JPH097515A

JPH097515A - 露光装置

Info

Publication number: JPH097515A
Application number: JP15178195A
Authority: JP
Inventors: Akira Inoue; 章井之上
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1995-06-19
Filing date: 1995-06-19
Publication date: 1997-01-10

Abstract

(57)【要約】【目的】不連続面を有する補正レンズを用いる場合で
も、露光装置の構造を複雑にすることなく露光むらを解
消した蛍光面を得ることができる露光装置を提供する。【構成】露光装置１００は長軸方向に移動する線状光
源２０を露光光源とし、線状光源２０から放射された露
光光は多数の微小有効面領域３１から成る不連続曲面を
有し境界部３２が線状光源２０の長軸を横切る補正レン
ズ３０を透過し、シャドウマスク４０を介してパネル部
５の底面、すなわち蛍光面６に到達する。【効果】平面的な移動を必要とする従来の露光装置に
くらべて移動手段の構成が簡略化され、不連続面を有す
る補正レンズを用いて露光する場合にも、露光装置の構
造を複雑にすることなく小型で露光むらを解消した蛍光
面を得ることが可能な露光装置を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラー陰極線管（以後Ｃ
ＲＴと略記）の蛍光面の露光装置に関し、特に露光むら
を解消する露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シャドウマスクを用いたカラー
陰極線管の蛍光面はレジスト露光法を用いて３色の蛍光
体を規則正しく形成し、これによって蛍光面を構成して
いる。レジスト露光法を用いた蛍光体の形成には図８に
示すような露光装置が用いられる。

【０００３】図８において露光装置９０は、筐体１と、
該筐体１の底部に設置された光源２と、該光源２から放
射される露光光（紫外線など）の軌跡を実際の電子ビー
ムの軌跡に近似させるための補正レンズ３とを備えてい
る。筐体１の上部は開口部となっており、該開口部を覆
うようにＣＲＴのシャドウマスク４および底面が蛍光面
となるパネル部５が配置されている。

【０００４】図８に示すようにシャドウマスク４および
底面に蛍光体スラリーが塗布されたパネル部５を配置
し、光源２から露光光を放射すると、パネル部５の底
面、すなわち蛍光面はシャドウマスク４を介して露光さ
れることになる。このとき、パネル部５の底面を露光す
る露光光は補正レンズ３を通過することによって実際の
電子ビームの軌跡に近似した軌跡となるので、パネル部
５の底面にはシャドウマスク４の開口部の形状（丸形、
スロット形、スリット形）に合わせて、実際の電子ビー
ムが照射される位置に蛍光体が形成されることになる。

【０００５】なお、ＣＲＴにおいてはシャドウマスク４
の１つの開口部に対してＲ（ＲＥＤ）、Ｇ（ＧＲＥＥ
Ｎ）、Ｂ（ＢＬＵＥ）の３つの蛍光体が必要となるの
で、例えばストライプ形状の蛍光面を形成する場合はＧ
（ＧＲＥＥＮ）の蛍光体を中心に形成し、光源２の位置
を左右に移動させてＲ（ＲＥＤ）およびＢ（ＢＬＵＥ）
の蛍光体を形成する。

【０００６】ここで、露光光の軌跡を実際の電子ビーム
の軌跡に近似させるための補正レンズ３は、その表面に
きわめて複雑な形状の曲面が形成されている。補正レン
ズの表面は一般には連続曲面のものが多く用いられてい
るが、このような連続曲面を有する補正レンズでは露光
光を実際の電子ビームの軌跡に近似させるのに限度があ
り、このためパネル部の底面全域に渡って蛍光体と実際
の電子ビームスポットとを完全に一致させることができ
ない。従って、このような補正レンズを用いて形成した
蛍光面を有するＣＲＴでは、色ずれが発生して良好な画
質が得られないという問題があった。

【０００７】このような問題点を解決するために、不連
続曲面を有する補正レンズが提案されている。図９に不
連続曲面を有する補正レンズ３Ａの構成を示す。図９
（ａ）は補正レンズ３Ａの平面図であり、Ｓ−Ｓ’線で
の断面図を図９（ｂ）に示す。図９（ａ）において、補
正レンズ３Ａの有効面は格子状に複数個の微小有効面領
域１１に区分されており、それぞれの微小有効面領域１
１は平面または曲面となっている。ここで、微小有効面
領域１１間の境界部１２は図９（ｂ）に示すように段差
となっている。

