JPH097763A - 有機薄膜ｅｌ素子の製造方法 - Google Patents
有機薄膜ｅｌ素子の製造方法Info
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- JPH097763A JPH097763A JP7153155A JP15315595A JPH097763A JP H097763 A JPH097763 A JP H097763A JP 7153155 A JP7153155 A JP 7153155A JP 15315595 A JP15315595 A JP 15315595A JP H097763 A JPH097763 A JP H097763A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/50—Forming devices by joining two substrates together, e.g. lamination techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】有機薄膜層を形成した後に金属層を形成する工
程を排除し、この工程に起因する成膜性の低下を防止す
る。 【構成】一方のフィルム上に陽極層と有機薄膜層を順に
積層して形成し、他方のフィルム上に陰極層と有機薄膜
層を順に積層して貼り合わせる。貼り合わせ界面の有機
薄膜層は樹脂分散膜とし、樹脂バインダーが軟化する温
度下で圧着して張り合わせる。
程を排除し、この工程に起因する成膜性の低下を防止す
る。 【構成】一方のフィルム上に陽極層と有機薄膜層を順に
積層して形成し、他方のフィルム上に陰極層と有機薄膜
層を順に積層して貼り合わせる。貼り合わせ界面の有機
薄膜層は樹脂分散膜とし、樹脂バインダーが軟化する温
度下で圧着して張り合わせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機薄膜のＥＬ（エレ
クトロルミネッセンス）現象を利用した発光デバイスの
製造方法に関する。
クトロルミネッセンス）現象を利用した発光デバイスの
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ある種の有機薄膜を電極で挟み込み通電
すると、双方の電極から注入された正孔および電子が有
機薄膜内で再結合し、このときのエネルギーにより発光
現象が生じることが知られている。この現象を利用した
ものは有機薄膜ＥＬ素子と呼ばれ各種発光デバイスへの
応用が期待されている。ＥＬ現象は単層の有機薄膜を電
極でサンドイッチした構造でも得られるが、より低い電
圧印加で高輝度を得るためには電極から有機発光膜への
キャリアの注入効率を向上させる必要があるので、電極
と有機発光層とのエネルギー障壁を源し、有機発光膜へ
のキャリア移動を容易にすることを目的として、電極と
有機発光層との間にキャリア注入層もしくはキャリア輸
送層を付加した積層構造が提案されている。
すると、双方の電極から注入された正孔および電子が有
機薄膜内で再結合し、このときのエネルギーにより発光
現象が生じることが知られている。この現象を利用した
ものは有機薄膜ＥＬ素子と呼ばれ各種発光デバイスへの
応用が期待されている。ＥＬ現象は単層の有機薄膜を電
極でサンドイッチした構造でも得られるが、より低い電
圧印加で高輝度を得るためには電極から有機発光膜への
キャリアの注入効率を向上させる必要があるので、電極
と有機発光層とのエネルギー障壁を源し、有機発光膜へ
のキャリア移動を容易にすることを目的として、電極と
有機発光層との間にキャリア注入層もしくはキャリア輸
送層を付加した積層構造が提案されている。
【０００３】例としては、陽極／有機正孔輸送層／有機
発光層／陰極（特開昭５７−５１７８１）、陽極／有機
発光層／有機電子輸送層／陰極（Ｃ．Ａｄａｃｈｉ，
Ｔ．Ｔｕｔｓｕｉ，Ｓ．Ｓａｉｔｏ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．Ｌｅｔｔ．，５５，１４８９（１９８９））、陽極
／複数の有機正孔注入輸送層／有機発光層／複数の有機
