JPH0980410A

JPH0980410A - 液晶表示体基板の検査装置

Info

Publication number: JPH0980410A
Application number: JP7255674A
Authority: JP
Inventors: Itaru Iida; 到飯田; Satoshi Sano; 聡佐野
Original assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-09-07
Filing date: 1995-09-07
Publication date: 1997-03-28

Abstract

(57)【要約】【目的】液晶表示体基板をその検査結果に応じて複数
に分類してカセットに収納できるＬＣＤ基板Ｓの検査装
置を提供する。【構成】本検査装置１は、複数のＬＣＤ基板Ｓが収納
されたカセットＣを載置するカセット載置部４と、この
カセット載置部４のカセットＣとＬＣＤ基板Ｓの電気的
検査を行うプローバ部３との間でＬＣＤ基板Ｓを搬送す
る基板搬送機構５と、この基板搬送機構５を駆動制御す
るローダコントローラ８とを備え、上記ローダコントロ
ーラ８は、プローバ部３での検査結果に基づいて検査後
のＬＣＤ基板Ｓの品質を判別する判別手段と、この判別
手段の判別結果に基づいて基板搬送機構５による検査後
のＬＣＤ基板Ｓの搬送場所を指定する搬送場所指定手段
とを備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利分野】本発明は、液晶表示体基板（以下、
必要に応じて「ＬＣＤ基板」と称す。）の電気的特性や
点灯検査を行う検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＴＦＴ型ＬＣＤ基板には、ＬＣＤ
の画素をＯＮ、ＯＦＦ駆動する電気回路がガラス基板上
にマトリックス状に形成されている。そして、例えばＬ
ＣＤ基板の２辺の電気回路の接点となる電極パッドが多
数配列されている。また、電気的検査を行なう場合に
は、ＬＣＤ用基板を正確に位置決めした後行なう必要が
あるため、ＬＣＤ用基板上のコーナー部には例えばクロ
スマークなどからなるアライメントマークが形成されて
いる。

【０００３】ＬＣＤ基板の電気的検査を行う検査装置
は、一般に、ＬＣＤ基板をロード、アンロードするロー
ダ部と、このローダ部から受け取ったＬＣＤ基板の電気
的検査を行なうプローバ部とを備えている。ローダ部は
カセット内に例えば２５枚収納されたＬＣＤ基板を１枚
ずつロード、アンロードするように構成されている。こ
のローダ部は、例えばカセットを載置するカセット載置
部と、このカセット載置部に載置されたカセット内のＬ
ＣＤ基板を１枚ずつ取り出してプローバ部へ搬送する基
板搬送機構と、この基板搬送機構による搬送過程でＬＣ
Ｄ基板を予め所定方向へ位置決めするプリアライメント
機構とを備えている。

【０００４】また、プローバ部は、ローダ部の基板搬送
機構から受け取ったＬＣＤ基板を保持する検査用載置台
と、この検査用載置台上に載置されたＬＣＤ基板の各電
極パッドと電気的に接触するプローブを有するプローブ
ボードとを備えている。検査用載置台は、Ｘ方向、Ｙ方
向、Ｚ方向及びθ方向で移動可能で、ローダ部から受け
取ったＬＣＤ基板をアライメントした後プローブボード
の下方へ移動させ、ＬＣＤ基板の各電極パッドをそれぞ
れに対応したプローブボードの各プローブに電気的に接
触させて電気的検査を行なうように構成されている。

【０００５】また、ＬＣＤ基板の点灯検査を行う検査装
置の場合には、検査用載置台に照明装置が内蔵され、こ
の照明装置により検査用載置台上のＬＣＤ基板を裏面か
ら照明すると共に、検査用載置台を移動させてＬＣＤ基
板の各電極パッドをプローブに電気的に接触させ、ＬＣ
Ｄ基板の各表示画素が正常に表示されるか否かを検査す
るようにしてある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
この種の検査装置の場合には、ＬＣＤ基板の電気回路に
欠陥があるか否かを検査し、良品と不良品とを分類して
それぞれのカセットに収納し、修理可能なものまで不良
品として分類されているため、修理可能なものを後工程
で欠陥のレベルに応じて再分類しなくてはならないとい
う課題があった。また、ＬＣＤ基板検査の検査項目は一
定している反面、カセットと検査部間におけるＬＣＤ基
板の搬送形態は一様ではなく、比較的変更されることが
多いにも拘らず、従来の検査装置の場合には、ローダ部
と検査部が一体的に構成されているため、検査装置が所
定の仕様に従って完成すると、その後の仕様変更が難し
く、種々の搬送形態に対応しきれないという課題があっ
た。また、従来の検査装置の場合には、ＬＣＤ基板が収
納されたカセットをカセット載置部へ一旦供給すると、
全てのＬＣＤ基板の検査が終了するまでＬＣＤ基板がい
かなる工程にあるかを把握することが難しいという課題
があった。

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、液晶表示体基板をその検査結果に応じて複
数に分類してカセットに収納できる液晶表示体基板の検
査装置を提供することを目的としている。また、検査工
程のいかなる段階に液晶表示体基板が存在するかを把握
できる液晶表示体基板の検査装置を提供することを目的
としている。更に、液晶表示体基板の種々の搬送形態に
応じてローダ部を変更できる液晶表示体基板の検査装置
を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の液晶表示体基板の検査装置は、複数の液晶表示体基板
が収納されたカセットを載置するカセット載置部と、こ
のカセット載置部のカセットと液晶表示体基板の電気的
検査を行う検査部との間で液晶表示体基板を搬送する基
板搬送機構と、この基板搬送機構を駆動制御する制御機
構とを備えた検査装置において、上記制御機構は、上記
検査部での検査結果に基づいて検査後の液晶表示体基板
の品質を判別する判別手段と、この判別手段の判別結果
に基づいて上記基板搬送機構による検査後の液晶表示体
基板の搬送場所を指定する搬送場所指定手段とを備えた
ことを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載の液晶表示
体基板の検査装置は、複数の液晶表示体基板が収納され
たカセットを載置するカセット載置部と、上記液晶表示
体基板の電気的検査を行う検査部と、上記カセット載置
部のカセットと上記検査部との間で液晶表示体基板を授
受する基板搬送機構とを備えた検査装置において、上記
液晶表示体基板の現在位置を表示する表示手段を設けた
ことを特徴とするものである。

