JPH0980301A - オートフォーカス装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 観察光学系の設計に支配されず、最適な焦点
検出感度および焦点検出範囲を選択することができるオ
ートフォーカス装置を提供する。 【解決手段】 物体面で反射され、対物レンズ８を透過
した指標像光を瞳分割プリズム３３に入射させ、さらに
受光位置検出素子３４ａ、３４ｂで受光するようにした
オートフォーカス装置において、瞳分割プリズム３３に
入射する光束の一部を遮光する可変遮光板３２の遮光形
状を選択して、受光位置検出素子３４ａ、３４ｂ上の受
光の光量分布を最適化し、所望の焦点検出感度および焦
点検出範囲を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡などに使用
されるオートフォーカス装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】オートフォーカス装置として特開平１−
２０２７０８号公報に開示されたものが知られている。
この装置は、指標像を物体面に投影し、その指標像で照
明された範囲内の物体面に形成された幾何学的パターン
の反射光から物体面と対物レンズの間隔を求める焦点検
出光学系を用いたものである。反射光の光束によって瞳
が形成される位置に置かれた瞳分割プリズムにより幾何
学的パターンが二分割され、光学検出素子（例えばＰＳ
Ｄ）、二分割のＳＰＤ（シリコン・フォト・ダイオー
ド）、一対のＣＣＤリニアセンサ、あるいは一対のＣＣ
Ｄエリアセンサなどの受光素子に２つの指標像がそれぞ
れ結像される。これらの指標像は物体面と対物レンズの
間隔に略比例して受光素子上での結像位置の光量重心が
移動するので、２つの指標像の各々の光量分布による光
量重心の位置のずれを受光素子の出力から演算して物体
面と対物レンズの間隔を求めることができる。したがっ
て、この間隔を制御することにより物体面を合焦位置に
一致させることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
オートフォーカス装置では焦点検出光学系のＮＡ（開口
数）により検出感度および検出範囲が一意的に決定され
てしまうという問題がある。すなわち、焦点検出光学系
のＮＡが小さい場合には受光素子上で捉えられる光量重
心のずれが相対的に小さくなり、検出感度が低下する。
また、焦点検出光学系のＮＡが大きい場合には、検出感
度は高くなるものの検出範囲が狭くなるため、物体面が
焦点面から一定以上ずれているときには検出範囲をオー
バーし、オートフォーカス機能が働かなくなる。したが
って、従来の装置では、検出感度を落として焦点検出範
囲を広げる場合に焦点検出光学系のＮＡ自体を変化させ
なければならない。また一般に焦点検出光学系は対物レ
ンズなどの観察光学系の光学部品を共用しているが、通
常観察光学系の仕様が優先されるので焦点検出光学系の
ＮＡを適切な値に設定できないこともある。つまり従来
の装置では焦点検出感度および焦点検出範囲が焦点検出
光学系のＮＡで一意的に決るため、結果的にこれらのフ
ァクターは観察光学系の都合で決定され、適切なオート
フォーカス機能が確保され難い。

【０００４】本発明の目的は、最適な焦点検出感度およ
び焦点検出範囲を選択することができるオートフォーカ
ス装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、基準位置と物体７の実際の位置との間の偏差に対応
した情報を得るオートフォーカス装置に適用される。そ
して、対物レンズ８を通して指標光を物体面に結像する
指標照射手段と、物体面で反射され対物レンズ８を透過
した指標像光を瞳位置で２分割する分割手段３３と、分
割手段３３に入射する光束の一部を遮断する遮光手段３
２と、分割手段３３により分割された指標像光の第１の
光束を結像位置で受光する第１の受光手段３４ａと、分
割手段３３により分割された指標像光の第２の光束を結
像位置で受光する第２の受光手段３４ｂと、第１および
第２の受光手段３４ａ、３４ｂで受けた光束の光量分布
から情報を抽出する抽出手段とを備えることを特徴とす
るオートフォーカス装置。請求項２に記載の発明は、請
求項１に記載のオートフォーカス装置において、遮光手
段３２の遮光形状を可変としたものである。