【０００８】このような補正レンズ３Ａを用いた露光で
は、露光光を実際の電子ビームの軌跡とほぼ一致させる
ことができるが、一方で、段差となっている境界部１２
に対応して露光面に格子状の露光むらが発生するという
問題があった。

【０００９】図１０および図１１を用いて、露光むらに
ついて説明する。図１０は光源２から放射された露光光
が、境界部１２の段差に対応して蛍光面に照射される状
態を表した模式図である。図１０において、補正レンズ
３Ａに入射した露光光は微小有効面領域１１を透過する
ことで、実際の電子ビームの軌跡とほぼ一致した軌跡を
有する偏向済み露光光となってパネル部５の底面（蛍光
面）を露光するが、露光光は境界部１２の段差面で屈折
され、露光光が照射されない部分（図中ハッチング部
分）、いわゆる境界部１２の段差面の影が蛍光面に投影
され、露光むらを発生させることになる。

【００１０】このような補正レンズ３Ａを用いて露光し
た場合の蛍光面の露光状態を図１１（ａ）に示す。図１
１（ａ）の「Ａ」部分の拡大図を図１１（ｂ）に、
「Ｂ」部分の拡大図を図１１（ｃ）に示す。ここで、蛍
光面上の蛍光体がストライプ状に形成される場合、蛍光
体ストライプＬＳと呼称すると、境界部１２に対応した
露光むらＥＵが蛍光面の垂直方向に形成された蛍光体ス
トライプＬＳの上に重なるように形成され、露光むらＥ
Ｕが著しく幅広くなっている。また、図１１（ｃ）に示
すように、蛍光体ストライプＬＳに垂直な方向（蛍光面
の水平方向）にも露光むらＥＵが形成されている。この
ような露光むらＥＵはＣＲＴの非動作時にも確認できる
ほど明確に形成される。

【００１１】このような露光むらＥＵを解消するため
に、特許公告公報（昭５３−３２２３０）にはパネル部
５に対する補正レンズ３Ａの相対的位置を移動させなが
ら露光する方法が提案されている。上記公報によれば、
図１２に示すように補正レンズ３Ａを、対角線１３およ
び１４方向に移動させながら露光を行なうことで、蛍光
面上に格子状の露光むらを一様に分布させ、蛍光面上の
露光量を均一にしている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従来の露光装置は以上
のように構成されているので、補正レンズ３Ａの移動の
ために移動機構が必要であり、露光装置の構造が複雑に
なって大型化するだけでなく、補正レンズ３Ａの移動に
伴い振動が発生するので、露光装置の筐体１を介してパ
ネル部５に伝わり、シャドウマスク４の振動を誘発し、
蛍光体ストライプＬＳのストライプ幅を不均一にするな
どの問題があった。

【００１３】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、不連続面を有する補正レンズを用
いる場合でも、露光装置の構造を複雑にすることなく露
光むらを解消した蛍光面を得ることができる露光装置を
提供する。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項１記
載の露光装置は、カラー陰極線管の蛍光面に露光法によ
りストライプ形状の蛍光体を形成する露光装置であっ
て、線状の発光領域から露光光を放射する線状光源と、
前記線状光源から入射した前記露光光の軌跡を前記カラ
ー陰極線管の動作時の電子ビームの軌跡に近似させて偏
向済み露光光として出射する補正レンズとを備え、前記
補正レンズは、有効面が格子状に複数に区分されて微小
有効面領域となり、該微小有効面領域間の境界部が段差
となった不連続面を有する補正レンズであり、前記補正
レンズからの前記偏向済み露光光を選択的に透過させ
て、前記蛍光面に前記ストライプ形状の蛍光体を形成す
るために、一方向が他方向よりも長い長手方向となった
多数の開口部を有するマスクをさらに備え、前記線状光
源は長軸方向が前記マスクの開口部の前記長手方向と平
行になるように配置され、前記補正レンズは、全ての前
記微小有効面領域間の境界部の方向が前記線状光源の長
軸方向と平行にならず所定の角度を有して横切るように
構成され、前記線状光源および前記補正レンズの少なく
とも一方を、前記線状光源の長軸方向に移動させる移動
手段をさらに備え、前記移動手段により前記線状光源お
よび前記補正レンズの相対位置を変更しつつ露光を行
う。