電子注入輸送層／陰極（特開平６−３１４５９４）など
が挙げられる。
発光層／陰極（特開昭５７−５１７８１）、陽極／有機
発光層／有機電子輸送層／陰極（Ｃ．Ａｄａｃｈｉ，
Ｔ．Ｔｕｔｓｕｉ，Ｓ．Ｓａｉｔｏ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．Ｌｅｔｔ．，５５，１４８９（１９８９））、陽極
／複数の有機正孔注入輸送層／有機発光層／複数の有機
電子注入輸送層／陰極（特開平６−３１４５９４）など
が挙げられる。
【０００４】電極材料としては、光を取り出す都合上、
陽極にはインジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）や金箔などの
透光性薄膜が、陰極にはマグネシウム、アルミニウム、
インジウムまたはこれらを母材として銀、リチウムなど
を適宜ドーピングした薄膜が用いられている（たとえば
特開平５−１２１１７２）。
陽極にはインジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）や金箔などの
透光性薄膜が、陰極にはマグネシウム、アルミニウム、
インジウムまたはこれらを母材として銀、リチウムなど
を適宜ドーピングした薄膜が用いられている（たとえば
特開平５−１２１１７２）。
【０００５】これらの薄膜積層構造体は、一般に湿気や
熱に対する耐久性に乏しいので、光硬化性の樹脂で全面
をカバーしガラスなどを貼り付ける（特開平６−３３８
３９２）、注入口を有するガラス等の容器に入れ液体封
止材を封入する（特開平７−１１２４７）などの封止方
法が開示されている。また従来から無機ＥＬの封止方法
として用いられているラミネートフィルムで被覆する
（特開昭６０−１４７９８）方法も開示されている。
熱に対する耐久性に乏しいので、光硬化性の樹脂で全面
をカバーしガラスなどを貼り付ける（特開平６−３３８
３９２）、注入口を有するガラス等の容器に入れ液体封
止材を封入する（特開平７−１１２４７）などの封止方
法が開示されている。また従来から無機ＥＬの封止方法
として用いられているラミネートフィルムで被覆する
（特開昭６０−１４７９８）方法も開示されている。
【０００６】これらの有機薄膜ＥＬ素子の従来の製造方
法は、図３（ａ）〜（ｆ）に示すように、ガラスや樹脂
フィルムなどの透光性基板１上に陽極層２として透明電
極をスパッタ法や真空蒸着法などによって形成し
（ａ）、その上に上記したような有機正孔輸送層３、有
機発光層４、有機電子輸送層５などを、真空蒸着法、溶
液塗布法、ＬＢ法、スクリーン印刷法など公知の薄膜形
成技術によって順次積層（ｂ）〜（ｄ）、更にその上に
陰極層６として金属層を真空蒸着法やスパッタ法などを
用いて形成した後（ｅ）、外部リード８の取り付けと封
止（ｆ）を行っていた。
法は、図３（ａ）〜（ｆ）に示すように、ガラスや樹脂
フィルムなどの透光性基板１上に陽極層２として透明電
極をスパッタ法や真空蒸着法などによって形成し
（ａ）、その上に上記したような有機正孔輸送層３、有
機発光層４、有機電子輸送層５などを、真空蒸着法、溶
液塗布法、ＬＢ法、スクリーン印刷法など公知の薄膜形
成技術によって順次積層（ｂ）〜（ｄ）、更にその上に
陰極層６として金属層を真空蒸着法やスパッタ法などを
用いて形成した後（ｅ）、外部リード８の取り付けと封
止（ｆ）を行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この従来の有機ＥＬ素
子の製造方法では、単一の基板上に陽極層／有機薄膜層
／陰極層を順次積層するので、有機薄膜層を形成後に陰
極層となる金属層を形成する工程が存在する。ところ
が、一般に有機薄膜層を均一に形成することは困難であ
ることに加え、経時や温度によっても膜表面の平坦性が
変化するので、有機薄膜層を形成した後に金属層を均一
に形成するのは更に困難である。また、首尾良く有機薄
膜層を均一に形成することができたとしても、次に形成
する金属は成膜時エネルギーが高いので有機薄膜層にダ
メージを与える恐れがある。これらは積層膜の膜厚ばら
つきやピンホールの発生を招き、発光品位の著しい低下
