JPH097890A

JPH097890A - 可変容量コンデンサ

Info

Publication number: JPH097890A
Application number: JP15952895A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Fujii; 康生藤井; Tomoji Iyoda; 友二伊豫田; Katsuhiko Tanaka; 克彦田中
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1995-06-26
Filing date: 1995-06-26
Publication date: 1997-01-10

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】単一素子ながら、耐電圧性に優れ、コンデン
サの性能指数を示すＱ値が高く、小型で静電容量の可変
率が大きい可変容量コンデンサを得る。【構成】可動電極を構成する対向電極部１５は、断面
が縦長の細長い梁１７Ａ，１７Ｂによって支持され、対
向電極部と対向する位置に一対の基板表面電極１２が一
定の間隔を介して設けられ、可動電極に対向して固定電
極６が設けられる。可動電極と固定電極の間に外部バイ
アス電圧を印加すると、両者の間にはク−ロン力が発生
し、一方、梁の弾力によって対向電極部を元の位置に引
き戻そうとする力が働き、ク−ロン力と弾力が釣り合う
位置まで、対向電極部が変位し、一対の基板表面電極と
重なり合う対向面積が変わり、対向電極部と一対の基板
表面電極間の静電容量が変化する。この静電容量は、例
えば基板表面電極と可動電極から取り出される場合に比
べて可動電極の内部抵抗の影響が小さくなり、Ｑ値が非
常に高くなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電圧可変容量素子の一
種である可変容量コンデンサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来は、可変容量素子として、複数の固
定板からなるステーターと、固定板に対向して設けら
れ、軸を回すことによって固定板に触れずに回転する回
転板からなるローターとによって構成されるバリアブル
コンデンサが知られている。ステーターとローターは一
定の間隔を介して配置されていて、ローターを回転させ
ると、互いの対向面積が変わり靜電容量が変化する。

【０００３】また、絶縁層で囲まれた半導体表面の空間
電荷領域に、外部バイアス電圧を加えると靜電容量が変
化する可変容量ダイオードが知られている。

【０００４】さらに、特開平５−７４６５５号公報に記
載された可変容量コンデンサが知られている。図１２の
ように、可変容量コンデンサは、共に薄膜体として形成
された固定電極１と可動電極２とを備えており、これら
が絶縁支持台３に設けられた空間部４を介して対向支持
された構造となっている。絶縁支持台３は、例えばシリ
コン基板であり、その一面側に彫り込み形成された凹部
である空間部４の底面にはアルミニウムの蒸着などによ
って形成された固定電極１が設けられている。また、こ
の凹部の開口縁部には同様にして形成された可動電極２
が空間部４を介して浮いた状態で設けられており、固定
電極１および可動電極２のそれぞれの一端から引き出し
形成された端子部（図示せず）間には外部バイアス電圧
が印加されるようになっている。固定電極１と可動電極
２との間に外部バイアス電圧を印加すると、固定電極１
と可動電極２との間のクーロン力の作用によって、両者
間の間隔が増減し、靜電容量が変わる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バリア
ブルコンデンサは、モーター等を用いてローターを回転
させるための回転機構が必要となるため、小型化を図る
ことが難しかった。

【０００６】また、可変容量ダイオードは、単一素子に
よって靜電容量を可変させることが可能であるが、電気
的耐圧性を向上させるために内部抵抗を大きくする必要
があった。内部抵抗を大きくすると、１／２πｆｃｒ
（但し、ｆは周波数、ｃは靜電容量、ｒは内部抵抗）で
表わされるコンデンサの性能指数を示すＱ値は小さくな
り、周波数の安定性が悪くなるという欠点や、キャリア
ノイズが大きくなるという欠点があった。