【００１５】本発明に係る請求項２記載の露光装置は、
前記移動手段が前記線状光源のみを移動させる機能を有
している。

【００１６】本発明に係る請求項３記載の露光装置は、
前記移動手段が前記補正レンズのみを移動させる機能を
有している。

【００１７】本発明に係る請求項４記載の露光装置は、
前記マスクの開口部がスロット形状である。

【００１８】本発明に係る請求項５記載の露光装置は、
前記マスクの開口部がスリット形状である。

【００１９】

【作用】本発明に係る請求項１記載の露光装置によれ
ば、線状光源から放射された露光光が補正レンズに入射
し、カラー陰極線管の動作時の電子ビームの軌跡に近似
した偏向済み露光光として出射され、当該偏向済み露光
光はマスクに照射されて蛍光面にストライプ形状の蛍光
体を形成するが、線状光源が長軸方向がマスクの開口部
の長手方向と平行になるように配置され、補正レンズ
が、全ての微小有効面領域の境界部の方向が線状光源の
長軸方向と平行にならず所定の角度を有して横切るよう
に構成されているので、移動手段により線状光源および
補正レンズの少なくとも一方を線状光源の長軸方向に移
動させながら露光することで、補正レンズの境界部の段
差に起因して形成される露光むらも移動し、露光むらが
蛍光面上に万遍なく形成されることになる。

【００２０】本発明に係る請求項２記載の露光装置によ
れば、移動手段により線状光源を長軸方向に移動させな
がら露光することで、補正レンズの境界部の段差に起因
して形成される露光むらも移動し、露光むらが蛍光面上
に万遍なく形成されることになる。また、移動手段が補
正レンズよりも寸法的、重量的に小さい線状光源のみを
移動させることになるので、移動手段の小型化を図るこ
とができる。

【００２１】本発明に係る請求項３記載の露光装置によ
れば、移動手段により補正レンズを線状光源の長軸方向
に移動させながら露光することで、補正レンズの境界部
の段差に起因して形成される露光むらも移動し、露光む
らが蛍光面上に万遍なく形成されることになる。また、
移動手段が補正レンズのみを線状光源の長軸方向に移動
させることになるので、移動手段を比較的小型にするこ
とができる。

【００２２】本発明に係る請求項４記載の露光装置によ
れば、マスクの開口部がスロット形状であるので、線状
光源を用いて露光することにより蛍光面にストライプ形
状の蛍光体が形成される。

【００２３】本発明に係る請求項５記載の露光装置によ
れば、マスクの開口部がスリット形状であるので、線状
光源を用いて露光することにより、スリット形状の開口
部の全域に露光光がむらなく照射されることになり、蛍
光面に形成されるストライプ形状の蛍光体において露光
光の濃淡に起因した不具合が発生することが防止され
る。

【００２４】

【実施例】

＜第１の実施例＞本発明に係る露光装置の第１の実施例
を図１〜図６を用いて説明する。図１は露光装置１００
の主要部分の構成を示す図であり、便宜上、筐体などは
省略されている。

【００２５】図１において、露光装置１００は線状光源
２０を露光光源とし、線状光源２０から放射された露光
光は不連続曲面を有する補正レンズ３０を透過し、シャ
ドウマスク４０を介してパネル部５の底面、すなわち蛍
光面６に到達する。

【００２６】線状光源２０は、例えば直線形の高圧水銀
ランプなどを使用し、長軸方向（以後、Ｘ方向と呼称）
に移動できるように移動機構（図示せず）を備えてい
る。

【００２７】図２に線状光源２０として使用される高圧
水銀ランプＭＬの構成を示す。高圧水銀ランプＭＬは管
径が５ｍｍ程度、発光領域である管内の水銀アークの長
さが３０ｍｍ、アーク幅は１．５〜２ｍｍ程度である。

【００２８】図３に補正レンズ３０の構成を示す。補正
レンズ３０は図３（ａ）に示すように格子状に区分され
た微小有効面領域３１から成る不連続曲面を有してお
り、基本的な構成は図９を用いて説明した補正レンズ３
Ａと同様である。図３（ａ）におけるＡ−Ａ’断面を図
３（ｂ）に、Ｂ−Ｂ’断面を図３（ｃ）に示す。

