
る複数の載置ゾーンに沿ってクリーンエアを送り、被処
理物を各載置ゾーンに間欠的にリフトアンドキャリー式
の移送装置で移送し、クリーンエアの給気側でコロナ放
電により発生されたイオンをクリーンエアで搬送しなが
ら被処理物に帯電している静電気を除去することを特徴
とする除電方法。
【請求項２】入出部を有するダクト状の処理室内に被
処理物を載置する複数の載置ゾーンを水平方向に配置す
ると共に被処理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリ
フトアンドキャリー式の移送装置を配置し、処理室の上
流側で供給するクリーンエアを処理室の下流側で吸引す
ることによって、処理室内の水平方向にクリーンエアを
流し、処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電により
イオンを発生し、発生されたイオンをクリーンエアで搬
送しながら被処理物に帯電している静電気を除去するこ
とを特徴とする除電方法。
【請求項３】入出部を有するダクト状の処理室内に被
処理物を載置する複数の載置ゾーンを水平方向に配置す
ると共に被処理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリ
フトアンドキャリー式の移送装置を配置し、処理室の上
流側の上部側から供給するクリーンエアを処理室の下流
側の下部側で吸引することによって、処理室内の水平方
向にクリーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給部
でコロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオン
をクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している
静電気を除去することを特徴とする除電方法。
【請求項４】請求項１乃至請求項３の何れか１項にお
いて、クリーンルーム内の清浄空気を導入し、浄化した
クリーンエアを用いることを特徴とする除電方法。
【請求項５】入出部を有するダクト状の処理室と、こ
の処理室内に水平方向に設けられ被処理物を載置する複
数の載置ゾーンと、被処理物を各載置ゾーンに間欠的に
移送するリフトアンドキャリー式の移送装置と、処理室
の上流側に設けられたクリーンエア給気手段と、処理室
の下流側に設けられたクリーンエア排気手段と、クリー
ンエア給気手段に設けられたイオン発生器とを備えたこ
とを特徴とする除電装置。
【請求項６】請求項５において、クリーンエア給気手
段が処理室の天井部に設けられ、クリーンエア排気手段
が処理室の床部に設けられていることを特徴とする除電
装置。
【請求項７】請求項５において、クリーンエア給気手
段とクリーンエア排気手段が、処理室の天井部に設けら
れていることを特徴とする除電装置。
【請求項８】請求項５乃至請求項７の何れか１項にお
いて、クリーンエア給気手段及びクリーンエア排気手段
が、高性能フィルタとファンとで構成されていることを
特徴とする除電装置。
【請求項９】請求項５乃至請求項７の何れか１項にお
いて、クリーンエア給気手段及びクリーンエア排気手段
が、循環ファンに連絡する吹出口と吸込口とで構成され
ていることを特徴とする除電装置。
【請求項１０】請求項５において、処理室の入出部に
は、天井側にクリーンエア流れ制御機構が設けられてい
ることを特徴とする除電装置。
【請求項１１】請求項５において、イオン発生器は、
クリーンエア給気手段の吹出部に設けられていることを
特徴とする除電装置。
【請求項１２】請求項９において、イオン発生器は、
吹出口に設けられていることを特徴とする除電装置。