【０００７】可変容量コンデンサの場合、可動電極２
を、外部バイアス電圧が印加されていない状態の固定電
極１と可動電極２の距離に対して１／３以上変位させよ
うとすると、可動電極２を表面に形成した薄板が元の位
置に戻ろうとする弾力（復元力）と、固定電極１と可動
電極２との間に生じるクーロン力との釣り合いが保たれ
なくなり、可動電極２が固定電極１に引きつけられてし
まうという欠点があった。このため、靜電容量の可変率
を大きくすることができなかった。

【０００８】そこで、本発明は単一素子でありながら、
電気的耐圧性に優れ、周波数安定度が高く、小型で、靜
電容量の可変率が大きい特性を有する可変容量コンデン
サを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の可変容量コンデ
ンサは、上記目的を達成するために次のように構成され
る。すなわち、第一に、梁によって可動支持された対向
電極部を有する可動電極と、該可動電極に対向して設け
られた固定電極と、前記対向電極部に対向して設けられ
た一対の基板表面電極と、前記可動電極と前記固定電極
との間に外部バイアス電圧を印加する手段とを備え、該
手段により前記対向電極部を変位させて前記対向電極部
と前記一対の基板表面電極の間の静電容量の変化を前記
一対の基板表面電極から取り出すものであり、第二に、
第一の発明において、対向電極部は並列に並べられた複
数個の対向電極構成部と該対向電極構成部の両端を相互
に接続する支持部からなり、一対の基板表面電極は前記
複数個の対向電極構成部にそれぞれ対向して複数個設け
られた該複数対の基板表面電極の内の一方の基板表面電
極ごとにおよび他方の基板表面電極ごとに異なる引き出
し電極によって相互に接続されたものであり、第三に、
第一の発明において、外部バイアス電圧を印加しない状
態において、対向電極部と重なり合う対向面積が最も大
きくなる位置に一対の基板表面電極を配置したものであ
り、第四に、第一の発明において、外部バイアス電圧を
印加しない状態において、対向電極部と重なり合う対向
面積が最も小さくなる位置に一対の基板表面電極を配置
したものである。

【００１０】

【作用】第一の発明においては、固定電極と可動電極が
対向して設けられているので、固定電極と可動電極の間
に外部バイアス電圧を印加すると、両者の間にはク−ロ
ン力が発生して、可動電極は固定電極に引き寄せられ
る。このため、対向電極部は、対向電極部を可動支持す
る梁の弾力とク−ロン力が釣り合う位置まで変位する。
印加する外部バイアス電圧の大きさを変えるとク−ロン
力の大きさが変わり、対向電極部の変位距離の大きさが
変化する。この結果、対向電極部と一対の基板表面電極
との重なり合う対向面積が変わり、対向電極部と一対の
基板表面電極との間の静電容量の値が変わる。対向電極
部と一対の基板表面電極との間の静電容量は、等価回路
的には直列に接続されており、この合成静電容量は一対
の基板表面電極から取り出される。

【００１１】第二の発明においては、対向電極部は複数
個の対向電極構成部と支持部により梯子状に形成され
る。また、対向電極構成部に対向する複数対の基板表面
電極と、引き出し電極は櫛歯状に形成される。この結
果、対向電極構成部と一対の基板表面電極との間の静電
容量は、等価回路的に直列接続されるとともに、複数対
の基板表面電極からなる等価回路的に複数個並列に接続
された合成静電容量になるる。このため、比較的大きな
静電容量が得られる。

【００１２】第三の発明においては、固定電極と可動電
極との間に外部バイアス電圧を印加すると、対向電極部
と一対の基板表面電極との重なり合う対向面積が減少す
る方向に対向電極部が変位する。この結果、外部バイア
ス電圧の値の増加につれて、対向電極部と一対の基板表
面電極との間の静電容量の値は減少する。

【００１３】第四の発明においては、固定電極と可動電
極との間に外部バイアス電圧を印加すると、対向電極部
と一対の基板表面電極との重なり合う対向面積が増加す
る方向に対向電極部が変位する。この結果、外部バイア
ス電圧の値の増加につれて、対向電極部と一対の基板表
面電極との間の静電容量の値は増加する。