【０００６】請求項１に記載の発明では、第１および第
２の受光手段３４ａ、３４ｂで受けた光束は、分割手段
３３に入射する光束の一部を遮断する遮光手段３２の遮
光形状に応じた光量分布を作り出す。請求項２に記載の
発明では、遮光手段３２の遮光形状の変化に応じて、第
１および第２の受光手段３４ａ、３４ｂで受けた光束の
光量分布が変化する。

【０００７】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１〜図１１は本発明によるオー
トフォーカス装置の一実施の形態を適用した光学顕微鏡
を示している。図１において、観察光源１を発した可視
光はレンズ２、レンズ３、視野絞り４、赤外カットフィ
ルタ５、コンデンサレンズ６を透過して物体７を照明す
る。物体７を透過した照明光は対物レンズ８を通り、ダ
イクロイックミラー９で赤外光以外の波長の光を透過さ
せ、さらにレンズ１０を通り物体７の表面位置と共役な
位置にある撮像素子１１上に物体面像を結像させる。以
上の光路が観察系光路１２である。

【０００９】一方、指標光源２１は赤外域から可視光ま
での波長の光を発し、この光はコンデンサレンズ２２で
集光され指標２３を照明する。ガラス板からなる指標２
３の表面には遮蔽部分２３ｂとなるクロムの蒸着パター
ンが形成され、中央部に矩形の透過部分２３ａが形成さ
れている。指標形状となる透過部分２３ａを透過した光
はレンズ２４を透過し、さらにハーフミラー２５を透過
して可視カットフィルタ２６に入射される。そして、赤
外光のみが可視カットフィルタ２６を透過した後、ダイ
クロイックミラー９で反射され、光路を下方へ９０度曲
げられる。曲げられた指標光は対物レンズ８に入射して
物体７の表面に指標像を形成する。指標２３、物体７の
表面および撮像素子１１はすべて共役な位置関係になる
ように光学系が構成されているので、指標像が物体７の
表面に焦点を結ぶときには撮像素子１１に物体７の表面
の微細パターンが結像する。すなわち物体７の表面は観
察系光路１２の焦点面に位置する。

【００１０】物体７の表面に投影された指標像は物体７
の表面で反射され、対物レンズ８を透過する。さらにダ
イクロイックミラー９で反射され、可視カットフィルタ
２６を透過する。この透過光のうち、ハーフミラー２５
で２分の１の光量が反射されてレンズ３１を透過し、可
変遮光板３２に入射する。この可変遮光板３２は液晶パ
ネルで構成されており、パネルの素子に選択的に電圧を
加えることにより遮蔽部分および透過部分を任意に設定
することができる。レンズ３１を出射した指標光は瞳の
近傍で可変遮光板３２により遮蔽部分の領域の光束を遮
断されたのち、瞳位置に置かれた瞳分割プリズム３３に
より光束を二分割され、一方は光学位置検出素子３４ａ
に、他方は光学位置検出素子３４ｂに入射する。光学位
置検出素子３４ａ、３４ｂに入射した指標像が光学位置
検出素子３４ａ、３４ｂに焦点を結ぶときが、物体７の
表面、指標２３および光学位置検出素子３４ａ、３４ｂ
の位置が共役関係にあるときである。以上の指標光源２
１から物体７の表面、さらに光学位置検出素子３４ａ、
３４ｂに至る光路が焦点検出系光路３５である。

【００１１】光学位置検出素子３４ａ、３４ｂは２つの
信号を出力するＰＳＤであり、光学位置検出素子３４ａ
は出力信号Ａ１、Ｂ１を、光学位置検出素子３４ｂは出
力信号Ａ２、Ｂ２をそれぞれ出力するものとする。ＰＳ
Ｄに照射された光の重心Ｇ１およびＧ２（受光面の中心
から照射された光の重心までの距離）は、 Ｇ１＝（Ａ１−Ｂ１）／（Ａ１＋Ｂ１） Ｇ２＝（Ａ２−Ｂ２）／（Ａ２＋Ｂ２） で求められる。

【００１２】図４および図５は本実施の形態のオートフ
ォーカス装置の電気信号処理ブロックを示す。光学位置
検出素子３４ａの出力信号Ａ１はアンプ４１により、出
力信号Ｂ１はアンプ４２により、それぞれインピーダン
ス変換され、減算器４３と加算器４４に入力される。減
算器４３と加算器４４の出力は割算器４５に入力され、 出力信号ｄ１＝（Ａ１−Ｂ１）／（Ａ１＋Ｂ１） を得る。ｄ１は光学位置検出素子３４ａの受光面の中心
から照射されている光の重心までの距離を示している。