となる。
子の製造方法では、単一の基板上に陽極層／有機薄膜層
／陰極層を順次積層するので、有機薄膜層を形成後に陰
極層となる金属層を形成する工程が存在する。ところ
が、一般に有機薄膜層を均一に形成することは困難であ
ることに加え、経時や温度によっても膜表面の平坦性が
変化するので、有機薄膜層を形成した後に金属層を均一
に形成するのは更に困難である。また、首尾良く有機薄
膜層を均一に形成することができたとしても、次に形成
する金属は成膜時エネルギーが高いので有機薄膜層にダ
メージを与える恐れがある。これらは積層膜の膜厚ばら
つきやピンホールの発生を招き、発光品位の著しい低下
となる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の有機薄膜ＥＬ素
子の製造方法は、前述した従来の製造方法の欠点である
有機薄膜層の形成後に金属層を形成する工程を排除する
ために、一方の防湿フィルム上に透光性の陽極層とｎ
（ｎ≧１）層からなる有機薄膜層のうちのｍ（ｍ≧０）
層を順に積層させて形成し、他方の防湿フィルム上に陰
極層と残りのｎ−ｍ層からなる有機薄膜層を順に積層さ
せて形成した後、双方の積層膜を対向させて貼り合わ
せ、周辺部を接着または融着封止するようにした（請求
項１）。
子の製造方法は、前述した従来の製造方法の欠点である
有機薄膜層の形成後に金属層を形成する工程を排除する
ために、一方の防湿フィルム上に透光性の陽極層とｎ
（ｎ≧１）層からなる有機薄膜層のうちのｍ（ｍ≧０）
層を順に積層させて形成し、他方の防湿フィルム上に陰
極層と残りのｎ−ｍ層からなる有機薄膜層を順に積層さ
せて形成した後、双方の積層膜を対向させて貼り合わ
せ、周辺部を接着または融着封止するようにした（請求
項１）。
【０００９】また、貼り合わせ面の密着性を向上させる
ため、上記防湿フィルム上に積層する有機薄膜層のう
ち、貼り合わせ界面と有機薄膜層は、有機材を樹脂バイ
ンダーに分散させた樹脂分散膜とし、この樹脂バインダ
ーが軟化する温度下で圧着して貼り合わせるようにした
（請求項２）。
ため、上記防湿フィルム上に積層する有機薄膜層のう
ち、貼り合わせ界面と有機薄膜層は、有機材を樹脂バイ
ンダーに分散させた樹脂分散膜とし、この樹脂バインダ
ーが軟化する温度下で圧着して貼り合わせるようにした
（請求項２）。
【００１０】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図１（ａ）〜（ｅ）は本発明の有機薄膜ＥＬ
素子の製造方法の第１の実施例を示す工程図である。厚
さ１００μｍの透明ポリエステルフィルム１ａ上に陽極
層としてＩＴＯ２をスパッタ法にて形成し、フォトリソ
グラフィー法を用いて所望のパターンとし（ａ）、続い
て有機正孔輸送層３として１，１−ビス−（４−ジパラ
トリルアミノフェニル）シクロヘキサンを真空蒸着法に
より５００オングストローム形成した（ｂ）。
説明する。図１（ａ）〜（ｅ）は本発明の有機薄膜ＥＬ
素子の製造方法の第１の実施例を示す工程図である。厚
さ１００μｍの透明ポリエステルフィルム１ａ上に陽極
層としてＩＴＯ２をスパッタ法にて形成し、フォトリソ
グラフィー法を用いて所望のパターンとし（ａ）、続い
て有機正孔輸送層３として１，１−ビス−（４−ジパラ
トリルアミノフェニル）シクロヘキサンを真空蒸着法に
より５００オングストローム形成した（ｂ）。
【００１１】次に他方のポリエステルフィルム１ｂ上
に、まず陰極層６としてアルミニウムとリチウムを速度
比約７０：１で、所望のパターンのシャドウマスクを用
いて共蒸着法により２０００オングストローム形成し
（ｃ）、続いて有機発光材としてトリス（８−キノリノ
ール）アルミニウム、樹脂バインダーとしてフレーク上
のポリスチレン樹脂を重量比１：２でジクロロメタンに
溶解して２重量％の溶液を作り、ディップコート法によ
り樹脂分散型有機発光層４を７００オングストローム形
成した（ｄ）。
に、まず陰極層６としてアルミニウムとリチウムを速度
比約７０：１で、所望のパターンのシャドウマスクを用
いて共蒸着法により２０００オングストローム形成し