【００１４】

【実施例】

（実施例１）図１乃至図８を用いて本発明にかかる可変
容量コンデンサの実施例を説明する。

【００１５】可変容量コンデンサは、基板５と、固定電
極６と、可動電極７とから構成される。

【００１６】基板５は、石英ガラス、アルミナ等の絶縁
性材料で形成された長方形板であり、表面には固定電極
用台座８および一対の可動電極用台座９Ａ、９Ｂが設け
られる。固定電極用台座８は厚みがｔ１の薄い長方形板
であり、固定電極用台座８の長辺と基板５の長辺が平行
となるように、基板５の一方の長辺側の中央部近傍に配
置される。一対の可動電極用台座９Ａ、９Ｂは、固定電
極用台座８と同じ厚さｔ１を有する薄い長方形板であ
る。可動電極用台座９Ａ、９Ｂは、固定電極用台座８の
長辺側面に垂直な固定電極用台座８の中心軸Ｌに対して
対称となるように、短辺側面を対向させて配置される。

【００１７】固定電極用台座８の表面には、引き出し電
極１０が形成される。また、可動電極用台座９Ａ、９Ｂ
の表面には、引き出し電極１１Ａ、１１Ｂが形成され
る。さらに、引き出し電極１１Ａと１１Ｂを結ぶ線上の
基板５の表面には、中心軸Ｌに対して対称となるよう
に、短辺を対向させて配置された、長方形の一対の基板
表面電極１２Ａ、１２Ｂが形成される。

【００１８】基板表面電極１２Ａ、１２Ｂの長辺中央部
からは、基板表面電極１２Ａ、１２Ｂと接続する引き出
し電極１３Ａ、１３Ｂが、中心軸Ｌに対して対称となる
ように、固定電極用台座８と反対側の基板５の表面に形
成される。

【００１９】このように配置形成された、基板表面電極
１２Ａおよび引き出し電極１３Ａと、基板表面電極１２
Ｂおよび引き出し電極１３Ｂは一定の間隔を介して配置
されているため、相互に電気的に絶縁されている。固定
電極用台座８および一対の可動電極用台座９Ａ、９Ｂ
は、固定電極用台座８および一対の可動電極用台座９
Ａ、９Ｂを形成する部分以外の基板５の表面を化学エッ
チング等の手段を用いて除去することにより形成され
る。すなわち、化学エッチング等を施した後の基板５の
表面に残った凸部が、固定電極用台座８および一対の可
動電極用台座９Ａ、９Ｂとなる。また、引き出し電極１
０、１１Ａ、１１Ｂ、１３Ａ、１３Ｂおよび基板表面電
極１２Ａ、１２Ｂは、アルミニウムあるいは金等の薄膜
で形成される。形成に際しては、所定形状のマスクパタ
−ンを使用した、スパッタリングあるいは蒸着等の手段
が用いられる。

【００２０】固定電極６は、厚みがｔ２の長方形板の一
方の長辺側面に、長辺側面と垂直に凹形状の切欠部１４
Ａ、１４Ｂを設けたＥ字状の板である。固定電極６は、
切欠部１４Ａ、１４Ｂを後述する可動電極７に向けて、
固定電極用台座８に一部重ね合わされる。なお、この
時、固定電極６は中心軸Ｌに対して対称となるよう配置
される。この後、固定電極６は固定電極用台座８に、陽
極接合あるいは導電接着剤等の手段を用いて固定され
る。この結果、固定電極６の切欠部１４Ａ、１４Ｂ側
は、基板５の表面に浮いた状態に固定される。