【００１０】また、本発明の請求項３に記載の液晶表示
体基板の検査装置は、複数の液晶表示体基板が収納され
たカセットを載置するカセット載置部と、このカセット
載置部のカセットと液晶表示体基板の電気的検査を行う
検査部との間で液晶表示体基板を搬送する基板搬送機構
と、この基板搬送機構を駆動制御する制御機構とを備え
た検査装置において、上記カセット載置部及び上記基板
搬送機構は、上記検査部に対して分離可能で且つ変更可
能にに構成されたことを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、基板
搬送機構がカセット載置部のカセット内から検査部へ液
晶表示体基板を搬送し、検査部において液晶表示体基板
の検査を行うと、制御機構の判別択手段が検査結果に基
づいて検査後の液晶表示体基板の品質（例えば欠陥の有
無及び欠陥の程度）を判別し、この判別結果に基づいて
搬送場所指定手段が基板搬送機構による検査後の液晶表
示体基板の搬送場所を指定すると、基板搬送機構は検査
部から受け取った検査後の液晶表示体基板をその品質に
即した方向へ搬送して該当するカセットへ収納すること
ができる。

【００１２】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、基板搬送機構がカセット載置部のカセット内から
検査部へ液晶表示体基板を搬送し、検査部において液晶
表示体基板の検査を行う際に、表示手段に液晶表示体基
板の現在位置を表示し、検査装置内における液晶表示体
基板の所在を表示手段を介して知ることができ、検査の
進捗状況を把握することができる。

【００１３】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、基板搬送機構がカセット載置部のカセット内から
検査部へ液晶表示体基板を搬送し、検査部において液晶
表示体基板の検査を行い、例えば、検査部の検査結果に
基づいて分類する品質数が増減する場合には、その品質
の増減に応じてローダ部及び基板搬送機構を検査部から
分離し、ローダ部及び基板搬送機構に変更して液晶表示
体基板の品質に即して分類、収納することができる。

【００１４】

【実施例】以下、図１〜図６に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例の検査装置１はＬＣＤ基板Ｓ
の点灯検査を行うように構成されている。この検査装置
１は、図１、図２の（ａ）に示すように、ＬＣＤ基板Ｓ
のローダ部２と、このローダ部２から引き渡されたＬＣ
Ｄ基板Ｓの点灯検査を行うプローバ部３とを備えて構成
されている。

【００１５】上記ローダ部２は、例えば２５枚単位でカ
セットＣ内に収納されたＬＣＤ基板Ｓを載置するカセッ
ト載置部４と、このカセット載置部４のカセットＣから
未検査のＬＣＤ基板Ｓを取り出し、検査後のＬＣＤ基板
Ｓを収納する基板搬送機構５とを備えている。そして、
カセット載置部４には図１に示すように横方向に所定間
隔を空けて複数個例えば５個のカセットＣを載置するよ
うに形成されている。５個のカセットのうち、例えば、
図１の上から２番目までのカセットＣ１、Ｃ２はそれぞ
れ検査前のＬＣＤ基板Ｓを収納し、他の３個のカセット
Ｃは検査後のＬＣＤ基板Ｓを品質に即して分類し、収納
するようにしてある。検査後のＬＣＤ基板Ｓは、例え
ば、良品、やや良品、不良品の３階級に分類され、この
順序で図１の上から３番目のカセットＣ３、４番目のカ
セットＣ４、５番目のカセットＣ５へそれぞれ収納され
るようにしてある。また、このカセット載置部４には異
物の侵入を検出したり、カセットＣ内のＬＣＤ基板Ｓの
種類を読み取ったりする各種のセンサが取り付けられ、
各種のセンサを利用して自動搬送車のカセットＣをカセ
ット載置部４において自動的且つ安全に搬入、搬出でき
るようにしてある。また、上記基板搬送機構５は、図１
に示すように、搬送アーム６と、この搬送アーム６を駆
動させるローダ駆動部７と、このローダ駆動部７を駆動
制御するローダコントローラ８とを備え、上記搬送アー
ム６は後述するように上下２枚の搬送アーム６Ａ、６Ｂ
からなっている。

【００１６】一方、上記ローダコントローラ８は、ＬＣ
Ｄ基板Ｓの検査結果に基づいてそのＬＣＤ基板Ｓの品質
を判別する判別回路と、この判別回路の判別結果に基づ
いて基板搬送機構５の搬送場所を指定する搬送場所指定
回路とを備え、これら両回路は所定のプログラムに従っ
て機能するようにしてある。即ち、ＬＣＤ基板Ｓは、多
数の画素と、これらの画素をＯＮ、ＯＦＦ駆動する電気
回路を有しているが、中には僅かではあるが各画素間の
仕切に欠陥があったり、電気回路の一部に断線箇所があ
ったりして、一部の画素に滲みがあったり、部分的に表
示できない画素などがある。そして、欠陥の程度も一様
ではなく、修理可能なものあれば、修理不可能なものも
ある。そこで、本実施例では、例えば、品質に応じて、
前述のように良品と、欠陥があっても修理可能なやや良
品と、修理不可能な不良品に分類するようにしてある。
そして、この品質はテストシステム１７からの信号に基
づいてローダコントローラ８の判別回路により判別する
ようにしてある。判別回路において品質を判別すると、
搬送場所指定回路が判別回路からの信号に基づいてロー
ダ駆動部７を制御し、その品質に即したカセットＣへ搬
送アーム６を搬送して収納するようにしてある。