（ｃ）、続いて有機発光材としてトリス（８−キノリノ
ール）アルミニウム、樹脂バインダーとしてフレーク上
のポリスチレン樹脂を重量比１：２でジクロロメタンに
溶解して２重量％の溶液を作り、ディップコート法によ
り樹脂分散型有機発光層４を７００オングストローム形
成した（ｄ）。
【００１２】その後双方の積層膜を対向させ、ポリスチ
レン樹脂の軟化点である９０℃で加圧して貼り合わせ、
周辺部は外部リードと共に電熱シーラーにて融着封止し
た（ｅ）。完成した有機薄膜ＥＬ素子は印加電圧１０Ｖ
で輝度３１０ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得た。
レン樹脂の軟化点である９０℃で加圧して貼り合わせ、
周辺部は外部リードと共に電熱シーラーにて融着封止し
た（ｅ）。完成した有機薄膜ＥＬ素子は印加電圧１０Ｖ
で輝度３１０ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得た。
【００１３】第２の実施例を図２（ａ）〜（ｅ）に示
す。厚さ１００μｍの透明ポリエステルフィルム１ａ上
には陽極層としてパターニングしたＩＴＯ２のみを形成
した（ａ）。次に他方のポリエステルフィルム１ｂ上
に、まず陰極層６としてアルミニウムとリチウムを速度
比約７０：１で、所望のパターンのシャドウマスクを用
いて共蒸着法により２０００オングストローム形成し
（ｂ）、続いて有機発光層４としてトリス（８−キノリ
ノール）アルミニウムにキナクリドンを１ｍｏｌ％ドー
プしながら共蒸着法により６５０オングストローム形成
した（ｃ）。
す。厚さ１００μｍの透明ポリエステルフィルム１ａ上
には陽極層としてパターニングしたＩＴＯ２のみを形成
した（ａ）。次に他方のポリエステルフィルム１ｂ上
に、まず陰極層６としてアルミニウムとリチウムを速度
比約７０：１で、所望のパターンのシャドウマスクを用
いて共蒸着法により２０００オングストローム形成し
（ｂ）、続いて有機発光層４としてトリス（８−キノリ
ノール）アルミニウムにキナクリドンを１ｍｏｌ％ドー
プしながら共蒸着法により６５０オングストローム形成
した（ｃ）。
【００１４】さらに、この上に有機正孔輸送剤として
１，１−ビス−（４−ジパラトリルアミノフェニル）シ
クロヘキサン、樹脂バインダーとして粉末状のポリ塩化
ビニル樹脂を重量比１：１でテトラヒドロフランに溶解
して１重量％の溶液を作り、ディップコート法により樹
脂分散型有機正孔輸送層３を５００オングストローム形
成した（ｄ）。その後双方の積層膜を対向させ、ポリ塩
化ビニル樹脂の軟化点である８０℃で加圧して貼り合わ
せ、周辺部は外部リード８と共に電熱シーラーにて融着
封止した（ｅ）。完成した有機薄膜ＥＬ素子は印加電圧
１２Ｖで輝度３４０ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得た。
１，１−ビス−（４−ジパラトリルアミノフェニル）シ
クロヘキサン、樹脂バインダーとして粉末状のポリ塩化
ビニル樹脂を重量比１：１でテトラヒドロフランに溶解
して１重量％の溶液を作り、ディップコート法により樹
脂分散型有機正孔輸送層３を５００オングストローム形
成した（ｄ）。その後双方の積層膜を対向させ、ポリ塩
化ビニル樹脂の軟化点である８０℃で加圧して貼り合わ
せ、周辺部は外部リード８と共に電熱シーラーにて融着
封止した（ｅ）。完成した有機薄膜ＥＬ素子は印加電圧
１２Ｖで輝度３４０ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得た。
【００１５】第１の実施例では、一方の防湿フィルムに
はＩＴＯと１層の有機正孔輸送層を順に積層し、他方の
防湿フィルムには金属層と１層の有機発光層を順に積層
した。
はＩＴＯと１層の有機正孔輸送層を順に積層し、他方の
防湿フィルムには金属層と１層の有機発光層を順に積層
した。
【００１６】また、第２の実施例では一方の防湿フィル
ムにはＩＴＯのみを形成し、他方の防湿フィルムに金属
層と１層の有機発光層と１層の有機正孔輸送層を順に積
層したが、本実施例では使用しなかった電子輸送層を陰
極層と有機発光層との間に形成することもできる。