【００１３】一方、光学位置検出素子３４ｂの出力信号
Ａ２はアンプ４６により、出力信号Ｂ２はアンプ４７に
より、それぞれインピーダンス変換され、減算器４８と
加算器４９に入力される。減算器４８と加算器４９の出
力は割算器５０に入力され、 出力信号ｄ２＝（Ａ２−Ｂ２）／（Ａ２＋Ｂ２） を得る。ｄ２は光学位置検出素子３４ｂの受光面の中心
から照射されている光の重心までの距離を示している。

【００１４】出力信号ｄ１、ｄ２は減算器５１に入力さ
れ、２つの光学位置検出素子３４ａ、３４ｂ上に結像し
た指標像間の相対的距離であるｄ１−ｄ２が出力され
る。さらにこの出力をアンプ５２で増幅するとともに、
ローパスフィルタ５３で高周波成分を除去し、サーボ回
路の加算部分である加算器５４に入力する。加算器５
４、モータ制御回路５５、ＤＣモータ５６、タコジェネ
レータ５７およびローパスフィルタ５８により負帰還の
サーボループが形成されている。したがって、試料搭載
用Ｚステージ５９は、試料搭載用Ｚステージ５９に固定
された物体７の表面が焦点位置にくるように、ローパス
フィルタ５３の出力信号を基準信号としてＺ方向に駆動
制御される。

【００１５】図６は可変遮光板３２の遮蔽部分および透
過部分の配置が異なる３例を示し、それぞれＡタイプ
（図６（ａ））、Ｂタイプ（図６（ｂ））およびＣタイ
プ（図６（ｃ））とする。Ａタイプは中央部に帯状の遮
蔽部分があり、Ｂタイプは中央部に帯状の透過部分があ
り、Ｃタイプは全体が透過部分となっている。

【００１６】＜Ｃタイプ＞図７（ａ）〜（ｃ）は可変遮
光板３２をＣタイプとした場合について、光学位置検出
素子３４ａ、３４ｂ上の指標像の結像状態を示してい
る。可変遮光板３２は指標光を遮蔽せず、指標光はその
まま瞳分割プリズム３３に向けて入射するので、従来の
装置と同等の状態に相当する。図８（ａ）に示すよう
に、合焦状態においては物体７の表面上に指標像が焦点
を結び、この反射光は可変遮光板３２で遮断されること
なく瞳分割プリズム３３に照射される。よってここでは
完全な瞳が形成される。その結果、すべての光束を用い
て指標像が光学位置検出素子３４ａ、３４ｂに焦点を結
ぶ。このとき、指標像の重心は受光面の中央になり、 ｄ１＝０、ｄ２＝０ となる。

【００１７】図８（ｂ）に示す前ピン状態、つまり指標
像が物体７の表面に到達する前に焦点を結ぶ状態では、
図７（ｂ）に示すように光学位置検出素子３４ａ上には
ピントがぼけた状態で、かつマイナス寄り（図７（ｂ）
において左寄り）に指標像ができる。また光学位置検出
素子３４ｂ上には同様にピントがぼけた状態で、かつプ
ラス寄りに指標像ができる。図７（ｂ）では、 ｄ１＝−２．０、ｄ２＝＋２．０ となる。

【００１８】図８（ｃ）に示す後ピン状態、つまり指標
像が物体７の表面を通過した後に焦点を結ぶ状態では、
図７（ｃ）に示すように光学位置検出素子３４ａ上には
ピントがぼけた状態で、かつプラス寄りに指標像ができ
る。また光学位置検出素子３４ｂ上には同様にピントが
ぼけた状態で、かつマイナス寄りに指標像ができる。図
７（ｃ）では、 ｄ１＝＋２．０、ｄ２＝−２．０ となり前ピン状態とは逆の状態を示すことが分かる。こ
のように指標像の結像位置と物体７の表面の位置関係が
変ることによってｄ１とｄ２との大小関係が変る。現実
の物体７の表面位置と本来物体７の表面があるべき焦点
位置との間の距離Ｄはｄ１−ｄ２の関数： Ｄ＝ｆ（ｄ１−ｄ２） として表現でき、図９に示すように通称Ｓ曲線と呼ばれ
る２次元曲線で示される。