【００１７】また、上記ローダコントローラ８には図１
に示すように表示装置９が電気配線を介して接続されて
いる。この表示装置９はローダ部２を操作するタッチパ
ネルの機能を有し、タッチパネルに表示された操作項目
に触れることで、ローダコントローラ８との間で信号を
授受し該当する操作を行うようにしてある。また、表示
装置９はパネル操作によりその表示内容を切り替えるこ
とができ、この切り替えにより表示装置９の画面にロー
ダ部２の各構成機器をグラフィック表示すると共に、後
述するようにローダ部２内におけるＬＣＤ基板Ｓの現在
位置をグラフィック表示するようにしてある。従って、
表示装置９の画面を見ることでプローバ部２内における
ＬＣＤ基板Ｓの現在位置を確認できるようにしてある。

【００１８】一方、上記プローバ部３は、図２の（ａ）
に示すように、ＬＣＤ基板Ｓの点灯検査を行う検査領域
３Ａと、この検査領域３ＡのＹ方向両側に形成されたア
ライメント領域３Ｂ、３Ｃの３つの領域に区画されてい
る。そして、プローバ部３は、アライメント領域３Ｂ、
３Ｃ内にそれぞれ配設され且つこれらの領域で基板搬送
機構５との間でＬＣＤ基板Ｓを授受する２台の検査用載
置台１０、１０と、各検査用載置台１０をＸ、Ｙ、Ｚ及
びθ方向へ駆動させるプローバ駆動部１１（ボールネジ
１１１、Ｘレール１１２等から構成されている）と、こ
のプローバ駆動部１１を駆動制御するプローバコントロ
ーラ１２と、このプローバコントローラ１２の制御下で
検査用載置台１０上のＬＣＤ基板Ｓの電極パッドに電気
的に接触するプローブを有するプローブカード１３とを
備えている。また、上記検査領域３Ａの上方には撮像手
段としてのＣＣＤカメラ１４（図２の（ａ）では図示せ
ず）が配設されている。このＣＣＤカメラ１４は画像処
理装置１５を介して表示装置１６に接続され、点灯検査
時のＬＣＤ基板Ｓを撮像し、ＬＣＤ基板Ｓを構成する画
素をカラー表示し、検査状況を画面において観察するよ
うにしてある。

【００１９】上記プローバコントローラ１２及びプロー
ブカード１３には図１に示すようにテストシステム１７
が接続されている。そして、テストシステム１７は、プ
ローブカード１３を介してＬＣＤ基板Ｓの電気回路へ点
灯検査に必要な信号を送信して点灯検査を行うと共に、
検査結果に基づいてＬＣＤ基板Ｓの品質に即した信号を
プローバコントローラ１２を介してローダコントローラ
８へ送信するようにしてある。尚、表示装置１６はロー
ダ部２の表示装置９と同様にタッチパネルを兼ね、表示
装置９と共に検査装置１の正面に配設され、両者を監視
し易いようにしてある。

【００２０】更に、上記基板搬送機構５の搬送アーム６
Ａ、６Ｂには表面には複数の吸引用孔６Ｃ（図５参照）
が形成され、この吸引用孔６Ｃを介してＬＣＤ用基板Ｓ
を真空吸着するようにしてある。これらの吸引用孔６Ｃ
には圧力センサ（図示せず）が配設され、搬送アーム６
Ａ、６Ｂ上にＬＣＤ基板Ｓが載置されている時にはその
減圧状態を介してＬＣＤ基板Ｓの存在を検出し、その検
出信号ｓ₁をローダコントローラ８へ送信するようにし
てある。そして、ローダコントローラ８は検出信号ｓ₁
に基づいた信号を表示装置９へ送信し、その画面上にグ
ラフィック表示された搬送アームにＬＣＤ基板Ｓの存在
を表すマークを表示し、ローダ部２におけるＬＣＤ基板
Ｓの現在位置を表示するようにしてある。また、圧力セ
ンサが上述の減圧状態よりも高い圧力を検出した時には
ＬＣＤ基板Ｓが存在しないことを検出し、信号を送信し
ないようにしてある。このような吸引用孔は後述するよ
うに上記検査用載置台１０にも複数形成されている。そ
して、この吸引用孔にも上述した圧力センサが配設さ
れ、ＬＣＤ基板Ｓの存在を検出し、その検出信号ｓ₂を
プローバコントローラ１２へ送信するようにしてあ
る。ローダコントローラ１２は検出信号ｓ₂に基づいて
表示装置１６の画面上にグラフィック表示された検査用
載置台にＬＣＤ基板Ｓの存在を表すマークを表示する
ようにしてある。

【００２１】また、上記ローダ部２の枠体１８と上記プ
ローバ部３の枠体１９は、例えば図２の（ｂ）で部分的
に示すように、ボルト２０、ナット２１により複数箇所
で連結され、ローダ部２とプローバ部３とが必要に応じ
て分離可能で且つ変更可能に構成されている。そして、
各枠体１８、１９の間にはプラスチックゴム等からなる
弾性体２２が介在している。このような連結構造によ
り、ローダ駆動部７が駆動し、ローダ部２が振動するよ
うなことがあっても、その振動が弾性体２２で吸収さ
れ、プローバ部３へ伝達されないようにしてある。ま
た、ローダ部２及びプローバ部３はいずれもキャスタ
（図示せず）を介して移動可能に構成されている。従っ
て、プローバ部２は必要に応じて交換できるようにして
ある。

【００２２】次に、上記基板搬送機構５について図３〜
図５を参照しながら更に詳述する。この基板搬送機構５
の搬送アーム６Ａ、６Ｂは図３に示すように支持台２３
上で支持されている。この支持台２３上には長手方向
（図２では左右方向）全長に亘って２対のガイドレール
２３Ａ、２３Ｂ（図３参照）が互いに平行に配設され、
各ガイドレール２３Ａ、２３Ｂに取付部材２４Ａ、２４
Ｂを介して搬送アーム６Ａ、６Ｂが連結されている。
尚、以下で説明する基板搬送機構５の複数の駆動部は上
記ローダ駆動部７に相当するものである。