ムにはＩＴＯのみを形成し、他方の防湿フィルムに金属
層と１層の有機発光層と１層の有機正孔輸送層を順に積
層したが、本実施例では使用しなかった電子輸送層を陰
極層と有機発光層との間に形成することもできる。
【００１７】また、各有機薄膜層は複数層でも良いし、
貼り合わせ界面と有機薄膜層を有機材を樹脂バインダー
に分散させた樹脂分散膜とするならば、各有機積層膜を
どちらの防湿フィルムに割り振って積層してもよい。
貼り合わせ界面と有機薄膜層を有機材を樹脂バインダー
に分散させた樹脂分散膜とするならば、各有機積層膜を
どちらの防湿フィルムに割り振って積層してもよい。
【００１８】本実施例は材料を規定するものではなく、
陽極層としては金箔など、有機正孔輸送剤としては芳香
族３級アミンの他にポリフィリン誘導体など、有機発光
剤としては８−ヒドロキシキノリン金属錯体の他に、ブ
タジエン誘導体、クマリン誘導体、ベンズオキサゾール
誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導
体、チアジアゾール誘導体、スチリルアミン誘導体、ビ
ススチリルベンゼン誘導体、ビススチリルアントラセン
誘導体、ペリノン誘導体、アミノピレン誘導体など、電
子輸送剤としてはナフタルイミド誘導体、ペリレンテト
ラカルボン酸ジイミド誘導体、キナクリドン誘導体な
ど、有機薄膜ＥＬを構成する材料はすべて使用可能であ
る。また、樹脂バインダーとしては、ポリカーボネー
ト、ポリビニルカルバゾール、塩酢ビ共重合樹脂、ホル
マール樹脂などが使用可能であるが、前記した正孔輸送
剤、発光剤、電子輸送剤との相溶性を有し、既に形成し
た薄膜層を侵さない溶剤を適宜選択する必要がある。
陽極層としては金箔など、有機正孔輸送剤としては芳香
族３級アミンの他にポリフィリン誘導体など、有機発光
剤としては８−ヒドロキシキノリン金属錯体の他に、ブ
タジエン誘導体、クマリン誘導体、ベンズオキサゾール
誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導
体、チアジアゾール誘導体、スチリルアミン誘導体、ビ
ススチリルベンゼン誘導体、ビススチリルアントラセン
誘導体、ペリノン誘導体、アミノピレン誘導体など、電
子輸送剤としてはナフタルイミド誘導体、ペリレンテト
ラカルボン酸ジイミド誘導体、キナクリドン誘導体な
ど、有機薄膜ＥＬを構成する材料はすべて使用可能であ
る。また、樹脂バインダーとしては、ポリカーボネー
ト、ポリビニルカルバゾール、塩酢ビ共重合樹脂、ホル
マール樹脂などが使用可能であるが、前記した正孔輸送
剤、発光剤、電子輸送剤との相溶性を有し、既に形成し
た薄膜層を侵さない溶剤を適宜選択する必要がある。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の有機薄膜
ＥＬ素子の製造方法は、一方の防湿フィルム上に透光性
の陽極層とｎ（ｎ≧１）層からなる有機薄膜層のうちの
ｍ（ｍ≧０）層を順に積層させて形成し、他方の防湿フ
ィルム上に陰極層と残りのｎ−ｍ層からなる有機薄膜層
を順に積層させて形成した後、双方の積層膜を対向させ
て貼り合わせ、周辺部を接着または融着封止するように
したので、有機薄膜層を形成した後に金属層を形成する
工程が存在せず、概して不均一な有機薄膜層の成膜状態
に影響して金属層も不均一になったり、金属層成膜時の
エネルギーによって既に形成した有機薄膜層がダメージ
を受けることがない。また、防湿フィルム上に積層する
有機薄膜層のうち、貼り合わせ界面となる有機薄膜層の
少なくとも１層は、有機材を樹脂バインダーに分散させ
た樹脂分散膜とし、この樹脂バインダーが軟化する温度
下で圧着して貼り合わせるようにしたので貼り合わせの
密着性も向上し、安定した性能を有した有機薄膜ＥＬ素
子を提供できる。
ＥＬ素子の製造方法は、一方の防湿フィルム上に透光性
の陽極層とｎ（ｎ≧１）層からなる有機薄膜層のうちの
ｍ（ｍ≧０）層を順に積層させて形成し、他方の防湿フ
ィルム上に陰極層と残りのｎ−ｍ層からなる有機薄膜層
を順に積層させて形成した後、双方の積層膜を対向させ
