JPH0982437A - IC measuring jig and IC measuring method - Google Patents

IC measuring jig and IC measuring method

Info

Publication number
JPH0982437A
JPH0982437A JP26091395A JP26091395A JPH0982437A JP H0982437 A JPH0982437 A JP H0982437A JP 26091395 A JP26091395 A JP 26091395A JP 26091395 A JP26091395 A JP 26091395A JP H0982437 A JPH0982437 A JP H0982437A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
pressing
opening
probe needle
guide means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP26091395A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4093600B2 (en
Inventor
Masaaki Nishi
正昭 西
Hikari Okitsu
光 興津
Moritomo Oosato
衛知 大里
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIPPON MAIKURONIKUSU KK
Micronics Japan Co Ltd
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
NIPPON MAIKURONIKUSU KK
Micronics Japan Co Ltd
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NIPPON MAIKURONIKUSU KK, Micronics Japan Co Ltd, Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical NIPPON MAIKURONIKUSU KK
Priority to JP26091395A priority Critical patent/JP4093600B2/en
Publication of JPH0982437A publication Critical patent/JPH0982437A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4093600B2 publication Critical patent/JP4093600B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ICを保持したICキャリアをプローブ針支
持体に押し付けてICのリードの肩部にプローブ針を接
触させるようにして、ICの搬送などの取扱いを容易に
し、搬送状態ではICのリードがどこにも電気的に接触
していないようにする。 【解決手段】 IC供給ステーションにおいて、キャリ
アトレー38をIC押さえ開閉板74に押し付けること
により、開閉ピン78がIC押さえ18に接触して、I
C押さえ18を開放する。その状態で、ICキャリア1
0にIC28を載せる。キャリアトレー38をIC押さ
え開閉板74から離すと、IC押さえ18によってIC
28がICキャリア10に保持される。次に、測定ステ
ーションにおいて、キャリアトレー38を支持台60に
押し付けると、IC28のリード30の肩部にプローブ
針36が接触する。
(57) Abstract: An IC carrier holding an IC is pressed against a probe needle support to bring the probe needle into contact with the shoulder portion of the lead of the IC, thereby facilitating handling such as IC transportation. Make sure that the IC leads are not in electrical contact with anything in the state. SOLUTION: In an IC supply station, by pressing a carrier tray 38 against an IC pressing opening / closing plate 74, an opening / closing pin 78 comes into contact with an IC pressing 18, and I
Open the C retainer 18. In that state, IC carrier 1
Place IC28 on 0. When the carrier tray 38 is separated from the IC pressing opening / closing plate 74, the IC pressing 18 causes the IC
28 is held by the IC carrier 10. Next, when the carrier tray 38 is pressed against the support base 60 at the measurement station, the probe needle 36 comes into contact with the shoulder of the lead 30 of the IC 28.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、パッケージで封
止された状態のIC部品を測定するための測定治具に関
し、また、この測定治具を用いたIC測定方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring jig for measuring an IC component sealed in a package, and an IC measuring method using the measuring jig.

【0002】[0002]

【従来の技術】パッケージで封止された状態のIC部品
について、その電気特性を測定するには一般にテスタが
用いられる。この場合、ICはICソケットに装着さ
れ、このICソケットにテスタが接続される。すなわ
ち、ICのリードはICソケットの内部の端子と接触
し、この内部端子が、ICソケットの外部端子を介し
て、テスタに接続される。
2. Description of the Related Art A tester is generally used to measure the electrical characteristics of an IC component sealed in a package. In this case, the IC is mounted in the IC socket, and the tester is connected to this IC socket. That is, the leads of the IC come into contact with the internal terminals of the IC socket, and the internal terminals are connected to the tester via the external terminals of the IC socket.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上述のようなICソケ
ット方式には次のような問題がある。
The above-described IC socket system has the following problems.

【0004】(1)ICをICソケットに装着するまで
は、ICは露出した状態で搬送されることになり、IC
の取り扱いには注意を要する。
(1) Until the IC is mounted in the IC socket, the IC is conveyed in an exposed state.
Should be handled with care.

【0005】(2)ICを露出した状態で搬送するのを
避けるために、ICを可搬式のICソケットに装着した
状態で搬送するようなシステムにすると、ICとICソ
ケットとの間の電気的接触と、ICソケットとテスタと
の間の電気的接触とが必要となり、電気的接触箇所が増
加する。電気的接触箇所が多くなると、測定誤差が増加
する原因となり、また、電気的接触に問題があった場合
に、どの部分の電気的接触箇所が問題なのか特定が困難
になる。
(2) In order to avoid carrying the IC in an exposed state, if a system is adopted in which the IC is carried in a portable IC socket, the electrical communication between the IC and the IC socket is made. Contact and electrical contact between the IC socket and the tester are required, increasing the number of electrical contact points. When the number of electrical contact points increases, a measurement error increases, and when there is a problem in electrical contact, it becomes difficult to identify which part of the electrical contact point is the problem.

【0006】(3)ICの実装状態では、ICのリード
の近傍にコンデンサや抵抗器などの受動素子を接続する
ことがあるが、ICソケットにICを装着してしまう
と、このような実装状態に近い状態での測定、すなわち
コンデンサや抵抗器をリード付近に接続した状態でのI
C測定、が不可能となる。この場合、ICソケットの外
部端子とテスタとの間にコンデンサや抵抗器を接続して
も、ICソケット内部での電気通路の存在により、特に
高周波特性の測定において、実装状態が再現できない問
題がある。
(3) When the IC is mounted, passive elements such as capacitors and resistors may be connected in the vicinity of the leads of the IC. However, if the IC is mounted in the IC socket, such a mounted state may occur. In a state close to, that is, I with a capacitor or resistor connected near the lead
C measurement becomes impossible. In this case, even if a capacitor or a resistor is connected between the external terminal of the IC socket and the tester, there is a problem that the mounting state cannot be reproduced particularly in the measurement of high frequency characteristics due to the existence of the electric passage inside the IC socket. .

【0007】この発明は、上述のような問題点を解決す
るためになされたものであり、その目的は、ICをIC
キャリアに保持した状態で搬送などの取り扱いが可能と
なって、しかも、この状態ではICのリードがどこにも
電気的に接触していないようなIC測定治具を提供する
ことにある。この発明の別の目的は、ICのリードから
テスタまでの距離をなるべく短くできるIC測定治具を
提供することにある。この発明のさらに別の目的は、I
Cのリードからテスタまでの電気的接触箇所をできるだ
け少なくできるIC測定治具を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to
An object of the present invention is to provide an IC measuring jig which can be handled while being held in a carrier, such as being transported, and in which the IC leads are not in electrical contact with anything. Another object of the present invention is to provide an IC measuring jig which can shorten the distance from the IC lead to the tester as much as possible. Still another object of the present invention is I
An object of the present invention is to provide an IC measuring jig that can minimize the number of electrical contact points from the C lead to the tester.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明のIC測定治具
は、複数のリードを有するICをIC押さえによって着
脱可能に保持できるICキャリアと、ICのリードの配
列に対応して配置された複数のプローブ針を露出した状
態で支持するプローブ針支持体と、ICキャリアのIC
押さえに接触することによってIC押さえを開閉できる
開閉ピンとを備えている。そして、ICを保持したIC
キャリアをプローブ針支持体に位置決め可能に装着する
ことによりICのリードの肩部にプローブ針を接触させ
ることができる。すなわち、ICキャリアとプローブ針
支持体とは別個に構成され、ICはICキャリアに保持
された状態で取り扱いが可能である。ICキャリアに保
持された状態ではICのリードはどこにも電気的に接触
していない。
An IC measuring jig according to the present invention comprises an IC carrier capable of detachably holding an IC having a plurality of leads by means of an IC retainer, and a plurality of IC carriers arranged corresponding to the arrangement of the leads of the IC. Of the probe carrier supporting the probe needle of the IC carrier and the IC of the IC carrier
An opening and closing pin that can open and close the IC holder by contacting the holder is provided. And the IC that holds the IC
The probe needle can be brought into contact with the shoulder portion of the lead of the IC by mounting the carrier on the probe needle support in a positionable manner. That is, the IC carrier and the probe needle support are separately configured, and the IC can be handled while being held by the IC carrier. When held by the IC carrier, the leads of the IC are not in electrical contact with anything.