【００２３】そして、上記取付部材２４Ａ、２４Ｂの下
端部にはガイドレール２３Ａ、２３Ｂに沿って配設され
た無端状ベルト２５Ａ、２５Ｂにそれぞれ連結されてい
る。各無端状ベルト２５Ａ、２５Ｂはいずれも図示しな
いモータで回転するようにしてある。その結果、各搬送
アーム６Ａ、６Ｂは、無端状ベルト２５Ａ、２５Ｂの回
転で取付部材２４Ａ、２４Ｂを介してガイドレール２３
Ａ、２３Ｂに従って支持台２３上を個別に移動できるよ
うにしてある。そして、下段の搬送アーム６Ａがカセッ
トＣからＬＣＤ基板Ｓを取り出し、プローバ部３へＬＣ
Ｄ基板Ｓをロードするローダアームとして構成され、上
段の搬送アーム６Ｂがプローバ部３からアンロードした
ＬＣＤ基板ＳをカセットＣ内へ収納するアンローダアー
ムとして構成されている。従って、以下の説明では必要
に応じて下段の搬送アームをローダアーム６Ａ、上段の
搬送アームをアンローダアーム６Ｂとして説明する。更
に、ＬＣＤＳ各搬送アーム６Ａ、６Ｂの前方には後述の
方向転換機構の載置台が抜ける大きさの孔６Ｄが形成さ
れている。

【００２４】また、この支持台２３の裏面にはボールネ
ジ２６が回転自在に上端で連結され、図示しないモータ
等の駆動機構から回転力を得て回転駆動するようにして
ある。更に、支持台２３の裏面にはボールネジ２６を三
方向から囲むレール２７が上端で連結されている。そし
て、ボールネジ２６及び各レール２７は、下方の回転体
２８をそれぞれ貫通し、ボールネジ２６は回転体２８に
固定されたナット部材（図示せず）に螺合している。こ
れによりボールネジ２６が駆動機構によりナット部材を
介して正逆回転し、もって支持台２３が上下方向（Ｚ方
向）で移動するようにしてある。

【００２５】上記回転体２８は、図３に示すように、Ｙ
テーブル２９上に配設されている。このＹテーブル２９
の下方には基台３０が配設され、この基台３０上面には
Ｙテーブル２９をＹ方向へ往復移動させる一対のボール
ネジ３１及びガイドレール３２が配設され、ボールネジ
３１は一方（図３では右側）のガイドレール３２の外側
に位置している。そして、ボールネジ３１にはＹテーブ
ル２９の裏面に取り付けられたナット部材３３が螺合
し、一対のガイドレール３２にはＹテーブル２９の裏面
に取り付けられた係合部材３４が係合し、ボールネジ３
１に連結されたモータ３５により、Ｙテーブル２９がカ
セット載置部４に沿ってＹ方向で往復移動するようにし
てある。

【００２６】また、上記回転体２８は例えばベルト（図
示せず）を介してモータ（図示せず）に連結され、この
モータにより回転体２８が図３の矢印で示すようにθ方
向で回転するようにしてある。この回転体２８の周縁近
傍には回転可能に構成された方向転換機構３６配設され
ている。この方向転換機構３６は、θ方向で正逆回転す
る載置台３６Ａと、この載置台３６Ａを昇降させるエア
シリンダなどからなる昇降機構（図示せず）とを有し、
必要に応じて基板搬送機構５から受け取ったＬＣＤ基板
Ｓをプローバ部３へ引き渡す前に検査に必要な向きに修
正するようにしてある。また、この方向転換機構３６の
載置台３６Ａには真空吸着用の孔（図示せず）が形成さ
れ、この孔によりＬＣＤ用基板Ｓを真空吸着するように
してある。そして、この真空吸着用の孔には圧力センサ
が配設され、この圧力センサの検出信号に基づいてＬＣ
Ｄ基板Ｓの存在を前述したように表示装置９の画面上へ
表示するようにしてある。

【００２７】また、上記基板搬送機構５には、図３〜図
５に示すように、プリアライメント機構３７が配設され
ている。このプリアライメント機構３７は、カセットＣ
から取り出したＬＣＤ基板Ｓの向きを方向転換機構３６
で方向修正する前に、ＬＣＤ基板Ｓの中心を方向転換機
構３６の載置台３６Ａの中心に位置決めするものであ
る。

【００２８】上記プリアライメント機構３７は、ＬＣＤ
基板Ｓの各隅角部を２辺から挟むように対をなして互い
に直交方向に配置された回転自在な位置決めローラ３７
Ａ、３７Ｂと、両ローラ３７Ａ、３７Ｂで位置決めされ
たＬＣＤ基板Ｓを支持する支持ローラ３７Ｃと、これら
のローラ３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃを支持台２３の左右両
側で支持する左右一対の細長形状のフラットバー３７Ｄ
と、各フラットバー３７Ｄを介して各ローラを一体的に
昇降する第２昇降機構として例えばエアシリンダ３７Ｅ
とを備えている。エアシリンダ３７Ｅは支持台２３にそ
の下方から昇降可能に連結された側面コ字形状の枠部材
３７Ｆ上に前後一対固定されている。そして、枠部材３
７Ｆ上には前後のエアシリンダ３７Ｅ間で略等間隔を空
けたガイド部材３７Ｇが配設されている。従って、エア
シリンダ３７Ｅによりフラットバー３７Ｄを介して位置
決めローラ３７Ａ、３７Ｂ及び支持ローラ３７Ｂが昇降
するようにしてある。更に、この枠部材３７Ｆの垂直枠
にはバネ３７Ｈが弾装され、このバネ３７Ｈにより枠部
材３７Ｆを常時下方へ付勢するようにしてある。この枠
部材３７Ｆには回転体２８上に立設されたストッパー３
７Ｉが下方から接触している。

【００２９】従って、プリアライメント機構３７は、ボ
ールネジ２６の駆動で支持台２３を介して搬送アーム７
が下降するとストッパー３７Ｉの作用で枠部材３７Ｆが
バネ３７Ｈの弾力に抗して支持台２３から持ち上げら
れ、しかもエアシリンダ３７Ｅの作動で位置決めローラ
３７Ａ、３７Ｂ及び支持ローラ３７Ｃが更に上昇するよ
うにしてある。