て貼り合わせ、周辺部を接着または融着封止するように
したので、有機薄膜層を形成した後に金属層を形成する
工程が存在せず、概して不均一な有機薄膜層の成膜状態
に影響して金属層も不均一になったり、金属層成膜時の
エネルギーによって既に形成した有機薄膜層がダメージ
を受けることがない。また、防湿フィルム上に積層する
有機薄膜層のうち、貼り合わせ界面となる有機薄膜層の
少なくとも１層は、有機材を樹脂バインダーに分散させ
た樹脂分散膜とし、この樹脂バインダーが軟化する温度
下で圧着して貼り合わせるようにしたので貼り合わせの
密着性も向上し、安定した性能を有した有機薄膜ＥＬ素
子を提供できる。
【図１】本発明の有機薄膜ＥＬ素子の製造方法の第１の
実施例を示す工程図。
実施例を示す工程図。
【図２】本発明の有機薄膜ＥＬ素子の製造方法の第２の
実施例を示す工程図。
実施例を示す工程図。
【図３】従来の有機薄膜ＥＬ素子の製造方法を示す工程
図。
図。
１ａ，１ｂ ポリエステルフィルム ２ 陽極層（ＩＴＯ） ３ 有機正孔輸送層 ４ 有機発光層 ５ 有機電子輸送層 ６ 陰極層 ７ 樹脂 ８ 外部リード
Claims (2)
- 【請求項１】 陽極層とｎ（ｎ≧１）層からなる有機薄
膜層を陽極層と陰極層の間に配置した積層薄膜を防湿フ
ィルムで挾持してなる有機薄膜ＥＬ素子の製造方法にお
いて、一方の防湿フィルム上に透光性の陽極層と前記ｎ
層からなる有機薄膜層のうちのｍ（ｍ≧０）層を順に積
層させて形成し、他方の防湿フィルム上に陰極層と残り
のｎ−ｍ層からなる有機薄膜層を順に積層させて形成し
た後、双方の積層膜を対向させて貼り合わせ、周辺部を
接着または融着封止することを特徴とする有機薄膜ＥＬ
素子の製造方法。 - 【請求項２】 前記防湿フィルム上に積層する有機薄膜
層のうち、貼り合わせ界面となる有機薄膜層は、有機材
を樹脂バインダーに分散させた樹脂分散膜とし、この樹
脂バインダーが軟化する温度下で圧着して貼り合わせる
ことを特徴とする請求項１記載の有機薄膜ＥＬ素子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7153155A JP2755216B2 (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 有機薄膜ｅｌ素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7153155A JP2755216B2 (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 有機薄膜ｅｌ素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH097763A true JPH097763A (ja) | 1997-01-10 |
| JP2755216B2 JP2755216B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=15556237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7153155A Expired - Lifetime JP2755216B2 (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 有機薄膜ｅｌ素子の製造方法 |
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| JP (1) | JP2755216B2 (ja) |
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-
1995
- 1995-06-20 JP JP7153155A patent/JP2755216B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2755216B2 (ja) | 1998-05-20 |
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