【0009】プローブ針としては片持ち梁形式のものが
好ましいが、ポゴピン形式のものを用いてもよい。
The probe needle is preferably a cantilever type, but a pogo pin type may be used.

【0010】この発明の最も簡単な構成は、1個のIC
キャリアに1個のICを保持できるようにして、このI
Cキャリアを1個のプローブ針支持体に装着するように
した構成である。しかし、好ましくは、複数のICキャ
リアを1個のキャリアトレーに搭載できるようにして、
各ICキャリアにそれぞれ1個のICを保持するように
する。そして、これに対応して、複数のプローブ針支持
体を1個の支持台に固定しておく。例えば20個のIC
キャリアを1個のキャリアトレーに搭載し、かつ、20
個のプローブ針支持体を1個の支持台に固定することが
できる。さらに、各ICキャリアに対応させて複数の開
閉ピンを1個のIC押さえ開閉板に固定しておいて、キ
ャリアトレーをIC押さえ開閉板に装着することによ
り、全てのICキャリアのIC押さえを複数の開閉ピン
で同時に開くようにするのが好ましい。IC押さえが開
いている状態のときに、ICをICキャリアに載せてか
ら、IC押さえ開閉板をICキャリアから離せば、IC
押さえが元の位置に戻って、ICがICキャリアに保持
される。それから、キャリアトレーと支持台とを位置決
め可能に装着することにより、複数のICのリードの肩
部を同時にプローブ針に接触させることができる。IC
キャリアは、バネなどの弾性部材を介してキャリアトレ
ーに搭載するのが好ましい。
The simplest configuration of the present invention is one IC
This IC is designed to hold one IC on the carrier.
This is a configuration in which the C carrier is attached to one probe needle support. However, preferably, a plurality of IC carriers can be mounted in one carrier tray,
Each IC carrier holds one IC. Then, correspondingly, a plurality of probe needle supports are fixed to one support base. For example, 20 ICs
20 carriers with one carrier tray
One probe needle support can be fixed to one support base. Further, a plurality of opening / closing pins are fixed to one IC holding / opening / closing plate corresponding to each IC carrier, and the carrier tray is attached to the IC holding / opening / closing plate, so that a plurality of IC holdings of all the IC carriers can be obtained. It is preferable to open them simultaneously with the opening and closing pins. When the IC retainer is open, place the IC on the IC carrier, and then separate the IC retainer opening / closing plate from the IC carrier.
The retainer returns to its original position, and the IC is held by the IC carrier. Then, by mounting the carrier tray and the support so that they can be positioned, the shoulder portions of the leads of a plurality of ICs can be brought into contact with the probe needles at the same time. IC
The carrier is preferably mounted on the carrier tray via an elastic member such as a spring.

【0011】次に本発明の作用を説明する。ICはIC
キャリアに保持された状態で取り扱うことができ、この
状態では、ICのリードは、どこにも電気的に接触して
いない。このICキャリアをプローブ針支持体に装着す
ると、ICのリードの肩部がプローブ針と接触する。プ
ローブ針支持体をテスタに接続しておけば、テスタを用
いてICを測定できる。
Next, the operation of the present invention will be described. IC is IC
It can be handled while being held by the carrier, and in this state, the leads of the IC are not in electrical contact with anything. When this IC carrier is mounted on the probe needle support, the shoulder of the IC lead comes into contact with the probe needle. If the probe needle support is connected to the tester, the IC can be measured using the tester.

【0012】複数のICキャリアをキャリアトレーに搭
載しておき、一方で、ICキャリアと同数のプローブ針
支持体を支持台に固定しておけば、キャリアトレーを支
持台に装着することにより、複数のICをプローブ針に
一度に接触させることができる。この場合、個々のIC
と、これに対応するプローブ針との位置関係は、個々の
ICキャリアと、これに対応するプローブ針支持体との
位置決めにより決定される。したがって、ICキャリア
はキャリアトレーに対してわずかに移動できるのが好ま
しく、ICキャリアはキャリアトレーに対してバネなど
の弾性部材を介して搭載するのが好ましい。
If a plurality of IC carriers are mounted on the carrier tray, and on the other hand, the same number of probe needle supports as the IC carriers are fixed to the support base, the carrier trays can be mounted on the support base so that a plurality of IC carriers can be mounted. The IC can be brought into contact with the probe needle at one time. In this case, the individual IC
And the positional relationship between the probe needle and the corresponding probe needle are determined by the positioning of each IC carrier and the corresponding probe needle support. Therefore, it is preferable that the IC carrier can be slightly moved with respect to the carrier tray, and the IC carrier is preferably mounted on the carrier tray via an elastic member such as a spring.

【0013】例えば20個のICキャリアをキャリアト
レーに搭載しておくと、このキャリアトレーを支持台に
装着することにより、20個のICを同時にプローブ針
に接触させることができる。ひとつのキャリアトレーを
用いてICの測定を行っている間に、別のキャリアトレ
ーにICをセットしておくようにすれば、多数のIC測
定を効率的に実施できる。キャリアトレーに搭載するI
Cキャリアの個数は、20個に限ることなく、任意の数
にすることができる。
For example, when 20 IC carriers are mounted on the carrier tray, 20 ICs can be simultaneously brought into contact with the probe needle by mounting the carrier tray on the support base. If ICs are set in different carrier trays while measuring ICs using one carrier tray, a large number of ICs can be efficiently measured. I to be mounted on the carrier tray
The number of C carriers is not limited to 20 and can be any number.

【0014】この発明におけるICキャリアには、IC
のリードと電気的に接触する部分が存在しないので、従
来の可搬式のICソケット内部での接触不良のような問
題は全く生じないし、可搬式のICソケットごとにリー
ドとの接触状態が変化するような問題も生じない。ま
た、ICのリードからテスタまでの距離が短くなり、そ
の間の電気的接触箇所も少なくなる。
The IC carrier according to the present invention includes an IC
Since there is no part which makes electrical contact with the leads of the above, no problem such as poor contact inside the conventional portable IC socket occurs, and the contact state with the lead changes for each portable IC socket. Such a problem does not occur. Further, the distance from the leads of the IC to the tester is shortened, and the number of electrical contact points between them is reduced.

【0015】ICキャリアやキャリアトレーには高価な
電気的接触部分が存在しないので、ICキャリアやキャ
リアトレーが故障したり破損したりしても、これらを消
耗品として交換できる。
Since the IC carrier and the carrier tray do not have expensive electric contact portions, even if the IC carrier or the carrier tray is broken or damaged, these can be replaced as consumables.