【００１９】＜Ａタイプ＞図１０（ａ）〜（ｃ）は可変
遮光板３２をＡタイプとした場合について、光学位置検
出素子３４ａ、３４ｂ上の指標像の結像状態を示してい
る。図８（ａ）に示す合焦状態においては、物体７の表
面上に指標像が焦点を結ぶ。この反射光はレンズ３１を
透過し可変遮光板３２では瞳分割プリズム３３の稜線に
平行に延びた帯状の領域（図６（ａ）参照）で遮断され
る。したがって、瞳分割プリズム３３に入射する指標光
は、瞳の中央付近の稜線を中心にした帯状の領域でけら
れるが、不完全な瞳であっても合焦点状態において指標
像は光学位置検出素子３４ａ、３４ｂに焦点を結ぶ。こ
のとき、指標像の重心は受光面の中央に位置し、 ｄ１＝０、ｄ２＝０ となる。

【００２０】図８（ｂ）に示す前ピン状態では、図１０
（ｂ）に示すように光学位置検出素子３４ａ上にはピン
トがぼけた状態で、かつマイナス寄りに指標像ができ
る。また、光学位置検出素子３４ｂ上には同様にピント
がぼけた状態で、かつプラス寄りに指標像ができる。こ
の指標像はＣタイプにおける前ピン状態と明らかに異な
り、面積がより小さく、光学位置検出素子３４ａおよび
３４ｂ上での重心位置がそれぞれよりマイナス側とプラ
ス側に寄っており、 ｄ１＝−２．５、ｄ２＝＋２．５ となる。これは指標像の光束のうち瞳分割プリズム３３
の稜線に近い部分を可変遮光板３２が遮断しているため
である。

【００２１】図８（ｃ）に示す後ピン状態では、図１０
（ｃ）に示すように光学位置検出素子３４ａ上にはピン
トがぼけた状態で、かつプラス寄りに指標像ができる。
また、光学位置検出素子３４ｂ上には同様にピントがぼ
けた状態で、かつマイナス寄りに指標像ができる。この
指標像はＣタイプと比較して、面積がより小さく、光学
位置検出素子３４ａおよび４３ｂ上での重心位置が、そ
れぞれよりプラス側とマイナス側に寄っており、 ｄ１＝＋２．５、ｄ２＝−２．５ となる。

【００２２】図９に示すように、Ａタイプの場合に得ら
れるＳ曲線はＣタイプの場合と比べると傾きが緩やかで
あり、焦点検出感度が向上していることが判る。

【００２３】＜Ｂタイプ＞図１１（ａ）〜（ｃ）は可変
遮光板３２をＢタイプとした場合について、光学位置検
出素子３４ａ、３４ｂ上の指標像の結像状態を示してい
る。図８（ａ）に示すように、合焦状態においては物体
面７上に指標像が焦点を結ぶ。この反射光はレンズ３１
を透過し、可変遮光板３２では瞳分割プリズム３３の稜
線に平行に延びた帯状の領域（図６（ｂ）参照）のみ透
過し、他の部分は遮断される。しかし、不完全な瞳であ
っても合焦点状態においては指標像は光学位置検出素子
３４ａ、３４ｂに焦点を結ぶ。このとき、指標像の重心
は受光面の中央に位置し、 ｄ１＝０、ｄ２＝０ となる。

【００２４】図８（ｂ）に示す前ピン状態では、図１１
（ｂ）に示すように光学位置検出素子３４ａ上にはピン
トがぼけた状態で、かつマイナス寄りに指標像ができ
る。また、光学位置検出素子３４ｂ上には同様にピント
がぼけた状態で、かつプラス寄りに指標像ができる。こ
れらの指標像はＣタイプにおける前ピン状態と異なり、
面積がより小さく、かつ重心位置がそれぞれ受光位置検
出素子３４ａ、３４ｂの中央側に寄っており、 ｄ１＝−１．０、ｄ２＝＋１．０ となる。これは指標像の光束のうち瞳分割プリズム３３
の稜線に近い部分の光束のみが使われ、他の部分を可変
遮光板３２が遮光しているためである。