【００２１】可動電極７は、対向電極部１５と、突起１
６Ａ、１６Ｂと、梁１７Ａ、１７Ｂと、固定部１８Ａ、
１８Ｂとから一体に構成された厚みｔ２の板である。対
向電極部１５は長方形板をなし、一方の長辺側面には、
長辺側面と垂直に四角柱状の突起１６Ａ、１６Ｂが立設
して設けられる。突起１６Ａは、固定電極６に設けられ
た切欠部１４Ａと遊嵌する。また、突起１６Ｂは、固定
部６に設けられた切欠部１４Ｂと遊嵌する。このとき、
突起１６Ａと切欠部１４Ａの対向する側面の間隙および
突起１６Ｂと切欠部１４Ｂの対向する側面の間隙は、そ
れぞれ等しくなるようにする。

【００２２】対向電極部１５の短辺の両側面の中央に
は、伸張方向の断面形状が縦長の長方形である細長い棒
である梁１７Ａ、１７Ｂの一端が、垂直に立設して設け
られる。梁１７Ａ、１７Ｂの他端は、四角板の固定部１
８Ａ、１８Ｂの側面と垂直に接続される。固定部１８
Ａ、１８Ｂは、中心軸Ｌに対して対称となるように、可
動電極用台座９Ａ、９Ｂの表面に重ね合わされる。この
後、陽極接合あるいは導電接着剤等の手段を用いて、固
定部１８Ａ、１８Ｂは可動電極用台座９Ａ、９Ｂに固定
される。この結果、対向電極部１５は梁１７Ａ、１７Ｂ
によって支持され、基板５の表面に浮いた状態に保持さ
れる。梁１７Ａ、１７Ｂの伸張方向の断面形状を縦長の
長方形とすることにより、梁１７Ａ、１７Ｂは、断面の
短片方向には曲がりやすいが、長片方向には曲がりずら
くなっている。このため、対向電極部１５は、中心軸Ｌ
の方向には変位するが、基板５の表面に垂直の方向には
変位しない。従って、対向電極部１５は、梁１７Ａ、１
７Ｂによって支持されているにもかかわらず、垂れ下が
ることなく、基板５との間隙は一定に保たれる。

【００２３】一対の基板表面電極１２Ａ、１２Ｂは、対
向電極部１５と対向させて重なり合うように形成され
る。引き出し電極１０は固定電極６の底面を介して固定
電極６と電気的に接続される。また、引き出し電極１１
Ａは固定部１８Ａの底面を介して固定部１８Ａと電気的
に接続され、引き出し電極１１Ｂは固定部１８Ｂの底面
を介して固定部１８Ｂと電気的に接続される。

【００２４】一対の基板表面電極１２Ａ、１２Ｂと対向
電極部１５の重なり合う対向面積をＳ１、一対の基板表
面電極１２Ａ、１２Ｂおよび対向電極部１５の間に介在
する空気の誘電率をεとすると、一対の基板表面電極１
２Ａ、１２Ｂと対向電極部１５の間には、それぞれε・
Ｓ１／ｔ１の静電容量Ｃ１が生じる。従って、引き出し
電極１３Ａ、１３Ｂの間には、等価回路的には二つの静
電容量Ｃ１が直列に接続されていることになり、電極１
３Ａ、１３Ｂの間の静電容量Ｃ２は（１／２）×ε・Ｓ
１／ｔ１となる。なお、静電容量Ｃ２は、引き出し電極
１３Ａ、１３Ｂから取り出される。

【００２５】固定電極６および可動電極７は、金属等の
導体、高周波の表皮効果を改善するために絶縁体の表面
に導電性薄膜を幾層にも設けた導体、あるいは低抵抗の
半導体に、化学エッチング等の手段を施すことにより形
成される。

【００２６】引き出し電極１０と、引き出し電極１１Ａ
あるいは１１Ｂを介して、固定電極６と可動電極７の間
に外部バイアス電圧を印加すると、両者の間にはク−ロ
ン力が発生し、対向電極部１５は固定電極６に引き寄せ
られる。一方、対向電極部１５には、対向電極部１５を
元の位置に引き戻そうとする梁１７Ａ、１７Ｂによる弾
力が作用する。この結果、対向電極部１５は、ク−ロン
力と弾力が釣り合う位置まで変位して、静止する。