【0016】ところで、本件出願の共同出願人の一人で
ある株式会社日本マイクロニクスは、本件発明に関連す
る発明について特願平6−43369号として特許出願
している(以下、この先行出願に係る発明を先行発明と
いう)。この先行発明は、キャリアにICをセットし
て、このキャリアをプローブ針支持体に装着してプロー
ブ針をICのリードに接触させる点で、本発明と共通し
ている。ただし、先行発明の実施例においては、ICの
リードの先端付近にプローブ針を接触させるようにして
おり、このリードをプローブ針の反対側からリード押さ
えで支持している。今回の発明では、リードの肩部にプ
ローブ針を接触させるようにしているので、上述のリー
ド押さえが不要となった。これにより、キャリアを薄く
することができ、キャリアの搬送機構を小さくできる。
また、キャリアの熱容量が小さいので、高温状態でIC
を測定する場合には、所定温度に加熱するまでの時間が
短くなる。さらに、リード先端に作用するリード押さえ
を使用しないので、リード先端の変形を防止できる。
By the way, Japan Micronics Co., Ltd., one of the co-applicants of the present application, has filed a patent application for an invention related to the present invention as Japanese Patent Application No. 6-43369 (hereinafter referred to as the prior application). An invention is called a prior invention). This prior invention is common with the present invention in that the IC is set on the carrier, the carrier is mounted on the probe needle support, and the probe needle is brought into contact with the lead of the IC. However, in the embodiment of the prior invention, the probe needle is brought into contact with the vicinity of the tip of the IC lead, and the lead is supported by the lead retainer from the opposite side of the probe needle. In the present invention, since the probe needle is brought into contact with the shoulder portion of the lead, the lead pressing described above is unnecessary. As a result, the carrier can be made thin and the carrier transport mechanism can be made small.
Also, since the heat capacity of the carrier is small, the IC can be
When measuring, the time required to heat to a predetermined temperature is shortened. Further, since the lead retainer acting on the tip of the lead is not used, deformation of the tip of the lead can be prevented.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施形態に
おけるICキャリアの斜視図であり、図2はその平面図
である。このICキャリア10は、QFP(quad flat
package)タイプのICを1個保持できるようにしたも
のであり、概略正方形の形状をしている。ICキャリア
10の中央にはICを載せるための正方形の搭載面12
が、上面13よりもわずかに高くなるように形成されて
いる。搭載面12の周辺には4個のモールドガイド14
が上方に突き出している。搭載面12の対角の位置には
2個のリードガイド16がモールドガイド14よりも高
く突き出している。リードガイド16の存在しない別の
対角の位置には2個のIC押さえ18が回動可能に取り
付けられている。ICキャリア10の四隅付近には4個
の受け座20が上面13から突き出している。そのうち
の対角の2個の受け座20にはガイド孔22(第1ガイ
ド手段)が形成されている。ICキャリア10には周壁
24が形成されていて、この周壁24の対角の位置には
2個のキャリアガイドピン26が上方に突き出してい
る。
1 is a perspective view of an IC carrier according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view thereof. This IC carrier 10 is a QFP (quad flat).
It is designed to hold one package type IC, and has an approximately square shape. A square mounting surface 12 for mounting an IC on the center of the IC carrier 10.
Is formed so as to be slightly higher than the upper surface 13. There are four mold guides 14 around the mounting surface 12.
Is protruding upwards. Two lead guides 16 project higher than the mold guide 14 at diagonal positions on the mounting surface 12. Two IC retainers 18 are rotatably attached at different diagonal positions where the lead guide 16 does not exist. Four receiving seats 20 project from the upper surface 13 near the four corners of the IC carrier 10. A guide hole 22 (first guide means) is formed in two of the diagonally opposite receiving seats 20. A peripheral wall 24 is formed on the IC carrier 10, and two carrier guide pins 26 project upward at diagonal positions of the peripheral wall 24.

【0018】図2に示すように、ICキャリア10にI
C28を上方から供給すると、IC28のモールド部が
モールドガイド14に案内され、さらに、IC28の各
辺の両端のリード30がリードガイド16に案内され
る。これにより、IC28が正しく位置決めされて搭載
面12に載ることができる。
As shown in FIG.
When C28 is supplied from above, the mold portion of the IC 28 is guided by the mold guide 14, and the leads 30 at both ends of each side of the IC 28 are guided by the lead guide 16. As a result, the IC 28 can be properly positioned and placed on the mounting surface 12.

【0019】図3は、IC28を保持した状態のICキ
ャリア10と、これに対応するプローブ針支持体32と
を示す断面図である。この図3は、図2の3−3線断面
に相当する断面図である。したがって、中心線34の右
側は正方形のICキャリアの一辺に平行な切断面で切断
したものであり、中心線34の左側はICキャリアの対
角線に沿った切断面で切断したものである。中心線34
の右側では、IC28のリード30やプローブ針支持体
32のプローブ針36の形状が明瞭に示されており、中
心線34の左側では、IC押さえ18やガイド孔22の
近傍の形状が明瞭に示されている。
FIG. 3 is a sectional view showing the IC carrier 10 holding the IC 28 and the probe needle support 32 corresponding thereto. FIG. 3 is a sectional view corresponding to the section taken along line 3-3 of FIG. Therefore, the right side of the center line 34 is cut along a cutting plane parallel to one side of the square IC carrier, and the left side of the center line 34 is cut along a diagonal line of the IC carrier. Center line 34
The shape of the lead 30 of the IC 28 and the probe needle 36 of the probe needle support 32 is clearly shown on the right side of the line, and the shapes of the IC retainer 18 and the guide hole 22 are clearly shown on the left side of the center line 34. Has been done.

【0020】図3において、ICキャリア10はキャリ
アトレー38に弾性的に取り付けられている。キャリア
トレー38は上板40と下板42とその間のスペーサ4
4で構成されており、上板40と下板42の間の空間に
ICキャリア10が配置されている。図6に拡大して示
すように、キャリアトレー38の上板40には位置決め
孔46が形成されていて、この位置決め孔46にICキ
ャリア10の2個のキャリアガイドピン26がゆるく
(すなわち、多少の隙間をもって)挿入されている。キ
ャリアガイドピン26の直径は位置決め孔46の内径よ
りも1mm程度小さくなっている。これにより、ICキ
ャリア10は水平面内で微小距離だけ移動可能である。
ICキャリア10の4個の受け座20の裏側には凹所4
8が形成されていて、この凹所48の内部に圧縮コイル
ばね50の上端が押し付けられている。圧縮コイルバネ
50の下端は、下板42に形成された突起52に引っ掛
かった状態で下板42に押し付けられている。これによ
り、ICキャリア10は周壁24の上端が上板40の下
面に弾性的に押し付けられた状態で静止している。
In FIG. 3, the IC carrier 10 is elastically attached to the carrier tray 38. The carrier tray 38 includes an upper plate 40, a lower plate 42 and a spacer 4 between them.
4 and the IC carrier 10 is arranged in the space between the upper plate 40 and the lower plate 42. As shown in an enlarged view in FIG. 6, a positioning hole 46 is formed in the upper plate 40 of the carrier tray 38, and the two carrier guide pins 26 of the IC carrier 10 are loosened in the positioning hole 46 (that is, somewhat). Has been inserted). The diameter of the carrier guide pin 26 is smaller than the inner diameter of the positioning hole 46 by about 1 mm. As a result, the IC carrier 10 can be moved by a minute distance in the horizontal plane.
The recesses 4 are provided on the back side of the four receiving seats 20 of the IC carrier 10.
8 is formed, and the upper end of the compression coil spring 50 is pressed into the inside of the recess 48. The lower end of the compression coil spring 50 is pressed against the lower plate 42 while being caught by the protrusion 52 formed on the lower plate 42. As a result, the IC carrier 10 is stationary with the upper end of the peripheral wall 24 elastically pressed against the lower surface of the upper plate 40.

【0021】図6において、IC押さえ18はシャフト
53の回りに回動可能であり、ねじりコイルばね54の
作用で時計回りの回転モーメントを付与されていて、I
C押さえ18の右端でIC28のモールド部56の上面
を押さえつけることができる。IC28のモールド部5
6の下面は搭載面12に載っている。IC押さえ18の
左端には、後述する開閉ピンが接触できる。IC押さえ
18の右端の下端はストッパ58になっていて、このス
トッパ58がICキャリア10の上面13に接触してい
る。したがって、IC押さえ18が必要以上にモールド
部56を押さえつけることはない。
In FIG. 6, the IC retainer 18 is rotatable around the shaft 53, and a clockwise rotational moment is given by the action of the torsion coil spring 54.
The upper end of the mold portion 56 of the IC 28 can be pressed by the right end of the C presser 18. Mold part 5 of IC28
The lower surface of 6 rests on the mounting surface 12. An opening / closing pin, which will be described later, can contact the left end of the IC retainer 18. The lower end of the right end of the IC retainer 18 is a stopper 58, and the stopper 58 is in contact with the upper surface 13 of the IC carrier 10. Therefore, the IC holder 18 does not press the mold portion 56 more than necessary.