【００３０】また、上述した前後左右の各位置決めロー
ラ３７Ａ、３７Ｂの軸心の高さは、各支持ローラ３７Ｃ
で支持されるＬＣＤ基板Ｓの前後の両辺の高さと略一致
している。従って、図５に示すように、前後の位置決め
ローラ３７Ａ、３７Ａ間で最も距離の近い位置でＬＣＤ
基板Ｓの前後を挟み、左右の位置決めローラ３７Ｂ、３
７Ｂ間で最も距離の近い位置でＬＣＤ基板Ｓの左右を挟
み、ＬＣＤ基板Ｓを前後左右の位置決めし、位置決めロ
ーラ３７Ａ、３７Ｂの最も高い位置より内側、即ち、図
５（ａ）の一点鎖線で示した長方形の受領領域Ａ内でＬ
ＣＤ基板Ｓを受領するようにしてある。この受領領域Ａ
内でＬＣＤ基板Ｓを受け取れば、ＬＣＤ基板Ｓを各位置
決めローラ３７Ａ、３７Ｂの回転で支持ローラ３７Ｃへ
落とし込んで自動的に位置決するようにしてある。

【００３１】ところで、このプリアライメント機構３７
でＬＣＤ基板Ｓを位置決めする時には、ローダアーム６
ＡからＬＣＤ基板Ｓを受領領域Ａ内へ引き渡す必要があ
る。そのためにはカセットＣ内のＬＣＤ基板Ｓを受領領
域Ａ内に入るように取り出さなくてはならない。その対
策として、図５の（ａ）に示すようにローダアーム６Ａ
の孔６Ｄのやや後方にはＬＣＤ基板Ｓの前後方向の位置
を決める位置決め部材６Ｅが取り付けられている。この
位置決め部材６Ｅは、搬送アーム６ＡによりカセットＣ
からＬＣＤ基板Ｓを取り出す際に、仮にカセットＣ内か
らそのＬＣＤ基板Ｓが突出していたとしても、そのＬＣ
Ｄ基板Ｓを一旦カセットＣ内の正規の収納位置へ押し込
み、前後の位置を矯正し、受領領域ＡからＬＣＤ基板Ｓ
が外れないように位置決めするものである。尚、ＬＣＤ
基板Ｓの横方向の位置ズレはカセットＣによって規制さ
れるため、受領領域Ａから外れるほどの位置ズレはな
い。

【００３２】一方、プローバ部３の上記検査用載置台１
０は例えばアルミニウムによって形成されている。そし
て、この検査用載置台１０の表面には艶消し処理として
アルミニウムの陽極酸化により黒色アルマイト処理が施
されている。この検査用載置台１０は、図６に示すよう
に、全体として矩形のボックス形状に形成され、プロー
バ駆動部１１によってＸ方向及びＹ方向で往復移動する
ようにしてある。ボックス状の検査用載置台１０は、Ｌ
ＣＤ基板Ｓを載置する載置体１０１と、この載置体１０
１を昇降させるボールネジ等を有する昇降機構（図示せ
ず）と、この昇降機構により載置体１０１の昇降を案内
するように載置体１０１裏面の４箇所の隅角部に取り付
けられたガイドポスト１０２とを備えている。

【００３３】上記載置体１０１は、その載置面において
昇降して搬送アーム６Ａ、６Ｂとの間でＬＣＤ基板Ｓの
受け渡しを行う受け渡し機構１０３と、この受け渡し機
構１０３の内側に配置されこの機構で受け取ったＬＣＤ
基板Ｓをその点灯検査に備えて載置面上に固定する固定
機構１０４と、この固定機構１０４で固定されたＬＣＤ
基板Ｓを裏面から照明するように検査用載置台１０に内
蔵された照明装置１０５とを備えている。尚、図６にお
いて、１０１Ａはプローブを撮像し、そのプローブを電
極パッドに対して位置決めする時に用いられるＣＣＤカ
メラ等からなる撮像手段である。

【００３４】上記受け渡し機構１０３は、図６に示すよ
うに、ＬＣＤ基板Ｓを左右両側縁部の前後で支持する一
対の位置決めフレーム１０３Ａ、１０３Ａと、各位置決
めフレーム１０３Ａの裏面から垂下し下側のθテーブル
１０６及び支持基板１０７を貫通するロッド１０３Ｂ
と、このロッド１０３Ｂの真下にこれとは離隔するよう
に上記Ｘテーブル２６１に立設されたストッパー１０３
Ｃと、上記ロッド１０３Ｂを挟むように各位置決めフレ
ーム１０３Ａから垂下するガイドロッド１０３Ｄとを備
えている。そして、受け渡し機構１０３は、昇降機構に
より検査用載置台１０が所定距離だけ下降した時にロッ
ド１０３Ｂがストッパー１０３Ｃに接触して載置面から
浮上するように構成されている。

【００３５】また、上記固定機構１０４は、図７の
（ａ）で示すように、矩形状の枠体として形成され、そ
の内側縁部でＬＣＤ基板Ｓの画素形成部分以外の外側縁
部を支持するように構成されている。この固定機構１０
４は、ＬＣＤ基板Ｓの直交する２辺には電極パッドが配
列され、他の２辺には電極パッド部よりも更に幅の狭い
ＬＣＤ基板Ｓの取付部が形成され、これらの内側全面に
微細な画素が形成されている。そのため、固定機構１０
４は、同図（ａ）で示すように、ＬＣＤ基板Ｓの電極パ
ッドの部分を支持する第１支持部１０４Ａと、電極パッ
ドの部分以外の部分を支持する第２支持部１０４Ｂとを
有している。そして、幅の広い第１支持部１０４Ａには
同図（ａ）、（ｂ）で示すように真空吸着用の細長形状
の凹陥部１０４Ｃが所定間隔を空けて複数個配列され、
更に、各凹陥部１０４Ｃの底面に同図（ｂ）で示すよう
な真空排気用の排気孔１０４Ｄが形成されている。そし
て、この排気孔１０４Ｄに上述したものと同様の機能を
有する圧力センサが配設されている。ところが、第２支
持部１０４Ｂは第１支持部１０４Ａよりも狭いため、真
空吸着用の凹陥部を設けられていない。