【００２７】対向電極部１５が外部バイアス電圧Ｖが印
加されない状態から距離ｘだけ変位した場合、一対の基
板表面電極１２Ａ、１２Ｂと対向電極部１５の重なり合
う対向面積Ｓは距離ｘに比例した値だけ減少する。すな
わち、一対の基板表面電極１２Ａ、１２Ｂと対向極部１
５の間の静電容量Ｃ１および静電容量Ｃ２は、対向電極
部１５が距離ｘに比例した値だけ減少する。外部バイア
ス電圧Ｖの二乗に比例して発生するク−ロン力と、対向
電極部１５が変位する距離ｘに比例して発生する弾力と
の釣り合から、対向電極部１５が変位する距離ｘは外部
バイアス電圧Ｖの二乗に比例する。従って、図６に示す
ように、外部バイアス電圧Ｖの変化を横軸に、静電容量
Ｃ２の変化を縦軸にしてプロットすると、得られる曲線
は上に凸の減少曲線となる。

【００２８】なお、図７のように、対向電極部１５に外
部バイアス電圧Ｖが印加されていない状態に於いて、一
対の基板表面電極１２Ａ、１２Ｂと対向しないように、
一対の基板表面電極１２Ａ、１２Ｂを固定電極６寄りの
基板５の表面にをずらして形成しても良い。この場合
は、外部バイアス電圧Ｖが印加されていない状態では一
対の基板表面電極１２Ａ、１２Ｂと対向極部１５の重な
り合う対向面積Ｓ１が最も少なく、固定電極６と可動電
極７の間に外部バイアス電圧Ｖを印加すると、一対の基
板表面電極１２Ａ、１２Ｂと対向電極部１５の重なり合
う対向面積Ｓ１が増大する。すなわち、図８に示すよう
に、外部バイアス電圧Ｖの変化を横軸に、静電容量Ｃ２
の変化を縦軸にプロットすると、得られる曲線は下に凸
の増加曲線となる。

【００２９】さらに長方形の基板表面電極１２と、長方
形板の対向極部１５を用いて説明したが、一対の基板表
面電極１２Ａ、１２Ｂおよび対向極部１５は、他の形状
でも良い。この場合は、外部バイアス電圧Ｖを印加した
際の対向電極部１５が変位する距離ｘに対して比例する
ことなく、対向電極部１５と一対の基板表面電極１２
Ａ、１２Ｂの対向面積の値を変えることができる。この
ため、静電容量Ｃ２の変化を縦軸に、外部バイアス電圧
Ｖの変化を横軸にしてプロットした場合の変化を、例え
ばリニアにする等、自由に変えることができる。

【００３０】（実施例２）本発明は上述した実施例に限
られず、固定電極と、可動電極および基板表面電極は他
の形状としても良い。図９乃至図１１を用いて、他の固
定電極と、可動電極および基板表面電極について説明す
る。上述した実施例と同じ部分は同じ番号を用いて、説
明を省略する。

【００３１】固定電極１９は、長方形板の一方の長方形
側面に、長片側面と垂直に凹形状の複数個の切欠部２０
Ａ、２０Ｂ、…、２０Ｎを設けた櫛歯状の板である。

【００３２】可動電極２１は、対向電極部２２と、突起
２３Ａ、２３Ｂ、…、２３Ｎと、梁２４Ａ、２４Ｂ、２
４Ｃ、２４Ｄとから構成される。

【００３３】対向電極部２２は、複数個の長方形状の対
向電極構成部２５Ａ、２５Ｂ、…、２５Ｎを並列に並
べ、両端を支持部２６Ａ、２６Ｂによって相互に接続し
た梯子状のものである。固定電極１９に対向する対向電
極構成部２５Ｎの長辺側面には、複数個の突起２３Ａ、
２３Ｂ、…、２３Ｎが垂直に立設して形成される。突起
２３Ａ、２３Ｂ、…、２３Ｎは、固定電極１９に形成さ
れた切欠部２０Ａ、２０Ｂ、…、２０Ｎと遊嵌する。