【0022】図5はプローブ針支持体32を下面側から
見た斜視図である。正方形のプローブ針支持体32には
4個の針押さえ66があり、この針押さえ66に多数の
プローブ針36が接着剤で固定されている。これらのプ
ローブ針36の針先はICのリードの肩部に接触できる
ように、リードと同じピッチで配列されている。このプ
ローブ針支持体32は、図3に示すように支持台60に
固定されている。プローブ針36の基端側はプローブ針
支持体32を貫通してから反対側に出て、支持台60の
配線パターン62に半田付けされている。配線パターン
の他端の端子はテスタに接続されている。図5におい
て、プローブ針支持体32の四隅には4個の円柱状の突
起63が突き出していて、そのうちの対角の2個にはガ
イドピン64(第2ガイド手段)がさらに突き出してい
る。ガイドピン64の先端は曲面になっている。突起6
3の先端は平坦面である。
FIG. 5 is a perspective view of the probe needle support 32 seen from the lower surface side. The square probe needle support 32 has four needle holders 66, and a large number of probe needles 36 are fixed to the needle holders 66 with an adhesive. The tips of these probe needles 36 are arranged at the same pitch as the leads so that they can contact the shoulders of the leads of the IC. The probe needle support 32 is fixed to the support base 60 as shown in FIG. The base end side of the probe needle 36 penetrates the probe needle support 32 and then emerges on the opposite side to be soldered to the wiring pattern 62 of the support base 60. The other terminal of the wiring pattern is connected to the tester. In FIG. 5, four columnar protrusions 63 are projected at four corners of the probe needle support 32, and guide pins 64 (second guide means) are further projected at two diagonal corners thereof. The tip of the guide pin 64 is curved. Protrusion 6
The tip of 3 is a flat surface.

【0023】プローブ針36は、先端がノミ型をしたク
ランク形状をしており、針押さえ66から針先までの間
がすべて露出している。必要に応じて、これらの多数の
プローブ針36のうちの特定の少数本(例えば2本)
を、幅広の導線を介して、直接、接地(GND)ライン
や電源ラインに接続することができる。これにより、大
電流を流しやすくできる。また、特定のプローブ針に、
直接、コンデンサや抵抗器などの受動素子を接続するこ
ともでき、ICを実装状態に近付けた状態で測定するこ
とも可能である。これにより、実装状態でのIC特性
(特に高周波特性)の測定誤差が少なくなる。このよう
に、プローブ針36の先端付近に対して、直接、各種の
接続細工ができるのは、ICキャリアとプローブ針支持
体とが別個になっていて、かつ、プローブ針が露出した
状態でプローブ針支持体に支持されているからである。
The probe needle 36 has a crank shape with a chisel-shaped tip, and the entire area between the needle retainer 66 and the needle tip is exposed. If necessary, a specific small number (eg, 2) of these many probe needles 36
Can be directly connected to a ground (GND) line or a power supply line via a wide conductor. This makes it easy to pass a large current. Also, for a specific probe needle,
It is also possible to directly connect passive elements such as a capacitor and a resistor, and it is also possible to perform measurement with the IC brought close to the mounted state. This reduces the measurement error of the IC characteristics (particularly high frequency characteristics) in the mounted state. As described above, various kinds of connection work can be directly performed in the vicinity of the tip of the probe needle 36 because the IC carrier and the probe needle support are separate and the probe needle is exposed. This is because it is supported by the needle support.

【0024】図3に戻って、IC28を保持した状態で
キャリアトレー38を上昇させると、プローブ針支持体
32の2個のガイドピン64の先端が、ICキャリア1
0の2個のガイド孔22に入り込み、ICキャリア10
とプローブ針支持体32とが位置決めされる。さらにキ
ャリアトレー38を上昇させると、プローブ針支持体3
2の4個の突起63の下端がICキャリア10の4個の
受け座20の上端に接触して、ICキャリア10とプロ
ーブ針支持体32との距離が所定値に定まる。このと
き、プローブ針36がIC28のリード30の肩部に接
触する。その後も、キャリアトレー38がわずかに上昇
するが、ICキャリア10は圧縮コイルばね50を圧縮
しながらキャリアトレー38に対して下降できるので、
支持台60の高さ位置が固定されていても、プローブ針
支持体32とICキャリア10との距離は、突起63と
受け座22との接触によって定まる所定値となる。この
距離は、プローブ針36が所定のオーバードライブ量で
リードに接触するような値に設定されている。複数のI
Cキャリア10は個別の圧縮コイルばね50でキャリア
トレー38に支持されているので、プローブ針支持体3
2の相互間でプローブ針36の針先高さにバラツキがあ
っても、このバラツキが弾性的に吸収されて、各IC2
8のリード30にプローブ針36が均一に接触できる。
Returning to FIG. 3, when the carrier tray 38 is raised while holding the IC 28, the tips of the two guide pins 64 of the probe needle support 32 are moved to the IC carrier 1
0 into the two guide holes 22 and the IC carrier 10
And the probe needle support 32 are positioned. When the carrier tray 38 is further raised, the probe needle support 3
The lower ends of the four protrusions 63 of 2 contact the upper ends of the four receiving seats 20 of the IC carrier 10, and the distance between the IC carrier 10 and the probe needle support 32 is set to a predetermined value. At this time, the probe needle 36 contacts the shoulder of the lead 30 of the IC 28. Even after that, the carrier tray 38 slightly rises, but the IC carrier 10 can descend with respect to the carrier tray 38 while compressing the compression coil spring 50.
Even if the height position of the support base 60 is fixed, the distance between the probe needle support 32 and the IC carrier 10 has a predetermined value determined by the contact between the protrusion 63 and the receiving seat 22. This distance is set to a value such that the probe needle 36 contacts the lead with a predetermined overdrive amount. Multiple I
Since the C carrier 10 is supported by the carrier tray 38 by the individual compression coil springs 50, the probe needle support 3
Even if there is variation in the needle tip height of the probe needle 36 between the two ICs, this variation is elastically absorbed, and each IC2
The probe needle 36 can be brought into uniform contact with the lead 30 of No. 8.

【0025】図4はIC28のリード30にプローブ針
36の針先が接触した状態を示す拡大正面断面図であ
る。IC28のモールド部56の下端は搭載面12に載
っており、モールド56の側面はモールドガイド14に
案内された状態にある。QFPタイプのIC28のリー
ド30は、モールド部56の側面から水平方向に突き出
してから下方に曲がって傾斜部を構成し、さらに先端が
水平方向に曲げられている。したがって、リード30
は、水平な肩部30aと傾斜部30bと水平な先端部3
0cとからなる。そして、プローブ針36の針先は肩部
30aに接触する。肩部30aはモールドガイド14に
接触していないが、この肩部30aは強度があり、プロ
ーブ針36が接触してもは変形することはない。このよ
うに、リードの肩部30aにプローブ針36を接触させ
ることにより、プローブ針の接触時にリード30の先端
部30cを支えるための部品が不要になる。先端部30
cにプローブ針36を(上方から、または下方から)接
触させる場合には、リード30に大きな曲げモーメント
が作用することになり、プローブ針が接触する側と反対
の側においてリードの先端部30cを支える部品が必要
となる。
FIG. 4 is an enlarged front sectional view showing a state where the tip of the probe needle 36 is in contact with the lead 30 of the IC 28. The lower end of the mold portion 56 of the IC 28 rests on the mounting surface 12, and the side surface of the mold 56 is guided by the mold guide 14. The lead 30 of the QFP type IC 28 projects horizontally from the side surface of the mold portion 56 and then bends downward to form an inclined portion, and the tip is bent horizontally. Therefore, the lead 30
Is a horizontal shoulder portion 30a, a sloped portion 30b, and a horizontal tip portion 3
0c. Then, the needle tip of the probe needle 36 contacts the shoulder portion 30a. Although the shoulder portion 30a is not in contact with the mold guide 14, the shoulder portion 30a is strong and does not deform even if the probe needle 36 comes into contact with it. As described above, by bringing the probe needle 36 into contact with the shoulder portion 30a of the lead, a component for supporting the tip portion 30c of the lead 30 when the probe needle comes into contact is not necessary. Tip 30
When the probe needle 36 is brought into contact with c (from above or from below), a large bending moment acts on the lead 30, and the tip portion 30c of the lead is placed on the side opposite to the side where the probe needle comes into contact. Supporting parts are required.