【００２５】図８（ｃ）に示す後ピン状態では、図１１
（ｃ）に示すように光学位置検出素子３４ａ上にはピン
トがぼけた状態で、かつプラス寄りに指標像ができる。
また、光学位置検出素子３４ｂ上には同様にピントがぼ
けた状態で、かつマイナス寄りに指標像ができる。この
指標像はＣタイプと比較して、面積がより小さく、かつ
重心位置がそれぞれ受光位置検出素子３４ａ、３４ｂの
中央側に寄っており、 ｄ１＝＋１．０、ｄ２＝−１．０ となる。

【００２６】図９に示すように、Ｂタイプの場合に得ら
れるＳ曲線はＣタイプの場合と比べると傾きが急峻であ
る。すなわち、同じ大きさの焦点ずれに対するｄ１−ｄ
２の値の変化はＣタイプの場合よりも小さい。したがっ
てＢタイプでは焦点検出感度がより低くなるとともに、
焦点検出範囲がより拡大していることが判る。

【００２７】以上、Ａタイプ、Ｂタイプ、およびＣタイ
プについて説明したように、本実施の形態のオートフォ
ーカス装置では、可変遮光板３２の遮光パターンに応じ
て光学位置検出素子３４ａ、３４ｂに入射する光束の重
心位置の移動量が変化する。したがって、可変遮光板３
２に加える電圧を切換えることにより焦点検出感度およ
び焦点検出範囲が変化し、焦点検出光学系のＮＡを変え
たのと同等の効果が得られる。

【００２８】以上、遮光パターンとして３つのタイプに
ついて説明したが、遮光部分の形状はこれらの例に限定
されない。例えば、可変遮光板３２を図６（ｄ）に示す
Ｄタイプの遮光パターンとした場合には、透過部分と中
央（瞳分割プリズムの稜線に対応する線）との間の距離
に応じてＳ曲線の傾きが変化する。

【００２９】本実施の形態のオートフォーカス装置を使
用した場合には次に述べるような手順で効率的に焦点位
置合わせをすることができる。まず、Ｂタイプを選択し
て焦点検出範囲を拡大した状態で粗調整を行なう。つづ
いてＡタイプに切換えて焦点検出感度を高めた状態で微
調整を行ない、正確な焦点位置合わせをする。このよう
に、焦点からの位置ずれが大きい段階では検出感度を落
として焦点検出範囲内に取込み、粗調整がなされた後は
検出感度を高めて高感度のオートフォーカス動作をさ
せ、試料搭載用Ｚステージ５９の微小な高さ調整が可能
となる。このように焦点検出感度を上げることと、焦点
検出範囲を拡張することという、従来のオートフォーカ
ス装置では相反する条件を同時に満足することが可能と
なる。

【００３０】また、観察光学系にリレーレンズを挿入し
て観察光学系の倍率を可変とした場合に、倍率と連動し
てＳ曲線を切換えるようにして、焦点検出感度をその倍
率で得られる焦点深度に対応した値に設定することも可
能である。つまり、一般には低倍率で観察すると焦点深
度が深くなり、高倍率で観察する場合よりも焦点検出感
度を下げることができる。可変遮光板の遮光パターンの
変更によりＳ曲線を自動的に切換えるようにすれば、低
倍率時には焦点検出範囲が拡大し、その結果、物体面上
の凹凸が比較的大きい場合にも焦点位置合わせの余裕度
が確保され、良好なオートフォーカス動作が可能とな
る。なお、物体面の表面の反射率の不均一やパターンの
有無がオートフォーカス動作に影響を及ぼさないという
従来技術（特開平１−２０２７０８号公報）の特長は、
本発明においても失われていない。

【００３１】本実施の形態では、遮光パターンが可変に
された可変遮光板３２を使用しているが、遮光パターン
が固定された遮光板を用いるようにしてもよい。このよ
うな遮光板を焦点検出光学系に挿入することにより、観
察光学系の設計に支配されることなく、容易に焦点検出
感度および焦点検出範囲を最適値に設定することができ
る。また、遮光パターンが異なる複数の遮光板を用意し
ておき、観察条件や試料の表面状態に応じて遮光板を差
替えるようにしてもよい。