【００３６】また、図７の（ａ）、（ｃ）で示すように
第１、第２支持部１０４Ａ、１０４Ｂには上記位置決め
フレーム１０３Ａの第１、第２突起部（図示せず）が嵌
入する第１、第２嵌入溝１０４Ｅ、１０４Ｆが形成され
ている。各嵌入溝１０４Ｅ、１０４Ｆの深さは、いずれ
もＬＣＤ基板Ｓが第１、第２支持部１０４Ａ、１０４Ｂ
上で支持された時に、第１、第２突起部１０３Ｅ、１０
３Ｆを完全に収納し得る深さに形成されている。

【００３７】次に動作について説明する。ＬＣＤ基板Ｓ
の点灯検査を行う場合には、図１、図２の（ａ）で示す
ようにカセット載置部４上に載置されたカセットＣ１ま
たはＣ２からＬＣＤ基板Ｓを取り出すが、それにはまず
基板搬送機構５のモータ３５が駆動してＹテーブル２９
を介して基板搬送機構５を所定のカセットＣの前方へ移
動させると共に、回転体２８が回転して搬送アーム７の
先端を図２に示すようにカセットＣの方へ向けた状態で
基板搬送機構５がカセットＣと対向する。

【００３８】次いで、駆動機構によりボールネジ２６が
正逆回転し、ローダアーム６Ａを取り出すべきＬＣＤ基
板Ｓの高さに合わせる。すると、ローダアーム６Ａの駆
動機構が駆動し、無端状ベルト１０Ａ及び取付部材９Ａ
を介してローダアーム６ＡがカセットＣに向けて進出
し、図３の二点鎖線で示すようにカセットＣ内へ侵入す
る。この時、そのＬＣＤ基板ＳがカセットＣから突出し
ていると、そのＬＣＤ基板Ｓに位置決め部材６Ｅが当接
してＬＣＤ基板Ｓを押し込み、それを略正規の位置へ位
置合わせする。そして、ボールネジ２６が僅かに駆動し
てローダアーム６Ａを上昇させてＬＣＤ基板Ｓをローダ
アーム６Ａに載せると同時にそれを真空吸着する。次い
で、無端状ベルト１０Ａが逆方向へ回転してローダアー
ム６Ａが後退してカセットＣからＬＣＤ基板Ｓを取り出
す。そして、回転体２８の回転により搬送アーム７が向
きを１８０°変えて先端をプローバ部３に向ける。

【００３９】ローダアーム６Ａがプリアライメント機構
３７の上方に来ると、ボールネジ２６が駆動してローダ
アーム６Ａが下降すると同時にアライメント機構３７の
エアシリンダ３７Ｅが駆動して位置決めローラ３７Ａ、
３７Ｂ及び支持ローラ３７Ｃをローダアーム６Ａに向け
て持ち上げる。この時、プリアライメント機構３７の枠
部材３７Ｆにストッパー３７Ｉが接触しているため、こ
のストッパー３７Ｉがプリアライメント機構３７をバネ
３７Ｅの弾力に抗して持ち上げる。その結果、ストッパ
ー３７Ｉによるプリアライメント機構の持ち上げ動作と
エアシリンダ３７Ｅによる位置決めローラ３７Ａ、３７
Ｂ及び支持ローラ３７Ｃの持ち上げ動作が相乗的に働い
てローダアーム６Ａは迅速に位置決めローラ３７Ａ、３
７Ｂへ接近する。そして、４箇所の位置決めローラ３７
Ａ、３７Ｂが下方からＬＣＤ基板Ｓの４隅に接触し、こ
れらのローラ上にＬＣＤ基板Ｓを載せると、ローダアー
ム６Ａはこれらのローラ上にＬＣＤ基板Ｓを残したまま
左右のフラットバー３７Ｄ、３７Ｄの間を通り抜け、フ
ラットバーのやや下方に来た時点でボールネジ２６及び
エアシリンダ３７Ｅの双方が停止する。尚、ＬＣＤ基板
Ｓを引き渡す時には、ローダアーム６Ａの真空吸着作用
は解除されている。

【００４０】ここでプリアライメント機構３７による位
置決め動作について説明する。ロードアーム６Ａからプ
リアライメント機構３７へＬＣＤ基板Ｓの引き渡し時に
は、ＬＣＤ基板ＳはカセットＣ及びローダアーム６Ａ上
の位置決め部材６Ｅによって既に前後左右の位置ズレは
ある程度矯正され、ＬＣＤ基板Ｓはプリアライメント機
構３７の受領領域Ａ（図４参照）内に入っている。その
ため、ＬＣＤ基板Ｓが位置決めローラ３７Ａ、３７Ｂ上
に載ると、ＬＣＤ基板Ｓはその受領領域Ａ内で多少位置
ズレがあっても、ＬＣＤ基板Ｓは各位置決めローラ３７
Ａ、３７Ｂの内側へ湾曲する周面に接触する。ところ
が、各位置決めローラ３７Ａ、３７Ｂはいずれも回転自
在になっており、それぞれの周面にＬＣＤ基板Ｓの摩擦
力が作用した状態でＬＣＤ基板Ｓが自重落下しようとす
ると、各位置決めローラ３７Ａ、３７ＢはＬＣＤ基板Ｓ
との摩擦力により円滑に回転し、ＬＣＤ基板Ｓを支持ロ
ーラ３７Ｃへ衝撃力を伴うことなく落とし込む。支持ロ
ーラ３７ＣでＬＣＤ基板Ｓを支持すると、４隅の位置決
めローラ３７Ａ、３７ＢがそのＬＣＤ基板Ｓをその４隅
から挟持した状態で正確且つ自動的に位置決めする。こ
の位置決め後、再びボールネジ２６及びエアシリンダ３
７Ｅが駆動してローダアーム６Ａが迅速に支持ローラ３
７Ｃに近づき、フラットバー３７Ｄ、３７Ｄの間を通り
抜け、その間に位置決め後のＬＣＤ基板Ｓを支持ローラ
３７Ｃから受け取り、それを真空吸着し、基板搬送機構
５におけるＬＣＤ基板Ｓにプリアライメントを終了す
る。