【００３４】梁２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄは、伸
張方向の断面形状が縦長の長方形である細長い棒をコ字
状に一体に形成したものである。コ字状の平行する細長
い棒の一方は、他方よりも短く形成される。梁２４Ａと
２４Ｂの短く形成された細長い棒の端部側は、側面を相
互に対向して、陽極接合あるいは導電接着剤等の手段を
用いて、可動電極用台座９Ａに固定される。梁２４Ａと
２４Ｂの長く形成された細長い棒の端部は、支持部２６
Ａの両端部にそれぞれ結合される。同様に、梁２４Ｃ、
２４Ｄは、支持部２０Ｂに結合されるとともに、可動電
極用台座９Ｂに固定される。

【００３５】対向電極構成部２５Ａ、２５Ｂ、…、２５
Ｎのそれぞれに対向する基板５の表面には、一対の基板
表面電極２７Ａ、２７ＢがＮ組形成される。Ｎ個の基板
表面電極２７Ａの可動電極用台座９Ａ側の端部は引き出
し電極２８Ａにより相互に接続され、同様に、Ｎ個の基
板表面電極２７Ｂの可動電極用台座９Ａ側のそれぞれの
端部は引き出し電極２８Ｂによって相互に接続される。
このように配置形成された、基板表面電極２７Ａおよび
引き出し電極２８Ａと、基板表面電極２７Ｂおよび引き
出し電極２８Ｂは、一定の間隔を介して配置されている
ため、相互に電気的に絶縁されている。

【００３６】基板表面電極２７Ａ、２７Ｂと、対向する
対向電極構成部２５Ａ、２５Ｂ、…、２５Ｎの重なり合
う対向面積をＳ２、基板表面電極２７Ａ、２７Ｂおよび
対向電極構成部２５Ａ、２５Ｂ、…、２５Ｎの間に介在
する空気の誘電率をεとすると、基板表面電極１２Ａ、
１２Ｂと対向電極構成部２５Ａ、２５Ｂ、…、２５Ｎの
間には、それぞれε・Ｓ２／ｔ１の静電容量Ｃ３が生じ
る。従って、引き出し電極２８Ａ、２８Ｂの間には、等
価回路的に二つの静電容量Ｃ３からなる直列接続が、Ｎ
個並列に接続されていることとなる。すなわち、引き出
し電極２８Ａ、２８Ｂの間の静電容量Ｃ４は、Ｎ・（１
／２）・ε・Ｓ２／ｔ１となり、比較的大きな静電容量
Ｃ４を得ることができる。なお、静電容量Ｃ４は引き出
し電極２８Ａ、２８Ｂを介して取り出される。

【００３７】

【発明の効果】本発明は、上述のような構成であるから
次のような効果を有する。すなわち、可動電極と固定電
極の間に印加された外部バイアス電圧によって生じるク
ーロン力と、梁が可動電極を構成する対向電極部を元の
位置に引き戻そうとする弾力との釣り合いから、対向電
極部は所定の距離だけ変位し、対向電極部と一対の基板
表面電極との間の靜電容量が変化する。対向電極部と一
対の基板表面電極との間の静電容量は、一対の基板表面
電極から取り出されるため、例えば静電容量を基板表面
電極と可動電極に接続された引き出し電極を介して取り
出す場合に比べ、可動電極の内部抵抗の影響が小さくな
る。また、バラクタダイオードに比べて直列抵抗が極め
て小さくなる。このため、１／２πｆｃｒ（但し、ｆ
は周波数、ｃは靜電容量、ｒは内部抵抗）で表わされる
Ｑ値の非常に高いものが得られ周波数安定度が向上す
る。対向電極部と一対の基板表面電極との間は空気で絶
縁されているため、可変容量コンデンサの耐圧が高くな
る。また、可動電極が固定電極に引きつけられて電極間
距離がゼロとなり、可変容量コンデンサとして機能しな
くなるということがないため、広い範囲に渡って靜電容
量を変化させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る可変容量コンデンサの斜視図であ
る。