【００３２】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、分割手
段に入射する指標光の一部を遮断手段で遮断することに
より、第１の受光手段および第２の受光手段に入射する
指標光の重心位置の移動量（一定量の焦点ずれに対する
移動量）を調整することができるので、観察光学系の設
計に支配されることなく適切な焦点検出感度および焦点
検出範囲を選択することができる。請求項２に記載の発
明によれば、遮断手段の遮蔽領域を変えることができる
ので、焦点検出感度を低くして粗調整した後、焦点検出
感度を高くして微調整することにより、効率良く、かつ
高感度のオートフォーカス動作が行なえる。また、観察
光学系の焦点深度に応じて遮蔽領域を変えるようにすれ
ば、焦点深度に応じた最適な焦点検出感度および焦点検
出範囲を選択することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるオートフォーカス装置の一実施の
形態を適用した光学顕微鏡を示す図であり、（ａ）は光
学顕微鏡の光学系を示す図、（ｂ）は指標の形状を示す
図。

【図２】図１の一部拡大図。

【図３】図１の一部拡大図。

【図４】一実施の形態のオートフォーカス装置の電気信
号処理ブロックを示す図。

【図５】一実施の形態のオートフォーカス装置の電気信
号処理ブロックを示す図。

【図６】一実施の形態のオートフォーカス装置の可変遮
光板の遮光パターンを示す図であり、（ａ）はＡタイプ
を示す図、（ｂ）はＢタイプを示す図、（ｃ）はＣタイ
プを示す図、（ｄ）はＤタイプを示す図。

【図７】一実施の形態のオートフォーカス装置におい
て、可変遮光板をＣタイプの遮蔽パターンとしたときの
光学位置検出素子上の指標像を示す図であり、（ａ）は
合焦状態での指標像を示す図、（ｂ）は前ピン状態での
指標像を示す図、（ｃ）は後ピン状態での指標像を示す
図。

【図８】一実施の形態のオートフォーカス装置における
物体面の指標像を示す図であり、（ａ）は合焦状態での
指標像を示す図、（ｂ）は前ピン状態での指標像を示す
図、（ｃ）は後ピン状態での指標像を示す図。

【図９】一実施の形態のオートフォーカス装置のＳ曲線
を示す図。

【図１０】一実施の形態のオートフォーカス装置におい
て、可変遮光板をＡタイプの遮蔽パターンとしたときの
光学位置検出素子上の指標像を示す図であり、（ａ）は
合焦状態での指標像を示す図、（ｂ）は前ピン状態での
指標像を示す図、（ｃ）は後ピン状態での指標像を示す
図。

【図１１】一実施の形態のオートフォーカス装置におい
て、可変遮光板をＢタイプの遮蔽パターンとしたときの
光学位置検出素子上の指標像を示す図であり、（ａ）は
合焦状態での指標像を示す図、（ｂ）は前ピン状態での
指標像を示す図、（ｃ）は後ピン状態での指標像を示す
図。

【符号の説明】

７ 物体 ８ 対物レンズ ３２ 可変遮光板 ３３ 瞳分割プリズム ３４ａ 受光位置検出素子 ３４ｂ 受光位置検出素子

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 焦点面と物体面の位置偏差に対応した情
   報を得るオートフォーカス装置において、 対物レンズを通して指標光を前記物体面に結像する指標
   照射手段と、 前記物体面で反射され前記対物レンズを透過した指標像
   光を瞳位置で２分割する分割手段と、 前記分割手段に入射する光束の一部を遮光する遮光手段
   と、 前記分割手段により分割された前記指標像光の第１の光
   束を受光する第１の受光手段と、 前記分割手段により分割された前記指標像光の第２の光
   束を受光する第２の受光手段と、 前記第１および第２の受光手段で受光した各光束の光量
   分布から前記情報を抽出する抽出手段とを備えることを
   特徴とするオートフォーカス装置。
2. 【請求項２】 前記遮光手段は遮光形状が可変にされて
   いることを特徴とする請求項１に記載のオートフォーカ
   ス装置。