【００４１】この時、ロードアーム６Ａでは吸引用孔の
圧力センサがＬＣＤ基板Ｓの検出信号ｓ₁をローダコン
トローラ８へ送信する。ローダコントローラ８は検出信
号ｓ₁に基づいた信号を表示装置９へ送信すると、表示
装置９のが面上ではローダアーム６Ａ上にＬＣＤ基板Ｓ
が存在している旨の表示を行い、画面上でＬＣＤ基板Ｓ
の現在位置を確認することができる。ローダアーム６Ａ
上にＬＣＤ基板Ｓが存在する間はその旨が画面上に表示
されている。

【００４２】上述のようにして基板搬送機構５でのプリ
アライメントが終了すると、基板搬送機構５ではボール
ネジ２６及び無端状ベルト１０Ａの動作によりロードア
ーム６Ａがプローバ部３に向けて進出すると共に、例え
ばプローバ部３のアライメント領域３Ｂの検査用載置台
１０へのＬＣＤ基板Ｓの引き渡し高さになる。この動作
と並行して検査用載置台１０がＸ方向及びＹ方向で移動
してＬＣＤ基板Ｓを受け取る位置へ到達する。このよう
にして基板搬送機構のローダアーム６Ａ及び検査用載置
台１０によるＬＣＤ基板Ｓの移載準備が完了する。即
ち、ローダアーム６Ａによる移載位置がプローバ部３に
おけるＬＣＤ基板Ｓの搬出入口になる。

【００４３】ここでＬＣＤ基板Ｓの移載動作について説
明する。移載位置に到達した検査用載置台１０では図示
しない昇降機構のボールネジが回転して載置体１０１が
下降する。すると、受け渡し機構１０３のロッド１０３
Ｂが下方のストッパー１０３Ｃに接触し、更に載置体１
０１が下降すると、左右一対の位置決めフレーム１０３
Ａ、１０３Ａが固定機構１０４から浮上し、固定機構１
０４との間に隙間を作る。この時既に、ローダアーム６
Ａはその隙間に侵入する位置にある。そこで、ローダア
ーム６Ａの無端状ベルト１０Ａが回転し、ローダアーム
６Ａが隙間に進出し、その進出端においてＬＣＤ基板Ｓ
を固定機構１０４及び照明装置１０５の真上に持ってく
る。次いで、ローダアーム６Ａがボールネジ２６を介し
てやや下降し、ＬＣＤＳ基板Ｓを各位置決めフレーム１
０３Ａ、１０３Ａへ引き渡し、各位置決めフレーム１０
３Ａ、１０３ＡではＬＣＤ基板Ｓを位置決めして固定機
構１０４へ引き渡す。固定機構１０４では各排気孔１０
４Ｄから真空排気して凹陥部１０４Ｃを真空状態にし、
ＬＣＤ基板Ｓの２辺を真空吸着して固定する。一方、こ
の時にはローダアーム６Ａは無端状ベルト１０Ａの作用
で載置体１０１から後退し次の動作に移っている。

【００４４】この時、固定機構１０４では排気孔１０４
Ｄの圧力センサがＬＣＤ基板Ｓの検出信号ｓ₂をプロー
バコントローラ１２へ送信する。プローバコントローラ
１２は検出信号ｓ₂に基づいた信号を表示装置１６へ送
信すると、表示装置１６のが面上では検査用載置台１０
上にＬＣＤ基板Ｓが存在している旨の表示を行い、画面
上でＬＣＤ基板Ｓの現在位置を確認することができる。
検査用載置台１０上にＬＣＤ基板Ｓが存在する間はその
旨が画面上に表示されている。

【００４５】次いで、アライメント領域３Ｂで検査用載
置台１０をボールネジ２６４等によりアライメントす
る。その後、検査用載置台１０が検査領域３Ａへ移動
し、検査領域３ＡではＣＣＤカメラ１０１Ａを介してＬ
ＣＤ基板Ｓの電極パッドをプローブに位置合わせする。
そして、ボールネジを介して載置体１０１がガイドポス
ト１０２に案内されながら水平を保持して上昇し、ＬＣ
Ｄ基板Ｓの２辺に形成された電極パッドがプローブに電
気的に接触し、更にオーバドライブをかけてより確実に
両者の接触を図る。そして、このような接触下でプロー
ブに所定の信号を送ると共に照明装置１０５からＬＣＤ
基板Ｓを裏面から照明すると、ＬＣＤ基板Ｓに形成され
た画素の良否が現れ、これを検査領域３Ａの上方に配置
された撮像手段により撮像し、この画像データをテスト
システム１７に取り込み、解析することによりＬＣＤ基
板Ｓの良否を検査する。そして、検査後には検査用載置
台１０がプリアライメント領域３Ｂへ移動する。ここで
既に待機しているアンローダアーム６Ｂが検査用載置台
１０から検査後のＬＣＤ基板Ｓを受け取る。

【００４６】一方、テストシステム１７は検査結果の良
否を前述したように良品、やや良品、不良品の３階級に
分類し、それぞれの品質に即した信号をプローバコント
ローラ１２を介してローダコントローラ８へ送信する。
すると、ローダコントローラ８の判別回路が例えばテス
トシステム１７からの信号を良品に即した信号であると
判別すると、搬送場所指定回路は判別回路からの受信信
号に基づいて搬送場所をカセットＣ３と指定し、ローダ
駆動部７を制御する。ローダ駆動部７はローダコントロ
ーラ８の指令に従って基板搬送機構５を制御すると、ア
ンローダアーム６Ｂが移動してカセットＣと対峙した後
前方へ進出し、検査後のＬＣＤ基板Ｓを良品としてカセ
ットＣ３内へ収納する。また、検査後のＬＣＤ基板Ｓが
やや良品であれば、判定回路がその旨判断し、搬送場所
指定回路が該当するカセットＣ４を指定する。これによ
りローダ駆動部７を介してアンローダアーム６Ｂが移動
してカセットＣ４内へ検査後のＬＣＤ基板Ｓをやや良品
として収納する。検査後のＬＣＤ基板Ｓが不良品であれ
ば、同様にしてアンローダアーム６Ｂを介してカセット
Ｃ５内へそのＬＣＤ基板Ｓを収納する。そして、これら
のＬＣＤ基板Ｓの移動過程は全て表示装置１６、９の画
面上に表示される。