【0026】図7はキャリアトレー38の斜視図であ
る。このキャリアトレー38は4行×5列で合計20個
のICキャリアを取り付けることができる。キャリアト
レー38は上板40と下板42と複数のスペーサ44と
で構成されていて、中空構造をなしている。上板40に
は、支持台及びIC押さえ開閉板との間で位置決めをす
るための2個のガイド孔68(第4ガイド手段)があ
る。また、この上板40には、各ICキャリアに対応し
て20個の開口70が形成されていて、この開口70の
対角付近に2個の位置決め孔46が形成されている。こ
の位置決め孔46にICキャリアのキャリアガイドピン
26(図6を参照)が挿入される。開口70からは、図
3に示すように、ICキャリアのIC押さえ18や受け
座20などが露出している。
FIG. 7 is a perspective view of the carrier tray 38. This carrier tray 38 has 4 rows × 5 columns, and a total of 20 IC carriers can be attached. The carrier tray 38 is composed of an upper plate 40, a lower plate 42 and a plurality of spacers 44, and has a hollow structure. The upper plate 40 has two guide holes 68 (fourth guide means) for positioning between the support base and the IC pressing opening / closing plate. Further, 20 openings 70 are formed in the upper plate 40 corresponding to each IC carrier, and two positioning holes 46 are formed in the vicinity of the diagonal of the openings 70. The carrier guide pin 26 (see FIG. 6) of the IC carrier is inserted into the positioning hole 46. As shown in FIG. 3, the IC retainer 18 and the receiving seat 20 of the IC carrier are exposed from the opening 70.

【0027】図8は支持台60を下面側から見た斜視図
である。この支持台60には4行×5列で合計20個の
プローブ針支持体32が固定されている。各プローブ針
支持体32は座ぐり付きの2個の孔33にネジを通すこ
とによって支持台60に固定される。支持台60には2
個のガイドピン72(第5ガイド手段)があり、このガ
イドピン72がキャリアトレー38の2個のガイド孔6
8(図7を参照)に入ることによって、キャリアトレー
38と支持台60との位置決めを可能にしている。な
お、これによる位置決めは、プローブ針とICのリード
との位置決めを実行するものではなく、プローブ針支持
体のガイドピン64(図3を参照)がICキャリア10
のガイド孔22に入ることが可能になる程度の位置決め
を実行するものである。
FIG. 8 is a perspective view of the support base 60 as seen from the lower surface side. A total of 20 probe needle supports 32 are fixed to this support base 60 in 4 rows × 5 columns. Each probe needle support 32 is fixed to the support base 60 by passing a screw through the two counterbore holes 33. 2 for support 60
There are individual guide pins 72 (fifth guide means), and these guide pins 72 are the two guide holes 6 of the carrier tray 38.
8 (see FIG. 7) enables positioning of the carrier tray 38 and the support base 60. Note that the positioning by this does not perform the positioning between the probe needle and the lead of the IC, but the guide pin 64 (see FIG. 3) of the probe needle support body is used for the IC carrier 10.
The positioning is performed to such an extent that the guide hole 22 can be inserted.

【0028】図9は、IC押さえ開閉板74を下面側か
ら見た斜視図である。このIC押さえ開閉板74には4
行×5列で合計20個の開口75が形成されている。こ
の開口75の対角付近には2個の突起76と2個の開閉
ピン78が突き出している。2個の突起76にはさらに
それぞれガイドピン80(第3ガイド手段)が突き出し
ている。突起76の先端は平坦面であり、ガイドピン8
0の先端は曲面である。突起76とガイドピン80の役
割は、図3に示すプローブ針支持体の突起63とガイド
ピン64の役割と同じであり、ICキャリアとIC押さ
え開閉板74との間の位置決めのために機能する。すな
わち、IC押さえ開閉板74のガイドピン80がICキ
ャリア10のガイド孔22に入り込み、また、IC押さ
え開閉板74の突起76がICキャリア10の受け座2
0に接触する。2個の開閉ピン78はIC押さえ18に
接触してIC押さえ18を開放させる機能を有する。ま
た、IC押さえ開閉板74には2個のガイドピン82
(第6ガイド手段)が固定されている。このガイドピン
82を図7のキャリアトレー38のガイド孔68に挿入
することにより、キャリアトレー38をIC押さえ開閉
板74に対して位置決めできる。なお、これによる位置
決めは、開閉ピン80とIC押さえ18との位置決めを
実行するものではなく、ガイドピン80がICキャリア
10のガイド孔22に入ることが可能になる程度の位置
決めを実行するものである。
FIG. 9 is a perspective view of the IC pressing opening / closing plate 74 as seen from the lower surface side. This IC pressing opening / closing plate 74 has 4
A total of 20 openings 75 are formed in rows × 5 columns. Two protrusions 76 and two opening / closing pins 78 project near the diagonal of the opening 75. Guide pins 80 (third guide means) further project from the two protrusions 76, respectively. The tip of the protrusion 76 is a flat surface, and the guide pin 8
The tip of 0 is a curved surface. The roles of the protrusion 76 and the guide pin 80 are the same as the roles of the protrusion 63 and the guide pin 64 of the probe needle support shown in FIG. 3, and they function for positioning between the IC carrier and the IC pressing opening / closing plate 74. . That is, the guide pin 80 of the IC pressing opening / closing plate 74 enters the guide hole 22 of the IC carrier 10, and the projection 76 of the IC pressing opening / closing plate 74 is inserted into the receiving seat 2 of the IC carrier 10.
Touch 0. The two opening / closing pins 78 have a function of contacting the IC retainer 18 and opening the IC retainer 18. Further, the IC pressing opening / closing plate 74 has two guide pins 82.
(Sixth guide means) is fixed. By inserting the guide pin 82 into the guide hole 68 of the carrier tray 38 shown in FIG. 7, the carrier tray 38 can be positioned with respect to the IC pressing opening / closing plate 74. Note that the positioning by this does not perform the positioning of the opening / closing pin 80 and the IC retainer 18, but the positioning that allows the guide pin 80 to enter the guide hole 22 of the IC carrier 10. is there.

【0029】図10はIC押さえを開いてICをICキ
ャリアに供給する動作を示す断面図である。この図10
は、図2の3−3線断面に相当する切断位置での断面図
である。図10(A)において、キャリアトレー38を
IC押さえ開閉板74に向かって上昇させる。すると、
最初に、キャリアトレー38のガイド孔68(図7を参
照)にIC押さえ開閉板74のガイドピン82(図9を
参照)が入り込み、キャリアトレー38がIC押さえ開
閉板74に対して位置決めされる。その次に、ICキャ
リア10のガイド孔22にIC押さえ開閉板74のガイ
ドピン80が入り込み、ICキャリア10がIC押さえ
開閉板74に対して位置決めされる。最後に、IC押さ
え開閉板74の突起76がICキャリア10の受け座2
0に接触する。その後も、キャリアトレー38がわずか
に上昇するが、ICキャリア10は圧縮コイルばね50
を圧縮しながらキャリアトレー38に対して下降するの
で、IC押さえ開閉板74の高さ位置が固定されていて
も、IC押さえ開閉板74とICキャリア10との距離
は、突起76と受け座22の接触によって定まる所定値
となる。
FIG. 10 is a sectional view showing the operation of opening the IC retainer and supplying the IC to the IC carrier. This FIG.
[Fig. 3] is a sectional view taken along a line 3-3 in Fig. 2 at a cutting position. In FIG. 10A, the carrier tray 38 is raised toward the IC pressing opening / closing plate 74. Then
First, the guide pin 82 (see FIG. 9) of the IC pressing opening / closing plate 74 is inserted into the guide hole 68 (see FIG. 7) of the carrier tray 38, and the carrier tray 38 is positioned with respect to the IC pressing opening / closing plate 74. . Then, the guide pin 80 of the IC pressing opening / closing plate 74 is inserted into the guide hole 22 of the IC carrier 10, and the IC carrier 10 is positioned with respect to the IC pressing opening / closing plate 74. Finally, the protrusion 76 of the IC pressing opening / closing plate 74 is formed into the receiving seat 2 of the IC carrier 10.
Touch 0. Even after that, the carrier tray 38 is slightly raised, but the IC carrier 10 is compressed by the compression coil spring 50.
Since it is lowered with respect to the carrier tray 38 while it is compressed, the distance between the IC pressing opening / closing plate 74 and the IC carrier 10 is fixed even if the height position of the IC pressing opening / closing plate 74 is fixed. It becomes a predetermined value determined by the contact of.