【００２９】補正レンズ３Ａと異なるのは、パネル部５
の形状に合わせて配置したときに、微小有効面領域３１
間の境界部３２が線状光源２０の長軸と平行にならず所
定の角度をもって横切るように斜め格子状に形成されて
いる点である。

【００３０】ここで、シャドウマスク４０は図１に示す
ように開口部の形状がスロット（長孔）形状となってい
るスロット形シャドウマスクであり、スロット４１が等
間隔で規則正しく配列されている。そして、シャドウマ
スク４０はスロット４１の長手方向が、線状光源２０の
長軸方向と一致するように配置されている。

【００３１】線状光源２０を用いる理由は、スロット形
シャドウマスクを用いて蛍光体ストライプＬＳを形成す
る場合、スロット４１の長手方向の配列において、シャ
ドウマスク４０の影を消すためである。

【００３２】図４（ａ）にスロット４１の長手方向にお
ける露光状態を示す。また、図４（ｂ）にスロット４１
の横幅方向における露光状態を示す。なお、図４におい
ては簡単化のため補正レンズ３０は省略されている。図
４（ａ）において、スロット４１の長手方向と線状光源
２０の長軸方向が一致するように配置されているので、
スロット４１を通って蛍光面６に到達する露光光の入射
角度の範囲が広くなり、シャドウマスク４０の存在によ
って蛍光面６に未露光部分が生じることが防止され、ス
ロット４１の長手方向に沿って蛍光体ストライプＬＳが
形成されることになる。

【００３３】逆に、図４（ｂ）に示すように、スロット
４１の横幅方向においては線状光源２０は点光源と等価
になるので、シャドウマスク４０の存在によって蛍光面
６に未露光部分が生じ、隣合うスロット間は露光されな
いことになる。

【００３４】次に、線状光源２０を露光光を放射しなが
ら長軸方向に移動させた場合の蛍光面６の露光状態につ
いて図５を用いて説明する。図５は線状光源２０から放
射された露光光が補正レンズ３０の境界部３２を透過す
ることにより形成される蛍光面６上の露光むらＥＵが、
線状光源２０の移動に伴ってどのように移動するかを示
す図である。なお、図５においては簡単化のためシャド
ウマスク４０は省略する。

【００３５】図５において、線状光源２０は移動前には
「Ａ」の位置にあり、移動後には「Ｂ」の位置にあると
する。移動前の線状光源２０は補正レンズ３０の境界部
３２の１つによって、蛍光面６上の「Ａ’」の位置に露
光むらＥＵを形成することになる。そして、移動後の線
状光源２０は同じ境界部３２によって蛍光面６上の
「Ｂ’」の位置に露光むらＥＵを形成することになり、
露光むらＥＵは線状光源２０の移動方向とは逆の方向に
移動することになる。

【００３６】線状光源２０の移動に伴って露光むらＥＵ
が移動するということは、線状光源２０の移動により蛍
光面６上に露光むらＥＵを万遍なく形成できることを意
味している。ただし、微小有効面領域間の境界部が線状
光源の長軸と平行にならず所定の角度をもって横切るよ
うに形成されていない場合、すなわち従来の補正レンズ
３Ａの場合には、線状光源２０を一方向に往復移動させ
るだけでは、移動方向に平行に形成される露光むらＥＵ
は線状光源２０の移動の影響は受けず、蛍光面６上に露
光むらＥＵを万遍なく形成することはできない。

【００３７】しかしながら、補正レンズ３０のように、
微小有効面領域３１間の境界部３２が線状光源２０の長
軸と平行にならず所定の角度をもって横切るように形成
されている場合、特に、微小有効面領域３１の対角線が
線状光源２０の長軸に平行になるように形成されている
場合には、線状光源２０を一方向に移動（往復移動）さ
せるだけで蛍光面６上に露光むらＥＵを万遍なく形成す
ることができる。

【００３８】図６に補正レンズ３０を用いて露光する場
合の露光むらＥＵの形成状態を示す。図６において、露
光むらＥＵは微小有効面領域３１間の境界部３２の形状
を反映して斜め格子状に形成されるが、線状光源２０の
移動方向と反対の方向（矢示方向）に露光むらＥＵが移
動して蛍光面上に万遍なく形成される。これは、言い換
えるなら、蛍光面上の露光量が均一になって露光むらＥ
Ｕが解消されることを意味している。