【００４７】また、修理可能なＬＣＤ基板Ｓを更に細か
く分類する場合には現在のローダ部２では対応できな
い。その場合にはローダ部２とプローバ部３を連結する
ボルト２０、ナット２１を取り外し、ローダ部２をプロ
ーバ部３から切り離してカセットＣの載置台数に対応し
たローダ部に変更する。カセット載置台数が増加した新
たなローダ部は弾性体２２を介在させてボルト２０、ナ
ット２１によって連結する。また、基板搬送機構５を別
仕様のものに取り替える場合にも同様に対処できる。

【００４８】以上説明したように本実施例によれば、ロ
ーダコントローラ８は、プローバ部３での検査結果に基
づいて検査後のＬＣＤ基板Ｓの品質を判別する判別回路
と、この判別回路の判別結果に基づいて基板搬送機構５
によるＬＣＤ基板Ｓの搬送場所を指定する搬送場所指定
回路とを備えているため、ＬＣＤ基板Ｓをその検査結
果、即ち品質に応じて良品、修理可能なやや良品及び不
良品に分類してそれぞれの対応するカセットＣ３、Ｃ
４、Ｃ５内に収納することができ、修理可能なＬＣＤ基
板Ｓをそのまま修理工程へ搬送し、持ち運ぶことで修理
に対して迅速に対応することができる。また、本実施例
によれば、ＬＣＤ基板Ｓの現在位置を表示する表示装置
９、１６を設けたため、検査工程のいかなる段階にＬＣ
Ｄ基板Ｓが存在するかを把握でき、検査の進捗状況を表
示装置９、１２によって監視することができる。更に、
本実施例によれば、ローダ部３（カセット載置部４及び
基板搬送機構５を含む）は、プローバ部３に対して分離
可能で且つ変更可能に構成されているため、ＬＣＤ基板
Ｓの種々の搬送形態（本実施例では検査後のＬＣＤ基板
Ｓの分類数）に応じてローダ部２を変更することができ
る。

【００４９】尚、上記実施例では、表示装置９、１６に
ＬＣＤ基板Ｓの現在位置を表示するために、圧力センサ
を用いてＬＣＤ基板Ｓを検出しているが、ＬＣＤ基板Ｓ
を検出できるセンサであれば他の種類のセンサを用いて
も良い。また、ローダ部２をプローバ部３に切り離し可
能に連結する構造はボルト、ナットに制限されるもので
はない。

【００５０】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の発明によれ
ば、液晶表示体基板をその検査結果に応じて複数に分類
してカセットに収納できる液晶表示体基板の検査装置を
提供することができる。

【００５１】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、検査工程のいかなる段階に液晶表示体基板が存在
するかを把握できる液晶表示体基板の検査装置を提供す
ることができる。

【００５２】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、液晶表示体基板の種々の搬送形態に応じてローダ
部を変更できる液晶表示体基板の検査装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液晶表示体基板の検査装置の一実施例
の制御系を示す説明図である。

【図２】同図（ａ）は図１に示す液晶表示体基板の検査
装置の全体斜視図、同図（ｂ）はローダ部とプローバ部
の接合部部分の断面図である。

【図３】図２の（ａ）に示す検査装置に適用された基板
搬送機構を示す側面図である。

【図４】図３に示す基板搬送装置の要部を示す正面図で
ある。

【図５】図２、図３に示す基板搬送装置の要部を示す平
面図である。

【図６】図１に示す検査用載置台の要部を示す斜視図で
ある。

【図７】図６に示す検査用載置台の固定機構を示す図
で、同図（ａ）はその平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）
の真空吸着用の凹陥部を拡大して示す部分斜視図、同図
（ｃ）は同図（ａ）の断面図である。

【符号の説明】

１検査装置２ローダ部３プローバ部（検査部）４カセット載置部５基板搬送機構６搬送アーム８ローダコントローラ（制御機構）９表示装置ＣカセットＳＬＣＤ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の液晶表示体基板が収納されたカセ
ットを載置するカセット載置部と、このカセット載置部
のカセットと液晶表示体基板の電気的検査を行う検査部
との間で液晶表示体基板を搬送する基板搬送機構と、こ
の基板搬送機構を駆動制御する制御機構とを備えた検査
装置において、上記制御機構は、上記検査部での検査結
果に基づいて検査後の液晶表示体基板の品質を判別する
判別手段と、この判別手段の判別結果に基づいて上記基
板搬送機構による検査後の液晶表示体基板の搬送場所を
指定する搬送場所指定手段とを備えたことを特徴とする
液晶表示体基板の検査装置。
【請求項２】複数の液晶表示体基板が収納されたカセ
ットを載置するカセット載置部と、上記液晶表示体基板
の電気的検査を行う検査部と、上記カセット載置部のカ
セットと上記検査部との間で液晶表示体基板を授受する
基板搬送機構とを備えた検査装置において、上記液晶表
示体基板の現在位置を表示する表示手段を設けたことを
特徴とする液晶表示体基板の検査装置。
【請求項３】複数の液晶表示体基板が収納されたカセ
ットを載置するカセット載置部と、このカセット載置部
のカセットと液晶表示体基板の電気的検査を行う検査部
との間で液晶表示体基板を搬送する基板搬送機構と、こ
の基板搬送機構を駆動制御する制御機構とを備えた検査
装置において、上記カセット載置部及び上記基板搬送機
構は、上記検査部に対して分離可能で且つ変更可能に構
成されたことを特徴とする液晶表示体基板の検査装置。