【0030】ICキャリア10のガイド孔22にIC押
さえ開閉板74のガイドピン80が入り込む途中の段階
からは、IC押さえ開閉板74の開閉ピン78の先端が
IC押さえ18の後端に接触して、これを押し下げて行
く。これにより、図10(B)に示すように、IC押さ
え18が回動して、IC押さえ18の先端が上昇し、対
向する2つのIC押さえ18の間が開口する。このよう
に、IC押さえ開閉板74にキャリアトレー38を押し
付けることにより、キャリアトレー38に搭載してある
全てのICキャリア10のIC押さえ18が同時に開口
する。この状態で、真空吸着パッド84で吸着したIC
28を、IC押さえ開閉板74の開口70から挿入し
て、ICキャリア10の搭載面12に載せる。最後に、
キャリアトレー38を下降させると、開閉ピン78がI
C押さえ18から離れ、IC押さえ18がねじりコイル
ばねの作用で元の位置まで回動して、IC28のモール
ド部の上面がIC押さえ18で押さえられる。このよう
にしてIC28はICキャリア10にしっかりと保持さ
れるので、キャリアトレー38の搬送中にもIC28が
飛び跳ねるようなことはない。
From the stage in which the guide pin 80 of the IC pressing opening / closing plate 74 enters the guide hole 22 of the IC carrier 10, the tip of the opening / closing pin 78 of the IC pressing opening / closing plate 74 contacts the rear end of the IC pressing member 18. , Push this down. As a result, as shown in FIG. 10 (B), the IC retainer 18 rotates, the tip of the IC retainer 18 rises, and an opening is formed between the two opposing IC retainers 18. In this manner, by pressing the carrier tray 38 against the IC pressing opening / closing plate 74, the IC pressing members 18 of all the IC carriers 10 mounted on the carrier tray 38 are simultaneously opened. In this state, the IC sucked by the vacuum suction pad 84
28 is inserted from the opening 70 of the IC pressing opening / closing plate 74 and placed on the mounting surface 12 of the IC carrier 10. Finally,
When the carrier tray 38 is lowered, the opening / closing pin 78 is I
The IC retainer 18 is separated from the C retainer 18 and is rotated to the original position by the action of the torsion coil spring, and the upper face of the mold portion of the IC 28 is retained by the IC retainer 18. In this way, the IC 28 is firmly held by the IC carrier 10, so that the IC 28 does not jump even while the carrier tray 38 is being transported.

【0031】図11はこの発明のIC測定治具を用いた
測定方法を示す立面図である。空のICキャリアを搭載
したキャリアトレー38は、ガイドレール86上を左か
ら右に搬送されてきて、IC供給ステーション88で停
止する。キャリアトレー38は、プッシャー92で持ち
上げられてIC押さえ開閉板74に押し付けられる。こ
れにより、図10(B)に示すようにIC押さえ18が
開閉ピン78によって開放される。その状態で、真空吸
着パッド84からICキャリアにICが供給される。プ
ッシャー92を下降してキャリアトレー38を元の高さ
まで戻すと、IC押さえによってICがICキャリアに
保持された状態となる。次に、キャリアトレー38が恒
温槽内のプリヒートステーション94に搬送されて、所
定の温度まで加熱される。この発明で用いているICキ
ャリア及びキャリアトレーは薄型で熱容量が小さいの
で、ICは比較的短時間で所定温度に達することができ
る。次に、キャリアトレー38が、同じ恒温槽内の測定
ステーション96に搬送される。ここでキャリアトレー
38がプッシャー100で持ち上げられて支持台60に
押し付けられる。これにより、図4に示すようにIC2
8のリード30の肩部30aにプローブ針36の針先が
接触する。この状態で、テスター102によってICの
測定が実行される。測定が終了したら、キャリアトレー
38を元の高さまで戻してから搬出する。このようにし
て、キャリアトレー38を次々と流していけば、多数の
ICを効率良く測定できる。
FIG. 11 is an elevational view showing a measuring method using the IC measuring jig of the present invention. The carrier tray 38 carrying an empty IC carrier is conveyed from left to right on the guide rail 86 and stops at the IC supply station 88. The carrier tray 38 is lifted by the pusher 92 and pressed against the IC pressing opening / closing plate 74. As a result, the IC retainer 18 is opened by the opening / closing pin 78 as shown in FIG. In that state, the IC is supplied from the vacuum suction pad 84 to the IC carrier. When the pusher 92 is lowered to return the carrier tray 38 to the original height, the IC is held by the IC carrier by the IC retainer. Next, the carrier tray 38 is conveyed to the preheat station 94 in the constant temperature bath and heated to a predetermined temperature. Since the IC carrier and carrier tray used in the present invention are thin and have a small heat capacity, the IC can reach a predetermined temperature in a relatively short time. Next, the carrier tray 38 is transported to the measuring station 96 in the same constant temperature bath. Here, the carrier tray 38 is lifted by the pusher 100 and pressed against the support base 60. As a result, as shown in FIG.
The needle tip of the probe needle 36 comes into contact with the shoulder portion 30a of the lead 30 of FIG. In this state, the tester 102 measures the IC. When the measurement is completed, the carrier tray 38 is returned to the original height and then carried out. In this way, if the carrier trays 38 are flushed one after another, many ICs can be efficiently measured.

【0032】[0032]

【発明の効果】この発明は、上述のような構成を備える
ことにより、次のような効果を奏する。
EFFECTS OF THE INVENTION The present invention has the following effects by having the above-mentioned configuration.

【0033】(1)ICはICキャリアに保持された状
態で取り扱うことができ、測定の際の取り扱いが容易に
なる。
(1) The IC can be handled while being held by the IC carrier, which facilitates handling during measurement.

【0034】(2)複数のICキャリアをキャリアトレ
ーに搭載しておけば、複数のICを同時にプローブ針に
接触させることができる。
(2) By mounting a plurality of IC carriers on the carrier tray, a plurality of ICs can be brought into contact with the probe needles at the same time.

【0035】(3)ICキャリアにはICのリードと電
気的に接触する部分が存在しないので、ICキャリアの
内部での電気的接触不良は全く生じないし、ICキャリ
アごとにリードとの接触状態が変化するような問題も生
じない。
(3) Since the IC carrier does not have a portion that makes electrical contact with the leads of the IC, no electrical contact failure occurs inside the IC carrier, and the state of contact with the leads for each IC carrier does not occur. There is no changing problem.

【0036】(4)ICキャリアの内部には電気的通路
が存在しないので、ICの測定の際に、ICのリードか
らテスタまでの距離が短くなり、また、ICのリードと
テスタとの間の電気的接触箇所も少なくなる。
(4) Since there is no electrical path inside the IC carrier, the distance from the IC lead to the tester becomes short during the measurement of the IC, and the distance between the IC lead and the tester becomes short. There are also fewer electrical contacts.

【0037】(5)ICキャリアやキャリアトレーには
高価な電気的接触部分が存在しないので、ICキャリア
やキャリアトレーが故障したり破損したりしても、これ
らを消耗品として交換できる。
(5) Since the IC carrier and the carrier tray do not have expensive electric contact portions, even if the IC carrier or the carrier tray is broken or damaged, these can be replaced as consumable items.