【００３９】以上説明したように、本実施例に係る露光
装置によれば、スロット形シャドウマスクを用いて蛍光
体ストライプＬＳを形成する場合、微小有効面領域３１
間の境界部３２が線状光源２０の長軸と平行にならず所
定の角度をもって横切るように斜め格子状に形成された
補正レンズ３０を使用し、線状光源２０を長軸方向に移
動させることで蛍光面上の露光量が均一になって露光む
らＥＵを解消することができる。

【００４０】また、補正レンズ３０よりも寸法的、重量
的に小さい線状光源２０を移動させるので移動機構が小
型化され、移動機構を組み込むことによって露光装置全
体が大きくなることが抑制される。さらに、移動機構が
小型で済むので線状光源２０の移動に伴う振動も小さく
なり、シャドウマスク４０が振動して蛍光体ストライプ
ＬＳのストライプ幅を不均一にするといった問題を防止
することができる。

【００４１】なお、シャドウマスクの開口部の形状がス
リット形状となっているスリット形（アパーチャグリル
形）シャドウマスクを用いて蛍光体ストライプＬＳを形
成する場合にも本発明は有効であり、蛍光面上の露光量
が均一になって露光むらを解消することができる。

【００４２】＜第２の実施例＞以上説明した本発明に係
る露光装置の第１の実施例では、線状光源２０を一方向
に移動させることで露光むらＥＵを蛍光面６上に万遍な
く形成する構成について説明したが、線状光源を固定し
て補正レンズを一方向に移動させることによっても同様
の効果を得ることができる。

【００４３】図７に第１の実施例に係る露光装置２００
の主要部分の構成を示す。なお、図１を用いて説明した
露光装置１００と同一の構成については同一の符号を付
し、重複する説明は省略する。

【００４４】図７において、線状光源２０Ａは長軸方向
に移動する機能は有しておらず、補正レンズ３０Ａが線
状光源２０Ａの長軸方向と平行な方向に移動する移動機
構を備えている。補正レンズ３０Ａは、微小有効面領域
３１Ａ間の境界部３２Ａが線状光源２０Ａの長軸と平行
にならず所定の角度をもって横切るように配置されてい
るので、線状光源２０Ａの長軸方向と平行な方向のみに
移動する移動機構を備えることで、露光むらＥＵを蛍光
面６上に万遍なく形成することができる。

【００４５】ここで、補正レンズ３０Ａは一方向に移動
するだけなので、図１２を用いて説明した特許公告公報
（昭５３−３２２３０）に記載の発明のように補正レン
ズ３Ａを、対角線１３および１４方向に移動させる必要
がなく、移動機構が簡略化され露光装置が大型化するこ
とが抑制されるとともに、移動に伴う振動も低減される
ことになる。

【００４６】＜変形例＞以上説明した本発明に係る露光
装置の第２の実施例では、補正レンズを一方向に移動さ
せる構成について説明したが、第１の実施例で説明した
線状光源を一方向に移動させる構成と併せて用いること
によっても同様の効果を得ることができる。

【００４７】この場合、線状光源と補正レンズを同一方
向に、同一速度で移動させたのでは効果がないので、同
一方向に移動させる場合は同期しないように速度を違え
る必要がある。また、線状光源と補正レンズを反対方向
に移動させる場合には相対速度が速くなるので、十分な
露光量を得るためには個々の移動速度を遅くする必要が
ある。

【００４８】このように構成することで、線状光源だけ
を移動させる場合に比べて移動量を半減することができ
る。また、蛍光面上の露光量の調整を線状光源および補
正レンズの移動パターンの組み合わせにより行うことが
でき、蛍光面上の露光量をより均一に制御することが可
能となる。

【００４９】なお、線状光源と補正レンズをともに移動
させるために、それぞれに移動機構が必要になるが、ど
ちらも一方向のみの移動なので簡略化することができ、
移動に伴う振動の発生も抑制することができる。

【００５０】

【発明の効果】本発明に係る請求項１記載の露光装置に
よれば、移動手段により線状光源および補正レンズの少
なくとも一方を線状光源の長軸方向に移動させながら露
光することで露光むらが蛍光面上に万遍なく形成される
ので、平面的な移動を必要とする従来の露光装置にくら
べて移動手段の構成が簡略化され、不連続面を有する補
正レンズを用いて露光する場合にも、露光装置の構造を
複雑にすることなく小型で露光むらを解消した蛍光面を
得ることが可能な露光装置を得ることができる。