【図２】本発明に係る可変容量コンデンサの分解斜視図
である。

【図３】本発明に係る可変容量コンデンサの、図１にお
けるＡ−Ａ´での断面の一部である。

【図４】本発明に係る可変容量コンデンサの、図１にお
けるＢ−Ｂ´での断面の一部である。

【図５】本発明に係る可変容量コンデンサの等価回路を
示す図である。

【図６】本発明に係る可変容量コンデンサの、印加する
外部バイアス電圧と、静電容量との関係を示す図であ
る。

【図７】本発明に係る他の可変容量コンデンサの、図１
におけるＡ−Ａ´に相当する場所の断面の一部である。

【図８】本発明に係る他の可変容量コンデンサの、印加
する外部バイアス電圧と、静電容量との関係を示す図で
ある。

【図９】本発明に係る他の可変容量コンデンサの斜視図
である。

【図１０】本発明に係る他の可変容量コンデンサの基板
表面電極および引き出し電極を示す図である。

【図１１】本発明に係る他の可変容量コンデンサの等価
回路を示す図である。

【図１２】従来の発明の可変容量コンデンサの断面図で
ある。

【符号の説明】

５基板６固定電極７可動電極８固定電極用台座９Ａ、９Ｂ可動電極用台座１０、１１Ａ、１１Ｂ、１３引き出し電極１２基板表面電極１４Ａ、１４Ｂ切欠部１５対向電極部１６Ａ、１６Ｂ突起１７Ａ、１７Ｂ梁１８Ａ、１８Ｂ固定部１９固定電極２０Ａ、２０Ｂ、…、２０Ｎ切欠部２１可動電極２２対向電極部２３Ａ、２３Ｂ、…、２３Ｎ突起２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄ梁２５Ａ、２５Ｂ、…、２５Ｎ対向電極構成部２６Ａ、２６Ｂ支持部２７Ａ、２７Ｂ基板表面電極２８Ａ、２８Ｂ引き出し電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】梁によって可動支持された対向電極部を
有する可動電極と、該可動電極に対向して設けられた固
定電極と、前記対向電極部に対向して設けられた一対の
基板表面電極と、前記可動電極と前記固定電極との間に
外部バイアス電圧を印加する手段とを備え、該手段によ
り前記対向電極部を変位させて前記対向電極部と前記一
対の基板表面電極の間の静電容量の変化を前記一対の基
板表面電極から取り出すことを特徴とする可変容量コン
デンサ。
【請求項２】対向電極部は並列に並べられた複数個の
対向電極構成部と該対向電極構成部の両端を相互に接続
する支持部からなり、一対の基板表面電極は前記複数個
の対向電極構成部にそれぞれ対向して複数個設けられた
該複数対の基板表面電極の内の一方の基板表面電極ごと
におよび他方の基板表面電極ごとに異なる引き出し電極
によって相互に接続されたことを特徴とする請求項１記
載の可変容量コンデンサ。
【請求項３】外部バイアス電圧を印加しない状態にお
いて、対向電極部と重なり合う対向面積が最も大きくな
る位置に一対の基板表面電極を配置したことを特徴とす
る請求項１記載の可変容量コンデンサ。
【請求項４】外部バイアス電圧を印加しない状態にお
いて、対向電極部と重なり合う対向面積が最も小さくな
る位置に一対の基板表面電極を配置したことを特徴とす
る請求項１記載の可変容量コンデンサ。