【0038】(6)プローブ針をICのリードの肩部に
接触させているので、リード押さえが不要である。これ
により、ICキャリアを薄型にできるので、搬送機構を
小さくでき、また、高温状態でICを測定する場合には
所定温度に加熱するまでの所要時間が短くなる。さら
に、リード先端に作用するリード押さえを使用しないの
で、リード先端の変形を防止できる。
(6) Since the probe needle is brought into contact with the shoulder portion of the IC lead, it is not necessary to hold the lead. As a result, the IC carrier can be made thin, so that the carrying mechanism can be made small and the time required to heat the IC to a predetermined temperature can be shortened when the IC is measured in a high temperature state. Further, since the lead retainer acting on the tip of the lead is not used, deformation of the tip of the lead can be prevented.

【0039】(7)プローブ針の先端付近を、接地ライ
ンや電源ラインに直接接続したり、あるいは、受動素子
を介して接続したりすることによって、プローブ針の先
端付近から大電流を直接、接地ラインや電源ラインに逃
がしたり、特に高周波測定において実装状態に近い状態
でICを測定したりできる。
(7) A large current is directly grounded from the vicinity of the tip of the probe needle by directly connecting the vicinity of the tip of the probe needle to a ground line or a power supply line, or by connecting through a passive element. It is possible to escape to a line or a power supply line, and particularly to measure an IC in a state close to a mounted state in high frequency measurement.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施形態におけるICキャリアの
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of an IC carrier according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のICキャリアの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the IC carrier of FIG.

【図3】図2の3−3線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line 3-3 of FIG. 2;

【図4】プローブ針の接触状態を示す拡大正面断面図で
ある。
FIG. 4 is an enlarged front sectional view showing a contact state of a probe needle.

【図5】プローブ針支持体を下面側から見た斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view of the probe needle support seen from the lower surface side.

【図6】ICキャリアの一部の拡大正面断面図である。FIG. 6 is an enlarged front sectional view of a part of the IC carrier.

【図7】キャリアトレーの斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of a carrier tray.

【図8】支持台を下面側から見た斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of the support base seen from the lower surface side.

【図9】IC押さえ開閉板を下面側から見た斜視図であ
る。
FIG. 9 is a perspective view of the IC pressing opening / closing plate as viewed from the lower surface side.

【図10】ICをICキャリアに供給する動作を示す正
面断面図である。
FIG. 10 is a front sectional view showing an operation of supplying an IC to an IC carrier.

【図11】この発明のIC測定治具を用いた測定方法を
示す立面図である。
FIG. 11 is an elevational view showing a measuring method using the IC measuring jig of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ICキャリア 18 IC押さえ 22 ガイド孔(第1ガイド手段) 26 キャリアガイドピン 28 IC 30 リード 32 プローブ針支持体 36 プローブ針 38 キャリアトレー 46 位置決め孔 50 圧縮コイルばね 54 ねじりコイルばね 60 支持台 64 ガイドピン(第2ガイド手段) 68 ガイド孔(第4ガイド手段) 72 ガイドピン(第5ガイド手段) 74 IC押さえ開閉板 78 開閉ピン 80 ガイドピン(第3ガイド手段) 82 ガイドピン(第6ガイド手段) 10 IC carrier 18 IC retainer 22 Guide hole (first guide means) 26 Carrier guide pin 28 IC 30 Lead 32 Probe needle support 36 Probe needle 38 Carrier tray 46 Positioning hole 50 Compression coil spring 54 Torsion coil spring 60 Support base 64 Guide Pin (second guide means) 68 Guide hole (fourth guide means) 72 Guide pin (fifth guide means) 74 IC pressing opening / closing plate 78 Opening / closing pin 80 Guide pin (third guide means) 82 Guide pin (sixth guide means) )

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大里 衛知 東京都武蔵野市吉祥寺市本町2丁目6番8 号 株式会社日本マイクロニクス内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Echi Osato 2-6-8 Honcho, Kichijoji City, Musashino City, Tokyo Japan Micronics Co., Ltd.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のリードを有するICをIC押さえ
によって着脱可能に保持できるICキャリアと、前記リ
ードの配列に対応して配置された複数のプローブ針を露
出した状態で支持するプローブ針支持体と、前記ICキ
ャリアのIC押さえに接触することによってIC押さえ
を開閉できる開閉ピンとを備え、ICを保持した前記I
Cキャリアを前記プローブ針支持体に位置決め可能に装
着することにより前記リードの肩部を前記プローブ針に
接触させることを特徴とするIC測定治具。
1. An IC carrier capable of detachably holding an IC having a plurality of leads by means of an IC retainer, and a probe needle support for supporting a plurality of probe needles arranged corresponding to the arrangement of the leads in an exposed state. And an opening / closing pin capable of opening and closing the IC holder by contacting the IC holder of the IC carrier,
An IC measuring jig, characterized in that a shoulder portion of the lead is brought into contact with the probe needle by mounting a C carrier on the probe needle support in a positionable manner.
【請求項2】 前記プローブ針支持体は、フラットパッ
ケージICの四つの側面から突き出たリードのそれぞれ
の肩部に接触できるプローブ針を備えていることを特徴
とする請求項1記載のIC測定治具。
2. The IC measurement jig according to claim 1, wherein the probe needle support is provided with probe needles capable of contacting respective shoulder portions of leads protruding from four side surfaces of the flat package IC. Ingredient
【請求項3】 複数の前記ICキャリアを一つのキャリ
アトレーに搭載し、複数の前記プローブ針支持体を一つ
の支持台に固定し、複数の開閉ピンを一つのIC押さえ
開閉板に固定し、前記キャリアトレーを前記IC押さえ
開閉板に対して位置決め可能に装着することにより前記
開閉ピンを前記IC押さえに接触可能にし、前記キャリ
アトレーを前記支持台に対して位置決め可能に装着する
ことにより前記プローブ針を前記ICのリードの肩部に
接触可能にすることを特徴とする請求項1記載のIC測
定治具。
3. A plurality of said IC carriers are mounted on one carrier tray, a plurality of said probe needle supports are fixed to one support base, and a plurality of opening / closing pins are fixed to one IC pressing opening / closing plate, By mounting the carrier tray so that it can be positioned with respect to the IC pressing opening / closing plate, the opening / closing pin can be brought into contact with the IC pressing, and by mounting the carrier tray so that it can be positioned with respect to the support base, the probe 2. The IC measuring jig according to claim 1, wherein the needle can be brought into contact with the shoulder portion of the lead of the IC.
【請求項4】 前記ICキャリアが弾性部材を介してキ
ャリアトレーに搭載されていることを特徴とする請求項
3記載のIC測定治具。
4. The IC measuring jig according to claim 3, wherein the IC carrier is mounted on a carrier tray via an elastic member.
【請求項5】 前記IC押さえは前記ICキャリアに回
動可能に取り付けられていて、回動支点の一端側はIC
のモールド部を押さえることができ、他端側は前記開閉
ピンに接触可能であり、このIC押さえに対して弾性部
材によってICを押さえる方向の回転モーメントが付与
されていることを特徴とする請求項3記載のIC測定治
具。
5. The IC retainer is rotatably attached to the IC carrier, and one end side of a rotation fulcrum is an IC.
7. The mold part can be pressed, the other end side can contact the opening / closing pin, and a rotational moment in a direction of pressing the IC is applied to the IC pressing by an elastic member. 3. IC measuring jig described in 3.
【請求項6】 前記ICキャリアは対向する2個の前記
IC押さえを備えていることを特徴とする請求項5記載
のIC測定治具。
6. The IC measuring jig according to claim 5, wherein the IC carrier is provided with two facing IC retainers.
【請求項7】 前記2個のIC押さえは、フラットパッ
ケージICの対角に位置する2個の隅部を押さえること
ができることを特徴とする請求項6記載のIC測定治
具。
7. The IC measuring jig according to claim 6, wherein the two IC holders can hold two corner portions of the flat package IC which are diagonally located.
【請求項8】 前記ICキャリアには第1ガイド手段が
あり、前記プローブ針支持体には第2ガイド手段があ
り、前記IC押さえ開閉板には第3ガイド手段があり、
第1ガイド手段と第2ガイド手段を係合させることによ
りICキャリアをプローブ針支持体に対して位置決めで
き、第1ガイド手段と第3ガイド手段を係合させること
によりICキャリアをIC押さえ開閉板の開閉ピンに対
して位置決めできることを特徴とする請求項3記載のI
C測定治具。
8. The IC carrier has first guide means, the probe needle support has second guide means, and the IC pressing opening / closing plate has third guide means.
By engaging the first guide means and the second guide means, the IC carrier can be positioned with respect to the probe needle support, and by engaging the first guide means and the third guide means, the IC carrier opening / closing plate for holding the IC carrier 4. The I according to claim 3, wherein the pin can be positioned with respect to the opening / closing pin.
C measurement jig.
【請求項9】 前記キャリアトレーには第4ガイド手段
があり、前記支持台には第5ガイド手段があり、前記I
C押さえ開閉板には第6ガイド手段があり、第4ガイド
手段と第5ガイド手段を係合させることによりキャリア
トレーを支持台に対して位置決めでき、第4ガイド手段
と第6ガイド手段を係合させることによりキャリアトレ
ーをIC押さえ開閉板に対して位置決めできることを特
徴とする請求項8記載のIC測定治具。
9. The carrier tray has a fourth guide means, and the support base has a fifth guide means.
The C-holding opening / closing plate has a sixth guide means, and by engaging the fourth guide means and the fifth guide means, the carrier tray can be positioned with respect to the support base, and the fourth guide means and the sixth guide means are engaged. 9. The IC measuring jig according to claim 8, wherein the carrier tray can be positioned with respect to the IC pressing opening / closing plate by combining them.
【請求項10】 次の各段階を備えるIC測定方法。 (イ)IC押さえ開閉板を設置したIC供給ステーショ
ンに、複数のICキャリアを搭載した一つのキャリアト
レーを搬送する段階。 (ロ)前記キャリアトレーを前記IC押さえ開閉板に押
し付けることによって、前記IC押さえの開閉ピンを前
記ICキャリアのIC押さえに接触させて、弾性部材に
抗してIC押さえを開放させる段階。 (ハ)複数のリードを有するICを前記ICキャリアの
それぞれに載せる段階。 (ニ)前記キャリアトレーを前記IC押さえ開閉板から
離すことにより、前記IC押さえの開閉ピンを前記IC
キャリアのIC押さえから離して、前記弾性部材の働き
によりIC押さえでICをICキャリアに保持する段
階。 (ホ)前記リードの配列に対応して配置された複数のプ
ローブ針を露出した状態で支持するプローブ針支持体を
備える支持台を設置した測定ステーションに、複数のI
Cを保持した前記キャリアトレーを搬送する段階。 (ヘ)前記キャリアトレーを前記支持台に押し付けるこ
とにより、前記プローブ針を前記ICのリードの肩部に
接触させる段階。
10. An IC measuring method comprising the following steps. (A) A step of transporting one carrier tray carrying a plurality of IC carriers to an IC supply station provided with an IC pressing opening / closing plate. (B) A step of pressing the carrier tray against the IC pressing opening / closing plate to bring the opening / closing pin of the IC pressing into contact with the IC pressing of the IC carrier to open the IC pressing against the elastic member. (C) A step of mounting an IC having a plurality of leads on each of the IC carriers. (D) By separating the carrier tray from the IC pressing opening / closing plate, the opening / closing pin of the IC pressing is moved to the IC.
The step of holding the IC on the IC carrier by the IC pressing by the action of the elastic member, apart from the IC pressing of the carrier. (E) A plurality of I's are installed in the measurement station, which is provided with a support base having a probe needle support body that supports a plurality of probe needles arranged corresponding to the arrangement of the leads in an exposed state.
Transporting the carrier tray holding C. (F) Pressing the carrier tray against the support to bring the probe needle into contact with the shoulder of the lead of the IC.
JP26091395A 1995-09-14 1995-09-14 IC measuring jig and IC measuring method Expired - Fee Related JP4093600B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26091395A JP4093600B2 (en) 1995-09-14 1995-09-14 IC measuring jig and IC measuring method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26091395A JP4093600B2 (en) 1995-09-14 1995-09-14 IC measuring jig and IC measuring method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0982437A true JPH0982437A (en) 1997-03-28
JP4093600B2 JP4093600B2 (en) 2008-06-04