【００５１】本発明に係る請求項２記載の露光装置によ
れば、移動手段の小型化を図ることができるので、移動
手段を備えることによって露光装置全体が大きくなるこ
とが抑制され、移動機構が小型で済むので線状光源の移
動に伴う振動も小さくなり、マスクが振動してストライ
プ状の蛍光体のストライプ幅を不均一にするといった問
題を防止した露光装置を得ることができる。

【００５２】本発明に係る請求項３記載の露光装置によ
れば、移動手段を比較的小型にすることができるので、
移動機構が簡略化され露光装置が大型化することが抑制
されるとともに、移動に伴う振動を低減した露光装置を
得ることができる。

【００５３】本発明に係る請求項４記載の露光装置によ
れば、マスクの開口部がスロット形状である場合にも、
線状光源を用いて露光することにより蛍光面にストライ
プ形状の蛍光体を形成することができるので、スロット
形シャドウマスクを有するＣＲＴの製造に適した露光装
置を得ることができる。

【００５４】本発明に係る請求項５記載の露光装置によ
れば、マスクの開口部がスリット形状である場合に、線
状光源を用いて露光することにより、スリット形状の開
口部の全域に露光光がむらなく照射されることになり、
蛍光面に形成されるストライプ形状の蛍光体において露
光光の濃淡に起因した不具合が発生することが防止さ
れ、スリット形シャドウマスクを有するＣＲＴの製造に
適した露光装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る露光装置の第１の実施例の構成
を説明する斜視図である。

【図２】線状光源の構成を説明する斜視図である。

【図３】本発明に係る露光装置の不連続面を有する補
正レンズの構成を説明する図である。

【図４】スロット形シャドウマスクを用いてストライ
プ形状の蛍光体を形成する場合の形成状態を説明する図
である。

【図５】本発明に係る露光装置により露光むらを解消
する仕組みを説明する図である。

【図６】本発明に係る露光装置により蛍光面上に形成
された露光むらを示す図である。

【図７】本発明に係る露光装置の第２の実施例の構成
を説明する斜視図である。

【図８】従来の露光装置の構成を説明する図である。

【図９】従来の露光装置の不連続面を有する補正レン
ズの構成を説明する図である。

【図１０】露光むらが形成される仕組みを説明する図
である。

【図１１】露光むらが形成された蛍光面を示す図であ
る。

【図１２】従来の露光装置の動作を説明する図であ
る。

【符号の説明】

６蛍光面、２０，２０Ａ線状光源、３０，３０Ａ
補正レンズ、３１，３１Ａ微小有効面領域、３２，３
２Ａ境界部、４０シャドウマスク、ＭＬ高圧水銀ラ
ンプ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カラー陰極線管の蛍光面に露光法により
ストライプ形状の蛍光体を形成する露光装置であって、線状の発光領域から露光光を放射する線状光源と、前記線状光源から入射した前記露光光の軌跡を前記カラ
ー陰極線管の動作時の電子ビームの軌跡に近似させて偏
向済み露光光として出射する補正レンズとを備え、前記補正レンズは、有効面が格子状に複数に区分されて
微小有効面領域となり、該微小有効面領域間の境界部が
段差となった不連続面を有する補正レンズであり、前記補正レンズからの前記偏向済み露光光を選択的に透
過させて、前記蛍光面に前記ストライプ形状の蛍光体を
形成するために、一方向が他方向よりも長い長手方向と
なった多数の開口部を有するマスクをさらに備え、前記線状光源は長軸方向が前記マスクの開口部の前記長
手方向と平行になるように配置され、前記補正レンズは、全ての前記微小有効面領域間の境界
部の方向が前記線状光源の長軸方向と平行にならず所定
の角度を有して横切るように構成され、前記線状光源および前記補正レンズの少なくとも一方
を、前記線状光源の長軸方向に移動させる移動手段をさ
らに備え、前記移動手段により前記線状光源および前記補正レンズ
の相対位置を変更しつつ露光を行うことを特徴とする露
光装置。
【請求項２】前記移動手段は、前記線状光源のみを移
動させる機能を有する請求項１記載の露光装置。
【請求項３】前記移動手段は、前記補正レンズのみを
移動させる機能を有する請求項１記載の露光装置。
【請求項４】前記マスクの開口部は、スロット形状で
ある請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】前記マスクの開口部は、スリット形状で
ある請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。