Family

ID=17354502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26091395A Expired - Fee Related JP4093600B2 (en) 1995-09-14 1995-09-14 IC measuring jig and IC measuring method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4093600B2 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006162363A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Seiko Epson Corp Positioning device and frequency temperature characteristic inspection machine
CN103257256A (en) * 2013-05-02 2013-08-21 苏州金牛精密机械有限公司 Probe jig
JP2015185847A (en) * 2014-03-25 2015-10-22 株式会社アドバンテスト Device holder, inner unit, outer unit, and tray
JP2015213451A (en) * 2014-05-08 2015-12-03 大日本印刷株式会社 Needle-shaped jig with mesh plate
JP2016206118A (en) * 2015-04-28 2016-12-08 三菱電機株式会社 Semiconductor inspection tool
CN109461690A (en) * 2018-12-19 2019-03-12 深圳市浦洛电子科技有限公司 A kind of IC running fix device and its assembly method
CN118671402A (en) * 2024-08-26 2024-09-20 四川睿杰鑫电子股份有限公司 Electric measuring device and method for double-sided circuit board

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006162363A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Seiko Epson Corp Positioning device and frequency temperature characteristic inspection machine
CN103257256A (en) * 2013-05-02 2013-08-21 苏州金牛精密机械有限公司 Probe jig
JP2015185847A (en) * 2014-03-25 2015-10-22 株式会社アドバンテスト Device holder, inner unit, outer unit, and tray
JP2015213451A (en) * 2014-05-08 2015-12-03 大日本印刷株式会社 Needle-shaped jig with mesh plate
JP2016206118A (en) * 2015-04-28 2016-12-08 三菱電機株式会社 Semiconductor inspection tool
CN109461690A (en) * 2018-12-19 2019-03-12 深圳市浦洛电子科技有限公司 A kind of IC running fix device and its assembly method
CN109461690B (en) * 2018-12-19 2023-10-20 深圳市浦洛电子科技有限公司 An IC mobile positioning device and its assembly method
CN118671402A (en) * 2024-08-26 2024-09-20 四川睿杰鑫电子股份有限公司 Electric measuring device and method for double-sided circuit board
CN118671402B (en) * 2024-08-26 2024-11-12 四川睿杰鑫电子股份有限公司 An electrical measuring device and electrical measuring method for double-sided circuit board

Also Published As

Publication number Publication date
JP4093600B2 (en) 2008-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100429755B1 (en) Method for mounting an electronic component
JP3007211B2 (en) Electronic component contact assembly and connection method thereof
KR0161342B1 (en) Probe test handlers and IC testing methods and ICs using them
US5489854A (en) IC chip test socket with double-ended spring biased contacts
KR20000006481A (en) IC Testing Apparatus
US5151651A (en) Apparatus for testing IC elements
WO1999032895A1 (en) Apparatus and method for testing a device
US5245277A (en) Clamp for testing used integrated circuit devices
JPH0982437A (en) IC measuring jig and IC measuring method
JPH07254469A (en) socket
JP2724675B2 (en) IC measuring jig
JP3095807B2 (en) Inspection equipment for semiconductor devices
JP3225685B2 (en) Function test method for contact unit and IC semiconductor device
KR19980071417A (en) Semiconductor device test equipment
JPH08334546A (en) Semiconductor device test equipment
US6864697B1 (en) Flip-over alignment station for probe needle adjustment
JPH1098083A (en) Inspection socket and electrical property inspection device
KR100739475B1 (en) Carrier Module for Semiconductor Device Test Handler
KR102901958B1 (en) Test socket and socket device having the same
JPH04155790A (en) Socket
JPH0854444A (en) Inspection device and method
JP3307166B2 (en) Circuit board inspection equipment
JPH0515431U (en) Connection mechanism between test head of IC tester and sample
JPH06180345A (en) Tray for housing semiconductor device and device and method for testing semiconductor device
JP2003066095A (en) Device carrier and automatic handler

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050303

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050412

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050613

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050719

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20060516

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071227

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080304

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees